干燥装置

摘要

本申请公开一种用于干燥含有液体成分的试料的干燥装置，其包括：加热槽；冷却槽；开闭结构体；搬送部；调整部；调整控制部。其中，所述调整控制部执行以下控制：试料接收控制，在接收通过所述搬入开口部向所述加热槽搬入试料时，让所述调整部将所述加热槽调整为干燥空气气氛；加热处理控制，为了在所述加热槽执行试料的加热处理，让所述调整部将所述加热槽调整为指定的加热处理气氛；冷却处理控制，为了在所述冷却槽执行试料的冷却处理，让所述调整部将所述冷却槽调整为指定的冷却处理气氛；以及试料送出控制，在通过所述搬出开口部从所述冷却槽送出试料时，让所述调整部将所述冷却槽调整为干燥空气气氛。

权利要求

1.一种干燥装置，用于干燥含有液体成分的试料，其特征在于包括：加热槽，具有第一开口部和试料的搬入开口部，用于加热试料；

冷却槽，具有与所述第一开口部相向的第二开口部和试料的搬出开口部，用于冷却在所述加热槽加热后的试料；

开闭结构体，被配设在所述加热槽与所述冷却槽之间，具有用于开闭所述第一开口部及所述第二开口部的门体；

搬送部，将通过所述搬入开口部搬入到所述加热槽的试料经由所述开闭结构体从所述加热槽向所述冷却槽搬送；

调整部，调整所述加热槽及所述冷却槽的内部的气氛；以及调整控制部，控制所述调整部，其中，

所述调整控制部执行以下控制：

试料接收控制，在接收通过所述搬入开口部向所述加热槽搬入试料时，让所述调整部将所述加热槽调整为干燥空气气氛；

加热处理控制，为了在所述加热槽执行试料的加热处理，让所述调整部将所述加热槽调整为指定的加热处理气氛；

冷却处理控制，为了在所述冷却槽执行试料的冷却处理，让所述调整部将所述冷却槽调整为指定的冷却处理气氛；以及试料送出控制，在通过所述搬出开口部从所述冷却槽送出试料时，让所述调整部将所述冷却槽调整为干燥空气气氛。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于还包括：连通管，形成使所述加热槽和所述冷却槽连通的连通路；

连通开闭阀，被设置在所述连通管上，用于开闭所述连通路；

开闭阀控制部，在让所述门体开闭所述第一开口部及所述第二开口部时，控制所述连通开闭阀的开闭动作。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于：所述开闭结构体还包含连接所述第一开口部和所述第二开口部的框体，所述门体被收容于该框体内，所述连通管具有使所述加热槽与所述框体连通的第一连通路和使所述冷却槽与所述框体连通的第二连通路。

说明书

干燥装置

[0001] 本申请是申请日为2016年12月20日、发明名称为“干燥装置”、申请号为“201611190795.2”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

[0002] 本发明涉及一种用于干燥试料的干燥装置。

背景技术

[0003] 以往，作为干燥含有水分或有机溶剂等液体成分的试料的干燥装置，已知有如日本专利公报第5466974号公开的在惰性气体气氛下加热的方式以及在真空气氛下加热的方式。该日本专利公报第5466974号公开的装置在制造锂离子二次电池时被使用，用于干燥被涂布了糊状的电极材料的金属箔层叠体。

[0004] 在日本专利公报第5466974号中分别公开了分批方式的干燥装置和连续搬送方式的干燥装置。在分批方式的干燥装置中，在一个气密室内实施两个阶段的加热处理、惰性气体气氛下的冷却处理共计三个阶段的处理。具体而言，两个阶段的加热处理包括在惰性气体气氛下的第一加热处理和真空气氛下的第二加热处理。通过实施这三个阶段的处理，干燥作为试料的金属箔层叠体。此外，在连续搬送方式的干燥装置中，向分别相对应于两个阶段的加热处理和冷却处理这三个阶段的处理的三个气密室连续搬送金属箔层叠体。据此，干燥金属箔层叠体。

[0005] 在以往的分批方式的干燥装置中，由于在一个气密室内实施加热处理和冷却处理，因此，在反复进行试料的干燥时，需要反复进行气密室的降温操作和升温操作。因此，不仅为了降温操作及升温操作而过度地消耗能量，而且将气密室本身的温度降温至规定温度或升温至规定温度需要时间从而干燥时间变长，存在干燥效率低的问题。

[0006] 此外，在干燥试料时，根据试料的种类不同，有时不需要惰性气体气氛下的第一加热处理和真空气氛下的第二加热处理的两个阶段的加热处理。例如，在干燥金属箔层叠体的层叠数少的试料时，有时只进行惰性气体气氛下的加热处理和真空气氛下的加热处理中的任一个处理就能充分干燥试料。鉴于此种状况，以往的连续搬送方式的干燥装置分别独立地具备用于实施两个阶段的加热处理的气密室，因此，根据试料的种类不同，成为具备了不必要的气密室的结构。因此，存在装置大型化的问题。

发明内容

[0007] 对此，本发明鉴于所述的问题作出，其目的在于既能实现高干燥效率，又能实现装置的小型化。

[0008] 本发明一方面所涉及的干燥装置，用于干燥含有液体成分的试料，其包括：加热槽，具有第一开口部和试料的搬入开口部，用于加热试料；冷却槽，具有与所述第一开口部相向的第二开口部和试料的搬出开口部，用于冷却在所述加热槽加热后的试料；开闭结构体，被配设在所述加热槽与所述冷却槽之间，具有用于开闭所述第一开口部及所述第二开口部的门体；搬送部，将通过所述搬入开口部搬入到所述加热槽的试料经由所述开闭结构体从所述加热槽向所述冷却槽搬送；调整部，调整所述加热槽及所述冷却槽的内部的气氛；以及调整控制部，控制所述调整部，其中，所述调整控制部执行以下控制：试料接收控制，在接收通过所述搬入开口部向所述加热槽搬入试料时，让所述调整部将所述加热槽调整为干燥空气气氛；加热处理控制，为了在所述加热槽执行试料的加热处理，让所述调整部将所述加热槽调整为指定的加热处理气氛；冷却处理控制，为了在所述冷却槽执行试料的冷却处理，让所述调整部将所述冷却槽调整为指定的冷却处理气氛；以及试料送出控制，在通过所述搬出开口部从所述冷却槽送出试料时，让所述调整部将所述冷却槽调整为干燥空气气氛。

