本发明提出一种掩膜板，包括一体成型的框体，该框体还设有一凹陷部，该凹陷部内设有图案化的网格。通过在一整面的薄板上蚀刻形成凹陷部，凹陷部与环绕在凹陷部设置的框体框为一体成型结构，并在凹陷部上进行图案化处理形成网格，最后在该网格上铺设精密掩膜板。本实施例提供的掩膜板的网格能够更服帖于基板上，相对于现有的掩膜板降低了制作成本，提高了掩膜板的PPA稳定性，解决了由于基板与掩膜板的结合状态不佳造成的混色、彩斑等显示不良问题。
1.一种掩膜板(100)，其特征在于，包括一体成型的框体(101)，该框体(101)还设有一凹陷部(103)，该凹陷部(103)内形成有图案化的网格(105)；该网格(105)包括第一部分(105a)与第二部分(105b)，该第一部分(105a)包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分(105b)包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，该第一部分(105a)与该第二部分(105b)相互交错形成该网格(105)，该第一方向与该第二方向相垂直；该第一部分(105a)与该第二部分(105b)为一体式结构。
2.如权利要求1所述的掩膜板(100)，其特征在于，由该第一部分(105a)与该第二部分(105b)限定形成多个彼此不相连且阵列排布的开口区(107)。
3.如权利要求1所述的掩膜板(100)，其特征在于，该第一部分(105a)的宽度与该第二部分(105b)的宽度相同，该第一部分(105a)的厚度与该第二部分(105b)的厚度相同。
4.如权利要求3所述的掩膜板(100)，其特征在于，该掩膜板(100)还包括设置于该网格(105)上的精密掩膜板(108)，该精密掩膜板(108)包括多个相互间隔分布的条状结构(108a)，所述条状结构(108a)上设置有图案区域。
5.如权利要求4所述的掩膜板(100)，其特征在于，多个该条状结构(108a)平行于该第一部分(105a)设置并覆盖开口区(107)；或，多个该条状结构(108a)平行于该第二部分(105b)设置并覆盖开口区(107)。
6.一种掩膜板(100)制作方法，其特征在于，该制作方法包括：
在该薄板(10)上涂布光阻材料，对该光阻材料进行曝光显影，形成一凹陷部(103)，且在该凹陷部(103)周边具有光阻材料保护区域一体成型一框体(101)；
对该凹陷部(103)进行图案化处理，形成网格(105)；该网格(105)包括第一部分(105a)与第二部分(105b)，该第一部分(105a)包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分(105b)包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，该第一方向与该第二方向相互垂直，由该第一部分(105a)与该第二部分(105b)限定形成多个彼此不相连且呈阵列排列的开口区(107)；该第一部分(105a)与该第二部分(105b)为一体式结构。
7.如权利要求6所述的掩膜板(100)制作方法，其特征在于，该第一部分(105a)的宽度与该第二部分(105b)的宽度相同，该第一部分(105a)的厚度与该第二部分(105b)的厚度相同。
8.如权利要求6所述的掩膜板(100)制作方法，其特征在于，在该网格(105)上进行张网铺设精密掩膜板(108)，使得该精密掩膜板(108)的条状结构(108a)平行于该第一部分(105a)设置并覆盖该开口区(107)；或多个该条状结构(108a)平行于该第二部分(105b)设置并覆盖该开口区(107)；该条状结构(108a)的图案区域与该开口区(107)对应。
掩膜板及其制作方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种显示技术领域，尤其涉及一种用于OLED蒸镀的掩膜板及其制作方法。
背景技术
[0002] 近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)之后的新型显示技术，OLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。
[0003] 在现有技术中，是在真空环境下对OLED进行蒸镀，将作为处理对象的OLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在OLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开口部使其附着于OLED基板表面而进行蒸镀。例如，当前的OLED蒸镀使用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)，考虑到张网方式和蒸镀制程的便利，精细金属遮罩的金属框(Frame)往往是镂空的，然后在镂空的金属框上逐一张网焊接形成水平方向的遮蔽部(Cover)，接着在遮蔽部的上方沿垂直方向形成支撑条(Howling)，并在平行于遮蔽部的方向上设置多个金属条(Mask Sheet)，通过遮蔽部来遮挡相邻的两个金属条之间的间隙，并使用支撑条从而支撑这些金属条。
