发光显示装置及其制造方法转让专利
申请号 : CN201711267179.7
文献号 : CN108231834B
文献日 : 2021-11-05
发明人 : 金钟成 , 金豪镇 , 白承旼
申请人 : 乐金显示有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种发光显示装置,该发光显示装置包括:多个像素,所述多个像素中的每一个包括:晶体管,所述晶体管具有栅极、与所述栅极交叠的有源层、连接到所述有源层的一侧的源极以及连接到所述有源层的另一侧的漏极;以及发光器件,所述发光器件具有第一电极、设置在所述第一电极上的发光层以及设置在所述发光层上的第二电极;以及
接触孔,所述多个像素中的至少两个像素的第一电极在所述接触孔中电连接到相应源极的侧表面或相应漏极的侧表面,
其中,所述接触孔被底切以使所述相应源极或所述相应漏极的下表面暴露。
2.根据权利要求1所述的发光显示装置,其中,所述接触孔包括具有第一宽度的入口、具有第二宽度的底部以及位于所述入口与所述底部之间并具有第三宽度的接触区域,所述至少两个像素的第一电极在所述接触区域中电连接到所述相应源极或所述相应漏极,所述第三宽度小于所述第一宽度和所述第二宽度。
3.根据权利要求2所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:虚拟电极,所述虚拟电极被设置在所述接触孔的底部上,所述虚拟电极与所述至少两个像素的第一电极断开。
4.根据权利要求3所述的发光显示装置,其中,所述虚拟电极和所述至少两个像素的第一电极由相同的材料形成。
5.根据权利要求2所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:堤,所述堤位于所述接触孔的所述底部、所述接触区域和所述入口中。
6.根据权利要求1所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:堤,所述堤至少部分地填充所述接触孔。
7.根据权利要求6所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:第一平整层,所述第一平整层位于所述第一电极与所述源极和所述漏极中的至少一个之间。
8.根据权利要求6所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:虚拟电极,所述虚拟电极位于所述接触孔中的层间电介质上,并且所述层间电介质在第一平整层下方。
9.根据权利要求8所述的发光显示装置,其中,所述虚拟电极在所述接触孔中与所述层间电介质的侧表面的第一部分接触,并且所述堤在所述接触孔中与所述层间电介质的侧表面的位于所述虚拟电极与所述源极或所述漏极之间的第二部分接触。
10.根据权利要求1所述的发光显示装置,其中,所述晶体管还包括:栅极绝缘层,所述栅极绝缘层被设置在所述有源层与所述栅极之间;层间电介质,所述层间电介质被设置在所述栅极与所述源极之间以及所述栅极与所述漏极之间;以及第一平整层,所述第一平整层被设置在所述源极和所述漏极上,并且所述接触孔延伸穿过所述第一平整层并且至少部分地延伸到所述层间电介质中。
11.根据权利要求1所述的发光显示装置,其中,所述至少两个像素包括:第一像素;第二像素,所述第二像素沿第一方向与所述第一像素相邻;第三像素,所述第三像素沿与所述第一方向横切的第二方向与所述第一像素相邻;以及第四像素,所述第四像素沿所述第一方向与所述第三像素相邻且沿所述第二方向与所述第二像素相邻。
12.根据权利要求1所述的发光显示装置,其中,所述至少两个像素包括:第一像素;第二像素,所述第二像素沿第一方向与所述第一像素相邻;以及第三像素,所述第三像素沿与所述第一方向横切的第二方向与所述第一像素或所述第二像素中的一个相邻。
13.一种发光显示装置,该发光显示装置包括:多个像素,所述多个像素中的每一个包括:晶体管,所述晶体管具有栅极、源极区域和漏极区域;
源极,所述源极联接到所述源极区域;
漏极,所述漏极联接到所述漏极区域;
辅助电极,所述辅助电极联接到所述源极或所述漏极中的一者;以及发光器件的第一电极,所述发光器件的第一电极联接到所述辅助电极;以及接触孔,所述多个像素中的至少两个像素的第一电极在所述接触孔中电连接到相应辅助电极的侧表面,
