流体压驱动装置

摘要

本发明提供一种流体压驱动装置，正确地判断流量控制阀是否发生了因工作油泄漏引起的状态异常。流体压驱动装置(1)具备：流量控制阀，其具有第一可动部，该流量控制阀根据第一可动部的位置来控制工作流体的喷出量；致动器，其具有第二可动部，该第二可动部能够根据从流量控制阀喷出的工作流体的喷出量来改变位置；以及异常判断部(4a)，其基于喷出所述工作流体的所述第一可动部的实际位置与第二可动部的位移速度之间的相关关系，来判断流量控制阀有无状态异常。

权利要求

1.一种流体压驱动装置，其特征在于，具备：

流量控制阀，其具有第一可动部，所述流量控制阀根据所述第一可动部的位置来控制工作流体的喷出量；

致动器，其具有第二可动部，该第二可动部能够根据从所述流量控制阀喷出的工作流体的喷出量来改变位置；以及异常判断部，其基于喷出所述工作流体的所述第一可动部的实际位置与所述第二可动部的位移速度之间的相关关系，来判断所述流量控制阀有无状态异常。

2.根据权利要求1所述的流体压驱动装置，其特征在于，还具备相关关系检测部，该相关关系检测部基于使所述流量控制阀和所述致动器在规定期间进行动作的期间内的所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度，来求出表示所述相关关系的相关函数，所述异常判断部基于所述相关函数和所述规定期间内的所述第一可动部的实际位置及所述第二可动部的位移速度，来判断所述流量控制阀有无状态异常。

3.根据权利要求2所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述异常判断部具有：

频度判定部，其判定在所述规定期间内所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度与所述相关函数之间的偏差变为规定阈值以上的频度是否为规定值以上；以及异常推测部，当由所述频度判定部判定为所述频度为所述规定值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

4.根据权利要求2所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述异常判断部具有：

偏差程度检测部，其检测所述规定期间内的所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度相对于所述相关函数的偏差程度；

偏差程度判定部，其判定所述偏差程度或偏差程度的变化是否为规定阈值以上；以及异常推测部，当由所述偏差程度判定部判定为所述偏差程度或偏差程度的变化为所述阈值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

5.根据权利要求2所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述异常判断部具有：

斜率判定部，其判定在所述规定期间内所述相关函数的斜率或斜率的变化是否变为规定阈值以上；以及异常推测部，当由所述斜率判定部判定为所述相关函数的斜率或斜率的变化变为所述阈值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

6.根据权利要求2所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述异常判断部具有：

相关函数判定部，其判定在所述规定期间内所述第一可动部的实际位置为基准位置的情况下的所述相关函数上的所述第二可动部的位移速度、以及所述第二可动部的位移速度为零的情况下的所述相关函数上的所述第一可动部的实际位置中的至少一方是否超过了第一规定阈值或发生了第二规定阈值以上变化；以及异常推测部，当由所述相关函数判定部判定为超过了所述第一规定阈值或发生了所述第二规定阈值以上变化时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述异常判断部将从所述第一可动部开始移动起至所述第二可动部的位移速度开始发生变化为止的时间延迟考虑在内，来判断所述流量控制阀有无状态异常。

8.根据权利要求7所述的流体压驱动装置，其特征在于，在所述时间延迟超过了预先决定的限制时间的情况下，所述异常判断部判断为所述流量控制阀存在状态异常。

9.根据权利要求1～6中的任一项所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述致动器是根据所述第二可动部的位置来控制对其它致动器供给的工作流体的供给量的阀。

10.根据权利要求1～6中的任一项所述的流体压驱动装置，其特征在于，所述第一可动部是阀芯，所述流量控制阀是滑阀。

说明书

流体压驱动装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种具备流量控制阀的流体压驱动装置。

背景技术

[0002] 在专利文献1中公开了一种自动地诊断液压加压伺服阀的故障的方法，其中，该液压加压伺服阀用于对轧机的液压加压装置进行控制。在专利文献1中，根据伺服阀的阀芯位置的指令值与实际的阀芯位置之间的偏差是否超过了阈值，来判断伺服阀是否发生了故障。

