掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统

摘要

本发明公开了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，属于显示技术领域。该掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，掩膜版放置在卡夹的内部，该掩膜版通过夹具固定在卡夹的内壁上；该固定组件设置在卡夹的两侧，用于卡接卡夹，固定组件与控制组件连接，控制组件用于带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，该气流是对掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。本发明解决了相关技术中对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒总会附着在掩膜版上而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低的问题，达到了提高OLED显示屏的质量，提高产品良率的效果。本发明用于对掩膜版进行抽真空。

权利要求

1.一种掩膜版承载设备，其特征在于，所述掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，掩膜版放置在所述卡夹的内部，所述掩膜版通过所述夹具固定在所述卡夹的内壁上，所述夹具穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触；

所述固定组件设置在所述卡夹的两侧，用于卡接所述卡夹，所述固定组件与所述控制组件连接，所述控制组件用于根据气流的流向带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与所述气流的流向平行，所述气流是对所述掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。

2.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述控制组件包括承载轴和转动部件，所述承载轴的一端设置在所述固定组件上，另一端设置在所述转动部件上，所述转动部件用于控制所述承载轴带动所述固定组件转动，以使所述卡夹中的掩膜版的版面与所述气流的流向平行。

3.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述控制组件还用于控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

4.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述夹具包括两个卡接件，所述两个卡接件分别设置在所述卡夹的两端，每个所述卡接件穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触。

5.根据权利要求4所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述卡夹的内壁上设置有多对台肩，每对所述台肩上放置一个掩膜版，多个掩膜版的版面相互平行，每个所述卡接件包括卡接杆和垂直设置在所述卡接杆上的多个相互平行的凸起结构，每个所述凸起结构的长度方向与任一掩膜版的版面平行，每个所述凸起结构穿过所述卡夹的侧壁，凸起结构与台肩交错排列。

6.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述卡夹的一侧设置有第一凸起结构，另一侧设置有第一凹陷结构，所述固定组件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设置有与所述第一凸起结构相卡合的第二凹陷结构，所述第二固定件设置有与所述第一凹陷结构相卡合的第二凸起结构。

7.一种抽真空方法，其特征在于，所述方法包括：

将掩膜版放置在卡夹的内部；

将固定组件设置在所述卡夹的两侧，并采用夹具将所述掩膜版固定在所述卡夹的内壁上，所述夹具穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触；

将所述固定组件与控制组件连接，并确定真空泵的气流的流向；

通过所述控制组件根据所述气流的流向，带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与所述气流的流向平行；

在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业之后，所述方法还包括：当所述中转腔室的真空度达到预设真空度时，通过控制组件带动所述固定组件转动，使得所述掩膜版恢复至初始位置。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在所述将固定组件设置在所述卡夹的两侧之后，所述方法还包括：通过所述控制组件控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

10.一种抽真空系统，其特征在于，包括：真空泵和权利要求1至6任一所述的掩膜版承载设备，所述真空泵的入口与所述掩膜版承载设备相对设置，用于对所述掩膜版承载设备中的掩膜版进行抽真空作业。

说明书

掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统。

背景技术

[0002] 目前，真空蒸镀工艺是制作有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示屏的重要工艺之一，真空蒸镀工艺是利用掩膜版通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需的图案。而在进行真空蒸镀工艺之前，常常需要对掩膜版进行抽真空作业。

[0003] 相关技术中在对掩膜版进行抽真空作业时，先将掩膜版放置在卡夹的内部，然后将固定组件设置在卡夹的两侧，用于固定卡夹，之后，在中转腔室中采用真空泵对掩膜版抽真空，掩膜版的版面与抽真空时产生的气流的流向垂直。

[0004] 通常中转腔室中会存在较多微小的颗粒，由于掩膜版的版面与气流方向垂直，且掩膜版本身设置有较多的小孔，所以当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒总会附着在掩膜版上，后续在进行真空蒸镀工艺时，附着在掩膜版上的颗粒会落在待蒸镀基板上，从而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低。

发明内容

[0005] 本发明实施例提供了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，可以解决相关技术中对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒总会附着在掩膜版上而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低的问题。所述技术方案如下：

[0006] 第一方面，提供了一种掩膜版承载设备，所述掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，