[0009] 所述的干燥装置在用于干燥含有液体成分的试料的干燥装置中，既能实现高干燥效率，又能实现装置的小型化。

[0010] 所述的技术的目的、特征及优点通过以下的详细说明和附图而更明确。

附图说明

[0011] 图1是概略地表示本发明的一实施方式所涉及的干燥装置的结构的图。

[0012] 图2是干燥装置的框图。

[0013] 图3是表示开闭结构体的结构的图。

[0014] 图4A是表示干燥装置中的干燥处理动作的第一例的工序图。

[0015] 图4B是表示干燥装置中的干燥处理动作的第一例的工序图。

[0016] 图4C是表示干燥装置中的干燥处理动作的第一例的工序图。

[0017] 图5是表示干燥装置中的干燥处理动作的第二例的工序图。

[0018] 图6是表示干燥装置中的干燥处理动作的第三例的工序图。

具体实施方式

[0019] 下面，基于附图说明本发明的一实施方式所涉及的干燥装置。图1是概略地表示本发明的一实施方式所涉及的干燥装置1的结构的图。图2是干燥装置1的框图。本实施方式所涉及的干燥装置1是用于干燥含有液体成分的试料的装置。首先，说明干燥对象物的试料。

[0020] 作为试料，例示用作锂离子二次电池的电极的、被涂布了糊状的电极材料的金属箔层叠体。锂离子二次电池的正极是在集电体上形成了含有正极活性物质的正极活性物质层的部件，其中，集电体由金属箔形成。正极通过在作为集电体的金属箔上涂布糊状的正极用电极材料并进行压延等而制得。作为构成正极的集电体的金属箔，可举出铝、不锈钢、镍、钛及其合金。此外，涂布于构成正极的集电体的金属箔上的正极用电极材料中至少含有正极活性物质、导电助剂、粘合剂及分散剂。作为分散剂，在有机类粘合剂的情况下适合使用N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)，在水类粘合剂的情况下适合使用水或温水等。即，正极用电极材料中含有NMP等有机溶剂或水。

[0021] 锂离子二次电池的负极是在集电体上形成了含有负极活性物质的负极活性物质层的部件，其中，集电体由金属箔形成。负极通过在作为集电体的金属箔上涂布糊状的负极用电极材料并进行压延等而制得。作为构成负极的集电体的金属箔，可举出铜及其合金。此外，构成负极的集电体的金属箔上涂布的负极用电极材料中至少含有负极活性物质、粘合剂及分散剂。作为分散剂，在有机类粘合剂的情况下适合使用NMP，在水类粘合剂的情况下适合使用水或温水等。即，负极用电极材料中含有NMP等有机溶剂或水。

[0022] 涂布了如上所述的糊状的电极材料的金属箔的层叠体中含有有机溶剂或水等液体成分。这些液体成分影响锂离子二次电池的电池性能，因此，需要实施干燥处理，不让液体成分残留。作为干燥对象物的试料的金属箔层叠体是将涂布了糊状的电极材料的金属箔卷绕成卷状的状态的部件，或者将涂布了糊状的电极材料的金属箔在厚度方向上层叠的状态的部件。

[0023] 参照图1及图2说明，干燥装置1包括加热槽11、冷却槽12、调整部13、开闭结构体14、搬入门体15、搬出门体16、连通管17、搬送部18、第一风扇19、第二风扇20、操作部21、存储部22、计时部23以及控制部24。干燥装置1在加热槽11对试料实施加热处理后，利用搬送部18沿搬送方向H搬送试料而将其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施冷却处理。

[0024] 加热槽11划定用于加热试料的加热空间。该加热槽11呈箱状，在搬送方向H的两端具有开口部。在加热槽11，在搬送方向H的上游侧端部形成有成为用于将试料搬入加热槽11内的开口的搬入开口部112。此外，在加热槽11，在搬送方向H的下游侧端部形成有经由开闭结构体14与冷却槽12相向的第一开口部111。加热槽11通过由加热器等形成的加热部113加热，以能够对被收容在加热槽11内的试料实施加热处理。通过加热部113而被加热的加热槽11的槽内设定温度例如为120℃～200℃的范围。

[0025] 冷却槽12相对于加热槽11被配置在搬送方向H的下游侧，划定用于冷却在加热槽11被加热的试料的冷却空间。该冷却槽12呈箱状，在搬送方向H的两端具有开口部。在冷却槽12，在搬送方向H的上游侧端部形成有经由开闭结构体14与加热槽11的第一开口部111相向的第二开口部121。此外，在冷却槽12，在搬送方向H的下游侧端部形成有成为用于将试料搬出冷却槽12外的开口的搬出开口部122。冷却槽12通过由制冷机的蒸发器等形成的冷却部123冷却，以便能够对被收容在冷却槽12内的试料实施冷却处理。通过冷却部123而被冷却的冷却槽12的槽内设定温度例如为1℃左右。

[0026] 开闭结构体14是被配设在加热槽11与冷却槽12之间，用于开闭加热槽11的第一开口部111和冷却槽12的第二开口部121的结构体。作为分隔加热槽11和冷却槽12的结构，可考虑在加热槽11与冷却槽12之间配设阻尼件(damper)的结构，但是，如果采用此种结构则装置会大型化。对此，在本实施方式所涉及的干燥装置1中，采用在加热槽11与冷却槽12之间配设开闭结构体14的结构，以便可使装置小型化。开闭结构体14不仅需要具有开闭第一开口部111及第二开口部121的功能，而且需要具有在封闭第一开口部111及第二开口部121的状态下保持加热槽11及冷却槽12的气密性的功能。通过开闭结构体14的保持加热槽11及冷却槽12的气密性的功能，能够将加热槽11及冷却槽12的温度保持在规定的所述槽内设定温度，并且，能够将加热槽11及冷却槽12的内部的气氛和压力保持为所需的恒定的气氛和压力。参照图3说明开闭结构体14的具体的结构。图3是表示开闭结构体14的结构的图。开闭结构体14包括框体141、由第一门体142A和第二门体142B形成的中间门体142、驱动部件143以及驱动马达145。

[0027] 在开闭结构体14中，框体141是连接加热槽11的第一开口部111和冷却槽12的第二开口部121的部分，具有相对于加热槽11及冷却槽12而向与搬送方向H交叉的第一方向的其中一侧延伸设置的其中一侧延伸设置区域和相对于加热槽11及冷却槽12而向与所述其中一侧相反的另一侧延伸设置的另一侧延伸设置区域。在本实施方式中，所述第一方向与上下方向一致，在框体141，其中一侧延伸设置区域是相对于加热槽11及冷却槽12的顶面部向上方侧延伸设置的区域，另一侧延伸设置区域是相对于加热槽11及冷却槽12的底面部向下方侧延伸设置的区域。在框体141，在搬送方向H的上游侧的侧壁的面向加热槽11的第一开口部111的区域部分设有框状的第一凸缘部111A。此外，在框体141，在搬送方向H的下游侧的侧壁的面向冷却槽12的第二开口部121的区域部分设有框状的第二凸缘部121A。通过在第一凸缘部111A连接第一开口部111，从而框体141和加热槽11被连接，通过在第二凸缘部121A连接第二开口部121，从而框体141与冷却槽12被连接。