[0003] 另外，在专利文献2中公开了一种基于用于设定比例阀的开度的电流检测值来进行比例阀的驱动电路的异常判定的方法，其中，该比例阀用于控制向燃烧装置供给的燃料量。

[0004] 专利文献1：日本特开2016-50785号公报

[0005] 专利文献2：日本特开2016-183807号公报

发明内容

[0006] 发明要解决的问题

[0007] 在专利文献1中，判断因阀芯与伺服阀之间堵塞异物而引起的伺服阀的故障。在专利文献2中，判断比例阀的驱动电路内的电路构成元件的故障。

[0008] 作为对工作油的喷出量进行控制的流量控制阀的故障的一个方式，存在流量控制阀的工作油泄漏。在流量控制阀内移动的可动部(例如阀芯)在中立位置可靠地将工作油密封，当可动部相对于中立位置发生偏离时，必须将工作油喷出。

[0009] 但是，在流量控制阀内的工作油中混入了异物的情况下，由于可动部被异物磨削等，即使可动部在中立位置，工作油也有可能漏出。当在流量控制阀内工作油发生泄漏时，无法按期望的那样对工作油的喷出量和喷出压力进行控制，有可能使被流量控制阀驱动的驱动部、被驱动部控制的致动器进行误动作。另外，当漏油量变得过大时，工作油的供给不足，有可能得不到足够的工作液压。

[0010] 本发明是为了解决上述的课题而完成的，其目的在于提供一种能够正确地判断流量控制阀是否发生了因工作油泄漏引起的状态异常的流体压驱动装置。

[0011] 用于解决问题的方案

[0012] 为了解决上述的课题，在本发明的一个方式中，提供一种流体压驱动装置，具备：流量控制阀，其具有第一可动部，所述流量控制阀根据所述第一可动部的位置来控制工作流体的喷出量；致动器，其具有第二可动部，该第二可动部能够根据从所述流量控制阀喷出的工作流体的喷出量来改变位置；以及异常判断部，其基于喷出所述工作流体的所述第一可动部的实际位置与所述第二可动部的位移速度之间的相关关系，来判断所述流量控制阀有无状态异常。

[0013] 也可以是，还具备相关关系检测部，该相关关系检测部基于使所述流量控制阀和所述致动器在规定期间进行动作的期间内的所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度，来求出表示所述相关关系的相关函数，也可以是，所述异常判断部基于所述相关函数和所述规定期间内的所述第一可动部的实际位置及所述第二可动部的位移速度，来判断所述流量控制阀有无状态异常

[0014] 也可以是，所述异常判断部具有：频度判定部，其判定在所述规定期间内所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度与所述相关函数之间的偏差变为规定阈值以上的频度是否为规定值以上；以及异常推测部，当由所述频度判定部判定为所述频度为所述规定值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

[0015] 也可以是，所述异常判断部具有：偏差程度检测部，其检测所述规定期间内的所述第一可动部的实际位置和所述第二可动部的位移速度相对于所述相关函数的偏差程度；偏差程度判定部，其判定所述偏差程度或偏差程度的变化是否为规定阈值以上；以及异常推测部，当由所述偏差程度判定部判定为所述偏差程度或偏差程度的变化为所述阈值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

[0016] 也可以是，所述异常判断部具有：斜率判定部，其判定在所述规定期间内所述相关函数的斜率或斜率的变化是否变为规定阈值以上；以及异常推测部，当由所述斜率判定部判定为所述相关函数的斜率或斜率的变化变为所述阈值以上时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

[0017] 也可以是，所述异常判断部具有：相关函数判定部，其判定在所述规定期间内所述第一可动部的实际位置为基准位置的情况下的所述相关函数上的所述第二可动部的位移速度、以及所述第二可动部的位移速度为零的情况下的所述相关函数上的所述第一可动部的实际位置中的至少一方是否超过了第一规定阈值或发生了第二规定阈值以上变化；以及异常推测部，当由所述相关函数判定部判定为超过了所述第一规定阈值或发生了所述第二规定阈值以上变化时，该异常推测部推测为所述流量控制阀存在状态异常。