[0007] 掩膜版放置在所述卡夹的内部，所述掩膜版通过所述夹具固定在所述卡夹的内壁上；

[0008] 所述固定组件设置在所述卡夹的两侧，用于卡接所述卡夹，所述固定组件与所述控制组件连接，所述控制组件用于带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，所述气流是对所述掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。

[0009] 可选的，所述控制组件包括承载轴和转动部件，

[0010] 所述承载轴的一端设置在所述固定组件上，另一端设置在所述转动部件上，所述转动部件用于控制所述承载轴带动所述固定组件转动，以使所述卡夹中的掩膜版的版面与所述气流的流向平行。

[0011] 可选的，所述控制组件还用于控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

[0012] 可选的，所述夹具包括两个卡接件，所述两个卡接件分别设置在所述卡夹的两端，每个所述卡接件穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触。

[0013] 可选的，所述卡夹的内壁上设置有多对台肩，每对所述台肩上放置一个掩膜版，多个掩膜版的版面相互平行，

[0014] 每个所述卡接件包括卡接杆和垂直设置在所述卡接杆上的多个相互平行的凸起结构，每个所述凸起结构的长度方向与任一掩膜版的版面平行，每个所述凸起结构穿过所述卡夹的侧壁，凸起结构与台肩交错排列。

[0015] 可选的，所述卡夹的一侧设置有第一凸起结构，另一侧设置有第一凹陷结构，[0016] 所述固定组件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设置有与所述第一凸起结构相卡合的第二凹陷结构，所述第二固定件设置有与所述第一凹陷结构相卡合的第二凸起结构。

[0017] 第二方面，提供了一种抽真空方法，所述方法包括：

[0018] 将掩膜版放置在卡夹的内部；

[0019] 将固定组件设置在所述卡夹的两侧，并采用夹具将所述掩膜版固定在所述卡夹的内壁上；

[0020] 将所述固定组件与控制组件连接，并确定真空泵的气流的流向；

[0021] 通过所述控制组件带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与所述气流的流向平行；

[0022] 在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业。

[0023] 可选的，在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业之后，所述方法还包括：

[0024] 当所述中转腔室的真空度达到预设真空度时，通过控制组件带动所述固定组件转动，使得所述掩膜版恢复至初始位置。

[0025] 可选的，在所述将固定组件设置在所述卡夹的两侧之后，所述方法还包括：

[0026] 通过所述控制组件控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

[0027] 第三方面，提供了一种抽真空系统，包括：真空泵和第一方面所述的掩膜版承载设备，

[0028] 所述真空泵的入口与所述掩膜版承载设备相对设置，用于对所述掩膜版承载设备中的掩膜版进行抽真空作业。

[0029] 本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

[0030] 本发明实施例提供了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，在对掩膜版进行抽真空作业时，控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，相较于相关技术，该设备提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

附图说明

[0031] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0032] 图1是本发明实施例提供的一种掩膜版承载设备的结构示意图；

[0033] 图2是本发明实施例提供的一种固定组件的结构示意图；

[0034] 图3是本发明实施例提供的一种转动后的固定组件的结构示意图；

[0035] 图4是本发明实施例提供的一种控制组件控制固定组件朝靠近卡夹的方向移动的示意图；

[0036] 图5是本发明实施例提供的一种控制组件控制固定组件朝远离卡夹的方向移动的示意图；

[0037] 图6是本发明实施例提供的一种掩膜版承载设备的结构示意图；

[0038] 图7是本发明实施例提供的一种卡接件的结构示意图；

[0039] 图8是本发明实施例提供的一种抽真空方法的流程图；

[0040] 图9是本发明实施例提供的一种将掩膜版放置在卡夹的内部的示意图；

[0041] 图10是本发明实施例提供的一种将固定组件设置在卡夹的两侧以及采用夹具将掩膜版固定在卡夹的内壁上的示意图；

[0042] 图11是本发明实施例提供的一种将固定组件与控制组件连接的示意图；

[0043] 图12是本发明实施例提供的一种转动后的固定组件的结构示意图；

[0044] 图13是本发明实施例提供的另一种抽真空方法的流程图；

[0045] 图14是本发明实施例提供的一种控制组件带动固定组件转动的示意图；

[0046] 图15是本发明实施例提供的一种抽真空系统的结构示意图。

具体实施方式

[0047] 为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

[0048] 本发明实施例提供了一种掩膜版承载设备100，如图1所示，该掩膜版承载设备100包括：卡夹110、夹具120、固定组件130和控制组件140，

[0049] 掩膜版150放置在卡夹110的内部，该掩膜版150通过夹具120固定在卡夹110的内壁上。

[0050] 固定组件130设置在卡夹110的两侧，用于卡接卡夹110，该固定组件130与控制组件140连接，该控制组件140用于带动固定组件130转动以使卡夹110中的掩膜版150发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，该气流是对掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。