[0028] 在开闭结构体14，驱动马达145被载置在马达载置板146上，该马达载置板146被配设在框体141内的其中一侧延伸设置区域的一端部。驱动马达145具有沿所述第一方向(上下方向)延伸的轴部145A。如果驱动马达145被通电操作，轴部145A以轴心为中心沿正反两个方向旋转。在该轴部145A安装有驱动部件143，该驱动部件143能够沿所述第一方向(上下方向)移动。驱动部件143如果轴部145A沿正方向(例如顺时针方向)旋转，则与该旋转联动而向其中一方向(上方向)移动，如果轴部145A沿反方向(例如逆时针方向)旋转，则与该旋转联动而向另一方向(下方向)移动。此种驱动部件143的驱动机构例如可通过滚珠丝杠机构而实现。具体而言，滚珠丝杠机构是轴部145A为滚珠丝杠轴，并在螺合于该滚珠丝杠轴的滚珠螺母上固定驱动部件143的结构。在滚珠丝杠机构中，如果驱动马达145被通电操作，则滚珠螺母沿作为滚珠丝杠轴的轴部145A进退，据此，被固定于滚珠螺母的驱动部件143沿所述第一方向(上下方向)移动。

[0029] 在开闭结构体14中，第一门体142A呈板状，经由第一连接部件143A安装于驱动部件143中的搬送方向H的上游侧的侧面部。第一门体142A与驱动部件143的所述第一方向(上下方向)的移动联动而沿所述第一方向(上下方向)移动，从而开闭加热槽11的第一开口部111。此外，第一门体142A能够与驱动部件143的向其中一方向(上方向)的移动联动而朝离开第一开口部111的方向(搬送方向H)移动，并能够与驱动部件143的向另一方向(下方向)的移动联动而朝接近第一开口部111的方向(搬送方向H的相反方向)移动。此种第一门体
142A的向接近或离开第一开口部111的方向的移动由配设在框体141内的另一侧延伸设置区域的端部的第一滚轮部件147A引导。而且，在第一门体142A的外周端缘部安装有第一密封部件144A。

[0030] 第一门体142A从配置在框体141内的其中一侧延伸设置区域的最上位置与驱动部件143的向另一方向(下方向)的移动联动，沿另一方向(下方向)移动至端面(下端面)抵接于第一滚轮部件147A的最下位置，然后，被第一滚轮部件147A引导而向接近第一开口部111的方向移动。据此，第一门体142A经由第一密封部件144A抵接于第一凸缘部111A，封闭第一开口部111。由此，通过第一门体142A经由第一密封部件144A抵接于第一凸缘部111A而封闭第一开口部111，因此，在第一门体142A封闭第一开口部111的状态下，能够保持加热槽11的气密性。此外，第一门体142A的向接近第一开口部111的方向的移动，在第一门体142A沿另一方向(下方向)移动到抵接于第一滚轮部件147A的最下位置后进行。即，第一门体142A在移动到最下位置时，处于在搬送方向H上离开第一开口部111的状态。据此，第一门体142A的至最下位置的移动顺畅。此外，第一门体142A从封闭第一开口部111的状态与驱动部件143的向其中一方向(上方向)的移动联动，被第一滚轮部件147A引导而向离开第一开口部111的方向移动，然后，沿其中一方向(上方向)移动到被配置在框体141内的其中一侧延伸设置区域的最上位置。据此，第一门体142A开放第一开口部111。第一门体142A的至最上位置的沿其中一方向(上方向)的移动，在第一门体142A向离开第一开口部111的方向移动后进行。即，第一门体142A在移动至最上位置时，处于在搬送方向H上离开第一开口部111的状态。据此，第一门体142A的至最上位置的移动顺畅。

[0031] 在开闭结构体14中，第二门体142B呈板状，经由第二连接部件143B安装于驱动部件143中的搬送方向H的下游侧的侧面部。第二门体142B与驱动部件143的所述第一方向(上下方向)的移动联动而沿所述第一方向(上下方向)移动，从而开闭冷却槽12的第二开口部121。此外，第二门体142B能够与驱动部件143的向其中一方向(上方向)的移动联动而朝离开第二开口部121的方向(搬送方向H的相反方向)移动，并能够与驱动部件143的向另一方向(下方向)的移动联动而朝接近第二开口部121的方向(搬送方向H)移动。此种第二门体
142B的向接近或离开第二开口部121的方向的移动由配设在框体141内的另一侧延伸设置区域的端部的第二滚轮部件147B引导。而且，在第二门体142B的外周端缘部安装有第二密封部件144B。

[0032] 第二门体142B从配置在框体141内的其中一侧延伸设置区域的最上位置与驱动部件143的向另一方向(下方向)的移动联动，沿另一方向(下方向)移动至端面(下端面)抵接于第二滚轮部件147B的最下位置，然后，被第二滚轮部件147B引导而向接近第二开口部121的方向移动。据此，第二门体142B经由第二密封部件144B抵接于第二凸缘部121A，封闭第二开口部121。由此，通过第二门体142B经由第二密封部件144B抵接于第二凸缘部121A而封闭第二开口部121，因此，在第二门体142B封闭第二开口部121的状态下，能够保持冷却槽12的气密性。此外，第二门体142B的向接近第二开口部121的方向的移动，在第二门体142B沿另一方向(下方向)移动至抵接于第二滚轮部件147B的最下位置后进行。即，第二门体142B在移动到最下位置时，处于在搬送方向H的相反方向上离开第二开口部121的状态。据此，第二门体142B的至最下位置的移动顺畅。此外，第二门体142B从封闭第二开口部121的状态与驱动部件143的向其中一方向(上方向)的移动联动，被第二滚轮部件147B引导而向离开第二开口部121的方向移动，然后，沿其中一方向(上方向)移动到被配置在框体141内的其中一侧延伸设置区域的最上位置。据此，第二门体142B开放第二开口部121。第二门体142B的至最上位置的沿其中一方向(上方向)的移动，在第二门体142B向离开第二开口部121的方向移动后进行。即，第二门体142B在移动至最上位置时，处于在搬送方向H的相反方向上离开第二开口部121的状态。据此，第二门体142B的至最上位置的移动顺畅。另外，在开闭结构体14中，第一门体142A和第二门体142B也可以一体设置。

