本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法，将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封；TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室，判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密，如果焊接不严密，则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中，被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内；利用紫外光胶将焊缝密封；在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶；如果焊接严密，则在光学元件的侧壁打孔，然后用针管将被测气体注入参考气室内；然后利用紫外光胶将孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件，它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。
1.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
TO-can光电探测器的TO管座上的光敏元件与TO管帽的透镜的透光面之间的空间组成参考气室，将TO管座与TO管帽利用封帽机焊封；
然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与TO管帽之间焊接不严密，被测气体将在高气压作用下，通过TO管座与TO管帽之间焊缝空隙充入参考气室内；
然后，利用紫外光胶将焊缝密封；最后，在紫外光胶凝固后，在焊缝处涂上两层防潮胶。
2.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
TO-can光电探测器的TO管座上的光敏元件与TO管帽的透镜的透光面之间的空间组成参考气室：将TO管座与TO管帽利用封帽机焊封；
然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与TO管帽之间焊接严密，则被测气体不能通过焊缝充入TO管帽内；
然后，在焊接严密的TO管帽的侧壁用激光打孔机打孔，用针管将被测气体注入TO管帽内；最后利用紫外光胶将TO管帽侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
3.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
将TO-can光电探测器的TO管座与带有聚焦透镜的套管焊接，TO-can光电探测器的聚焦透镜与带有聚焦透镜的套管之间的空间组成参考气室，然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与带有聚焦透镜的套管之间焊接不严密，则被测气体通过焊缝充入带有聚焦透镜的套管内，最后利用紫外光胶将TO-can管座与带有聚焦透镜的套管之间的焊缝密封；最后，在紫外光胶凝固后，在焊缝处涂上两层防潮胶。
4.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
将TO-can光电探测器的TO管座与带有聚焦透镜的套管焊接，TO-can光电探测器的聚焦透镜与带有聚焦透镜的套管之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与带有聚焦透镜的套管之间焊接严密，则被测气体不能通过焊缝充入TO-can光电探测器的透镜与带有聚焦透镜的套管之间的空间中；然后，在焊接严密的聚焦透镜的套管的侧壁用激光打孔机打孔，然后用针管将被测气体注入TO套管内；最后利用紫外光胶将TO套管侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
5.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
将TO-can光电探测器的TO管座与光纤尾纤的套管的一端焊接，TO-can光电探测器的透镜与光纤尾纤的端面以及光纤尾纤的套管之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与光纤尾纤的套管之间的焊接不严密，则将被测气体通过焊缝充入TO-can光电探测器的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间中；最后利用紫外光胶将TO-can管座与光纤尾纤的套管之间的焊缝密封，在紫外光胶凝固后，在焊缝处涂上两层防潮胶。
6.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，其特征是，包括：
将TO-can光电探测器的TO管座与光纤尾纤的套管的一端焊接，TO-can光电探测器的透镜与光纤尾纤的端面以及光纤尾纤的套管之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与光纤尾纤的套管之间的焊接严密，则被测气体将不能通过焊缝充入TO-can的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间中；然后，在焊接严密的光纤尾纤的套管的侧壁用激光打孔机打孔，再用针管将被测气体注入光纤尾纤的套管内；最后，利用紫外光胶将光纤尾纤的套管侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
7.一种自带参考气室的光电探测器，其特征是，包括：TO-can光电探测器，所述TO-can光电探测器，包括TO管帽、TO管座、衬垫和光敏元件，所述TO管帽焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；TO管帽透镜与TO管座上的上的光敏元件之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述TO管帽与TO管座的焊接缝处通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