[0004] 在蒸镀工艺当中，金属遮罩与欲蒸镀的基板之间不能有间隙，以免造成蒸镀材料外溢而产生阴影效应。因此，在基板上方设置磁铁板让金属遮罩因磁力的吸引而可以紧密的服帖于基板上。此时，金属遮罩由于其支撑条和遮蔽部是单独焊接在金属框上，并且磁铁板是不完全均匀的，支撑条与遮蔽部受力不均匀使金属遮罩的开口区变形，在蒸镀过程中容易引起蒸镀材料蒸镀不到设计的特定区域导致混色，影响产品良率。
发明内容
[0005] 有鉴于此，本发明旨在提出一种掩膜板及其制作方法，以解决现有技术中掩膜板因其遮蔽部与支撑条单独焊接在金属框上，而导致掩膜板的遮蔽部与支撑条的重合区域在磁铁板的磁力吸引下有细微的变形，在蒸镀过程中容易引起蒸镀材料蒸镀不到设计的特定区域导致混色的问题。
[0006] 本发明实施例提供一种掩膜板，包括一体成型的框体，该框体还设有一凹陷部，该凹陷部内设有图案化的网格。
[0007] 进一步地，该网格包括第一部分与第二部分，该第一部分包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，该第一部分与该第二部分相互交错形成该网格，该第一方向与该第二方向相垂直。
[0008] 进一步地，由该第一部分与该第二部分限定形成多个彼此不相连且阵列排布的开口区。
[0009] 进一步地，该第一部分的宽度与该第二部分的宽度相同，该第一部分的厚度与该第二部分的厚度相同。
[0010] 进一步地，该掩膜板还包括设置于该网格上的精密掩膜板，该精密掩膜板包括多个相互间隔分布的条状结构，所述条状结构上设置有图案区域。
[0011] 进一步地，多个该条状结构平行该第一部分设置并覆盖该开口区；或，多个该条状结构平行于该第二部分设置并覆盖该开口区，该条状结构的图案区域与开口区对应。
[0012] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种掩膜板制作方法，该制作方法包括：
[0013] 提供一薄板；
[0014] 在该薄板上涂布光阻材料，对该光阻材料进行曝光显影，形成一凹陷部，且在该凹陷部周边具有光阻材料保护区域一体成型一框体；
[0015] 对该凹陷部进行图案化处理，形成网格。
[0016] 进一步地，该网格包括第一部分与第二部分，该第一部分包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，第一方向与第二方向相互垂直，由该第一部分与该第二部分限定形成多个彼此不相连且呈阵列排列的开口区。
[0017] 进一步地，该第一部分的宽度与该第二部分的宽度相同，该第一部分的厚度与该第二部分的厚度相同。
[0018] 进一步地，在该网格上进行张网铺设精密掩膜板，使得该精密掩膜板的条状结构平行于该第一部分设置并覆盖该开口区；或多个该条状结构平行于该第二部分设置并覆盖该开口区；该条状结构的图案区域与该开口区对应。
[0019] 本发明实施例提供的掩膜板及其制作方法，通过在一整面的薄板上蚀刻形成凹陷部，凹陷部与环绕在凹陷部周边的框体为一体成型结构，并在凹陷部上进行图案化处理形成网格，最后在该网格上铺设精密掩膜板，能够避免现有技术中遮蔽部与支撑条单独形成在金属框上，导致掩膜板的遮蔽部与支撑条的重合区域在磁铁板的磁力吸引下拉伸而产生皱褶现象导致开口区有细微变形的问题，本实施例提供的掩膜板的网格能够更服帖于基板上，相对于现有的掩膜板降低了制作成本，提高了掩膜板的PPA(开口位置精度)稳定性，解决了由于基板与掩膜板的结合状态不佳造成的混色、彩斑等显示不良问题。
附图说明
[0020] 图1为本发明实施例的掩膜板的结构示意图。
[0021] 图2为本发明实施例的掩膜板的制作过程示意图。
[0022] 图3为本发明实施例的掩膜板的制作方法的流程框图。
[0023] 图4为本发明另一实施例的掩膜板的结构示意图。
具体实施方式
[0024] 为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采用的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0025] [第一实施例]
[0026] 图1为本发明实施例的掩膜板的结构示意图。图2为本发明实施例的掩膜板的制作过程示意图。请结合图1及图2，一种掩膜板100包括一框体101，该框体101中部向下凹设形成有一凹陷部103，该框体101与该凹陷部103一体成型。该框体101环绕该凹陷部103设置，该凹陷部103内形成有图案化的网格105。
