滚轮总成及其梯级滚轮以及采用滚轮总成的基板输送方法

摘要

本发明提供一种滚轮总成、梯级滚轮及基板输送方法。用于输送基板的滚轮总成包括梯级滚轮、第一输送轮及第二输送轮。梯级滚轮包括主轮、气缸以及两边缘轮。气缸套设在主轮上，且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上，且两边缘轮分别位在气缸的相对两端。第一输送轮及第二输送轮设置在梯级滚轮的相对两侧边，基板经由梯级滚轮而从第一输送轮输送至第二输送轮。

权利要求

1.一种滚轮总成，用以输送基板，其特征在于，所述滚轮总成包括：梯级滚轮，包括：

主轮；

气缸，套设在所述主轮上，其中所述气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔，其中所述多个吹气孔及所述多个吸气孔沿所述气缸的中间区域的长度方向交替排列；

两边缘轮，设置在所述主轮上，所述两边缘轮分别位在所述气缸的相对两端；以及第一输送轮及第二输送轮，分别设置在所述梯级滚轮的相对两侧边，所述基板经由所述梯级滚轮而从所述第一输送轮输送至所述第二输送轮。

2.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述梯级滚轮还包括至少一个支撑轮，设置在所述主轮上且位于所述两边缘轮之间。

3.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述多个吹气孔及所述多个吸气孔设置在所述气缸的外周缘的弧长区域上，且所述弧长区域的角度等于或小于180度。

4.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述气缸接触所述主轮且随着所述主轮转动。

5.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，还包括：支架，其中所述气缸受到所述支架的支撑，所述气缸与所述主轮分离且不随着所述主轮转动。

6.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，还包括：连接器，连接所述气缸，其中所述连接器用于连接空气供应装置及抽气系统，以使所述多个吹气孔喷气且所述多个吸气孔吸气。

7.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述多个吹气孔与所述多个吸气孔设置在所述气缸的外周缘的弧长区域上。

8.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述多个吹气孔与所述多个吸气孔沿着所述气缸的整个外周缘设置。

9.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述气缸的长度小于所述两边缘轮之间的距离。

10.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述气缸的长度等于所述两边缘轮之间的距离。

11.根据权利要求1所述的滚轮总成，其特征在于，所述气缸到所述主轮间的最大高度小于所述两边缘轮到所述主轮间的最大高度。

12.一种基板输送方法，以滚轮总成输送基板，其特征在于，所述基板输送方法包括：以梯级滚轮径向输送所述基板；

从套设于所述梯级滚轮的主轮上的气缸的多个吹气孔喷气至所述基板与所述主轮之间，其中所述多个吹气孔及所述多个吸气孔沿所述气缸的中间区域的长度方向交替排列；

从套设于所述主轮上的所述气缸的多个吸气孔而在所述基板与所述主轮之间吸气；以及以两边缘轮支撑所述基板的边缘处。

13.根据权利要求12所述的基板输送方法，其特征在于，当所述基板被输送时，所述两边缘轮同时转动。

14.根据权利要求13所述的基板输送方法，其特征在于，当所述基板被输送时，所述气缸及所述主轮为固定状态。

15.根据权利要求13所述的基板输送方法，其特征在于，当所述基板被输送时，所述主轮随着所述两边缘轮一起转动。

16.根据权利要求13所述的基板输送方法，其特征在于，当所述基板被输送时，所述气缸为固定状态或转动。

17.根据权利要求16所述的基板输送方法，其特征在于，当所述气缸转动时，所述多个吹气孔面向所述基板以喷气，所述多个吸气孔面向所述基板以吸气。

18.一种梯级滚轮，用以输送基板，其特征在于，所述梯级滚轮包括：主轮；

气缸，套设在所述主轮上，其中所述气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔，其中所述多个吹气孔及所述多个吸气孔沿所述气缸的长度方向交替排列；以及两边缘轮，设置在所述主轮上，所述两边缘轮分别位于所述气缸的相对两端。

19.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，还包括：至少一个支撑轮，设置在所述主轮上且位于所述两边缘轮之间。

20.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述多个吹气孔及所述多个吸气孔设置在所述气缸的外周缘的弧长区域上，且所述弧长区域的角度等于或小于180度。