8.一种自带参考气室的光电探测器，其特征是，包括：TO-can光电探测器，所述TO-can光电探测器，包括TO管帽、TO管座、衬垫和光敏元件，所述TO管帽焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；TO管帽透镜与TO管座上的光敏元件之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述TO管帽侧壁设有孔，所述孔用于向参考气室内注入被测气体，注入完毕后，所述孔通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
9.一种自带参考气室的光电探测器，其特征是，包括：TO-can光电探测器和带有聚焦透镜的套管；
所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件；带有聚焦透镜的套管，包括套管，套管的一端设有聚焦透镜，套管的另外一端焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述带有聚焦透镜的套管与TO管帽上的透镜之间的空间为参考气室，被测气体通过所述带有聚焦透镜的套管与TO管座的焊接缝处充入所述参考气室内，所述带有聚焦透镜的套管与TO管座的焊接缝处通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
10.一种自带参考气室的光电探测器，其特征是，包括：TO-can光电探测器和带有聚焦透镜的套管，
所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件；带有聚焦透镜的套管，包括套管，套管的一端设有聚焦透镜，套管的另外一端焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述带有聚焦透镜的套管与TO管帽上的透镜之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述带有聚焦透镜的套管侧壁设有孔，所述孔用于向参考气室内注入被测气体，注入完毕后，所述孔通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法
技术领域
[0001] 本发明涉及光电子器件技术领域，特别是涉及一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法。
背景技术
[0002] 光电探测器在国民经济等各个领域有广泛的用途。在不同应用领域，采用不同光谱波段探测的光电探测器。在可见光以及近红外波段，光电探测器主要应用于射线测量和光谱探测、工业自动控制、光度测量等方面。而利用红外激光光谱吸收原理来测量气体成分和浓度的光电技术具有测量浓度范围大，测量精度高，不需要校正时间长等优良的特性，使激光光谱气体传感器能够广泛的应用。
[0003] 光学光谱吸收气体传感器包括红外光谱吸收型和红外激光光谱吸收型。由于不同气体在红外区具有其不同的特征光谱吸收峰，当红外光或红外激光通过被测气体时，其光强度在特征光谱吸收峰处将由被测气体调制，光强度调制的幅度和被测气体的浓度成正比，因此通过检测和分析红外吸收峰处的光强变化，可以对被侧气体的浓度检测。
[0004] 相对而言，光学光谱吸收气体传感器具较有高的抗气体交叉干扰能力，特别是激光光谱气体传感器，具有良好的抗气体交叉干扰能力。由于在实际应用中，通常有几种不同气体会同时存在测试现场，而在测量过程中又需要对气体吸收峰的峰值进行精确地定位，几种不同气体同时存在情况就会在微小气体浓度时，气体吸收峰的峰值的位置不容易精确地确定。为了排除不同气体光谱的干扰，在测量光路中加入被测气体参考气室，也就是将被测气体充入参考气室，然后利用被测气体的吸收峰作为参考标记，使被测气体的吸收峰峰值的位置可以有效的确定，从而增加了测量的准确精度。
[0005] 一般气体传感器的参考气室大多采用分离的气室，而且将分离参考气室放置在探测器的前端。这种设计要求在光路中有多个分离元件，同时要求的参考气室不要影响到达探测器的光信号。
发明内容
[0006] 为了解决现有技术的不足，本发明提供了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法，其具有自带参考气室，气体传感器的光路结构简单，加强了传感器的集成度，也便于生产和调试，利于大规模生产效果。
[0007] 本发明提供的第一种技术方案：
[0008] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0009] TO-can光电探测器的TO管座上的上的光敏元件与TO管帽的透镜的透光面之间的空间组成参考气室，将TO管座与TO管帽利用封帽机焊封；
[0010] 然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与TO管帽之间焊接不严密，被测气体将在高气压作用下，通过TO管座与TO管帽之间焊缝空隙充入参考气室内；
[0011] 然后，利用紫外光胶将焊缝密封；最后，在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶。
[0012] 本发明提供的第二种技术方案：
[0013] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0014] TO-can光电探测器的TO管座上的上的光敏元件与TO管帽的透镜的透光面之间的空间组成参考气室：将TO管座与TO管帽利用封帽机焊封；
[0015] 然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与TO管帽之间焊接严密，则被测气体不能通过焊缝充入TO管帽内；
[0016] 然后，在焊接严密的TO管帽的侧壁用激光打孔机打孔，用针管将被测气体注入TO管帽内；最后利用紫外光胶将TO管帽侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
[0017] 本发明提供的第三种技术方案：
[0018] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0019] 将TO-can光电探测器的TO管座与带有聚焦透镜的套管焊接，TO-can光电探测器的透镜与带有聚焦透镜之间的空间组成参考气室，然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与带有聚焦透镜的套管之间焊接不严密，则被测气体通过焊缝充入带有聚焦透镜的套管内，最后利用紫外光胶将TO-can管座与带有聚焦透镜的套管之间的焊缝密封；最后，在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶。
[0020] 本发明提供的第四种技术方案：