其中,所述接触孔包括使所述相应辅助电极的下表面暴露的底切部。
14.根据权利要求13所述的发光显示装置,其中,所述多个像素中的每一个还包括:第一平整层,所述第一平整层位于所述源极和所述漏极上;以及辅助接触孔,所述辅助接触孔延伸穿过所述第一平整层并且使所述源极和所述漏极中的一者的一部分暴露,所述辅助电极联接到所述源极和所述漏极在所述辅助接触孔中的所述一者的暴露部分。
15.根据权利要求14所述的发光显示装置,其中,所述多个像素中的每一个还包括:栅极绝缘层,所述栅极绝缘层位于所述源极区域和所述漏极区域与所述栅极之间;
层间电介质,所述层间电介质位于所述栅极与所述源极之间以及所述栅极与所述漏极之间;以及
第二平整层,所述第二平整层位于所述辅助接触孔上以及所述辅助接触孔中,其中,所述接触孔延伸穿过所述第二平整层并且至少部分地延伸到所述第一平整层中。
16.根据权利要求13所述的发光显示装置,该发光显示装置还包括:堤,所述堤至少部分地填充所述接触孔,所述堤形成所述发光显示装置的非发光区域。
17.根据权利要求13所述的发光显示装置,其中,所述至少两个像素包括:第一像素;第二像素,所述第二像素沿第一方向与所述第一像素相邻;第三像素,所述第三像素沿与所述第一方向横切的第二方向与所述第一像素相邻;以及第四像素,所述第四像素沿所述第一方向与所述第三像素相邻且沿所述第二方向与所述第二像素相邻。
18.根据权利要求13所述的发光显示装置,其中,所述至少两个像素包括:第一像素;第二像素,所述第二像素沿第一方向与所述第一像素相邻;以及第三像素,所述第三像素沿与所述第一方向横切的第二方向与所述第一像素或所述第二像素中的一个相邻。
说明书 :
发光显示装置及其制造方法
技术领域
背景技术
各种显示装置。
显示装置变轻并变薄,并且有机发光显示装置的功耗优异。此外,有机发光显示装置以低的
直流(DC)电压驱动,响应时间快,并且制造成本低。
电平电压并且向阴极施加低电平电压时,空穴和电子分别通过空穴传输层和电子传输层移
动到有机发光层并且在有机发光层中彼此复合以发光。
限定层。
层被堤覆盖而没有形成在接触孔中。
眼睛的距离处形成焦点。应用于头戴式显示器、移动装置等的小型有机发光显示装置具有
高分辨率,因此每个像素的尺寸逐渐减小。
存在限制。具体地,接触孔设置在非发光区域中,因此,当像素的尺寸减小时,像素中的非发
光区域的面积比增加,而像素中的发光区域的面积比减小。如果像素中的发光区域的面积
比减小,那么应当增加发光区域的亮度,以便补偿发光区域的减小的比例,为此,缩短了有
机发光层的寿命。
成在接触孔的底部和源极或漏极的侧表面上。因此,如图1A和图1B所示。由于接触孔的底部
与源极或漏极之间的台阶高度,阳极会在源极或漏极的侧表面中断开。因此,会发生像素不
发光的导通缺陷。
发明内容
书面描述及其权利要求以及附图中具体指出的结构可实现并获得本公开的目的和其它优
点。
个包括:晶体管,所述晶体管具有栅极、与所述栅极交叠的有源层、连接到所述有源层的一
侧的源极以及连接到所述有源层的另一侧的漏极;以及发光器件,所述发光器件具有第一
电极、设置在所述第一电极上的发光层以及设置在所述发光层上的第二电极。该发光显示
装置包括接触孔,所述多个像素中的至少两个像素的第一电极在所述接触孔中电连接到相
应源极的侧表面或相应漏极的侧表面。
域;源极,所述源极联接到所述源极区域;漏极,所述漏极联接到所述漏极区域;辅助电极,
所述辅助电极联接到所述源极或所述漏极中的一者;以及发光器件的第一电极,所述发光
器件的第一电极联接到所述辅助电极。所述多个像素中的至少两个像素的第一电极在所述
接触孔中电连接到相应辅助电极的侧表面。
附图说明
在附图中:
具体实施方式
记将在整个附图中被用于指代相同或相似的部件。
语应理解如下。
实施方式的限制。相反,提供这些实施方式使得本公开将是彻底和完整的,并且将向本领域
技术人员传达本公开的范围。
特征等。除非明确地限于单数形式,否则单数形式的术语可包括复数形式。
可在这两个部件之间设置一个或更多个其它部件。
的情况。
公开的范围的情况下,第一元件可被称为第二元件,并且类似地,第二元件可被称为第一元
件。
操作的范围内的更广泛的方向性。
目和第三项目中的任意项目的两个或更多个的全部组合,以及第一项目、第二项目或第三
项目中的任意项目。
施方式可彼此独立地执行,或者可按照相互依赖关系一起执行。