21.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述气缸接触所述主轮且随着所述主轮转动。

22.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，还包括：支架，其中所述气缸受到所述支架的支撑，所述气缸与所述主轮分离且不随着所述主轮转动。

23.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述多个吹气孔与所述多个吸气孔设置在所述气缸的外周缘的弧长区域上。

24.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述多个吹气孔与所述多个吸气孔沿着所述气缸的整个外周缘设置。

25.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述气缸的长度小于所述两边缘轮之间的距离。

26.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述气缸的长度等于所述两边缘轮之间的距离。

27.根据权利要求18所述的梯级滚轮，其特征在于，所述气缸到所述主轮间的最大高度小于所述两边缘轮到所述主轮间的最大高度。

28.一种梯级滚轮，用以输送基板，其特征在于，所述梯级滚轮包括：主轮，包括多个吹气孔及多个吸气孔，排列于所述主轮上，其中所述多个吹气孔及所述多个吸气孔沿所述主轮的中间区域的长度方向交替排列；以及两边缘轮，位在所述主轮的相对两端，其中所述多个吹气孔及所述多个吸气孔分布在所述两边缘轮之间。

29.根据权利要求28所述的梯级滚轮，其特征在于，还包括：至少一个支撑轮，设置在所述主轮上且位于所述两边缘轮之间。

30.根据权利要求28所述的梯级滚轮，其特征在于，所述多个吹气孔及所述多个吸气孔设置在所述主轮的外周缘的弧长区域上，且所述弧长区域的角度等于或小于180度。

31.一种梯级滚轮，用以输送基板，其特征在于，所述梯级滚轮包括：主轮，包括多个吹气孔或多个吸气孔，排列于所述主轮上，所述多个吹气孔或所述多个吸气孔设置在所述主轮的外周缘的弧长区域上，且所述弧长区域的角度等于或小于180度，其中所述多个吹气孔或所述多个吸气孔沿所述主轮的中间区域的长度方向排列；以及两边缘轮，位在所述主轮的相对两端，其中所述多个吹气孔或所述多个吸气孔分布在所述两边缘轮之间。

32.根据权利要求31所述的梯级滚轮，其特征在于，还包括：至少一个支撑轮，设置在所述主轮上且位于所述两边缘轮之间。

说明书

滚轮总成及其梯级滚轮以及采用滚轮总成的基板输送方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种滚轮总成(roller assembly)、梯级滚轮(step roller)以及采用滚轮总成的梯级滚轮的基板输送方法。

背景技术

[0002] 在现有滚轮总成的卷对卷(roll to roll)制造过程中，当基板或薄膜在不同滚轮间输送时，基板或薄膜上可能形成有图案。为防止基板或薄膜上的图案在输送过程中遭到破坏，现今采取的手段是将基板或薄膜通过一种梯级滚轮进行输送，以避免图案直接碰触滚轮。通过梯级滚轮而使图案不接触滚轮，基板或薄膜上的图案于输送过程中不会被破坏。

[0003] 然而，因图案形成在基板或薄膜的中间区域，现有的梯级滚轮并未支撑所述中间区域以避免造成破坏。在基板或薄膜经由梯级滚轮输送的过程中，由弯力矩所产生的应力作用在基板或薄膜上。因基板或薄膜的中间区域未受到支撑，在应力的作用下可能使基板或薄膜产生皱折或遭到破坏。如基板或薄膜遭到破坏，所述基板或薄膜将无法正常地输送。另外，基板或薄膜上的图案也可能遭到破坏。

发明内容

[0004] 本发明一实施例的滚轮总成用于输送基板。此滚轮总成包括梯级滚轮、第一输送轮以及一第二输送。梯级滚轮包括主轮、气缸及两边缘轮。气缸套设在主轮上，且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上，且两边缘轮分别位在气缸的相对两端。第一输送轮及第二输送轮设置在梯级滚轮的相对两侧边，基板经由梯级滚轮而从第一输送轮输送至第二输送轮。

[0005] 本发明一实施例的梯级滚轮用于输送基板。此梯级滚轮包括主轮、气缸及两边缘轮。气缸套设在主轮上，且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上，且两边缘轮分别位在气缸的相对两端。