[0018] 也可以是，所述异常判断部将从所述第一可动部开始移动起至所述第二可动部的位移速度开始发生变化为止的时间延迟考虑在内，来判断所述流量控制阀有无状态异常。

[0019] 也可以是，在所述时间延迟超过了预先决定的限制时间的情况下，所述异常判断部判断为所述流量控制阀存在状态异常。

[0020] 也可以是，所述致动器是根据所述第二可动部的位置来控制对其它致动器供给的工作油的供给量的阀。

[0021] 也可以是，所述第一可动部是阀芯，所述流量控制阀是滑阀。

[0022] 发明的效果

[0023] 根据本发明，能够正确地判断流量控制阀是否发生了因工作油泄漏引起的状态异常。

附图说明

[0024] 图1是示出本发明的一个实施方式的流体压驱动装置的概要结构的框图。

[0025] 图2是示出FV阀芯的实际位置与ACTV活塞的位移速度之间的相关关系的曲线图。

[0026] 图3是示出异常判断部的第一例的处理过程的流程图。

[0027] 图4是示出异常判断部的第二例的处理过程的流程图。

[0028] 图5是示出规定期间内的各相关数据的偏差程度的一个例子的图。

[0029] 图6是示出异常判断部的第三例的处理过程的流程图。

[0030] 图7是示出异常判断部的第四例的处理过程的流程图。

[0031] 图8是示出从FV阀芯的位置发生变化起至ACTV活塞的位移速度发生变化为止的时间延迟的偏差的图。

[0032] 图9是示出FV的工作油泄漏量与时间延迟的长度之间的相关关系的图。

[0033] 附图标记说明

[0034] 1：流体压驱动装置；2：流量控制阀(FV)；2a：FV阀芯；2b：FV阀芯传感器；3：致动器(ACTV)；3a：ACTV活塞；3b：ACTV活塞传感器；4：控制器；4a：异常判断部；4b：相关关系检测部；4c：频度判定部；4d：异常推测部；4e：偏差程度检测部；4f：偏差程度判定部；4g：斜率判定部；4h：相关函数判定部；5：致动器轴。

具体实施方式

[0035] 以下，详细地说明本发明的实施方式。

[0036] 图1是示出本发明的一个实施方式的流体压驱动装置1的概要结构的框图。图1的流体压驱动装置1具备流量控制滑阀(以下称为FV)2、致动器(以下称为ACTV)3以及控制器4。FV 2是流量控制阀的一个例子。

[0037] FV 2具有能够在中空的套管内移动的阀芯(第一可动部，以下称为FV阀芯)2a。FV 2根据FV阀芯2a的位置来控制工作油的喷出量。ACTV 3具有能够在中空的套管内移动的活塞(第二可动部，以下称为ACTV活塞)3a。ACTV 3根据从FV 2喷出的工作油的喷出量来使ACTV活塞3a的位置可变。

[0038] FV 2也可以具备检测FV阀芯2a的位置的阀芯传感器(以下称为FV阀芯传感器)2b。FV阀芯传感器2b例如被安装在FV 2的长边方向的一端部，以非接触的方式检测与FV阀芯2a之间的距离。由FV阀芯传感器2b检测出的FV阀芯2a的位置被传递到控制器4。

[0039] ACTV 3也可以具备检测ACTV活塞3a的位置的活塞传感器(以下称为ACTV活塞传感器)3b。ACTV活塞传感器3b例如被安装在ACTV 3的长边方向的一端部，以非接触的方式检测与ACTV活塞3a之间的距离。由ACTV活塞传感器3b检测出的ACTV活塞3a的位置被传递到控制器4。

[0040] 控制器4向FV 2发送用于指示FV阀芯2a的位置的信号。FV 2例如是电磁阀，使FV阀芯2a移动到与来自控制器4的指令信号相应的位置。控制器4具有异常判断部4a。异常判断部4a基于FV阀芯2a正在移动时的FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系，来判断FV 2、ACTV 3等有无状态异常。

[0041] 在FV阀芯2a位于中立位置时，本来不从FV 2喷出工作油，ACTV活塞3a处于停止状态。即，ACTV活塞3a在FV阀芯2a位于中立位置之前持续停止在ACTV活塞3a所存在的位置。