[0033] 参照图1及图2说明，搬入门体15能够开闭加热槽11的搬入开口部112。搬入门体15在搬送部18将试料搬入至加热槽11内的试料搬入期间开放搬入开口部112，在试料搬入期间以外的剩余的期间封闭搬入开口部112。此外，搬出门体16能够开闭冷却槽12的搬出开口部122。搬出门体16在搬送部18从冷却槽12搬出试料的试料搬出期间开放搬出开口部122，在试料搬出期间以外的剩余期间封闭搬出开口部122。

[0034] 连通管17是用于形成分别使加热槽11、冷却槽12及开闭结构体14的框体141连通的连通路的配管。在该连通管17设有开闭连通路的连通开闭阀171。

[0035] 搬送部18经由开闭结构体14从加热槽11向冷却槽12沿搬送方向H搬送试料。此外，搬送部18经由搬入门体15从装置外部向加热槽11搬入试料，并经由搬出门体16从冷却槽12向装置外部搬送试料。

[0036] 调整部13调整加热槽11、冷却槽12及开闭结构体14的框体141的各个内部气氛。调整部13包括惰性气体供给部131、减压部132以及干燥空气供给部133。

[0037] 惰性气体供给部131向加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部供给惰性气体(例如氮气)。惰性气体供给部131包括贮存惰性气体的惰性气体供给源131A、第一惰性气体供给配管131B、第二惰性气体供给配管131D以及第三惰性气体供给配管131F。第一惰性气体供给配管131B是连接于惰性气体供给源131A与加热槽11之间的配管。在该第一惰性气体供给配管131B设有开闭管路的第一惰性气体供给开闭阀131C。在第一惰性气体供给开闭阀131C开放管路的状态下，从惰性气体供给源131A流出的惰性气体流到第一惰性气体供给配管131B内，并供给到加热槽11内。此外，在第一惰性气体供给开闭阀131C封闭管路的状态下，向加热槽11的惰性气体的供给停止。

[0038] 第二惰性气体供给配管131D是连接于惰性气体供给源131A与冷却槽12之间的配管。在该第二惰性气体供给配管131D设有开闭管路的第二惰性气体供给开闭阀131E。在第二惰性气体供给开闭阀131E开放管路的状态下，从惰性气体供给源131A流出的惰性气体流到第二惰性气体供给配管131D内，并供给到冷却槽12内。此外，在第二惰性气体供给开闭阀131E封闭管路的状态下，向冷却槽12的惰性气体的供给停止。

[0039] 第三惰性气体供给配管131F是连接于惰性气体供给源131A与框体141之间的配管。在该第三惰性气体供给配管131F设有开闭管路的第三惰性气体供给开闭阀131G。在第三惰性气体供给开闭阀131G开放管路的状态下，从惰性气体供给源131A流出的惰性气体流到第三惰性气体供给配管131F，并供给到框体141内。此外，在第三惰性气体供给开闭阀131G封闭管路的状态下，向框体141的惰性气体的供给停止。

[0040] 减压部132将加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部减压为低于大气压的压力(例如6Pa以下)。减压部132包括：作为减压源的真空泵132A；连接于真空泵132A的第一真空配管132B；以及从第一真空配管132B分支的第二真空配管132C、第三真空配管132D及第四真空配管132E。第二真空配管132C的其中一端连接于第一真空配管132B，另一端连接于加热槽11。第三真空配管132D的其中一端连接于第一真空配管132B，另一端连接于冷却槽12。第四真空配管132E的其中一端连接于第一真空配管132B，另一端连接于框体141。

[0041] 干燥空气供给部133向加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部供给干燥空气。干燥空气供给部133包括贮存干燥空气的干燥空气供给源133A、第一干燥空气供给配管
133B以及第二干燥空气供给配管133D。第一干燥空气供给配管133B是连接于干燥空气供给源133A与加热槽11之间的配管。在该第一干燥空气供给配管133B设有开闭管路的第一干燥空气供给开闭阀133C。在第一干燥空气供给开闭阀133C开放管路的状态下，从干燥空气供给源133A流出的干燥空气流到第一干燥空气供给配管133B内，并供给到加热槽11内。此外，在第一干燥空气供给开闭阀133C封闭管路的状态下，向加热槽11的干燥空气的供给停止。

[0042] 第二干燥空气供给配管133D是连接于干燥空气供给源133A与冷却槽12之间的配管。在该第二干燥空气供给配管133D设有第二干燥空气供给开闭阀133E。在第二干燥空气供给开闭阀133E开放管路的状态下，从干燥空气供给源133A流出的干燥空气流到第二干燥空气供给配管133D内，并供给到冷却槽12内。此外，在第二干燥空气供给开闭阀133E封闭管路的状态下，向冷却槽12的干燥空气的供给停止。

[0043] 第一风扇19是被设置在加热槽11，在加热槽11的内部产生循环气流的风扇。此外，第二风扇20是被设置在冷却槽12，在冷却槽12的内部产生循环气流的风扇。

[0044] 操作部21是用户输入有关试料的干燥条件的指示的部分。操作部21例如通过触摸板而实现。操作部21能够输入有关试料的干燥条件的第一指示、第二指示及第三指示。第一指示是将试料在惰性气体气氛下加热后，在减压气氛下加热，接着在惰性气体气氛下冷却的指示。第二指示是将试料在惰性气体气氛下加热，接着在惰性气体气氛下冷却的指示。第三指示是将试料在减压气氛下加热，接着在惰性气体气氛下冷却的指示。

[0045] 存储部22是存储有关干燥装置1的干燥条件的信息的部分。存储部22预先存储“第一设定加热时间”，该第一设定加热时间表示在加热槽11进行试料的惰性气体气氛下的加热处理时，试料的中心部的温度达到目标加热温度(例如120℃)为止的加热处理时间。第一设定加热时间是通过实验预先求出的加热时间，例如为240分钟。此外，存储部22预先存储“第二设定加热时间”，该第二设定加热时间表示试料的中心部的温度达到目标加热温度后，以该目标加热温度应继续进行惰性气体气氛下的加热处理的加热处理时间。第二设定加热时间是通过实验预先求出的加热时间，例如为60分钟。另外，存储部22预先存储“第三设定加热时间”，该第三设定加热时间表示自惰性气体气氛下的加热处理结束时刻起，以所述目标加热温度应实施减压气氛下的加热处理的加热处理时间。第三设定加热时间是通过实验预先求出的加热时间，例如为60分钟。此外，存储部22预先存储“设定冷却时间”，该设定冷却时间表示在冷却槽12进行试料的惰性气体气氛下的冷却处理时，试料的中心部的温度达到目标冷却温度(例如60℃)为止的冷却处理时间。设定冷却时间是通过实验预先求出的冷却时间，例如为180分钟。