[0006] 本发明一实施例的梯级滚轮用于输送基板。此梯级滚轮包括主轮及两边缘轮。多个吹气孔及多个吸气孔排列在主轮上。两边缘轮设置在主轮上，且两边缘轮位在气缸的相对两端。

[0007] 本发明提供一实施例的采用滚轮总成的基板输送方法。基板经由梯级滚轮径向地输送。空气经由套设于梯级滚轮的主轮上的气缸的多个吹气孔而喷气至主轮与基板之间。位在基板及主轮间的空气被套设在主轮上的气缸的多个吸气孔抽离。基板的边缘处受到两边缘轮的支撑。

[0008] 为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

[0009] 图1是依照本发明一实施例的滚轮总成的立体图；

[0010] 图2是依照本发明图1的滚轮总成的侧视图；

[0011] 图3是依照本发明图1的梯级滚轮的立体图；

[0012] 图4是依照本发明图3的梯级滚轮的局部放大图；

[0013] 图5是依照本发明图3的梯级滚轮的仰视图；

[0014] 图6是依照本发明图3的气缸的侧视图；

[0015] 图7A是依照本发明图3一实施例的梯级滚轮的前视图；

[0016] 图7B是依照本发明图3另一实施例的梯级滚轮的前视图；

[0017] 图8是依照本发明另一实施例的梯级滚轮的立体图；

[0018] 图9是依照本发明其它实施例的梯级滚轮的立体图；

[0019] 图10是依照本发明图9的梯级滚轮的局部放大图；

[0020] 图11是依照本发明再一实施例的梯级滚轮的立体图；

[0021] 图12是依照本发明再一实施例的梯级滚轮的立体图；

[0022] 图13是依照本发明一实施例的采用滚轮总成的基板输送方法的方块流程图；

[0023] 图14是依照本发明另一实施例的梯级滚轮的立体图；

[0024] 图15是依照本发明其它实施例的梯级滚轮的立体图。

[0025] 附图标记说明：

[0026] 100：滚轮总成；

[0027] 110：第一输送轮；

[0028] 120：第二输送轮；

[0029] 130、130a、230、330、430、430a、430b：梯级滚轮；

[0030] 132：边缘轮；

[0031] 134、234：主轮；

[0032] 134a：轴支撑件；

[0033] 136、336：气缸；

[0034] 136a、336a、234a：吹气孔；

[0035] 136b、336b、234b：吸气孔；

[0036] 137：支撑轮；

[0037] 138：弧长；

[0038] 138a：角度；

[0039] 140：基板；

[0040] 142：图案；

[0041] 140a：面；

[0042] 150：支架；

[0043] 152：连接部；

[0044] 152a、152a1、152a2、152a3：供给孔；

[0045] 152b、152b1、152b2、152b3、152b4：抽取孔；

[0046] 160：抽气系统；

[0047] 170：空气供应装置。

具体实施方式

[0048] 图1是本发明一实施例的滚轮总成的立体图。图2是图1的滚轮总成的侧视图。在本实施例中，滚轮总成100包括第一输送轮110、第二输送轮120及梯级滚轮130。滚轮总成100适用于卷对卷制程。第一输送轮110及第二输送轮120分别设置在梯级滚轮130的相对两侧。具有图案142的基板140经由梯级滚轮130从第一输送轮110输送至第二输送轮120。在其它实施例中，被输送的基板140不须包括图案142。本发明的基板140或卷筒可为任何适用于卷对卷制程的材质，如纸张、玻璃、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰亚胺(PI)或聚氨酯(PU)等。图案142为依据用户需求而形成在基板140上的任何图案。图案142的材质可为半导体材料、金属、有机材料或是任何适当的材料。图案142可为印刷或沉积在基板140上，然而，本发明未加以限制，且图案142可能以任何适当的方法形成在基板140上。在本实施例中，已显示出多个图案142。然而，本发明未加以限制。图案142的数量可依据使用者的需求而决定及调整。