[0042] 当使FV阀芯2a相对于中立位置向第一方向偏移时，向ACTV 3的下端部供给工作油，ACTV活塞3a向上方移动。由此，例如ACTV 3的致动器轴5向上方位移。另一方面，当使FV阀芯2a相对于中立位置向与第一方向相反的第二方向偏移时，向ACTV 3的上端部供给工作油，ACTV活塞3a向下方移动。由此，ACTV 3的致动器轴5向下方位移。

[0043] 此外，ACTV 3也可以不直接使致动器轴5运动而是向另外设置的致动器供给工作油的控制阀。此时，利用ACTV 3来接受工作油的供给的致动器不限于一个，也可以根据ACTV活塞3a的位置来驱动多个致动器。例如，多个致动器也可以是燃料喷射泵和排气阀致动器。通过将ACTV活塞3a的移动位置依次切换到多个位置，ACTV 3能够交互地驱动燃料喷射泵和排气阀致动器。

[0044] 在FV阀芯2a位于中立位置的情况下，必须可靠地将工作油密封，以避免从FV 2向ACTV 3喷出工作油。另外，当即使FV阀芯2a相对于中立位置稍微发生偏离时，工作油也必须流出。由于向FV 2内供给的工作油中混入的异物而有可能FV阀芯2a被磨削或与FV阀芯2a一起形成工作油流路的FV 2的套管被磨削。当FV阀芯2a或套管被磨削时，导致在FV 2内发生工作油泄漏。当在FV 2内发生工作油泄漏时，即使FV阀芯2a位于中立位置，也会导致ACTV活塞3a发生移动，或者即使使FV阀芯2a从中立位置移动到规定的位置，也会导致从FV 2喷出的工作油量减少，ACTV活塞3a的位移速度有可能变慢。另外，当漏油量变得过大时，工作油的供给不足而得不到足够的工作液压，有可能影响到使用相同系统的工作油的其它设备。

[0045] 当像这样在FV 2内发生工作油泄漏时，无法正常地驱动ACTV 3，在最坏的情况下，其它设备的工作中也会发生故障，因此需要随时检测/监视FV 2内的工作油泄漏的状况。

[0046] 作为检测FV 2内的工作油泄漏的一个方法，考虑在用于向FV 2内供给工作油的供给端口周边连接流量计。在将FV阀芯2a设定在中立位置时，工作油本来应该不会流过供给端口，因此如果能够利用流量计确认出工作油的流动，则能够判定为存在工作油泄漏。然而，当将流量计连接到FV 2时，导致FV 2的成本变高。

[0047] 本发明的发明人发现，FV阀芯2a正在移动时的FV阀芯2a的实际的位置(实际位置)与ACTV活塞3a的位移速度之间存在相关关系。图2是示出FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系的曲线图。图2的横线是FV阀芯2a的实际位置。横线的中心是基准点0，基准点0的右侧例如表示使FV阀芯2a向上方移动的情况，基准点0的左侧例如表示使FV阀芯2a向下方移动的情况。在基准点0处，向FV 2流入或从FV 2流出的工作油流量为零。向右侧或左侧离基准点0越远，则向FV 2流入或从FV 2流出的工作油流量越大。在图2中，将从基准点0向右侧表述为“大”，将从基准点0向左侧表述为“小”，但是任一方向ACTV 3供给工作油来产生按压ACTV活塞3a的方向的力，另一方从ACTV 3引入工作油来产生提升ACTV活塞3a的方向的力。当像这样使FV阀芯2a从基准点0向右侧和左侧中的某一侧发生了移动时，是从FV2喷出工作油还是向FV 2供给工作油是任意的，能够按每个应用程序进行设定。

[0048] 图2的曲线图是标记出使FV阀芯2a的实际位置多次发生了变化时的ACTV活塞3a的位移速度并将各标记用线连结而得到的曲线图。虽然稍微存在偏差，但是FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系能够近似为图2的实线直线。在本说明书中，将该实线直线称为相关函数。

[0049] 根据本发明的发明人的研究可知：在FV 2中工作油泄漏增大的情况下，当求出FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系时，相关函数出现变化。

