减振装置和搬送系统

摘要

本发明提供一种减振装置，包括安装件和质量块，所述质量块与所述安装件之间设置有弹性件和阻尼器，所述弹性件的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，所述阻尼器的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，其中，所述质量块包括质量块本体和设置在该质量块本体内的第一容纳腔，所述质量块本体上设有与所述第一容纳腔连通的出入口，以使流体通过该出入口流入或流出所述第一容纳腔。相应地，本发明还提供一种搬送系统。本发明能够方便快速地改善减振装置的减振效果。

权利要求

1.一种减振装置，其特征在于，包括安装件和质量块，所述质量块与所述安装件之间设置有弹性件和阻尼器，所述弹性件的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，所述阻尼器的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，其中，所述质量块包括质量块本体和设置在该质量块本体内的第一容纳腔，所述质量块本体上设有与所述第一容纳腔连通的出入口，以使流体通过该出入口流入或流出所述第一容纳腔；

所述第一容纳腔中设置有至少一对相对设置的第一磁性组件，每对所述第一磁性组件的两个第一磁性组件之间形成有用于容纳磁流变液的容纳子腔，所述容纳子腔与所述质量块上的出入口连通，每对所述第一磁性组件用于在所述容纳子腔中产生可调的磁场；

每对第一磁性组件中的两个第一磁性组件能够相互靠近或远离；

所述阻尼器包括切割导体和用于产生可调磁场的第二磁性组件，所述切割导体位于所述第二磁性组件产生的磁场中；所述第二磁性组件与所述切割导体中的一者与所述质量块固定相连，另一者与所述安装件固定相连；

所述第二磁性组件与所述切割导体能够在所述质量块与所述安装件的排列方向上发生相对移动，以使所述切割导体做切割磁感线运动。

2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，所述第一磁性组件包括第一电磁体和第一导磁极板，所述第一导磁极板位于所述第一电磁体的朝向所述容纳子腔的一侧。

3.根据权利要求1至2中任意一项所述的减振装置，其特征在于，所述阻尼器产生的阻尼力可调。

4.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，所述第二磁性组件包括分别位于所述切割导体相对两侧的两个第二电磁体，每个所述第二电磁体朝向所述切割导体的一侧设置有第二导磁极板。

5.一种搬送系统，其特征在于，包括搬送装置和设置在搬送装置上的减振装置，所述减振装置为权利要求1至4中任意一项所述的减振装置，所述减振装置的安装件固定在所述搬送装置上。

6.根据权利要求5所述的搬送系统，其特征在于，所述搬送装置包括移动支架和设置在所述移动支架上的货叉，所述移动支架包括立柱和与所述立柱相连的横梁，所述横梁上设置有多个所述减振装置；

所述货叉包括货叉本体，所述货叉本体内设置有第二容纳腔和第三磁性组件，所述第二容纳腔中容纳有磁流变液，所述第三磁性组件用于在所述第二容纳腔中产生可调的磁场；

所述第三磁性组件包括分别位于所述第二容纳腔相对两侧的两个第三电磁体，每个第三电磁体与所述第二容纳腔之间均设置有第三导磁极板。

7.根据权利要求6所述的搬送系统，其特征在于，所述搬送系统还包括控制器、流体输入输出装置、设置所述横梁上的第一传感器，以及设置在所述货叉本体上的第二传感器，所述第一传感器用于检测所述横梁的振动加速度，所述第二传感器用于检测所述货叉的振动加速度；

所述控制器用于根据所述第一传感器检测到的振动加速度控制所述流体输入输出装置向所述第一容纳腔中输出流体或抽出所述第一容纳腔中的流体；所述控制器还用于根据所述第二传感器检测到的振动加速度调节所述第三磁性组件产生的磁场。

8.根据权利要求7所述的搬送系统，其特征在于，所述减振装置为权利要求3所述的减振装置，所述控制器还用于根据容纳有流体的质量块的总质量以及所述第一传感器检测到的振动加速度，调节所述阻尼器产生的阻尼力。

说明书

减振装置和搬送系统

技术领域

[0001] 本发明涉及机械领域，具体涉及一种减振装置和搬送系统。

背景技术

[0002] 机械设备在受到外界刺激时会发生振动甚至共振，从而容易造成结构损伤、寿命缩短以及噪声等问题。为了抑制振动，通常会在机械设备上安装减振装置来达到抑制振动的效果，其中，调谐质量减振器(Tuned Mass Damper，TMD)是常用的一种减振装置，其包括弹簧、阻尼器和质量块。但是，目前在提高调谐质量减振器的减振效果时，会对机械设备的正常运营造成影响且会造成人力的耗费。