[0021] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0022] 将TO-can光电探测器的TO管座与带有聚焦透镜的套管焊接，TO-can的透镜与带有聚焦透镜之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与带有聚焦透镜的套管之间焊接严密，则被测气体不能通过焊缝充入TO-can的透镜与带有聚焦透镜的套管之间的空间中；然后，在焊接严密的聚焦透镜的套管的侧壁用激光打孔机打孔，然后用针管将被测气体注入TO管帽内；最后利用紫外光胶将TO管帽侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
[0023] 本发明提供的第五种技术方案：
[0024] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0025] 将TO-can光电探测器的TO管座与光纤尾纤的套管的一端焊接，TO-can的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与光纤尾纤的套管之间的焊接不严密，则将被测气体通过焊缝充入TO-can的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间中；最后利用紫外光胶将TO-can管座与光纤尾纤的套管之间的焊缝密封，在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶。
[0026] 本发明提供的第六种技术方案：
[0027] 一种自带参考气室的光电探测器的制备方法，包括：
[0028] 将TO-can光电探测器的TO管座与光纤尾纤的套管的一端焊接，TO-can的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间组成参考气室；然后，将焊接后的TO-can光电探测器放入被测气体环境中，增加被测气体气压；如果TO管座与光纤尾纤的套管之间的焊接严密，则将被测气体将不能通过焊缝充入TO-can的透镜与光纤尾纤的端面之间的空间中；然后，在焊接严密的光纤尾纤的套管的侧壁用激光打孔机打孔，再用针管将被测气体注入TO管帽内；最后，利用紫外光胶将TO管帽侧壁的孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。
[0029] 本发明提供的第七种技术方案：
[0030] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器，
[0031] 所述TO-can光电探测器，包括TO管帽、TO管座、衬垫和光敏元件，所述TO管帽焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述TO管帽透镜与TO管座上的上的光敏元件之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述TO管帽与TO管座的焊接缝处通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0032] 本发明提供的第八种技术方案：
[0033] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器，
[0034] 所述TO-can光电探测器，包括TO管帽、TO管座、衬垫和光敏元件，所述TO管帽焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述TO管帽透镜与TO管座上的光电探测器之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述TO管帽侧壁设有孔，所述孔用于向参考气室内注入被测气体，注入完毕后，所述孔通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0035] 本发明提供的第九种技术方案：
[0036] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器和带有聚焦透镜的套管；
[0037] 所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件；带有聚焦透镜的套管，包括套管，套管的一端设有聚焦透镜，套管的另外一端焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述带有聚焦透镜与TO管帽上的透镜之间的空间为参考气室，被测气体通过所述带有聚焦透镜的套管与TO管座的焊接缝处充入所述参考气室内，所述带有聚焦透镜的套管与TO管座的焊接缝处通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0038] 本发明提供的第十种技术方案：
[0039] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器和带有聚焦透镜的套管，
[0040] 所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件；带有聚焦透镜的套管，包括套管，套管的一端设有聚焦透镜，套管的另外一端焊接在TO管座上，所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述带有聚焦透镜与TO管帽上的透镜之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述带有聚焦透镜的套管侧壁设有孔，所述孔用于向参考气室内注入被测气体，注入完毕后，所述孔通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0041] 本发明提供的第十一种技术方案：
[0042] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器和光纤尾纤套管，[0043] 所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件，光纤尾纤套管的一端焊接到TO管座上，光纤尾纤套管的另外一端装有光纤尾纤；所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述光纤尾纤端面与TO管帽的透镜之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述套管与TO管座和光纤尾纤套管的焊接缝处通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0044] 本发明提供的第十二种技术方案：