(IC)、柔性膜、电路板和定时控制器)的平面图。
护膜)等。
中的每一个可通过使用TFT向有机发光器件提供一定电流。因此,像素中的每一个的有机发
光器件可根据一定电流发出具有一定亮度的光。本文将进一步详细描述像素的各种实施方
式。
多个焊盘可设置在非显示区域NDA中。
示区域DA的一侧或两侧之外的非显示区域NDA中。另选地,选通驱动器120可被制造为驱动
芯片,并且可安装在柔性膜上,此外可按照带式自动键合(TAB)类型附接在显示面板110的
显示区域DA的一侧或两侧之外的非显示区域NDA上。
给数据线。如果源驱动IC 130被制造为驱动芯片,则源驱动IC 130可按照膜上芯片(COF)类
型或塑料上芯片(COP)类型安装在柔性膜140上。
140上。柔性膜140可通过各向异性导电膜附接在焊盘上,因此,焊盘可连接到柔性膜140的
线路。
路板150上。电路板150可以是印刷电路板(PCB)或柔性印刷电路板(FPCB)。
选通控制信号和用于控制源驱动IC 130的源控制信号,该源驱动IC 130可被设置为多个源
驱动IC 130。定时控制器160可将选通控制信号提供给选通驱动器120,并且可将源控制信
号提供给多个源驱动IC 130。
间的沟道区域。源极可因此连接到有源层的源极区域,而漏极可连接到有源层的漏极区域。
TFT可用另一种合适的晶体管代替。
第一电极AND的空穴和来自第二电极的电子在有机发光层中复合以发光的区域。相邻像素P
的发光区域EA可由堤分隔开,因此,堤可与不发光的非发光区域对应。
TFT的漏极可通过共用接触孔CTS暴露。N个像素P中的每一个的有机发光器件的第一电极
AND可通过共用接触孔CTS连接到对应TFT的漏极。
第一方向(例如,Y轴方向)彼此相邻的像素P可共用该共用接触孔CTS,并且如图14A所示,沿
与第一方向(例如,Y轴方向)交叉的第二方向(例如,X轴方向)彼此相邻的像素P可共用该共
用接触孔CTS。另外,如图15A所示,当N=3时,在三角形状中彼此相邻的像素P可共用该共用
接触孔CTS。
CTS来防止发光区域EA减少,由此防止因发光区域EA减少而导致的有机发光层的寿命缩短。
受通过易于被水渗透的第一基板111渗入的水的影响。缓冲层可包括交替层叠的多个无机
层。例如,缓冲层可由具有硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和SiON的一个或更多个无机层
交替层叠的多层形成。在各种实施方式中可省略缓冲层。
213。
施方式不限于此。在其它实施方式中,TFT 210可被形成为栅极212设置在有源层211下面的
底栅型或者栅极212设置在有源层211上面和有源层211下面的双栅型。
在有源层211上的光阻挡层(未示出)。
极212可连接到选通线,以使得栅极212接收在选通线上提供的信号。
绝缘层220和层间电介质230的第一接触孔CT1与有源层211接触。源极213、漏极214和数据
线可各自由包括Mo、Cr、Ti、Ni、Nd和Cu中的一种或其合金的单层或多层形成。数据线可连接
到源极213,以使得当TFT通过提供在栅极212处的选通信号导通时,可将提供在数据线上的
驱动信号提供给漏极214。
有机层形成。
阴极。
以是穿过第一平整层250、钝化层240并且至少部分地延伸到层间电介质230中的孔。因此,
层间电介质230的一部分在共用接触孔CTS中凹陷或凹进。可通过同时蚀刻第一平整层250、
钝化层240、漏极214和层间电介质230来形成共用接触孔CTS。因此,通过共用接触孔CTS,可
仅使TFT的漏极214的侧表面暴露,并且因此,由于第一电极261沿共用接触孔CTS的侧表面
延伸以与漏极214的暴露的侧表面接触,所以第一电极261可通过共用接触孔CTS连接到TFT
210的漏极214的暴露的侧表面。在图7的操作(S103)中将更详细地描述形成共用接触孔CTS
的工序。
连接。为了使第一电极261连接到TFT 210的漏极214,可将共用接触孔CTS形成为具有从入
口ENT到接触区域CNT呈锥形形状的倾斜侧壁。共用接触孔CTS的横跨入口ENT的宽度W1可比
接触区域CNT的宽度W3宽。此外,像素P的第一电极261应当在共用接触孔CTS中与和像素P相
邻的另一像素P的第一电极断开。因此,为了将第一电极261形成为在共用接触孔CTS中与相
邻像素P的第一电极断开,可使共用接触孔CTS的底部FL的宽度W2比接触区域CNT的宽度W3