发明内容

[0003] 本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种减振装置和搬送系统，以在不影响设备正常运营的情况下改善减振效果，并节省了人力。

[0004] 为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种减振装置，包括安装件和质量块，所述质量块与所述安装件之间设置有弹性件和阻尼器，所述弹性件的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，所述阻尼器的两端分别与所述安装件和所述质量块相连，其中，所述质量块包括质量块本体和设置在该质量块本体内的第一容纳腔，所述质量块本体上设有与所述第一容纳腔连通的出入口，以使流体通过该出入口流入或流出所述第一容纳腔。

[0005] 优选地，所述第一容纳腔中设置有至少一对相对设置的第一磁性组件，每对所述第一磁性组件的两个第一磁性组件之间形成有用于容纳磁流变液的容纳子腔，所述容纳子腔与所述质量块上的出入口连通，每对所述第一磁性组件用于在所述容纳子腔中产生可调的磁场；

[0006] 每对第一磁性组件中的两个第一磁性组件能够相互靠近或远离。

[0007] 优选地，所述第一磁性组件包括第一电磁体和第一导磁极板，所述第一导磁极板位于所述第一电磁体的朝向所述容纳子腔的一侧。

[0008] 优选地，所述阻尼器产生的阻尼力可调。

[0009] 优选地，所述阻尼器包括切割导体和用于产生可调磁场的第二磁性组件，所述切割导体位于所述第二磁性组件产生的磁场中；所述第二磁性组件与所述切割导体中的一者与所述质量块固定相连，另一者与所述安装件固定相连；

[0010] 所述第二磁性组件与所述切割导体能够在所述质量块与所述安装件的排列方向上发生相对移动，以使所述切割导体做切割磁感线运动。

[0011] 优选地，所述第二磁性组件包括分别位于所述切割导体相对两侧的两个第二电磁体，每个所述第二电磁体朝向所述切割导体的一侧设置有第二导磁极板。

[0012] 相应地，本发明还提供一种搬送系统，包括搬送装置和设置在搬送装置上的减振装置，所述减振装置为本发明提供的上述减振装置，所述减振装置的安装件固定在所述搬送装置上。

[0013] 优选地，所述搬送装置包括移动支架和设置在所述移动支架上的货叉，所述移动支架包括立柱和与所述立柱相连的横梁，所述横梁上设置有多个所述减振装置；

[0014] 所述货叉包括货叉本体，所述货叉本体内设置有第二容纳腔和第三磁性组件，所述第二容纳腔中容纳有磁流变液，所述第三磁性组件用于在所述第二容纳腔中产生可调的磁场；

[0015] 所述第三磁性组件包括分别位于所述第二容纳腔相对两侧的两个第三电磁体，每个第三电磁体与所述第二容纳腔之间均设置有第三导磁极板。

[0016] 优选地，所述搬送系统还包括控制器、流体输入输出装置、设置所述横梁上的第一传感器，以及设置在所述货叉本体上的第二传感器，所述第一传感器用于检测所述横梁的振动加速度，所述第二传感器用于检测所述货叉的振动加速度；

[0017] 所述控制器用于根据所述第一传感器检测到的振动加速度控制所述流体输入输出装置向所述第一容纳腔中输出流体或抽出所述第一容纳腔中的流体；所述控制器还用于根据所述第二传感器检测到的振动加速度调节所述第三磁性组件产生的磁场。

[0018] 优选地，所述控制器还用于根据容纳有流体的质量块的总质量以及所述第一传感器检测到的振动加速度，调节所述阻尼器产生的阻尼力。

[0019] 在本发明减振装置中，质量块本体内设置第一容纳腔，质量块本体上设置有与第一容纳腔连通的出入口，因此，针对机械设备主结构的不同阶固有频率进行减振时，只需要向第一容纳腔中通入流体或抽出第一容纳腔中的流体即可快速调节质量块的整体质量，而不需要进行质量块的拆卸更换，从而方便快速地将减振装置的固有频率调节至与需要减振的某一阶固有频率相近，进而在不影响设备正常运营的情况下起到良好的振动效果，并节省了人力。