[0045] 一种自带参考气室的光电探测器，包括：TO-can光电探测器和套管，
[0046] 所述TO-can光电探测器，包括：TO管座、TO管帽、衬垫和光敏元件，光纤尾纤套管的一端焊接到TO管座上，光纤尾纤套管的另外一端装有光纤尾纤；所述TO管座上固定衬垫，所述衬垫上固定光敏元件，光敏元件的正极通过引线连接到第一TO管脚上，光敏元件的负极通过引线连接到第二TO管脚上；所述光纤尾纤端面与TO管帽的透镜之间的空间为参考气室，所述参考气室内填充被测气体，所述光纤尾纤套管侧壁设有孔，所述孔用于向参考气室内注入被测气体，注入完毕后，所述孔通过紫外光胶密封，紫外光胶外层涂覆两层防潮胶。
[0047] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：
[0048] 自带参考气室，气体传感器的光路结构变的简单，加强了传感器的集成度，也便于生产和调试，利于大规模生产；
[0049] 本发明的光电探测器和常规光电探测器的主要区别是在制作光电探测器时，在TO管帽内充填的不是氦气，而是被测气体。这样TO管帽内的空间就可以构成一个被测气体的参考气室。这种自带参考气室的光电探测器是光学光谱吸收气体传感器的一个关键器件，它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。
附图说明
[0050] 构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0051] 图1(a)和图1(b)是本发明实施例提供的一种设于所述自带参考气室的光电探测器的结构示意图；
[0052] 图2是本发明实施例自带参考气室的光电探测器在密封后外形图；
[0053] 图3是本发明实施例自带参考气室的光电探测器在TO管帽的侧壁的小孔密封后外形图；
[0054] 图4(a)和图4(b)是本发明实施例自带参考气室的光电探测器，它是用常规TO-can光电探测器焊接到一个带有聚焦透镜且侧壁有充气孔的套管组成；
[0055] 图5是本发明实施例自带参考气室的光电探测器是用常规尾纤探测器经充气密封做成；
[0056] 图6(a)和图6(b)是本发明实施例自带参考气室的光电探测器，它是用侧壁有充气孔的特制套管经充气密封做成的尾纤探测器；
[0057] 其中，1、TO管帽，2、TO管座，3、衬垫，4、光探测元件，5、第一TO管脚，6、第二TO管脚，7、密封胶。
具体实施方式
[0058] 应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0059] 以下结合附图1(a)和图1(b)、图2和图3及实施例，对本发明的自带参考气室的光电探测器技术方案及优点进行进一步详细说明。此处所描述仅用以解释本发明的设计，并不用于限定本发明。
[0060] 需要强调的是，以下以示例的方式对自带参考气室的光电探测器具体结构及特点进行说明，不应将构成对本发明的任何限制。同时，有关下列所提及(包括隐含或公开)的任何一个技术特征，以及被直接显示或隐含在图1(a)和图1(b)、图2、图3、图4(a)和图4(b)、图5和图6(a)和图6(b)中的任何一个技术特征，均可以在这些技术特征(或其等同物)之间继续进行任意组合或删减，从而形成可能没有在本发明中直接或间接提到的更多其他实施例。
[0061] 请参阅图1(a)和图1(b)至图6(a)和图6(b)所示的自带参考气室的光电探测器实施例的基本结构。如上述附图所示，在这个给出的实施例中，该自带参考气室的光电探测器包括：TO管帽1、TO管座2、衬垫3、光探测元件4(图1(a)和图1(b))、充入参考气体并在TO管帽和TO管座接口处涂覆密封胶7(图2)或充入参考气体并在TO管帽侧壁充气口处密封胶7(图3)。下面对这些组成部分进行详细的说明
[0062] 自带参考气室的光电探测器的封装工艺和常规的TO-can的封装工艺基本一样。即首先将衬垫3用银胶(Silver epoxy)固定在TO管座2上，再将光探测元件4固定在衬垫3上；然后将光探测元件4的正负级通过引线连接到TO管座的第一TO管脚5，第二TO管脚6(图1(a)和图1(b))。
[0063] 对于设于所述自带参考气室的光电探测器，在TO管帽1和TO管座2用封帽机焊封。如果所述TO管帽1和所述TO管座2之间的焊接处不能使管帽内部空间和外界的空间隔绝，也就是，在管帽内部空间不能形成一个密封空间，再将光电探测器放置有一定气压的被测气体(如甲烷，一氧化碳，二氧化碳等气体之一)中，被测气体通过TO管帽1和所述TO管座2之间没有密封的接口处，充填入TO管帽1内。然后，在TO管帽1和TO管座2之间的接口处涂抹紫外光胶，将TO管帽1和TO管座2之间的漏缝密封。等紫外光胶凝固后，再分别涂上两层防潮胶(图2)。
[0064] 对于设于所述自带参考气室的光电探测器，在TO管帽1和TO管座2用封帽机焊封。如果TO管帽1和TO管座2之间的焊严密，使管帽内部空间和外界的空间隔绝，可以在TO管帽1的侧壁用激光打孔机到一个小孔，然后用针管将被测气体注入TO管帽1内。利用紫外光胶将TO管帽1的侧壁的小孔密封；当紫外光胶凝固后，再分别涂上两层防潮胶(图3)。
[0065] 对于设于所述自带参考气室的光电探测器，是用常规TO-can光电探测器焊接到一个带有聚焦透镜且侧壁有充气孔的套管组成；参考气室是由光电探测器的端面，套管和聚焦透镜组成。在光电探测器和套管焊接密封后，然后用针管将被测气体通过充气孔注入套管内。利用紫外光胶将套管帽侧壁的小孔密封；当紫外光胶凝固后，再分别涂上两层防潮胶(图4(a)和图4(b))。
[0066] 对于设于所述自带参考气室的光电探测器，自带参考气室的光电探测器是用一般的TO-can光电探测器制作成的光纤尾纤探测器(图5)。利用TO-can的透镜端面和光纤尾纤端面之间的空间组成参考气室，再利用高压在参考气室内充入被测气体。之后，利用紫外光胶将光纤尾纤探测器加以整体密封；在紫外光胶凝固后，再分别在紫外光胶上涂两层防潮胶，如图5所示。
[0067] 对于设于所述自带参考气室的光电探测器，是用一般的TO-can光电探测器加上特制套管而做成的光纤尾纤探测器(图6(a)和图6(b))。利用TO-can端面和光纤尾纤端面之间的空间组成参考气室。在特制套管的侧壁用激光打孔机打一个小孔，如图6(a)和图6(b)所示。然后用针管将被测气体注入特制套管内；然后用紫外光胶将特制套管侧壁的小孔密封；当紫外光胶凝固后，再分别涂上两层防潮胶。
[0068] 本发明的设计原则是“在光电探测器和光学元件(管帽透镜，聚焦透镜，光纤端面等)之间内腔中充入被测气体，从而形成一个自带参考气室的光电探测器”。
[0069] 以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