宽,这有助于共用接触孔CTS中的第一电极261的断开。更具体地,共用接触孔CTS可被形成
为以倒锥形状从接触区域CNT倾斜到底部FL,或者可被形成为使得TFT 210的漏极214的下
表面可被暴露在接触区域CNT中的任何形状。例如,如图5所示,共用接触孔CTS可具有其中
设置在TFT 210的漏极214下面的层间电介质230凹陷以使TFT 210的漏极214的下表面暴露
的底切形状(undercut shape)。该底切提供用于容纳形成第一电极261的一些材料的空间,
从而使第一电极261在共用接触孔CTS中断开。
触区域CNT与底部FL之间具有倒锥形状,或者可被形成为使得TFT210的漏极214的下表面可
被暴露的任何形状,因此可将第一电极261形成为在共用接触孔CTS中断开。台阶覆盖表示
即使在形成台阶高度的部分中,通过沉积工艺沉积的层持续连接而不断开。然而,如图6所
示,由于倒锥形或底切,即使形成具有良好台阶覆盖的第一电极261的工序也将导致第一电
极261在接触区域CNT与底部FL之间断开。
成在共用接触孔CTS的底部FL上,以便与第一电极261断开。如图5所示,虚拟电极261a可在
接触孔CTS中与层间电介质230的侧表面的第一部分接触。层间电介质230的侧表面的第二
部分不与虚拟电极261a接触。第一电极261和虚拟电极261a可通过相同的工艺形成,因此可
由相同的材料形成。虚拟电极261a因此可以是形成第一电极261的材料的一部分,但是虚拟
电极261a与第一电极261断开。例如,第一电极261和虚拟电极261a可由透明金属材料或不
透明金属材料形成。透明导电材料可以是诸如铟锡氧化物(ITO)或铟锌氧化物(IZO)这样的
透明导电材料(或透明导电氧化物(TCO)),或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和Ag之类的合金
的半透射导电材料。不透明导电材料可以是Al、Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/Ti)、Cu、Al和
Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构(ITO/Al/ITO)、APC合金或者APC合金和ITO的层叠结构
(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、钯(Pd)和Cu的合金。
表面与漏极214的下表面之间的侧表面接触。另外,堤270可形成在第一平整层250上并且可
覆盖第一电极261的边缘。堤270因此划分多个发光区域EA。也就是说,堤270可限定发光区
域EA。
的电子在有机发光层中复合以发光的区域。在这种情况下,设置有堤270的区域不发光,因
此可被定义为非发光区域。
发光层262可被形成为两个或更多个层叠体的串联结构。每个层叠体可包括空穴传输层、至
少一个发光层和电子传输层。
层。n型电荷产生层可将电子注入到下部层叠体中,并且p型电荷产生层可将空穴注入到上
部层叠体中。n型电荷产生层可由掺杂有诸如锂(Li)、钠(Na)、钾(K)或铯(Cs)这样的碱金
属,或者掺杂有诸如镁(Mg)、锶(Sr)、钡(Ba)或镭(Ra)这样的碱土金属的有机层形成。p型电
荷产生层可以是通过用具有传输空穴能力的掺杂剂掺杂有机材料形成的有机层。
层262可单独设置在像素P中的每一个中,并且在这种情况下,像素P可被划分为包括发射红
光的红色发光层的红色像素、包括发射绿光的绿色发光层的绿色像素和包括发射蓝光的蓝
色发光层的蓝色像素。
(IZO)这样的透明导电材料(或TCO),或者诸如Mg、Ag或Mg和Ag的合金这样的半透射导电材
料形成。在第二电极263由半透射导电材料形成的情况下,可通过微腔来提高发光效率。封
盖层可形成在第二电极263上。
锆氮化物、钛氮化物、铪氮化物、钽氮化物、硅氧化物、铝氧化物、钛氧化物等形成。另外,封
装层280还可包括至少一个有机层,以用于防止微粒经由封装层280渗入有机发光层262和
第二电极263中。
器301和302之间并与其部分交叠,并且可与堤270对应地设置。
合层290可以是透明粘合膜、透明粘合树脂等。第二基板112可以是塑料膜、玻璃基板、封装
膜(保护膜)等。