[0046] 计时部23计时在加热槽11实施的加热处理的经过时间、在冷却槽12实施的冷却处理的经过时间等。

[0047] 控制部24控制干燥装置1的试料的干燥动作。控制部24由例如内置了存储控制程序的ROM(Read Only Memory)以及暂时存储数据的闪存等存储装置的微电脑形成，通过读取所述控制程序而控制干燥动作。控制部24包括受理部241、调整控制部242、开闭结构体控制部243、搬入门体控制部244、搬出门体控制部245、开闭阀控制部246、搬送控制部247以及风扇控制部248。

[0048] 受理部241受理通过操作部21输入的有关试料的干燥条件的指示。受理部241包括第一指示受理部241A、第二指示受理部241B以及第三指示受理部241C。第一指示受理部241A受理通过操作部21输入的所述第一指示。第二指示受理部241B受理通过操作部21输入的所述第二指示。第三指示受理部241C受理通过操作部21输入的所述第三指示。另外，也可在控制部24控制干燥动作时使用的控制程序中写入受理部241的功能。此时，基于通过操作部21输入的指示执行控制程序，据此，实现受理部241的功能。

[0049] 调整控制部242基于由受理部241受理的指示控制调整部13。调整控制部242包括加热控制部242A、冷却控制部242B以及框体控制部242C。加热控制部242A通过控制调整部13的惰性气体供给部131、减压部132及干燥空气供给部133来调整加热槽11的内部气氛。此外，加热控制部242A通过控制加热部113来加热加热槽11。加热控制部242A能够执行试料接收控制、加热前控制、第一加热处理控制、第二加热处理控制以及加热后控制。加热控制部
242A执行的试料接收控制是在加热槽11接收试料时，让干燥空气供给部133将加热槽11调整为干燥空气气氛的控制。加热控制部242A执行的加热前控制是在加热槽11加热试料之前，让减压部132将加热槽11调整为减压气氛的控制。加热控制部242A执行的第一加热处理控制是让惰性气体供给部131将加热槽11调整为惰性气体气氛，以便在加热槽11在惰性气体气氛下加热试料的控制。加热控制部242A执行的第二加热处理控制是让减压部132将加热槽11调整为减压气氛，以便在加热槽11在减压气氛下加热试料。加热控制部242A执行的加热后控制是在加热槽11加热试料后，让惰性气体供给部131将加热槽11调整为惰性气体气氛的控制。另外，加热槽11内的减压气氛表示加热槽11内处于减压状态(真空状态)。此外，加热槽11内的惰性气体气氛表示加热槽11内被充填了惰性气体的状态。

[0050] 冷却控制部242B通过控制调整部13的惰性气体供给部131、减压部132及干燥空气供给部133来调整冷却槽12的内部气氛。此外，冷却控制部242B通过控制冷却部123来冷却冷却槽12。冷却控制部242B能够执行第一冷却前控制、第二冷却前控制、冷却处理控制及试料送出控制。冷却控制部242B执行的第一冷却前控制是在冷却槽12冷却试料前，让减压部132将冷却槽12调整为减压气氛的控制。冷却控制部242B执行的第二冷却前控制是接着第一冷却前控制而在冷却槽12进行试料的冷却前执行的控制，是与加热控制部242A的加热后控制联动，让惰性气体供给部131将冷却槽12调整为惰性气体气氛的控制。冷却控制部242B执行的冷却处理控制是让惰性气体供给部131将冷却槽12调整为惰性气体气氛，以便在冷却槽12在惰性气体气氛下冷却试料的控制。冷却控制部242B执行的试料送出控制是在从冷却槽12送出试料时，让干燥空气供给部133将冷却槽12调整为干燥空气气氛的控制。另外，冷却槽12内的减压气氛表示冷却槽12内处于减压状态(真空状态)。此外，冷却槽12内的惰性气体气氛表示冷却槽12内被充填了惰性气体的状态。

[0051] 框体控制部242C通过控制调整部13的惰性气体供给部131及减压部132来调整框体141的内部气氛。框体控制部242C能够执行第一框体控制及第二框体控制。框体控制部242C执行的第一框体控制是与冷却控制部242B的第一冷却前控制联动，让减压部132将框体141调整为减压气氛的控制。框体控制部242C执行的第二框体控制是与冷却控制部242B的第二冷却前控制联动，让惰性气体供给部131将框体141调整为惰性气体气氛的控制。另外，框体141内的减压气氛表示框体141内处于减压状态(真空状态)。此外，框体141内的惰性气体气氛表示框体141内被充填了惰性气体的状态。

[0052] 风扇控制部248与由加热控制部242A及冷却控制部242B控制的惰性气体供给部131的动作相对应，控制第一风扇19及第二风扇20。具体而言，风扇控制部248在加热控制部
242A执行第一加热处理控制的过程中使第一风扇19动作，并且，在冷却控制部242B执行冷却处理控制的过程中使第二风扇20动作。

[0053] 开闭阀控制部246，根据分别由加热控制部242A、冷却控制部242B及框体控制部242C控制的惰性气体供给部131及减压部132的动作，控制附设于连通管17的连通开闭阀
171。具体而言，开闭阀控制部246，在加热控制部242A执行加热后控制的期间、即、冷却控制部242B执行第二冷却前控制且框体控制部242C执行第二框体控制的第一连通开闭阀控制期间，让连通开闭阀171开放连通管17的连通路，在所述第一连通开闭阀控制期间以外的剩余的第二连通开闭阀控制期间，让连通开闭阀171封闭连通管17的连通路。

[0054] 开闭结构体控制部243与由调整控制部242控制的调整部13的动作相对应而控制开闭结构体14。具体而言，开闭结构体控制部243与分别由加热控制部242A、冷却控制部242B及框体控制部242C控制的惰性气体供给部131及减压部132的动作相对应，控制第一门体142A及第二门体142B的移动。开闭结构体控制部243在开闭阀控制部246的所述第一连通开闭阀控制期间内的规定的第一门控制期间，使第一门体142A开放加热槽11的第一开口部
111，并且，使第二门体142B开放冷却槽12的第二开口部121。此外，开闭结构体控制部243在开闭阀控制部246的所述第一门控制期间以外的剩余的第二门控制期间，使第一门体142A封闭加热槽11的第一开口部111，并且，使第二门体142B封闭冷却槽12的第二开口部121。

[0055] 搬入门体控制部244与由加热控制部242A控制的干燥空气供给部133的动作相对应，控制搬入门体15的开闭动作。具体而言，搬入门体控制部244在加热控制部242A执行试料接收控制的第一试料接收控制期间，使搬入门体15开放加热槽11的搬入开口部112，并且，在所述第一试料接收控制期间以外的剩余的第二试料接收控制期间，使搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112。