[0050] 因此，在控制器4内设置异常判断部4a，基于以下的第一例～第四例中的至少一例，来判断FV 2和ACTV 3有无状态异常。

[0051] 如后述的那样，第一例～第四例的控制器4除了具有异常判断部4a以外，还具有相关关系检测部4b。相关关系检测部4b基于使FV 2和ACTV 3在规定期间内进行动作的期间内的FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度，来检测两者的相关关系。

[0052] 在第一例中，基于在规定期间内与相关函数之间的偏差变为规定阈值以上的频度，来判断FV 2和ACTV 3是否发生了状态异常。更详细地说，第一例的异常判断部4a具有频度判定部4c和异常推测部4d。频度判定部4c判定在规定期间内与相关函数之间的偏差变为规定阈值以上的频度是否为规定值以上。当由频度判定部4c判定为频度为规定值以上时，异常推测部4d推测为FV 2或ACTV 3存在状态异常。

[0053] 图3是示出异常判断部4a的第一例的处理过程的流程图。首先，将时刻t设定为初始时刻t0(步骤S1)。接着，使FV 2和ACTV 3进行动作，来定期或不定期地取入FV阀芯2a的实际位置SPt和对应的ACTV活塞3a的实际位置SMt(步骤S2)。

[0054] 接着，运算ACTV活塞3a的位移速度dSMt/dt(步骤S3)。由此，能够求出FV阀芯2a的实际位置SPt与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系。

[0055] 接着，判定从开始进行步骤S2的处理起是否经过了规定期间dT(步骤S4)。在还没有经过规定期间dT的情况下，重复进行步骤S2～S4的处理，使与FV阀芯2a的实际位置和ACTV活塞3a的位移速度有关的相关数据的检测数增加。

[0056] 在经过了规定期间dT的情况下，基于规定期间内的FV阀芯2a的实际位置和ACTV活塞3a的位移速度，来求出相关函数f(SPt)(步骤S5)。在该步骤S5中，基于如图2所示那样例如将横轴设为FV阀芯2a的实际位置、将纵轴设为ACTV活塞3a的位移速度时的规定期间内的各相关数据，来进行相关近似运算，以求出相关函数f(SPt)。理想的是，例如能够用图2的实线直线表示相关函数。

[0057] 接着，运算偏离值ΔdSM(步骤S6)，该偏离值ΔdSM是表示规定期间(时刻t＝t0～dT的期间)内的各相关数据相对于相关函数偏离了何种程度的值。能够通过以下的(1)式来计算偏离值ΔdSM。

[0058] ΔdSM＝(dSMt/dt-f(SPt))2   …(1)

[0059] 接着，判定偏离值ΔdSM为规定阈值以上的相关数据的数量是否为规定个数n以上(步骤S7)。在为规定个数以上的情况下，进行规定的警告处理(步骤S8)。规定的警告处理是指在未图示的控制面板等显示FV 2或ACTV 3发生了状态异常的可能性高。或者，也可以通过报警音或声音等进行警告处理。在步骤S8的处理结束之后或者在步骤S7中判定为小于规定个数的情况下，定期或不定期地重复进行步骤S1以后的处理。

[0060] 另一方面，在第二例中，根据与相关函数之间的偏差程度，来判断FV 2是否发生了状态异常。更详细地说，第二例的异常判断部4a具有偏差程度检测部4e、偏差程度判定部4f以及异常推测部4d。偏差程度检测部4e检测规定期间内的FV阀芯2a的实际位置和ACTV活塞3a的位移速度相对于相关函数的偏差程度。偏差程度判定部4f判定偏差程度或偏差程度的变化是否为规定阈值以上。当由偏差程度判定部4f判定为阈值以上时，异常推测部4d推测为FV 2或ACTV 3存在状态异常。

[0061] 图4是示出异常判断部4a的第二例的处理过程的流程图。图4的步骤S11～S15与图3的步骤S1～S5相同。当在步骤S15中求出相关函数时，针对规定期间内的各相关数据检测
2 2
与相关函数之间的偏差程度(步骤S16)。偏差程度能够通过决定系数R来求出。决定系数R能够通过以下的(2)式来表示。在(2)式中，将规定期间内的各相关数据设为(xi，yi)，将相关函数设为f(xi)，将yi的平均设为μY。