任何形状,因此第一电极261可在共用接触孔CTS中断开。结果,在本公开的实施方式中,相
邻像素P中的每一个的有机发光器件260的第一电极261可通过共用接触孔CTS电连接到相
应TFT 210的相应漏极214,而不会彼此短路。因此,在本公开的实施方式中,N个像素可共用
用于将有机发光器件的第一电极连接到TFT的漏极的共用接触孔CTS。因此,在本公开的实
施方式中,通过共用接触孔CTS防止了发光区域的减少,由此防止由于发光区域EA的减少而
导致有机发光层的寿命被缩短。
线I‑I'截取的截面图;
公开的实施方式的制造有机发光显示装置的方法。
TFT 210和有机发光器件260不受通过易于被水渗透的第一基板111渗入的水的影响。例如,
缓冲层可由硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和/或SiON中的一个或更多个无机层交替层
叠的多层形成。缓冲层可通过使用化学气相沉积(CVD)工艺形成。
使用光刻胶图案的掩模工艺对有源金属层进行构图来形成有源层211。有源层211可由硅基
半导体材料、氧化物基半导体材料等形成。
刻胶图案的掩模工艺对第一金属层进行构图来形成栅极212。栅极212可由包括钼(Mo)、铬
(Cr)、钛(Ti)、镍(Ni)、钕(Nd)和铜(Cu)中的一种或其合金的单层或多层形成。
以及接触孔CT1、CT2中。随后,可通过使用光刻胶图案的掩模工艺对第二金属层进行构图来
形成源极213和漏极金属层214a。源极213可通过穿过栅极绝缘层220和层间电介质230的第
二接触孔CT2与有源层211的一侧接触。漏极金属层214a可通过穿过栅极绝缘层220和层间
电介质230的第一接触孔CT1与有源层211的另一侧接触。源极213和漏极金属层214a可各自
由包括Mo、Cr、Ti、Ni、Nd和Cu中的一种或其合金的单层或多层形成。另外,如图8A所示,相邻
像素P的漏极金属层214a可彼此连接。
通过使用CVD工艺形成。
有机层形成。
光刻胶图案PR1。
或凹进部。由于共用接触孔CTS通过同时蚀刻第一平整层250、钝化层240、漏极金属层214a
和层间电介质230来形成,因此可随着TFT 210的漏极214的侧表面被共用接触孔CTS暴露来
完成漏极214的图案。
漏极214,可将共用接触孔CTS形成为以锥形形状从入口ENT倾斜到接触区域CNT,具体地,入
口ENT的宽度W1可比接触区域CNT的宽度W3宽。此外,像素P的第一电极261在共用接触孔CTS
中断开,否则第一电极261将连接到与像素P相邻的另一像素P的第一电极。因此,为了使第
一电极261在共用接触孔CTS中断开,共用接触孔CTS的底部FL的宽度W2可以比接触区域CNT
的宽度W3宽。共用接触孔CTS可被形成为以倒锥形状从接触区域CNT倾斜到底部FL,或者可
被形成为使得TFT 210的漏极214的下表面可被暴露在接触区域CNT中的任何形状。例如,如
图8C所示,共用接触孔CTS可具有其中设置在TFT 210的漏极214下面的层间电介质230凹陷
以便使TFT 210的漏极214的下表面暴露的底切形状。
是蚀刻第一平整层250和钝化层240但不蚀刻诸如漏极金属层214a这样的金属层的气体。随
后,可通过利用第二蚀刻气体蚀刻所暴露的漏极金属层214a来形成漏极电极214。在这种情
况下,第二蚀刻气体可以是蚀刻诸如漏极金属层214a这样的金属层但不蚀刻层间电介质
230的气体。随后,可通过使用第三蚀刻气体蚀刻层间电介质230以形成底切和凹进或凹陷
部分来完成共用接触孔CTS。第三蚀刻气体可以是氧(O2)或者氧(O2)和CF4的混合气体,以用
于将共用接触孔CTS形成为使得TFT 210的漏极214的下表面可被暴露的形状。
行构图来形成第一电极261。
电阻可能较高。因此,为了降低第一电极261和漏极214的接触电阻,可将第一电极261的厚
度和漏极214的厚度可被选择为足够厚以提供合适的接触电阻。可基于第一电极261和漏极
214的接触电阻来选择第一电极261的厚度和漏极214的厚度,所述接触电阻可通过之前的
实验适当地确定。
210的漏极214的下表面可被暴露的任何形状,因此第一电极261可在共用接触孔CTS中断
开。台阶覆盖表示即使在形成台阶高度的部分中,通过沉积工艺沉积的层持续连接而不断
开。
是说,虚拟电极261a可以是第三金属层的形成在共用接触孔CTS的底部FL上的一部分,但是