[0020] 在搬送系统中，由于搬送装置上设置有上述减振装置，因此可以方便、实时地根据外界刺激的频率进行减振，而不会影响系统的运行，并节省了人力。

附图说明

[0021] 附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

[0022] 图1是本发明实施例中的减振装置的结构原理示意图；

[0023] 图2是本发明实施例中质量块的结构示意图；

[0024] 图3是本发明实施例中阻尼器的结构示意图；

[0025] 图4是本发明实施例中设置有减振装置的搬送装置结构示意图；

[0026] 图5是本发明实施例中减振装置在横梁上的分布示意图；

[0027] 图6是本发明实施例中货叉的结构示意图；

[0028] 图7是图6中I区的剖视图；

[0029] 图8是本发明实施例中控制器的控制原理示意图。

[0030] 其中，附图标记为：

[0031] 10、减振装置；11、安装件；12、质量块；13、阻尼器；14、弹性件；121、第一电磁体；121a、第一磁芯；121b、第一线圈；122、第一导磁极板；123、第一密封层；124、导轨；125、滑块；126、质量块本体；126a、出入口；131、切割磁体；132、第二电磁体；132a、第二磁芯；132b、第二线圈；133、第二导磁极板；31、横梁；32、立柱；33、移动基台；34、走行轮；35、货叉；351、货叉本体；352、第二密封层；353、第三电磁体；353a、第三磁芯；353b、第三线圈；354、第三导磁极板；36、伸缩臂；MR、磁流变液；41、第一传感器；42、第二传感器；43、控制器；44、第一电流放大单元；45、流体输入输出装置；46、第三电流放大单元；47、第二电流放大单元。

具体实施方式

[0032] 以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

[0033] 作为本发明的一方面，提供一种减振装置10，如图1所示，该减振装置10包括安装件11和质量块12，质量块12与安装件11之间设置有弹性件14(例如，弹簧)和阻尼器13，弹性件14的两端分别与安装件11和质量块12相连，阻尼器13的两端分别与安装件11和所述质量块12相连。其中，如图2所示，质量块12包括质量块本体126和设置在该质量块本体126内的第一容纳腔，质量块本体126上设有与所述第一容纳腔连通的出入口126a，以使流体通过该出入口126a流入或流出所述第一容纳腔。

[0034] 减振装置10的安装件11可以安装在需要减振的机械设备中，当机械设备的主结构在外激励作用下产生振动时，带动减振装置10一起振动，减振装置10产生一个惯性力并反作用于机械设备的主结构上，使得主结构的振动受到控制。从能量的角度来看，主结构振动的机械能的一部分转变为减振装置10的振动机械能和热能，从而抑制主结构的振动。当减振装置10的固有频率与机械设备主结构的需要被减振的某一阶固有频率相近时，减振装置10的减振效果达到最好。而由于物体的固有频率与质量和刚度有关，因此，为了改善减振装置10的减振效果，可通过调节质量块12的质量的方式，使减振装置10的固有频率与机械设备主结构需要被减振的某一阶固有频率相近。

[0035] 由于机械设备的主结构具有多阶固有频率，而目前的减振装置10中质量块12的质量是固定的，因此，针对机械设备主结构的不同阶的固有频率进行减振时，就需要将对减振装置10中质量块12进行拆卸更换，从而影响设备的正常运营，也会耗费人力。而本发明的减振装置10中，质量块本体126内设置第一容纳腔，质量块本体126上设置有与第一容纳腔连通的出入口126a，因此，在需要调节质量块12的整体质量时，只需要向第一容纳腔中通入流体或抽出第一容纳腔中的流体即可，而不需要进行质量块的拆卸更换，从而可以在不影响设备正常运营的情况下起到良好的振动效果，并节省了人力。

[0036] 进一步地，如图2所示，所述第一容纳腔中设置有至少一对相对设置的第一磁性组件，每对所述第一磁性组件之间形成有用于容纳磁流变液MR的容纳子腔，所述容纳子腔与质量块本体126上的出入口126a连通，每对所述第一磁性组件用于在所述容纳子腔中产生可调的磁场。其中，质量块本体126可以采用铝制成。每对第一磁性组件中的两个第一磁性组件能够相互靠近或远离，该两个第一磁性组件可以图2中的上下方向排列、也可以沿图2中的左右方向排列，或者沿垂直于纸面方向排列。需要说明的是，在两个第一磁性组件相互靠近或远离的过程中，所述容纳子腔始终与出入口126a连通。