[0062] [数1]

[0063]

[0064] 接着，判定偏差程度(例如决定系数R2)是否为规定阈值以上(步骤S17)。在偏差程度为阈值以上的情况下，进行规定的警告处理(步骤S18)。在步骤S18的处理结束之后或者在步骤S17中判定为小于阈值的情况下，重复进行步骤S11以后的处理。

[0065] 图5是示出规定期间内的各相关数据的偏差程度的一个例子的图。图5的横轴是内部泄漏量[L/分钟]，纵轴是偏差程度即决定系数R2。越是靠纵轴的下方，则偏差越大，越是靠纵轴的上方，则偏差越小。在图5的例子中，相关数据p1被判定为偏差程度为阈值以上。

[0066] 另一方面，在第三例中，根据相关函数的斜率变化来判断FV 2是否发生了状态异常。更详细地说，第三例的异常判断部4a具有斜率判定部4g和异常推测部4d。斜率判定部4g判定在规定期间内相关函数的斜率变化是否变为规定阈值以上。当由斜率判定部4g判定为相关函数的斜率或斜率变化变为规定阈值以上时，异常推测部4d推测为FV 2或ACTV 3存在状态异常。

[0067] 图6是示出异常判断部4a的第三例的处理过程的流程图。图6的步骤S21～S25与图3的步骤S1～S5相同。当在步骤S25中求出相关函数时，判定相关函数的斜率是否急剧地发生了变化(步骤S26)。更具体地说，判定相关函数的斜率相对于过去的实际值是否发生了变化。然后，在发生了阈值以上变化的情况下，进行规定的警告处理(步骤S27)。在步骤S27的处理结束之后或相关函数的斜率没有发生阈值以上的变化的情况下，更新斜率的过去实际值(步骤28)。之后，重复进行步骤S21以后的处理。

[0068] 另一方面，在第四例中，根据相关函数的X截距和Y截距中的至少一方是否急剧地发生了变化，来判断FV 2是否发生了状态异常。更详细地说，第四例的异常判断部4a具有相关函数判定部4h和异常推测部4d。相关函数判定部4h判定在规定期间内FV阀芯2a的实际位置为基准位置的情况下的相关函数上的ACTV活塞3a的位移速度、以及ACTV活塞3a的位移速度为零的情况下的相关函数上的FV阀芯2a的实际位置中的至少一方是否超过了规定阈值或发生了规定阈值以上变化。当由相关函数判定部4h判定为发生了阈值以上变化时，异常推测部4d推测为FV 2或ACTV 3存在状态异常。

[0069] 图7是示出异常判断部4a的第四例的处理过程的流程图。图7的步骤S31～S35与图3的步骤S1～S5相同。当在步骤S35中求出相关函数时，接下来判定相关函数的X截距和Y截距中的至少一方是否急剧地发生了变化(步骤S36)。X截距是ACTV活塞3a的位移速度为零的情况下的相关函数上的FV阀芯2a的实际位置。Y截距是FV阀芯2a的实际位置为基准位置的情况下的相关函数上的ACTV活塞3a的位移速度。如果X截距和Y截距中的至少一方与过去的实际值相比发生了阈值以上变化，则进行规定的警告处理(步骤S37)。在步骤S37的处理结束之后或X截距和Y截距没有发生阈值以上变化的情况下，更新X截距和Y截距的过去实际值(步骤S38)。之后，重复进行步骤S31以后的处理。

[0070] 上述的第一例～第四例只不过是判断FV 2内的因工作油泄漏引起的状态异常的一例，也可以通过其它方法来判断FV 2的状态异常。在第三例和第四例中，对相对于过去的实际值的变化进行监视来检测状态异常，但是也可以在单纯地超过了阈值的情况下检测状态异常。另外，在求解相关函数时，由于从FV阀芯2a的位置发生变化起至ACTV活塞3a的位移速度发生变化为止产生时间延迟，因此也可以将时间延迟考虑在内，来估计最佳的时间延迟后求出相关函数。