由于倒锥或底切而与第一电极261断开。例如,第一电极261和虚拟电极261a可由透明金属
材料或不透明金属材料形成。透明导电材料可以是诸如铟锡氧化物(ITO)或铟锌氧化物
(IZO)这样的透明导电材料(或透明导电氧化物(TCO)),或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和
Ag的合金的半透射导电材料。不透明导电材料可以是Al、Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/
Ti)、Cu、Al和Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构(ITO/Al/ITO)、APC合金或者APC合金和ITO
的层叠结构(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、钯(Pd)和Cu的合金。
270可限定发光区域EA。
光层262可以是发射白光的白色发光层。
层。n型电荷产生层可将电子注入到下部层叠体中,并且p型电荷产生层可将空穴注入到上
部层叠体中。n型电荷产生层可由掺杂有诸如锂(Li)、钠(Na)、钾(K)或铯(Cs)这样的碱金
属,或者掺杂有诸如镁(Mg)、锶(Sr)、钡(Ba)或镭(Ra)这样的碱土金属的有机层形成。p型电
荷产生层可以是通过用具有传输空穴能力的掺杂剂掺杂有机材料形成的有机层。
氧化物(IZO)这样的透明导电材料(或TCO),或者诸如Mg、Ag或Mg和Ag的合金这样的半透射
导电材料形成。在第二电极263由半透射导电材料形成的情况下,可通过微腔来提高发光效
率。第二电极263可通过诸如溅射工艺的物理气相沉积(PVD)工艺来形成。可在第二电极263
上形成封盖层。
化物、锆氮化物、钛氮化物、铪氮化物、钽氮化物、硅氧化物、铝氧化物、钛氧化物等形成。
装层280。粘合层290可以是透明粘合膜、透明粘合树脂等。
中,TFT 210的漏极214的侧表面可被共用接触孔CTS暴露。结果,在本公开的实施方式中,防
止了TFT 210的漏极214的尺寸小于接触孔的尺寸,从而防止由于接触孔的底部与漏极214
之间的台阶高度而导致第一电极261在源极或漏极的侧表面上断开。因此,在本公开的实施
方式中,防止了像素不发光的导通缺陷发生。
电极的空穴和来自第二电极的电子在有机发光层中复合以发光的区域。相邻像素P的发光
区域EA可被堤分隔,并且因此堤可对应于不发光的非发光区域。
CTS暴露。N个像素P中的每一个的有机发光器件的第一电极可通过共用接触孔CTS连接到辅
助电极。也就是说,N个像素P中的每一个的有机发光器件的第一电极可通过辅助电极电连
接到TFT的漏极。
是3(N=3)。如图13B所示,即使当N=2时,沿第一方向(例如,Y轴方向)彼此相邻的像素P可
共用该共用接触孔CTS,并且如图14B所示,沿与第一方向(例如,Y轴方向)交叉的第二方向
(例如,X轴方向)彼此相邻的像素P可共用该共用接触孔CTS。另外,如图15B所示,当N=3时,
在三角形状中彼此相邻的像素P可共用该共用接触孔CTS。
CTS来防止发光区域EA减少,由此防止因发光区域EA减少而导致的有机发光层的寿命缩短。
TFT的源极。
的基本相同。因此,省略了图10中例示的第一基板111和第二基板112,TFT 210的有源层
211、栅极212、源极213和漏极214,栅极绝缘层220,层间电介质230,钝化层240,第一平整层
250,有机发光层262,第二电极263,封装层280,粘合层290,滤色器301和302以及黑底310的
详细描述。
辅助接触孔CT3连接到TFT 210的漏极214。
或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和Ag的合金的半透射导电材料。不透明导电材料可以是Al、
Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/Ti)、Cu、Al和Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构(ITO/Al/
ITO)、APC合金或者APC合金和ITO的层叠结构(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、钯(Pd)和