[0049] 在本实施例中，当基板140从第一输送轮110输送至第二输送轮120时，具有图案142的一面140a背向第一输送轮110及第二输送轮120。此说明，面140a上的图案142未接触第一输送轮110及第二输送轮120。因此，当基板140在第一输送轮110及第二输送轮120上滚动时，图案142不会遭受损坏。另外，具有图案142的面140a面向梯级滚轮130。具体参阅图1所示，梯级滚轮130包括两边缘轮132及主轮134。两边缘轮132设置在主轮134上。当基板140通过梯级滚轮130输送时，基板140的具有图案142的面140a与两边缘轮132接触，因两边缘轮132分别支撑基板140的两侧边，使图案142未接触两边缘轮132或主轮134。如此，基板140在梯级滚轮130上输送时图案142不会遭受损坏。当基板140在梯级滚轮130上输送时，两边缘轮132与主轮134同时转动。两边缘轮132固设在主轮134上，两边缘轮132通过焊接、黏着、紧扣或其它合适的方法固设在主轮134上，以使两边缘轮132与主轮134同时转动。在其他实施例中，两边缘轮132与主轮134可一体成形。

[0050] 图3为图1的梯级滚轮的立体图。图4为图3的梯级滚轮的局部放大图。如图3及图4所示，在本实施例中，梯级滚轮130包括两边缘轮132、主轮134及气缸136。气缸136套设在主轮134上，且两边缘轮132位在气缸136的相对两端。气缸136包括多个吹气孔136a及多个吸气孔136b。另外，气缸136大约位在主轮134的中间区域，且气缸136的长度小于两边缘轮132间的距离。此说明，气缸136未完全覆盖位在两边缘轮132间的主轮134区段。

[0051] 本实施例中，空气由多个吹气孔136a吹出且被多个吸气孔136b抽取。参阅图4所示，多个吹气孔136a及多个吸气孔136b分别在交替的数个行上排列，数个行为沿着气缸136的圆周方向。此说明，多个吹气孔136b及多个吸气孔136a并非位在气缸136沿圆周方向的同一行中。沿气缸136的长度方向(y方向)，多个吹气孔136a及多个吸气孔136b交替排列。当基板140于梯级滚轮130上输送时，多个吹气孔136a及多个吸气孔136b面向基板140。由于气缸136邻近主轮134的中间区域，因此空气经由多个吹气孔136a吹出，以提供基板140额外且邻近中间区域的支撑点。此说明，从多个吹气孔136a吹出的空气推动基板140朝相反于基板
140上的弯力矩的方向移动(弯力矩的方向如图1至图3的BM所显示)。如此，当基板140在梯级滚轮130上输送时，可减轻作用在基板140的应力，且能避免基板140产生皱折或损坏。

[0052] 图5为图3的梯级滚轮的仰视图。如图3及图5所示，支架150进一步连接梯级滚轮130以支撑气缸136。支架150连接主轮134的轴支撑件134a的两端，且支架150沿着主轮134的长度方向延伸。轴支撑件134a未随着边缘轮132与主轮134转动。因此，支架150未转动且为固定状态，以便支撑气缸136。由于气缸136受到支架150的支撑及固定，气缸136未固接在主轮134上而未随着主轮134转动。换句话说，气缸136与主轮134分离且不随着主轮134转动。因此，多个吹气孔136a及多个吸气孔136b不会移动且皆朝向在梯级滚轮130上输送的基板140。然而，本发明未加以限制。在其他实施例中，支架150连接至滚轮总成100的任何固定部分。换句话说，支架150可连接至滚轮总成100中的第一输送轮110、第二输送轮120、梯级滚轮130或其他任何适合连接支架150的组件，以固定支架150。

[0053] 进一步参考图5，在本实施中，支架150具有连接部152。连接部152用以连接空气供应装置170(显示于图7A与图7B)及抽气系统160(显示于图7A与图7B)。空气供应装置170及抽气系统160可为任意本技术领域中已知的符合用户需求的机器或系统。也就是，空气供应装置170供应气体(吹气)，抽气系统160吸气。具体而言，连接部152包括多个供给孔152a(如供给孔152a1,供给孔152a2,供给孔152a3)及多个抽取孔152b(如抽取孔152b1,抽取孔152b2,抽取孔152b3,抽取孔152b4)。在本实施例中，显示有三个供给孔152a及四个抽取孔
152b。然而，供给孔152a及抽取孔152b的数量可依据使用者的需求而调整。多个供给孔152a通过任意合适的方法连接空气供应装置170。例如，多个供给孔152a通过气阀、管路、输送管或是上述组件的组合而连接空气供应装置170。同样地，多个抽取孔152b通过气阀、管路、输送管或是上述组件的组合而连接抽气系统160。多个供给孔152a连接多个吹气孔136a，如此使空气供给装置的空气流入多个供给孔152a并由多个吹气孔136a流出。此外，多个抽取孔
152b连接多个吸气孔136b，如此使空气从多个吸气孔136b被吸入并经由多个抽取孔152b进入抽气系统160中。