[0056] 搬出门体控制部245与由冷却控制部242B控制的干燥空气供给部133的动作相对应，控制搬出门体16的开闭动作。具体而言，搬出门体控制部245在冷却控制部242B执行试料送出控制的第一试料送出控制期间，使搬出门体16开放冷却槽12的搬出开口部122，在所述第一试料送出控制期间以外的剩余的第二试料送出控制期间，使搬出门体16封闭冷却槽12的搬出开口部122。

[0057] 搬送控制部247控制搬送部18的试料的搬送动作。搬送控制部247在由搬入门体控制部244控制的搬入门体15开放加热槽11的搬入开口部112的状态下，让搬送部18将试料搬入加热槽11。具体而言，搬送控制部247在搬入门体控制部244的所述第一试料接收控制期间内，让搬送部18将试料搬入加热槽11。此外，搬送控制部247在由开闭结构体控制部243控制的第一门体142A使加热槽11的第一开口部111开放、且第二门体142B使冷却槽12的第二开口部121开放的状态下，让搬送部18将试料从加热槽11向冷却槽12搬送。具体而言，搬送控制部247在开闭结构体控制部243的所述第一门控制期间内，让搬送部18将试料从加热槽11向冷却槽12搬送。此外，搬送控制部247在由搬出门体控制部245控制的搬出门体16使冷却槽12的搬出开口部122开放的状态下，让搬送部18将试料从冷却槽12搬出。具体而言，搬送控制部247在搬出门体控制部245的所述第一试料送出控制期间内，让搬送部18将试料从冷却槽12搬出。

[0058] 接着，说明干燥装置1的干燥处理动作。图4A、图4B及图4C是表示干燥装置1的干燥处理动作的第一例的工序图。图4A、图4B及图4C所示的第一例的干燥处理动作是通过操作部21输入了在惰性气体气氛下加热试料后，在减压气氛下加热，接着在惰性气体气氛下冷却的第一指示的情况下的干燥处理动作。干燥装置1在开闭结构体14的第一门体142A封闭加热槽11的第一开口部111，第二门体142B封闭冷却槽12的第二开口部121，搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112，搬出门体16封闭冷却槽12的搬出开口部122的状态下，开始干燥处理动作。此外，加热槽11被加热部113加热，槽内温度处于120℃～200℃的范围。冷却槽12被冷却部123冷却，槽内温度为1℃左右。

[0059] 在步骤a1，第一指示受理部241A受理第一指示。如果第一指示被受理，在步骤a2，加热控制部242A执行试料接收控制。如果该试料接收控制被执行，由干燥空气供给部133向加热槽11供给干燥空气。如果加热槽11内的气氛成为干燥空气气氛，则在步骤a3，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15开放加热槽11的搬入开口部112。如果搬入开口部112被开放，则在步骤a4，由搬送控制部247控制的搬送部18将试料搬入加热槽11。如果搬送部18将试料搬入到加热槽11，则在步骤a5，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112。

[0060] 接着，在步骤a6，加热控制部242A执行加热前控制。如果该加热前控制被执行，通过减压部132而加热槽11内被减压。据此，存在于加热槽11内的气体成分被排出到加热槽11外。接着，在步骤a7，加热控制部242A开始第一加热处理控制。如果该第一加热处理控制开始，由惰性气体供给部131向加热槽11供给惰性气体。另外，如果加热控制部242A开始第一加热处理控制，计时部23开始计时。如果向加热槽11供给惰性气体，则在步骤a8，由风扇控制部248控制的第一风扇19开始动作。在该状态下，在加热槽11实施试料的惰性气体气氛下的加热处理。

[0061] 接着，在步骤a9，控制部24判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第一设定加热时间。如果判断已经过第一设定加热时间则将计时部23的计时清零并前进到步骤a10，如果判断未经过第一设定加热时间则反复进行步骤a9。在步骤a10，控制部24判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第二设定加热时间。如果判断已经过第二设定加热时间则将计时部23的计时清零并前进到步骤a11，如果判断未经过第二设定加热时间则反复进行步骤a10。另外，步骤a9和步骤a10也可合并为一个步骤。此时，控制部24利用将第一设定加热时间和第二设定加热时间加起来的合计时间，判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过该合计时间。在步骤a11，加热控制部242A结束第一加热处理控制。如果该第一加热处理控制结束，由惰性气体供给部131进行的向加热槽11的惰性气体的供给停止。如果向加热槽11的惰性气体的供给停止，在步骤a12，由风扇控制部248控制的第一风扇19的动作停止。

[0062] 接着，在步骤a13，加热控制部242A开始第二加热处理控制。如果该第二加热处理控制开始，通过减压部132而加热槽11内被减压。另外，如果加热控制部242A开始第二加热处理控制，计时部23开始计时。在该状态下，在加热槽11实施试料的减压气氛下的加热处理。

[0063] 接着，在步骤a14，控制部24判断由计时部23计时的减压气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第三设定加热时间。如果判断已经过第三设定加热时间则前进到步骤a15，如果判断未经过第三设定加热时间则反复进行步骤a14。在步骤a15，加热控制部242A结束第二加热处理控制。如果该第二加热处理控制结束，减压部132进行的对加热槽11的减压动作停止。

[0064] 接着，在步骤a16，加热控制部242A开始加热后控制。如果该加热后控制开始，由惰性气体供给部131向加热槽11供给惰性气体。与加热控制部242A的加热后控制联动，在步骤a17，冷却控制部242B执行第一冷却前控制。如果该第一冷却前控制被执行，则通过减压部132而冷却槽12内被减压。据此，存在于冷却槽12内的气体成分排出到冷却槽12外。此外，在步骤a17，框体控制部242C执行第一框体控制。如果该第一框体控制被执行，通过减压部132而开闭结构体14的框体141内被减压。据此，存在于框体141内的气体成分被排出到框体141外。

[0065] 接着，在步骤a18，冷却控制部242B执行第二冷却前控制。如果该第二冷却前控制被执行，由惰性气体供给部131向冷却槽12内供给惰性气体。据此，冷却槽12的气氛成为惰性气体气氛。此外，在步骤a18，框体控制部242C执行第二框体控制。如果该第二框体控制被执行，由惰性气体供给部131向框体141内供给惰性气体。据此，框体141的气氛成为惰性气体气氛。与向加热槽11供给惰性气体的加热后控制联动，在步骤a18，通过向冷却槽12及框体141供给惰性气体，能够缩小加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛之差，并且，能够缩小各个内部的压力差。

[0066] 接着，在步骤a19，开闭阀控制部246让连通开闭阀171开放连通管17的连通路。据此，能够缩小加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛之差，并且，能够缩小各个内部的压力差。然后，在步骤a20，开闭结构体控制部243使由第一门体142A及第二门体142B形成的中间门体142开放加热槽11的第一开口部111及冷却槽12的第二开口部121。