Cu的合金。
酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等的有机层形成。
层251并且至少部分地延伸到第一平整层250中的孔。因此,第一平整层250的一部分在共用
触点孔CTS中凹陷或凹进。共用接触孔CTS可通过同时蚀刻第二平整层251、辅助电极264和
第一平整层250来形成。因此,通过共用接触孔CTS可仅暴露辅助电极264的侧表面,因此,第
一电极261可通过共用接触孔CTS连接到辅助电极264的侧表面。将在图11的操作(S205)中
更详细地描述形成共用接触孔CTS的工序。
电极261的厚度和辅助电极264的厚度以提供合适的接触电阻。第一电极261的厚度和辅助
电极264的厚度可基于第一电极261和辅助电极264的接触电阻来选择,所述接触电阻可通
过之前的实验适当地确定。
为了使第一电极261连接到辅助电极264,可将共用接触孔CTS形成为具有从入口ENT到接触
区域CNT呈锥形形状的倾斜侧壁,具体地,入口ENT的宽度可以比接触区域CNT的宽度W3宽。
另外,像素P的第一电极261在共用接触孔CTS中与和像素P相邻的另一像素P的第一电极断
开。因此,为了使第一电极261在共用接触孔CTS中断开,可使共用接触孔CTS的底部FL的宽
度W2比接触区域CNT的宽度W3宽,更具体地,可将共用接触孔CTS形成为以倒锥形状从接触
区域CNT倾斜到底部FL,或者可被形成为使得辅助电极264的下表面可被暴露在接触区域
CNT中的任何形状。例如,如在图10中,共用接触孔CTS可具有其中设置在辅助电极264下面
的第一平整层250凹陷以便使辅助电极264的下表面被暴露的底切形状。
形成为在接触区域CNT与底部FL之间具有倒锥形状,或者可被形成为使得辅助电极264的下
表面可被暴露的任何形状,因此可使第一电极261在共用接触孔CTS中断开。
第一电极261和虚拟电极261a可由透明金属材料或不透明金属材料形成。透明导电材料可
以是诸如铟锡氧化物(ITO)或铟锌氧化物(IZO)这样的透明导电材料(或透明导电氧化物
(TCO)),或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和Ag的合金的半透射导电材料。不透明导电材料可
以是Al、Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/Ti)、Cu、Al和Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构
(ITO/Al/ITO)、APC合金或者APC合金和ITO的层叠结构(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、
钯(Pd)和Cu的合金。
状,因此辅助电极264可在共用接触孔CTS中断开。结果,在本公开的实施方式中,相邻像素P
中的每一个的有机发光器件260的第一电极261可通过共用接触孔CTS电连接到辅助电极
264。第一电极261因此经由辅助电极264连接到TFT 210的漏极214。因此,在本公开的一个
实施方式中,N个像素可共用用于将有机发光器件的第一电极连接到辅助电极264并由此连
接到TFT的漏极的共用接触孔CTS。因此,在本公开的实施方式中,通过共用接触孔CTS防止
了发光区域的减少,由此防止了由于发光区域EA的减少而导致的有机发光层的寿命缩短。
的线III‑III截取的截面图。
据本公开的实施方式的制造有机发光显示装置的方法。
用光刻胶图案的掩模工艺对第二金属层进行构图来形成源极213和漏极214。源极213可通
过穿过栅极绝缘层220和层间电介质230的第二接触孔与有源层211的一侧接触。漏极214可
通过穿过栅极绝缘层220和层间电介质230的第一接触孔与有源层211的另一侧接触。源极
213和漏极214可各自由包括Mo、Cr、Ti、Ni、Nd和Cu中的一种或其合金的单层或多层形成。
CVD工艺形成。
等的有机层形成。
二光刻胶图案PR2。
(TCO)),或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和Ag的合金的半透射导电材料。不透明导电材料可