[0054] 在本实施例中，从吹气孔136a吹出的空气的气压及流速受到空气供应装置170搭配抽气系统160的控制。吸入吸气孔136b的空气流速受到抽气系统160搭配空气供应装置170的控制。此说明，空气供应装置170与抽气系统160被控制，以使多个吹气孔136a吹出足以支撑基板140的空气量，以避免基板140因弯力矩生成的应力而产生皱折。另外，控制多个吹气孔136a所吹出的空气压力，因此吹气不会损坏基板140上的图案142。在本实施例中，控制从多个吸气孔136b吸入的空气流速，使基板140于输送过程仍受到足够空气的支撑但不会丧失输送过程的稳定性。具体而言，基板140接触两边缘轮132且于输送过程中覆盖梯级滚轮130约一半的区域。两边缘轮132间的空间被基板140覆盖。因此，如果空气持续由多个吹气孔136a吹出，而吹出的空气没有明确的出口，则基板140会产生悬浮现象且在某些情形下将失去基板140的输送稳定性。当失去输送稳定性，基板140于输送过程中可能非预期地改变位置或者难以控制。因此，当空气由多个吹气孔136a吹出时，多个吸气孔136b吸取空气。如此，空气有地方可流出，使整个循环系统拥有较佳的稳定性。通过控制空气进出的流速，使基板140在梯级滚轮130的输送与支撑保有稳定性。

[0055] 图6为图3的气缸的侧视图。参考图6所示，图6显示气缸136的弧长138及此弧长138的角度138a。具体而言，多个吹气孔136a与多个吸气孔136b沿着气缸136的外周缘的弧长138区域设置。在本实施例中，弧长区域138的角度138a实质上等于或小于180度。具体而言，弧长区域138的角度138a例如等于160度。然而，本发明未加以限制，弧长区域138的角度
138a可依据使用者的需求而调整。

[0056] 图7A是依照本发明图3一实施例的梯级滚轮的前视图。如图7A所示，气缸136到主轮134间的最大高度H1小于两边缘轮132到主轮134间的最大高度H2。此说明，两边缘轮132的位置高于气缸136的位置。如此，当基板140于梯级滚轮130上输送时，两边缘轮132支撑基板140。由于两边缘轮132高于气缸136，基板140不会碰触气缸136。此说明，当基板140在梯级滚轮130上输送时，气缸136与基板140之间具有间隙。因为基板140未碰触气缸136，基板140上的图案142也未碰触气缸136，此能避免基板140的图案142于梯级滚轮130上输送时遭到损坏。

[0057] 进一步而言，依据图7A所示的实施例，供给孔152a1、供给孔152a2、供给孔152a3连接空气供应装置170。具体而言，供给孔152a1、供给孔152a3连接位于空气供应装置170上的同一管路，因此供给孔152a1、供给孔152a3具有相同的空气供给流速。如此，排列的吹气孔136a分别连接具有相同供给流速的供给孔152a1、供给孔152a3。供给孔152a2通过分隔于供给孔152a1、供给孔152a3的不同管路而连接空气供应装置170。如此，供给孔152a2的空气供给流速独立于供给孔152a1、供给孔153a3的空气供给流速。如此，连接供给孔152a2的吹气孔136a的吹气流速独立于连接供给孔152a1、供给孔152a3的吹气孔136a的吹气流速。即使，供给孔152a2与供给孔152a1、供给孔152a3为相互独立地连接空气供应装置170，供给孔
152a2的空气供给流速可为相同或不同于供给孔152a1、供给孔152a3的空气供给流速。