[0027] 具体地，该网格105包括第一部分105a与第二部分105b，该第一部分105a包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分105b包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，该第一部分105a与该第二部分105b相互交错形成该网格105，该第一方向与该第二方向相互垂直。例如，该第一部分105a沿水平方向延伸，该第二部分105b沿垂直方向延伸，其延伸方向并不以此为限。由该第一部分105a与该第二部分105b限定形成多个彼此不相连且阵列排布的开口区107，该开口区107即为该网格105的网孔，通过该网孔向显示面板的有源区蒸镀形成目标图案。优选地，该第一部分105a的宽度与该第二部分105b的宽度相同，该第一部分105a的厚度与该第二部分105b的厚度相同。
[0028] 本实施例中，该掩膜板100还包括设置于该网格105上的精密掩膜板108，该精密掩膜板108包括多个相互间隔分布的条状结构108a，该条状结构108a上设置有图案区域，如图1所示，本实施例中该条状结构108a上的图案区域由多个为矩形的镂空区形成。其中，该图案区域为需要的目标图案，该目标图案也可设置为非矩形，例如圆形、多边形或者其他不规则形状。
[0029] 具体地，多个该条状结构108a平行于该第一部分105a设置并覆盖该开口区107，且该条状结构108a上的图案区域与该开口区107对应，以便蒸镀材料通过而附着在基板上。应当说明的是，该条状结构108a上的图案区域的形式、结构多样，附图仅绘示了简单的示意图。
[0030] 另外，需要说明的是精密掩膜板108可以完全覆盖开口区107，也可以部分覆盖开口区107。
[0031] 基于同一发明构思，本发明还提供一种掩膜板制作方法，图3为本发明实施例的掩膜板制作方法的流程框图，参照图3，该制作方法包括：
[0032] S1：提供一薄板10。具体制备时，可通过打磨的方式使薄板10的厚度减小到一定程度，再进行后续步骤。该薄板10可为金属薄板或非金属材料制成。
[0033] S2：在该薄板10上涂布光阻材料，对该光阻材料进行曝光、显影，使得该光阻材料形成图案化光阻层，并经过蚀刻形成一凹陷部103，应当注意的是，在此步骤中并未把薄板刻穿。同时，在该凹陷部103周边具有光阻层保护区域形成一框体101。
[0034] S3：对该凹陷部103进行图案化处理，形成网格105。具体为将形状为目标图案的光罩放置在凹陷部103上方，并进行曝光、显影使得凹陷部103上的光阻层形成图案化的光阻层，进一步地进行蚀刻以将未经光阻层保护区域蚀刻掉进而形成网格105。
[0035] 具体地，图案化的网格105包括第一部分105a与第二部分105b，该第一部分105a包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分105b包括多条在第二方向上平行分布的条状结构。由该第一部分105a与该第二部分105a限定形成多个彼此不相连且呈阵列排列的开口区107。具体地，该开口区107为网格105的网孔。本实施例中，该第一部分105a的宽度与该第二部分105b的宽度相同，同时该第一部分105a的厚度与该第二部分105b的厚度也相同。
[0036] 然后，在该网格105上张网铺设精密掩膜板108，本实施例中，精密掩膜板108包括多个条状结构108a，多个条状结构108a平行于该第一部分105a设置并覆盖该开口区107。
[0037] 本发明实施例提供的掩膜板及其制作方法，通过在一整面的薄板上蚀刻形成凹陷部103，凹陷部103与环绕凹陷部103设置的框体101为一体成型结构，并在凹陷部103上进行图案化处理形成网格105，最后在网格105上铺设精密掩膜板108以覆盖网格105的开口区107，由于网格105的第一部分105a与第二部分105b为一体式结构，更加服帖于基板上，从而避免现有技术中因遮蔽部与支撑条单独形成在金属框上，导致掩膜板的遮蔽部与支撑条的重合区域在磁铁板的磁力吸引下拉伸而产生皱褶现象导致开口区有细微变形的问题。本实施例的掩膜板100的网格101能够更服帖于基板上，相对于现有的掩膜板降低了制作成本，提高了掩膜板的PPA稳定性，解决了由于基板与掩膜板的结合状态不佳造成的混色、彩斑等显示不良问题。
[0038] [第二实施例]
[0039] 本发明第二实施例与上述第一实施例的主要区别在于：该精密掩膜板108的多个条形结构108a上的图案区域由多个规则排列圆孔形成，该条形结构108a的图案区域与该开口区107对应，蒸镀材料通过该圆形的蒸镀孔附着在基板从而形成目标图案。本实施例中该条形结构108a平行于该网格105的第二部分105b设置。
[0040] 关于本实施例的其他结构，可以参见上述第一实施例，在此不再赘述。
[0041] 本文应用了具体个例对本发明的掩膜板及其制作方法及实施例进行了阐述，以上实施方式的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施例及其应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，本发明的保护范围应以所附的权利要求为准。