以是Al、Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/Ti)、Cu、Al和Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构
(ITO/Al/ITO)、APC合金或者APC合金和ITO的层叠结构(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、
钯(Pd)和Cu的合金。
图案PR3。
于共用接触孔CTS通过同时刻蚀第二平整层251、辅助金属层264'和第一平整层250来形成,
因此可随着辅助电极264的侧表面被共用接触孔CTS暴露来结束辅助电极264的图案。
将共用接触孔CTS形成为以锥形形状从入口ENT倾斜到接触区域CNT,具体地,入口ENT的宽
度W1可以比接触区域CNT的宽度W3宽。此外,像素P的第一电极261在共用接触孔CTS中断开,
否则第一电极261将连接到与像素P相邻的另一像素P的第一电极。因此,为了使第一电极
261在共用接触孔CTS中断开,共用接触孔CTS的底部FL的宽度W2可以比接触区域CNT的宽度
W3宽,具体地,共用接触孔CTS可被形成为以倒锥形状从接触区域CNT倾斜到底部FL,或者可
被形成为使得辅助电极264的下表面可被暴露在接触区域CNT中的任何形状。例如,如图12E
所示,共用接触孔CTS可具有其中设置在辅助电极264下面的第一平整层250凹陷以便使辅
助电极264的下表面暴露的底切形状。
整层251但不蚀刻诸如辅助金属层264'这样的金属层的气体。随后,可通过使用第二蚀刻气
体蚀刻暴露的辅助金属层264'来形成辅助电极264。在这种情况下,第二蚀刻气体可以是蚀
刻诸如辅助金属层264'这样的金属层但不蚀刻第一平整层250的气体。随后,可通过使用第
三蚀刻气体蚀刻第一平整层250以形成底切和凹进或凹陷部分来完成共用接触孔CTS。
行构图来形成第一电极261。
能较高。因此,为了降低第一电极261和辅助电极264的接触电阻,第一电极261的厚度和辅
助电极264的厚度可被选择为足够厚以提供合适的接触电阻。第一电极261的厚度和辅助电
极264的厚度可基于第一电极261和辅助电极264的接触电阻来选择,所述接触电阻可通过
之前的实验适当地确定。
电极264的下表面可被暴露的任何形状,因此,第一电极261可在共用接触孔CTS中断开。台
阶覆盖表示即使在形成台阶高度的部分中通过沉积工艺沉积的层持续连接而不断开。
第一电极261和虚拟电极261a可由透明金属材料或不透明金属材料形成。透明导电材料可
以是诸如铟锡氧化物(ITO)或铟锌氧化物(IZO)这样的透明导电材料(或透明导电氧化物
(TCO)),或者是诸如镁(Mg)、银(Ag)或Mg和Ag的合金的半透射导电材料。不透明导电材料可
以是Al、Ag、Mo、Mo和Ti的层叠结构(Mo/Ti)、Cu、Al和Ti的层叠结构、Al和ITO的层叠结构
(ITO/Al/ITO)、APC合金或者APC合金和ITO的层叠结构(ITO/APC/ITO)。APC合金可以是Ag、
钯(Pd)和Cu的合金。
270可限定发光区域EA。
操作(S208)的详细描述。
极264的侧表面可被共用接触孔CTS暴露。结果,在本公开的实施方式中,防止了TFT 210的
漏极214的尺寸小于接触孔的尺寸,由此防止了由于接触孔的底部与漏极214之间的台阶高
度而导致第一电极261在源极和漏极的侧表面上断开。因此,在本公开的实施方式中,防止
了像素不发光的导通缺陷发生。
公开也可用具有无机发光器件的无机发光显示装置来实现。
共用接触孔电连接到TFT的漏极。因此,在本发明的实施方式中,N个像素可共用用于将有机
发光器件的第一电极连接到对应的TFT的漏极的共用接触孔。因此,在本公开的实施方式
中,通过共用接触孔防止了发光区域的减小,由此防止由于发光区域的减小而导致的有机
发光层的寿命缩短。
共用接触孔暴露。结果,在本公开的实施方式中,防止TFT的漏极的尺寸被形成为小于接触
孔的尺寸,由此防止由于接触孔的底面与漏极之间的台阶高度而导致第一电极在源极或漏
极的侧表面上断开。因此,在本公开的实施方式中,防止了像素不发光的导通缺陷发生。
所附权利要求书及其等同物的范围内即可。
具体实施方式,而应被解释为包括所有可能的实施方式以及权利要求所应授予的等同物的
全部范围。因此,权利要求不受本公开的限制。