[0067] 在步骤a20，在加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部的压力差缩小的状态下，第一门体142A及第二门体142B进行开放第一开口部111及第二开口部121的动作。因此，能够使框体141内的第一门体142A及第二门体142B的移动动作变得顺畅。此外，在加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛为惰性气体气氛的状态下，第一门体142A及第二门体142B进行开放第一开口部111及第二开口部121的动作。因此，在第一开口部111及第二开口部121被开放时，能够抑制在加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部惰性气体浓度发生变化。

[0068] 进一步，详细说明第一门体142A及第二门体142B的移动动作，在第一门体142A从经由第一密封部件144A抵接于第一凸缘部111A的状态向离开第一开口部111的方向移动时、以及在第二门体142B从经由第二密封部件144B抵接于第二凸缘部121A的状态向离开第二开口部121的方向移动时，处于加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部的压力差变小的状态。据此，在第一门体142A向离开第一开口部111的方向移动、且第二门体142B向离开第二开口部121的方向移动时，能够抑制产生大的应力。因此，能够抑制安装于第一门体142A的第一密封部件144A及安装于第二门体142B的第二密封部件144B的劣化加快。

[0069] 接着，在步骤a21，搬送控制部247让搬送部18从加热槽11向冷却槽12搬送试料。如果由搬送部18将试料搬送到冷却槽12，则在步骤a22，由开闭结构体控制部243控制的由第一门体142A及第二门体142B形成的中间门体142封闭加热槽11的第一开口部111及冷却槽12的第二开口部121。在该步骤a22，也在加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部的压力差变小的状态下，第一门体142A及第二门体142B进行封闭第一开口部111及第二开口部121的动作。因此，能够使框体141内的第一门体142A及第二门体142B的移动动作变得顺畅。接着，在步骤a23，开闭阀控制部246让连通开闭阀171封闭连通管17的连通路。接着，在步骤a24，加热控制部242A结束加热后控制。如果该加热后控制结束，由惰性气体供给部131进行的向加热槽11的惰性气体的供给停止。

[0070] 接着，在步骤a25，冷却控制部242B开始冷却处理控制。如果该冷却处理控制开始，由惰性气体供给部131继续向冷却槽12供给惰性气体。另外，如果由冷却控制部242B开始冷却处理控制，计时部23开始计时。接着，在步骤a26，由风扇控制部248控制的第二风扇20开始动作。在该状态下，在冷却槽12实施试料的惰性气体气氛下的冷却处理。

[0071] 接着，在步骤a27，控制部24判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的冷却处理时间是否经过存储在存储部22的设定冷却时间。如果判断已经过设定冷却时间则将计时部23的计时清零并前进到步骤a28，如果判断未经过设定冷却时间则反复进行步骤a27。

[0072] 接着，在步骤a28，冷却控制部242B结束冷却处理控制。如果该冷却处理控制结束，惰性气体供给部131进行的向冷却槽12的惰性气体的供给停止。此外，如果向冷却槽12的惰性气体的供给停止，由风扇控制部248控制的第二风扇20的动作停止。

[0073] 接着，在步骤a29，冷却控制部242B执行试料送出控制。如果该试料送出控制被执行，由干燥空气供给部133向冷却槽12供给干燥空气。如果冷却槽12内的气氛成为干燥空气气氛，则在步骤a30，由搬出门体控制部245控制的搬出门体16开放冷却槽12的搬出开口部122。如果搬出开口部122被开放，在步骤a31，由搬送控制部247控制的搬送部18将试料从冷却槽12搬出。如果搬送部18从冷却槽12搬出试料，则在步骤a32，由搬出门体控制部245控制的搬出门体16封闭冷却槽12的搬出开口部122。

[0074] 如以上所述，干燥装置1在加热槽11对试料实施行惰性气体气氛下及减压气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0075] 图5是表示干燥装置1的干燥处理动作的第二例的工序图。图5所示的第二例的干燥处理动作是通过操作部21输入了在惰性气体气氛下加热试料，接着在惰性气体气氛下冷却的第二指示时的干燥处理动作。干燥装置1在开闭结构体14的第一门体142A封闭加热槽11的第一开口部111，第二门体142B封闭冷却槽12的第二开口部121，搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112，搬出门体16封闭冷却槽12的搬出开口部122的状态下开始干燥处理动作。此外，加热槽11被加热部113加热，槽内温度处于120℃～200℃的范围。冷却槽12被冷却部123冷却，槽内温度为1℃左右。

[0076] 在步骤b1，第二指示受理部241B受理第二指示。如果第二指示被受理，在步骤b2，加热控制部242A执行试料接收控制。如果该试料接收控制被执行，由干燥空气供给部133向加热槽11供给干燥空气。如果加热槽11内的气氛成为干燥空气气氛，则在步骤b3，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15开放加热槽11的搬入开口部112。如果搬入开口部112开放，则在步骤b4，由搬送控制部247控制的搬送部18将试料搬入加热槽11。如果搬送部18将试料搬入到加热槽11，则在步骤b5，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112。

[0077] 接着，在步骤b6，加热控制部242A执行加热前控制。如果该加热前控制被执行，通过减压部132而加热槽11内被减压。据此，存在于加热槽11内的气体成分被排出到加热槽11外。接着，在步骤b7，加热控制部242A开始第一加热处理控制。如果该第一加热处理控制开始，由惰性气体供给部131向加热槽11供给惰性气体。另外，如果由加热控制部242A开始第一加热处理控制，计时部23开始计时。如果向加热槽11供给惰性气体，则在步骤b8，由风扇控制部248控制的第一风扇19开始动作。在该状态下，在加热槽11实施试料的惰性气体气氛下的加热处理。

[0078] 接着，在步骤b9，控制部24判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第一设定加热时间。如果判断已经过第一设定加热时间则将计时部23的计时清零并前进到步骤b10，如果判断未经过第一设定加热时间则反复进行步骤b9。在步骤b10，控制部24判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第二设定加热时间。如果判断已经过第二设定加热时间则将计时部23的计时清零并前进到步骤b11，如果判断未经过第二设定加热时间则反复进行步骤b10。另外，步骤b9和步骤b10也可合并为一个步骤。此时，控制部24利用将第一设定加热时间和第二设定加热时间加起来的合计时间，判断由计时部23计时的惰性气体气氛下的加热处理时间是否经过该合计时间。在步骤b11，加热控制部242A结束第一加热处理控制。如果该第一加热处理控制结束，由惰性气体供给部131进行的向加热槽11的惰性气体的供给停止。如果向加热槽11的惰性气体的供给停止，在步骤b12，由风扇控制部248控制的第一风扇19的动作停止。