[0051] 相关技术中，在对掩膜版进行抽真空作业时，由于掩膜版的版面与气流方向垂直，且掩膜版本身设置有较多的小孔，所以当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒总会附着在掩膜版上，后续在进行真空蒸镀工艺时，附着在掩膜版上的颗粒会落在待蒸镀基板上，从而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低。

[0052] 而本发明实施例中，在对掩膜版进行抽真空作业时，控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行。由于转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，因而当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，进而避免了在进行真空蒸镀工艺时对待蒸镀基板造成影响，提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

[0053] 可选的，如图2所示，控制组件140包括承载轴141和转动部件(图2未画出)，该承载轴141的一端设置在固定组件130上，另一端设置在转动部件上，该转动部件用于控制承载轴141带动固定组件130转动(转动轨迹如图2中的弧线所示)，以使卡夹中的掩膜版的版面与气流的流向(如图2中u所指示的方向)平行，转动后的固定组件130的示意图如图3所示，从而避免了对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒附着在掩膜版上。图3中的其他标号可以参考图2。

[0054] 进一步的，控制组件还用于控制固定组件朝靠近或远离卡夹的方向移动，比如在对掩膜版进行抽真空作业之前，如图4所示，控制组件140还用于控制固定组件130朝靠近卡夹110的方向(如图4中k所指示的方向以及k所指示方向的反方向)移动，无需操作人员手动将固定组件设置在卡夹的两侧，简化了操作过程，节省了人力成本。图4中的其他标号可以参考图1。

[0055] 又比如在对掩膜版进行抽真空作业之后，如图5所示，控制组件140还可用于控制固定组件130朝远离卡夹110的方向(如图5中v所指示的方向以及v所指示方向的反方向)移动，无需操作人员手动将固定组件从卡夹的两侧取出，简化了操作人员的操作，节省了人力成本。图5中的其他标号可以参考图1。

[0056] 为了将掩膜版稳固地固定在卡夹上，避免控制组件带动固定组件转动时卡夹中的掩膜版出现晃动的现象，可选的，如图6所示，夹具120包括两个卡接件121，该两个卡接件121分别设置在卡夹110的两端，每个卡接件121穿过卡夹110的侧壁与掩膜版150接触。图6中的其他标号可以参考图1。

[0057] 如图6所示，卡夹110的内壁上设置有多对台肩111，每对台肩111上放置一个掩膜版150，多个掩膜版的版面相互平行。如图7所示，每个卡接件121包括卡接杆001和垂直设置在卡接杆上的多个相互平行的凸起结构002，每个凸起结构002的长度方向与任一掩膜版(参见图6中的150)的版面平行，每个凸起结构穿过卡夹的侧壁，凸起结构与台肩交错排列。

[0058] 可选的，如图6所示，卡夹110的一侧设置有第一凸起结构112，另一侧设置有第一凹陷结构113，固定组件130包括第一固定件131和第二固定件132，第一固定件131设置有与第一凸起结构112相卡合的第二凹陷结构1311，第二固定件132设置有与第一凹陷结构113相卡合的第二凸起结构1312。

[0059] 综上所述，本发明实施例提供的掩膜版承载设备，在对掩膜版进行抽真空作业时，控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，相较于相关技术，该设备提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

[0060] 本发明实施例提供了一种抽真空方法，如图8所示，该方法包括：

[0061] 步骤101、将掩膜版放置在卡夹的内部。

[0062] 如图9所示，将掩膜版150放置在卡夹110的内部。

[0063] 步骤102、将固定组件设置在卡夹的两侧，并采用夹具将掩膜版固定在卡夹的内壁上。

[0064] 如图10所示，将固定组件130设置在卡夹110的两侧，并采用夹具120将掩膜版150固定在卡夹110的内壁上，从而将掩膜版稳固地固定在卡夹上，避免控制组件带动固定组件转动时卡夹中的掩膜版出现晃动的现象。图10中的其他标号可以参考图1。