[0058] 此外，依据本实施例，抽取孔152b1、抽取孔152b2、抽取孔152b3、抽取孔152b4连接抽气系统160。具体而言，抽取孔152b1、抽取孔152b4连接位于抽气系统160上的同一管路，因此抽取孔152b1、抽取孔152b4具有相同空气抽取流速。如此，排列的吸气孔136b分别连接具有相同抽取流速的抽取孔152b1、抽取孔152b4。抽取孔抽取孔152b2、抽取孔152b3连接位于抽气系统160上的同一管路，因此抽取孔152b2、抽取孔152b3具有相同空气抽取流速。如此，排列的吸气孔136b分别连接具有相同抽取流速的抽取孔152b2、抽取孔152b3。连接抽取孔152b2、抽取孔152b3至抽气系统160的管路独立于连接抽取孔152b1、抽取孔152b4至抽气系统160的管路。如此，抽取孔152b1、抽取孔152b4的空气抽取流速独立于抽取孔152b2、抽取孔152b3的空气抽取流速。即使，抽取孔152b2、抽取孔152b3与抽取孔152b1、抽取孔152b为相互独立地连接抽气系统160，抽取孔152b2、抽取孔152b3的空气抽取流速可为相同或不同于抽取孔152b1、抽取孔152b4的空气抽取流速。

[0059] 图7B是依照本发明图3另一实施例的梯级滚轮的前视图。图7B所示的实施例类似于图7A的实施例，且同样的描述不再重复。本实施例的不同处在于，抽取孔152b1、抽取孔152b2、抽取孔152b3、抽取孔152b4通过同一管路连接抽气系统160，因此抽取孔152b1、抽取孔152b2、抽取孔152b3、抽取孔152b4皆具有相同的空气抽取流速。此外，供给孔152a1、供给孔152a2、供给孔152a3通过同一管路连接空气供应装置170，因此供给孔152a1、供给孔
152a2、供给孔152a3皆具有相同的空气供给流速。然而，本发明的连接手段并非限制于图7A与图7B所示。各个抽取孔152b与各个供给孔152a可通过任何适当的连接手段而连接至空气供应装置170与抽气系筒160。

[0060] 图8为本发明另一实施例的梯级滚轮的立体图。参考图8所示，图8所示的本实施例类似于图3的实施例。在本实施例中，相近的组件将使用相同的附图标记且同样的描述不再重复。另外，图8中的梯级滚轮230可适用于图1的滚轮总成100中。本实施例的不同处在于梯级滚轮230包括多个气缸136，多个气缸136遍布设置在两边缘轮132间的整段长度区域上。此说明，基板140位于两边缘轮132间的长度区域进一步受到支撑。在本实施例中，五个气缸
136设置在两边缘轮132之间。然而，本发明并未加以限制。根据主轮134的长度以及两边缘轮132间的距离，可调整设置在两边缘轮132间的气缸136的数量。在其它实施例中，气缸136未布满两边缘轮132间的整段长度区域上，仅覆盖两边缘轮132间的部分的长度区域，本发明并未加以限制。参阅图8所示，本实施例的支架150的连接部152(未示出)的数量与气缸
136的数量对应。

[0061] 图9为本发明其它实施例的梯级滚轮的立体图。图10是图9的梯级滚轮的局部放大图。参考图9及图10所示，图9及图10显示的本实施例类似于图3所显示的实施例。在本实施例中，相近的组件将使用相同的附图标记且同样的描述不再重复。另外，图9中的梯级滚轮330可适用于图1的滚轮总成100中。本实施例的不同处在于梯级滚轮330包括气缸336，气缸
336的长度实质上等同于两边缘轮132间的距离。在本实施例中，气缸336固设在主轮134上，因此气缸336随着主轮134及边缘轮132一起转动。此说明气缸336与主轮134接触且随着主轮134转动。气缸336通过焊接、黏着、紧扣或任意适当方法固定在主轮134上，本发明未加以限制。

