OLED蒸镀装置及系统

摘要

本发明涉及一种OLED蒸镀装置及系统，OLED蒸镀装置与控制装置电连接。OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备。腔体内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备的腔室，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个蒸镀设备经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。腔体内还包括移动机构。控制装置用于通过移动机构控制不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各腔室的动作。该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。

权利要求

1.一种OLED蒸镀装置，其特征在于，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所有所述腔室中包括用于更换所述蒸镀设备内的有机材料的加料腔室；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。

2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括用于供所述蒸镀设备进行蒸镀的蒸镀腔室。

3.根据权利要求2所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括升温腔室；所述升温腔室位于所述加料腔室的出口与所述蒸镀腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述升温腔室内进行升温。

4.根据权利要求2所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括降温腔室；所述降温腔室位于所述蒸镀腔室的出口与所述加料腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述降温腔室内进行降温。

5.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，相邻的两个所述腔室连接。

6.根据权利要求5所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，相邻的两个所述腔室之间通过门体组件隔开。

7.根据权利要求6所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所述门体组件包括闸板阀。

8.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀设备内在位于有机材料与高精度金属掩模板之间的位置设有挡板组件；所述挡板组件用于在蒸镀时打开以使得有机材料能够蒸镀至玻璃基板上，且在蒸镀完成后闭合以使得蒸镀完成后继续蒸发的所述有机材料沉积至所述挡板组件上。

9.一种OLED蒸镀系统，其特征在于，包括控制装置及权利要求1至8中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置。

说明书

OLED蒸镀装置及系统

技术领域

[0001] 本发明涉及显示屏技术领域，特别是涉及一种OLED蒸镀装置及系统。

背景技术

[0002] OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏中的有机发光层进行制备时，通常采用真空蒸镀技术，即在真空腔室中，通过加热加热源向玻璃基板蒸镀有机材料，并利用晶振来控制膜厚。玻璃基板放置于样品托架上，其下方放置的FMM(Fine Metal Mask，高精度金属掩模板)控制蒸镀图案。

[0003] 然而，在传统的蒸镀工艺中，因坩埚的容积有限，在蒸镀144小时后需要将蒸镀设备开腔以向坩埚内添加有机材料，再加上更换晶振、更换内衬、升温等，需额外耗费48小时，才可以继续下一次蒸镀过程，从而导致大批量生产的效率较低。

发明内容

[0004] 基于此，有必要针对传统OLED大批量生产的效率较低的问题，提供一种OLED蒸镀装置及系统。

[0005] 一种OLED蒸镀装置，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。

[0006] 在其中一个实施例中，所有所述腔室中包括用于供所述蒸镀设备进行蒸镀的蒸镀腔室。

[0007] 在其中一个实施例中，所有所述腔室中还包括用于更换所述蒸镀设备内的有机材料的加料腔室。

[0008] 在其中一个实施例中，所有所述腔室中还包括升温腔室；所述升温腔室位于所述加料腔室的出口与所述蒸镀腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述升温腔室内进行升温。

[0009] 在其中一个实施例中，所有所述腔室中还包括降温腔室；所述降温腔室位于所述蒸镀腔室的出口与所述加料腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述降温腔室内进行降温。

[0010] 在其中一个实施例中，相邻的两个所述腔室连接。

[0011] 在其中一个实施例中，相邻的两个所述腔室之间通过门体组件隔开。

[0012] 在其中一个实施例中，所述门体组件包括闸板阀。

[0013] 在其中一个实施例中，所述蒸镀设备内在位于有机材料与高精度金属掩模板之间的位置设有挡板组件；所述挡板组件用于在蒸镀时打开以使得有机材料能够蒸镀至玻璃基板上，且在蒸镀完成后闭合以使得蒸镀完成后继续蒸发的所述有机材料沉积至所述挡板组件上。

[0014] 一种OLED蒸镀系统，包括控制装置及所述的OLED蒸镀装置。

[0015] 上述OLED蒸镀装置及系统中，腔体内设有多个与蒸镀过程不同阶段对应的腔室，并且在控制装置的控制下，可以使得不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作，因此该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，例如其中一个蒸镀设备在一个腔室内进行蒸镀的同时，可以控制另一个蒸镀设备在另一个腔室内更换材料，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。

附图说明

[0016] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。

[0017] 图1为一实施方式提供的OLED蒸镀装置的结构示意图；

[0018] 图2为图1所示实施方式的OLED蒸镀装置中相关结构与控制装置的电路框图。

具体实施方式

[0019] 为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

[0020] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

[0021] 一实施方式提供了一种OLED蒸镀装置，用于利用真空蒸镀技术来制备OLED显示屏中的有机发光层。请参考图1、图2，该OLED蒸镀装置与控制装置200电连接。控制装置200用于控制OLED蒸镀装置运行。具体地，控制装置200可以包括一个或一个以上控制器。其中，控制器例如为PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)。需要说明的是，本实施方式中，可以由一个控制器来控制OLED蒸镀装置内所有的机构运行，或者由不同的控制器分别控制OLED蒸镀装置内不同的机构运行，且各控制器之间可以相互通信。