[0065] 步骤103、将固定组件与控制组件连接，并确定真空泵的气流的流向。

[0066] 如图11所示，将固定组件130与控制组件140连接，并确定真空泵的气流的流向，从而确定控制组件需要旋转的角度。图11中的其他标号可以参考图1。

[0067] 步骤104、通过控制组件带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行。

[0068] 如图11所示，通过控制组件140带动固定组件130转动以使卡夹110中的掩膜版150发生转动(转动轨迹如图11中的弧线方向所示)，转动后的掩膜版的版面与气流的流向(如图11中u所指示的方向)平行，转动后的固定组件130和掩膜版150的示意图如图12所示。图11和图12中的其他标号可以参考图1。

[0069] 步骤105、在中转腔室中采用真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业。

[0070] 由于转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，那么在中转腔室中采用真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上。

[0071] 综上所述，本发明实施例提供的抽真空方法，通过该方法，在对掩膜版进行抽真空作业时，控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，相较于相关技术，该方法提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

[0072] 本发明实施例提供了另一种抽真空方法，如图13所示，该方法包括：

[0073] 步骤201、将掩膜版放置在卡夹的内部。

[0074] 步骤202、将固定组件设置在卡夹的两侧，并采用夹具将掩膜版固定在卡夹的内壁上。

[0075] 步骤203、通过控制组件控制固定组件朝靠近卡夹的方向移动。

[0076] 如图4所示，通过控制组件140控制固定组件130朝靠近卡夹110的方向(如图4中k所指示的方向以及k所指示方向的反方向)移动，由于无需操作人员手动将固定组件设置在卡夹的两侧，所以简化了操作人员的操作。

[0077] 步骤204、将固定组件与控制组件连接，并确定真空泵的气流的流向。

[0078] 步骤205、通过控制组件带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行。

[0079] 参考图11，通过控制组件140带动固定组件130转动以使卡夹110中的掩膜版150发生转动(转动轨迹如图11中的弧线方向所示)，转动后的掩膜版的版面与气流的流向(如图11中u所指示的方向)平行，转动后的固定组件130的示意图如图12所示。

[0080] 步骤206、在中转腔室中采用真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业。

[0081] 步骤207、当中转腔室的真空度达到预设真空度时，通过控制组件带动固定组件转动，使得掩膜版恢复至初始位置。

[0082] 如图14所示，当中转腔室的真空度达到预设真空度时，通过控制组件140带动固定组件130转动(转动轨迹如图14中的弧线所示)，使得掩膜版150恢复至初始位置，即恢复至图11中掩膜版所处的位置，从而便于进行后续的真空蒸镀工艺。图14中的其他标号可以参考图1。

[0083] 步骤208、通过控制组件控制固定组件朝远离卡夹的方向移动。

[0084] 如图5所示，通过控制组件140控制固定组件130朝远离卡夹110的方向(如图5中v所指示的方向以及v所指示方向的反方向)移动，由于无需操作人员手动将固定组件从卡夹的两侧取出，所以简化了操作人员的操作。

[0085] 需要说明的是，在将固定组件设置在卡夹的两侧之后，可以根据实际需求通过控制组件控制固定组件朝靠近或远离卡夹的方向移动，本发明实施例并不限定在步骤202之后执行步骤203，以及在步骤207之后执行208。

[0086] 需要说明的是，本公开实施例提供的抽真空方法步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本公开的保护范围之内，因此不再赘述。

[0087] 综上所述，本发明实施例提供的抽真空方法，通过该方法，在对掩膜版进行抽真空作业时，控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，相较于相关技术，该方法提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

[0088] 本发明实施例提供了一种抽真空系统，如图15所示，该系统包括：真空泵200和掩膜版承载设备100，真空泵200的入口与掩膜版承载设备100相对设置，用于对掩膜版承载设备中的掩膜版进行抽真空作业。图15中其他标号可以参考图1。

[0089] 综上所述，本发明实施例提供的抽真空系统，该抽真空系统包括掩膜版承载设备和真空泵，真空泵的入口与掩膜版承载设备相对设置，在真空泵对掩膜版进行抽真空作业时，掩膜版承载设备中的控制组件能够带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，使得转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒不易附着在掩膜版上，相较于相关技术，该系统提高了OLED显示屏的质量，提高了产品良率。

[0090] 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。