[0062] 进一步而言，参阅图9及图10所示。多个吹气孔336a及多个吸气孔336b沿气缸336的圆周方向排列成数个排。多个吹气孔336a与多个吸气孔336b为交替排列在每一排中。进一步而言，多个吹气孔336a与多个吸气孔336b沿着且环绕气缸336的整个外周缘设置。此说明，多个吹气孔336a与多个吸气孔336b完全环绕气缸336。当气缸336转动时，只有面向基板140的多个吹气孔336a吹气，且只有面向基板140的多个吸气孔336b吸气。多个吹气孔336a与多个吸气孔336b以任意的适当方法分别连接空气供应装置(未示出)及抽气系统(未示出)。此说明，控制空气供应装置及抽气系统，以使只有面向基板140的多个吹气孔336a以吹气，且只有面向基板140的多个吸气孔336b吸气，且空气供应装置及抽气系统为手动或是通过现有技术中任一适当的方法操控。在其它实施例中，多个吹气孔336a及多个吸气孔336b沿着气缸336的外周缘的弧长区域设置，此类似于图6所显示的实施例的弧长138区域。在此例中，气缸336仍随着主轮134一起转动，且多个吹气孔336a及多个吸气孔336b仅在转动至面向基板140时朝基板140吹气及吸气。在其它实施例中，吹气孔336a的尺寸实质上可等于、大于或小于吸气孔336b的尺寸。本发明并未加以限制吹气孔336a与吸气孔336的尺寸。

[0063] 在图3及图8所示的不同实施例中，两实施例可以相同的方式使梯级滚轮连接而不需要使用支架150，因此两实施例中的一个气缸136或多个气缸136随着主轮134一起转动。进一步而言，图3或图8的实施例中，多个吹气孔与多个吸气孔也可沿着气缸的整个外周缘设置。在其它实施例中，当基板于梯级滚轮上输送，主轮与气缸为固定不动而多个边缘轮产生转动。此说明，多个边缘轮为独自连接分离的转动装置(未示出)，因此多个边缘轮产生转动以输送基板。分离的转动装置可为转动轴、转轮、连接器或任何现有技术中能驱动多个边缘轮转动的组件。由于只有多个边缘轮产生转动，而主轮及气缸未转动。因此气缸可通过主轮连接空气供给装置或抽气系统，以便控制多个吹气孔及多个吸气孔。然而，本发明并未加以限制，连接空气供给装置或抽气系统的架构可依据用户的需求而调整。

[0064] 在前述的数个实施例中，当基板140于梯级滚轮130、梯级滚轮230、梯级滚轮330上输送时，作用于基板140上的弯力矩所产生的应力在基板140对应于气缸136、气缸336的顶部处最大。此说明，气缸136、气缸336的顶部为最靠近基板140的部位。由气缸136、气缸336吹出以抵消弯力矩的空气的压力理想上应该在气缸136、气缸136的顶部最大。然而，本发明未加以限制，而从气缸136、气缸336中吹出的空气压力的分布可依据使用者的需求调整。根据空气供给装置及抽气系统连接气缸的方式与位置而定，在气缸136、气缸136的顶部不必要具有最大的空气压力值。

[0065] 图11为本发明另一实施例的梯级滚轮的立体图。参考图11所示，图11显示的实施例类似于图3所显示的实施例。在本实施例中，相近的组件将使用相同的附图标记且同样的描述不再重复。另外，图11中的梯级滚轮430可适用于图1的滚轮总成100中。本实施例的不同处在于梯级滚轮330不包括任何气缸。梯级滚轮430包括主轮234及边缘轮132。图11的主轮234包括多个吹气孔234a及多个吸气孔234b。参考图11，多个吹气孔234a及多个吸气孔234b分别在交替的数个行上排列，数个行为沿着主轮234的圆周方向。此安排类似于图4的多个吹气孔136a及多个吸气孔136b。在图11的实施例中，多个吹气孔234a及多个吸气孔
234b邻近主轮234的中间区域而配置，且只涵盖主轮234的长度方向的一部分。在一些其他实施例中，多个吹气孔234a及多个吸气孔234b遍布设置在两边缘轮132间的整段长度区域上。本发明并未加以限制。

[0066] 在图11中，多个吹气孔234a及多个吸气孔234b沿着主轮234的外周缘的弧长区域设置，类似图6的实施例中的弧长138区域。当基板140在梯级滚轮430上输送时，主轮234固定，边缘轮132转动。换句话说，边缘轮132为独自连接分离的转动装置(未示出)，边缘轮132产生转动以输送基板140。分离的转动装置可为转动轴、转轮、连接器或任何现有技术中能驱动边缘轮132转动的组件。由于只有边缘轮132产生转动，主轮234未转动。因此多个吹气孔234a及多个吸气孔234b经由主轮234连接空气供给装置或抽气系统以便控制。