[0071] 图8是示出从FV阀芯2a的位置发生变化起至ACTV活塞3a的位移速度发生变化为止的时间延迟与数据相对于相关函数的偏差程度之间的关系的图。图8的横轴是时间延迟的长度，纵轴是偏差程度，越是靠纵轴的下方，则表示偏差越大，越是靠纵轴的上方，则表示偏差越小。如图8的标记那样，在各相关数据的时间延迟发生偏差的情况下，也可以将偏差最小时的时间延迟设为最佳的时间延迟，估计该最佳的时间延迟后求出相关函数。

[0072] 另外，当在FV 2内发生工作油泄漏时，与没有发生工作油泄漏的情况相比，上述的最佳的时间延迟变长。因此，也可以是，判定从FV阀芯2a的位置发生变化起至ACTV活塞3a的位移速度发生变化为止的最佳时间延迟是否为规定阈值以上，如果为规定阈值以上，则判断为FV 2发生了状态异常。

[0073] 图9是示出FV 2的工作油泄漏量与最佳时间延迟的长度之间的相关关系的图。图9的横轴是工作油泄漏量[L/分钟]，纵轴是最佳时间延迟。越靠纵轴的下方，则最佳时间延迟越长，越靠纵轴的上方，则最佳时间延迟越短。图9的相关数据p2由于工作油泄漏量最大且最佳时间延迟也最长，因此被判断为FV 2发生了状态异常。

[0074] 在上述的第一例～第四例中，基于FV阀芯2a的实际位置和ACTV活塞3a的位移速度来检测两者的相关关系，但是在使ACTV活塞3a移动的情况下的FV阀芯2a的实际位置与使工作流体返回到FV 2的未图示的罐的情况下的FV阀芯2a的实际位置不同。其中，在使工作流体返回到罐的情况下，不受ACTV3侧的影响，因此能够更准确地测量FV阀芯2a的实际位置。通过在使工作流体返回到FV 2的罐的情况下测量FV阀芯2a的实际位置，能够更高精度地判断FV 2有无状态异常。

[0075] 这样，在本实施方式中，基于FV阀芯2a正在移动时的FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系，来判断FV 2有无状态异常，因此能够高精度地检测因FV 2内的工作油泄漏引起的FV 2的状态异常。本实施方式着眼于当在FV 2内发生工作油泄漏时FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系发生变化，不特别关注检测相关关系的变化的具体方法。例如上述的那样，根据规定期间内的FV阀芯2a的实际位置与ACTV活塞3a的位移速度之间的相关关系来求出相关函数，可以根据与相关函数之间的偏差或偏差程度来判断FV 2的状态异常，也可以根据相关函数的斜率、X截距、Y截距等来判断FV 2的状态异常。根据本实施方式，不设置流量计就能够检测FV 2内的工作油泄漏，因此不需要对FV 2设置用于检测工作油泄漏的流量计，能够避免FV 2的成本上升。

[0076] 在上述的实施方式中，说明了具备FV 2和ACTV 3的流体压驱动装置1，但是本实施方式能够广泛应用于具备流量控制阀和驱动部的流体压驱动装置1。流量控制阀只要具有第一可动部且根据第一可动部的位置来控制工作油的喷出量即可。流量控制阀的具体例除了能够应用于上述的FV 2等滑阀之外，能够还应用于提升阀(poppet valve)、球阀(ball valve)、针阀(needle valve)等。驱动部具有能够根据从流量控制阀喷出的工作油的喷出量来使位置可变的第二可动部，并且根据第二可动部的位置来直接驱动致动器轴5，除此以外，驱动部还可以是根据第二可动部的位置来控制对另外设置的致动器供给的工作油的供给量的阀。驱动部的具体例除了为上述的活塞式的致动器ACTV 3以外，还可以是滑阀、提升阀，还可以是液压马达等流体压驱动马达。

[0077] 本发明的方式并不限定于上述的各个实施方式，还包括本领域技术人员所能想到的各种变形，本发明的效果也不限定于上述的内容。即，在不超出权利要求书规定的内容及能够根据其等同物导出的本发明的概念性的思想和主旨的范围内，能够进行各种追加、变更以及局部的删除。