[0037] 磁流变液MR主要组成由磁性颗粒、基栽液(即，使磁性颗粒分散于其中的悬浮液体)以及用于增强磁流变液MR稳定性的添加剂，和普通的流体相比，磁流变液MR的整体密度更大，以使得质量块12质量调节得更明显，从而更有利于调节减振装置10的固有频率。另外，磁流变液MR可以实现在极短时间内由牛顿流体到塑性较高的类固体之间的转变，具体表现为：在不施加磁场的情况下，磁流变液MR表现为流变特性良好的牛顿流体；而在施加强磁场之后，磁流变液MR中的导磁颗粒会以链状的形式排列并导致材料的黏度增大表现出固体的性质，并且，磁流变液MR这种随着外加磁场的变化是连续的、可逆的，即，撤去外加磁场，磁流变液MR又会变为牛顿流体。因此，在需要增大质量块12的质量时，可以去除第一磁性组件所产生的磁场，并将每对第一磁性组件中的两个第一磁性组件相互远离，同时向容纳子腔中输入磁流变液MR；在需要减小质量块12的质量时，可以去除第一磁性组件所产生的磁场，并将每对第一磁性组件中的两个第一磁性组件相互靠近，以将一部分磁流变液MR从所述容纳子腔中流出；之后，增加第一磁性组件的磁场，以使得容纳子腔中剩余的磁流变液MR转变为类固体。

[0038] 本发明中，质量块本体126内设置有一对第一磁性组件，如图2所示，每个第一磁性组件具体包括第一电磁体121和第一导磁极板122，第一导磁极板122位于第一电磁体121的朝向所述容纳子腔的一侧。第一电磁体121包括第一磁芯121a和第一线圈121b，两个第一磁芯121a的磁极相对设置，通过调节第一线圈121b上的电流大小即可调节两个第一电磁体121之间产生的磁场大小。第一导磁极板122的设置能够使得两个第一电磁体121之间的磁场更均匀。

[0039] 另外，每个第一导磁极板122朝向所述容纳子腔的一侧还设置有第一密封层123，两个第一密封层123与所述第一容纳腔的内壁围成的空腔即为上述容纳子腔。其中，第一密封层123可以采用硅胶等材料制成。为了便于两个第一磁性组件发生相对远离或相对靠近的运动，第一容纳腔的内壁上设置有导轨124，其中一个第一磁性组件和相邻的第一密封层123通过滑块125设置在导轨124上，以沿导轨124靠近或远离另一个第一磁性组件移动。

[0040] 进一步地，阻尼器13产生的阻尼力可调。在针对机械设备主结构的某一阶固有频率进行减振时，可以先通过调节质量块12的整体质量，使得减振装置的固有频率与主结构需要减振的其中一阶固有频率相近，之后，可以根据振动微分方程将阻尼器13的阻尼系数调节至最优值，以使得主结构的振动能量最小，从而最大程度地减小主结构的振动。而由于本发明的阻尼器12本身产生的阻尼力可调，因此，不需要对阻尼器12进行拆卸更换，从而防止影响设备的正常运行，且节省了人力。

[0041] 如图3所示，阻尼器13可以为电磁阻尼器13，其具体包括切割导体131和用于产生可调磁场的第二磁性组件，切割导体131位于所述第二磁性组件产生的磁场中；第二磁性组件与安装件11固定相连，切割导体131与质量块12固定相连。当然，也可以使第二磁性组件与质量块12固定相连，切割导体131与安装件11固定相连。第二磁性组件与切割导体131能够在质量块12与安装件11的排列方向上发生相对移动，以使切割导体131做切割磁感线运动。

[0042] 具体地，如图3所示，第二磁性组件可以包括分别位于切割导体131相对两侧的第二电磁体132以及分别位于切割导体131相对两侧的第二导磁极板133，第二导磁极板133位于第二电磁体132朝向切割导体131的一侧，用于使两个第二电磁体132产生的磁场更均匀。第二电磁体132包括第二磁芯132a和第二线圈132b，两个第二电磁体132的第二磁芯132a的磁极相对设置。切割导体131可以由铁制成，切割导体131具体可以包括垂直于磁场方向的导体框以及设置在导体框中的多个导体条，导电条与导体框位于同一平面内且垂直于磁场方向。