[0022] OLED蒸镀装置包括腔体110及设置于腔体110内的两个或两个以上蒸镀设备120。蒸镀设备120包括一个封闭的壳体，壳体内例如设有放置有玻璃基板的样品托架、高精度金属掩模板、盛放有机材料的坩埚、加热源及晶振。其中，玻璃基板、高精度金属掩模板、有机材料按照由上而下的顺序放置。并且，还可以设置对位机构，用于对玻璃基板和高精度金属掩模板进行对位。在蒸镀时，加热源对坩埚进行加热，以使得有机材料通过高精度金属掩模板蒸镀至玻璃基板上。进一步地，蒸镀设备120内的腔壁和/或对位机构面向有机材料的一侧可以设置内衬，以使得多余的有机材料沉积到内衬上，到时只要更换内衬即可使得蒸镀设备继续使用。具体地，内衬可以选择耐高温的材料，例如不锈钢。并且，内衬的表面可以具有磨砂，从而提高有机材料的附着力。

[0023] 腔体110内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备120的腔室。因此，每一个腔室120的体积至少大于一个蒸镀设备120的体积。具体地，各腔室内可利用传统的方式建立真空环境，例如通过真空泵来建立真空环境。此外，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，换言之，蒸镀设备120在不同的腔室内，执行蒸镀过程中不同阶段的操作。每个蒸镀设备120经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。其中，蒸镀过程例如包括加热源进行升温、有机材料蒸镀至玻璃基板、加热源进行降温、更换有机材料等过程。

[0024] 此外，腔体110内还包括移动机构130。移动机构130可以使蒸镀设备120在OLED蒸镀装置内进行移动，并且，移动机构130可以使蒸镀设备120能够移动至不同的腔室内。具体地，所有腔室呈环形分布。移动机构130可以参考传统的环形导轨自动循环线来设计，例如：移动机构130包括伺服电机、同步带、安装在同步带上的多个滑座，其中，伺服电机与控制装置200电连接，各蒸镀设备120安装在相应的滑座上，如此，在控制装置200的控制下，伺服电机控制同步带运行，进而通过同步带上的滑座来带动蒸镀设备120进行移动。

[0025] 控制装置200用于通过移动机构130控制不同的蒸镀设备120同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备120循环执行依次进入各腔室的动作。换言之，在控制装置200的控制下，使得每一个蒸镀设备120可以依次进入每一个腔室，从而完成一次蒸镀过程，并继续依次进入每一个腔室，从而完成下一次蒸镀过程，依次循环。同时，不同的蒸镀设备120在同一时间段分别处于不同的腔室中，换言之，不同的蒸镀设备120在OLED蒸镀装置内交叉错开，例如：一个蒸镀设备120正处于一个腔室中执行将有机材料蒸镀至玻璃基板的过程，而另一个蒸镀设备120正处于另一个腔室中并处于更换有机材料的过程中。

[0026] 综上所述，本实施方式提供的上述OLED蒸镀装置，相当于建立了一个循环蒸镀系统，可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备120内的有机材料耗尽后，可继续更换下一个蒸镀设备120进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。

[0027] 在其中一个实施例中，请继续参考图1，所有腔室中包括用于供蒸镀设备120进行蒸镀的蒸镀腔室111。换言之，当蒸镀设备120进入蒸镀腔室111内后，在加热源的加热作用下，有机材料将会蒸镀至玻璃基板上。具体地，为了提高效率，控制装置200可以控制蒸镀设备120刚进入蒸镀腔室111时，有机材料恰好刚开始蒸镀至玻璃基板上。控制装置200还可以控制蒸镀设备120从蒸镀腔室111中移出时，有机材料恰好耗尽。在具体控制中，控制装置200可以根据预设的时间值来控制蒸镀设备120进入和移出蒸镀腔室111的时间。或者，在蒸镀设备120内设置能够检测有机材料实时状况的传感器件，该传感器件实时将检测的信息发送至控制装置200，以使得控制装置200根据有机材料的实时状况来通过移动机构130控制蒸镀设备120运行。

[0028] 进一步地，请继续参考图1，所有腔室中还包括用于更换蒸镀设备120内的有机材料的加料腔室112。加料腔室112例如为PM(Preventative Maintenance，预防性维护保养)腔室，其可以打开，以供用户进行相应操作。例如，当蒸镀设备120移动至加料腔室112内后，用户可以更换有机材料、晶振及内衬，更换完毕后，蒸镀设备120内开始建立真空环境。