[0067] 图12是依照本发明再一实施例的梯级滚轮的立体图。参考图11及图12所示，图12绘示的梯级滚轮430a类似于图11绘示的梯级滚轮430。不同处在于图12所显示的梯级滚轮430a的主轮234包括多个吹气孔234a及多个吸气孔234b，且排列在主轮234上。多个吹气孔
234a及多个吸气孔234b局部地分布在主轮234的外周缘上。举例而言，多个吹气孔234a及多个吸气孔234b设置在主轮234的外周缘的弧长区域AL上，且弧长区域AL的角度实质上等于或小于180度。

[0068] 在其它替代实施例中，梯级滚轮430a的主轮234可能仅包括多个吹气孔234a或多个吸气孔234b，排列在主轮234上。多个吹气孔234a或多个吸气孔234b设置在主轮234的外周缘的弧长区域AL上，且弧长区域AL的角度实质上等于或小于180度。

[0069] 图13是依照本发明一实施例的采用滚轮总成的基板输送方法的方块流程图。于步骤S102中，基板140在梯级滚轮130上径向输送。具体而言，基板140经由梯级滚轮130从第一输送轮110径向输送至第二输送轮120。于步骤S104中，空气从套设在主轮134上的气缸136的多个吹气孔136a吹至基板140及梯级滚轮130的主轮134之间。于步骤S106中，位于基板140及梯级滚轮130的主轮134之间的空气被吸入套设在主轮134上的气缸136的多个吸气孔
136b。于步骤S108中，基板140的边缘受到两边缘轮132的支撑。在以梯级滚轮130输送基板
140的方法中，多个边缘轮132与主轮134在基板140被输送时转动。当基板140被输送时，气缸136被固定，而主轮134转动。此说明，当基板140被输送时，主轮134随着多个边缘轮132一起转动。进一步而言，步骤S102、步骤S104、步骤S106、步骤S108可于基板140通过梯级滚轮
130输送的期间同时执行。在前述的其它实施例中，当基板被输送时，气缸及主轮为固定状态，且只有多个边缘轮产生转动。进一步而言，在其它实施例中，当基板被输送时，气缸随着主轮一起转动。此说明，类似于图9所示的实施例，当气缸转动时，只有面向基板的多个吹气孔吹气，且只有面向基板的多个吸气孔吸气。

[0070] 图14是依照本发明另一实施例的梯级滚轮的立体图。参考图3及图14所示，图14绘示的梯级滚轮130a类似于图3绘示的梯级滚轮130。不同处在于图14揭露的梯级滚轮130a还包括至少一个支撑轮137。至少一个支撑轮137通过例如是焊接、黏着、夹固或其它合适的方法而固设于主轮134上，因此至少一个支撑轮137随着主轮134一起转动。

[0071] 基板140(如图1所示)接触至少一个支撑轮137，且于输送过程中覆盖梯级滚轮130a约一半的区域。基板140上的图案142(如图1所示)不与至少一个支撑轮137相接触。在一些实施例中，两支撑轮137设置在主轮134上且各支撑轮137可排列在多个吹气孔234a(或多个吸气孔234b)与其中一边缘轮132之间。

[0072] 图15是依照本发明其它实施例的梯级滚轮的立体图。参考图11及图15所示，图15绘示的梯级滚轮430b类似于图11绘示的梯级滚轮430。不同处在于图15显示的梯级滚轮430b还包括至少一个支撑轮137。至少一个支撑轮137通过例如是焊接、黏着、夹固或其它合适的方法而固设于主轮234。再者，基板140(如图1所示)接触至少一个支撑轮137，且于输送过程中覆盖梯级滚轮130a约一半的区域。基板140上的图案142(如图1所示)不与至少一个支撑轮137相接触。在一些实施例中，两支撑轮137设置在主轮234上且各支撑轮137可排列在多个吹气孔234a(或多个吸气孔234b)与其中一边缘轮132之间。

[0073] 最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。