[0043] 当切割导体131在第二磁性组件产生的磁场中做切割磁感线运动时，根据楞次定律，切割导体131上会感应出涡流，同时激发感应磁场，该感应磁场会产生一个阻碍次级运动的力(阻尼力)。除此之外，切割导体131上的电流也将会转化为热能的形式耗散，从而达到阻尼的作用。通过调节两个第二电磁体132的第二线圈132b上的电流，即可调节第二磁性组件产生的磁场大小，从而调节阻尼器13产生的阻尼力，进而可以方便快速地调节减振装置10的固有频率。

[0044] 作为本发明的另一方面，提供一种搬送系统，包括搬送装置和上述减振装置10，减振装置10的安装件11固定在所述搬送装置上。所述搬送装置用于搬送就显示基板。

[0045] 随着显示面板尺寸的不断增大，搬送装置的体积和重量不断增大、搬送速度不断增加。在搬送显示基板的过程中，由于轨道的不平、电机运转以及搬送过程中的急停等因素，均会导致搬送装置发生振动，甚至引起共振，进而容易导致显示基板与搬送装置发生摩擦而降低显示基板的良率。而由于本发明中的搬送装置上设置有减振装置10，且可以很方便对质量块12的质量进行调节，不需要进行质量块12的拆装更换，因此，在搬送过程中，可以根据外界刺激的频率随时对减振装置10的固有频率进行调整，以改善减振效果，从而保证搬送装置的稳定工作，防止显示基板受损。

[0046] 结合图4和图6所示，所述搬送装置包括移动基台33、设置在移动基台33上的移动支架，移动基台33下方设置有走行轮34。移动支架包括多个立柱32、与立柱32相连的横梁31。支架上还设置有用于承载显示基板的货叉35，货叉35通过伸缩臂36与移动支架的立柱
32相连，马达控制伸缩臂36的伸缩。其中，减振装置10可以设置在与显示基板直接接触的货叉35上，也可以设置在其他位置。

[0047] 作为本发明的一种具体实施方式，如图4和图5所示，横梁31上设置有多个减振装置10，每个减振装置10的安装件11安装在横梁31上，多个减振装置10在横梁31上均匀排列，以组成分布式调谐质量减振器，从而达到更稳定的减振效果，而且减振带更宽。

[0048] 如图6和图7所示，货叉35具体可以包括货叉本体351，货叉本体351内设置有第二容纳腔、第三磁性组件，第二容纳腔中容纳有磁流变液MR，所述第三磁性组件用于在所述第二容纳腔中产生可调的磁场。其中，第二容纳腔可以由设置在货叉本体351内的第二密封层352围成，该第二密封层352可以采用硅胶等材料制成。第三磁性组件具体包括分别位于第二容纳腔相对两侧的两个第三电磁体353和分别位于第二容纳腔相对两侧的第三导磁极板
354，两个第三导磁极板354分别位于两个第三电磁铁353的朝向第二容纳腔的一侧。第三导磁极板354用于将两个第三电磁体353之间产生的磁场分别更均匀。

[0049] 通过调节第三磁性组件所产生的磁场大小，可以使得货叉本体351内的磁流变液在流体与类固体之间发生转换，从而调节货叉35整体的刚性。而由于物体的固有频率与刚性有关，因此，通过调节货叉35的刚性，可以对货叉35的固有频率进行调节，那么，在搬送系统工作时，可以通过第三磁性组件产生的磁场大小，可以将货叉35的固有频率偏离于外界激励的频率，从而防止发生共振。并且，由于磁流变液MR可以在磁场变化时迅速地发生状态变化，因此，可以根据外界激励的频率迅速调节货叉35的固有频率，使得货叉35平稳运行，防止损伤显示基板。

[0050] 其中，货叉本体351可以包括两个叉指部和连接在该两个叉指部之间的连接部，叉指部的延伸方向与伸缩臂36的伸缩方向一致，第二容纳腔设置在叉指部上。此时，可以将两个第三电磁体353沿与叉指部延伸方向垂直的方向排列，即，两个第三导磁极板354沿与叉指部延伸方向垂直的方向排列，从而可以使第三导磁极板354的面积设置得较大，有利于磁场的均匀分布。