[0029] 进一步地，请继续参考图1，所有腔室中还包括升温腔室113。升温腔室113位于加料腔室112的出口与蒸镀腔室111的入口之间。因此，蒸镀设备120从加料腔室112出来后将移动至升温腔室113，再移动至蒸镀腔室111内。其中，控制装置200用于控制蒸镀设备120内的加热源在升温腔室113内进行升温，以做好蒸镀的准备工作。

[0030] 进一步地，请继续参考图1，所有腔室中还包括降温腔室114。降温腔室114位于蒸镀腔室111的出口与加料腔室112的入口之间。其中，控制装置200用于控制蒸镀设备120的加热源在降温腔室114内进行降温。

[0031] 因此，上述加料腔室112、升温腔室113、蒸镀腔室111、降温腔室114共同构成一个蒸镀循环系统，使得各蒸镀设备120可以循环执行蒸镀过程。其中，蒸镀设备120在一次蒸镀过程中的运行原理例如为：控制装置200根据设定时间值来控制蒸镀设备120进入或移出各腔室的时间，其中，在控制装置200的控制下，蒸镀设备120移动至加料腔室112内更换材料完毕并建立真空后，移动至升温腔室113，在升温腔室113内加热源进行加热。之后，蒸镀设备120再移动至蒸镀腔室111中，在蒸镀腔室111中将进行蒸镀，蒸镀完毕后，蒸镀设备120移动至降温腔室114内，在降温腔室内114加热源进行降温，降温完毕后，蒸镀设备120再移动至加料腔室112，以开腔更换材料，之后依次循环。

[0032] 具体地，相邻的两个腔室连接。即，上述加料腔室112、升温腔室113、蒸镀腔室111、降温腔室114依次连接，从而可以缩短蒸镀设备120移动的时间，进一步提高蒸镀的效率。

[0033] 进一步地，相邻的两个腔室之间通过门体组件140隔开，从而保证各腔室都是独立的封闭空间，从而可以独立建立真空环境，以减少污染。进一步地，控制装置200用于控制门体组件140打开或关闭。当门体组件140打开后，蒸镀设备120可以由门体组件140一侧的腔室移动至门体组件140另一侧的腔室。当门体组件140关闭后，门体组件140两侧的腔室则相互隔开。

[0034] 具体地，门体组件140例如包括闸板阀。闸板阀在控制装置200的控制下即可实现打开和关闭功能。或者，门体组件140也可以采用其他传统的能够自动打开或关闭的机械组件来实现，例如包括驱动装置、传动装置及门体，并且，控制装置200通过控制驱动装置使得传动装置带动门体打开或关闭。

[0035] 可以理解的是，腔体110内各腔室的设置方式不限于上述情况，只要使得蒸镀设备120经过所有腔室后能够完成一次蒸镀过程即可，例如：升温腔室113可以和加料腔室112或蒸镀腔室111合并为一个腔室；或者，降温腔室114可以和加料腔室112或蒸镀腔室111合并为一个腔室。

[0036] 在其中一个实施例中，蒸镀设备120内在位于有机材料与高精度金属掩模板之间的位置设有挡板组件121(图1中未示出)。挡板组件121用于在蒸镀时打开以使得有机材料能够蒸镀至玻璃基板上，且在蒸镀完成后闭合以使得蒸镀完成后继续蒸发的有机材料沉积至挡板组件121上。其中，挡板组件121可以由控制装置200控制。例如：当蒸镀设备120进入蒸镀腔室111且玻璃基板与高精度金属掩模板对位完成后，控制装置200控制挡板组件121打开，这时有机材料即可通过高精度金属掩模板蒸镀至玻璃基板上。或者，挡板组件121也可以由对位机构控制，当对位机构对位完成后向挡板组件121发送控制信号，以控制挡板组件121打开。当有机材料蒸镀完成后，蒸镀设备120移动至降温腔室114内后，控制装置200控制挡板组件121闭合，这时由于加热源的温度仍然较高，会有少量的有机材料继续蒸发，但是由于挡板组件121的存在，使得之后蒸发的有机材料将会沉积到挡板组件121上，从而减少了沉积到内衬上的有机材料，可以减少更换内衬的次数。

[0037] 具体地，挡板组件121可以采用传统能够自动打开或关闭的机械组件来实现，例如：挡板组件121可以包括驱动装置、传动装置及挡板，其中，驱动装置与控制装置200电连接，控制装置通过控制驱动装置，进而通过传动装置带动挡板打开或闭合。

[0038] 另一实施方式提供了一种OLED蒸镀系统，包括控制装置及上一实施方式提供的OLED蒸镀装置。

[0039] 需要说明的是，本实施方式提供的控制装置、OLED蒸镀装置分别与上一实施方式中的控制装置200、OLED蒸镀装置的原理相同，这里就不再赘述。

[0040] 以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

[0041] 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。