[0051] 另外，第二容纳腔和第三磁性组件的数量均为多个；每个第二容纳腔设置在货叉35振动的波峰或波谷处，从而更有效地起到减振效果。

[0052] 为了可以实时、自动地根据外界激励的频率调节减振装置10的固有频率，以有效地改善搬送装置的振动现象，结合图4和图8所示，所述搬送系统还可以包括控制器43、流体输入输出装置45(例如，泵)和设置在横梁31上的第一传感器41。第一传感器41用于检测横梁31的振动加速度(即纵向加速度)，第一传感器41具体可以为压电陶瓷加速度传感器，其可以贴在横梁31表面上。控制器43用于根据第一加速度41检测到的振动加速度调节第一磁性组件产生的磁场并控制流体输入输出装置45向第一容纳腔中输出流体或抽出第一容纳腔中的流体，从而调节质量块12的整体质量。另外，控制器43还用于根据容纳有流体的质量块12的总质量以及第一加速度41检测到的振动加速度，调节阻尼器产生的阻尼力。应当理解的是，容纳有流体的质量块12的总质量，流体输入输出装置45向第一容纳腔中输出流体或抽出第一容纳腔中的流体后，质量块12的总体质量。

[0053] 具体地，搬送装置开始工作时，控制器43可以向阻尼器13中第二磁性组件的第二电磁体132提供一初始电流；流体输入输出装置45向第一容纳腔中提供一定量的流体；在搬送过程中，搬送装置受到外界激励会发生振动，此时，设置在横梁31上的第一传感器41会实时检测到横梁31的振动加速度。控制器43根据该振动加速度确定每个减振装置10中质量块12的最优质量，并调节流体输入输出装置45向第一容纳腔输出流体或抽出第一容纳腔中的流体，以使质量块12的质量达到最优质量，从而使得减振装置10的固有频率可以接近搬送装置需要被减振的固有频率。另外，控制器43还可以根据质量块12的最优质量、第一传感器检测到的振动加速度以及振动方程，确定阻尼器13的最优阻尼，并根据该最优阻尼调节第二磁性组件产生的磁场大小，使阻尼器13产生的阻尼力达到最优阻尼，从而使搬送装置的振动能量最小。其中，对第二磁性组件产生的磁场大小的调节可以为：通过第二电流放大单元47调节第二电磁体132的第二线圈132b上的电流，从而调节磁场大小。

[0054] 其中，质量块12内可以设置有第一磁性组件，流体输入输出装置向第一容纳腔所提供的流体为磁流变液，这种情况下，当质量块12的质量不需要调节时，控制器43通过第一电流放大单元44向第一磁性组件中的第一电磁体121的第一线圈131b提供一初始电流，使得第一容纳腔中的磁流变液MR呈类固体态；当需要调节质量块12的质量时，控制器43还通过第一电流放大单元44调节第一磁性组件的电流大小，以使得磁流变液MR处于流体状态。另外，控制器43还可以控制两个第一磁性组件相对靠近或相对远离，以调节容纳子腔的容积。

[0055] 为了可以实时、自动地根据外界激励的频率调节货叉35的固有频率，以使货叉35的固有频率不同于外界激励的频率，进一步地，如图6所示，货叉本体351上还设置有第二传感器42，第二传感器42用于检测货叉35的振动加速度，第二传感器42具体可以为贴在货叉本体351外表面的压电陶瓷加速度传感器。控制器43还用于根据第二传感器42检测到的振动加速度调节所述第三磁性组件产生的磁场。

[0056] 具体地，结合图6、图7和图8所示，在搬送装置开始工作时，控制器43通过第三电流放大单元46向第三磁性组件中的第三电磁体353的第三线圈353b提供一初始电流，该初始电流可以根据需要进行设置。搬送装置在工作过程中，第二传感器42对货叉35的振动加速度进行检测，并反馈给控制器43。当第二传感器42检测到的振动加速度过大时，控制器43通过第三电流放大单元46调节第三线圈353b上的电流大小，以调节第三磁性组件产生的磁场大小，从而改变货叉本体351内的磁流变液MR的物理特性，从而改变货叉35的刚性，进而改变货叉35的固有频率，以平稳地运行。

[0057] 以上为对本发明的描述，可以看出，本发明可以通过简单的方式调节质量块的质量，从而可以很方便地改变减振装置的固有频率，以改善减振效果，而不再需要对质量块进行拆卸更换，因此，在搬送系统中，利用减振装置可以方便、实时地根据外界刺激的频率进行减振，而不会影响系统的运行，并节省了人力。并且，在货叉内设置的磁流变液也可以方便、快速地对货叉的刚性进行调节，以对货叉进行减振，进一步减小对显示基板的损伤。

[0058] 可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。