[0079] 基于第二指示受理部241B受理的第二指示的干燥装置1的干燥处理不实施所述的步骤a13～a15的减压气氛下的试料的加热处理。因此，在步骤b12的处理结束后，省略所述的步骤a13～a15的处理的状态下，转移到所述的步骤a16。基于第二指示受理部241B受理的第二指示的干燥装置1的干燥处理中，从步骤b12转移到所述的步骤a16后，实施所述的步骤a17～步骤a32的处理。如上所述，干燥装置1在加热槽11对试料实施惰性气体气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0080] 图6是表示干燥装置1的干燥处理动作的第三例的工序图。图6所示的第三例的干燥处理动作是通过操作部21输入了在减压气氛下加热试料，接着在惰性气体气氛下冷却的第三指示时的干燥处理动作。干燥装置1在开闭结构体14的第一门体142A封闭加热槽11的第一开口部111，第二门体142B封闭冷却槽12的第二开口部121，搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112，搬出门体16封闭冷却槽12的搬出开口部122的状态下开始干燥处理动作。此外，加热槽11被加热部113加热，槽内温度处于120℃～200℃的范围。冷却槽12被冷却部123冷却，槽内温度为1℃左右。

[0081] 在步骤c1，第三指示受理部241C受理第三指示。如果第三指示被受理，在步骤c2，加热控制部242A执行试料接收控制。如果该试料接收控制被执行，由干燥空气供给部133向加热槽11供给干燥空气。如果加热槽11内的气氛成为干燥空气气氛，则在步骤c3，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15开放加热槽11的搬入开口部112。如果搬入开口部112开放，则在步骤c4，由搬送控制部247控制的搬送部18将试料搬入加热槽11。如果搬送部18将试料搬入到加热槽11，则在步骤c5，由搬入门体控制部244控制的搬入门体15封闭加热槽11的搬入开口部112。

[0082] 接着，在步骤c6，加热控制部242A执行加热前控制。如果该加热前控制被执行，通过减压部132而加热槽11内被减压。据此，存在于加热槽11内的气体成分被排出到加热槽11外。接着，在步骤c7，加热控制部242A开始第二加热处理控制。即，基于第三指示受理部241C受理的第三指示的干燥装置1的干燥处理不实施所述的步骤a7～a12的惰性气体气氛下的试料的加热处理。如果第二加热处理控制开始，由减压部132继续进行对加热槽11内的减压处理。另外，如果由加热控制部242A开始第二加热处理控制，计时部23开始计时。在该状态下，在加热槽11实施试料的减压气氛下的加热处理。

[0083] 接着，在步骤c8，控制部24判断由计时部23计时的减压气氛下的加热处理时间是否经过存储在存储部22的第三设定加热时间。如果判断已经过第三设定加热时间则前进到步骤c9，如果判断未经过第三设定加热时间则反复进行步骤c8。在步骤c9，加热控制部242A结束第二加热处理控制。如果该第二加热处理控制结束，减压部132进行的对加热槽11的减压动作停止。

[0084] 基于第三指示受理部241C受理的第三指示的干燥装置1的干燥处理中，结束步骤c9的处理后转移到所述的步骤a16。基于第三指示受理部241C受理的第三指示的干燥装置1的干燥处理中，从步骤c9转移到所述的步骤a16后，实施所述的步骤a17～步骤a32的处理。如上所述，干燥装置1在加热槽11对试料实施减压气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0085] 根据如上所述地构成的干燥装置1，用于加热试料的加热槽11和用于冷却试料的冷却槽12在之间存在开闭结构体14的状态下分别独立设置。因此，加热槽11的温度保持用于加热试料的温度，冷却槽12的温度保持用于冷却试料的温度即可，不像以往的分批方式的干燥装置那样需要在各槽反复实施降温操作及升温操作。因此，能够防止用于降温操作及升温操作的能量消耗并能够缩短干燥时间，能够实现高干燥效率。

[0086] 此外，干燥装置1经由搬入开口部112从装置外部向加热槽11搬入试料，并经由搬出开口部122从冷却槽12向装置外部搬出试料。即，本实施方式所涉及的干燥装置1不是如具备三个气密室的以往的连续搬送方式的干燥装置那样具备相当于除进行试料的搬入或搬出的两个气密室以外的气密室的处理槽的结构。因此，与以往的连续搬送方式的干燥装置相比较，能够实现装置的小型化。

[0087] 此外，由调整控制部242控制的调整部13基于由受理部241受理的有关干燥条件的指示，调整加热槽11及冷却槽12的内部的气氛。因此，能够在一个加热槽11实施内部气氛不同的加热处理，并且，能够在一个冷却槽12实施内部气氛不同的冷却处理。因此，相较于为了实施内部气氛不同的加热处理和冷却处理而具备与处理工序数相同的数量的气密室的以往的连续搬送方式的干燥装置，能够实现装置的小型化。

[0088] 以上说明了本发明的实施方式所涉及的干燥装置1，但本发明并不限定于此，例如可采用如下的变形实施方式。

[0089] (1)在所述的实施方式中，说明了能够根据由受理部241受理的指示切换在加热槽11实施的加热处理的干燥装置1的结构，但本发明并不限定于此种结构。本发明的干燥装置
1也可采用能够在加热槽11对试料只进行惰性气体气氛下的加热处理后，在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理的结构(以下称为“第一变形例”)。具体而言，第一变形例所涉及的干燥装置1除了调整部13、受理部241及调整控制部242的结构不同以外，与所述的实施方式相同。

[0090] 在第一变形例所涉及的干燥装置1中，调整部13包括惰性气体供给部131、减压部132以及干燥空气供给部133。减压部132用于在将加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部设为惰性气体气氛之前，将所述各个内部设为减压气氛的部件。通过该减压部132，能够排出存在于加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部的气体成分，能够提高向惰性气体气氛的置换效率。另外。在第一变形例所涉及的干燥装置1中，调整部13也可采用不含减压部
132的结构。

[0091] 在第一变形例所涉及的干燥装置1中，受理部241受理在惰性气体气氛下加热试料，接着在惰性气体气氛下冷却试料的指示。即，在第一变形例所涉及的干燥装置1中，受理部241只含所述的实施方式的第二指示受理部241B，不含第一指示受理部241A及第三指示受理部241C。并且，在第一变形例所涉及的干燥装置1中，调整控制部242基于由受理部241受理的指示能够执行如下控制：加热处理控制，让惰性气体供给部131将加热槽11调整为惰性气体气氛，以便在加热槽11在惰性气体气氛下加热试料；冷却控制，让惰性气体供给部131将冷却槽12调整为惰性气体气氛；以及框体控制，让惰性气体供给部131将框体141调整为惰性气体气氛。另外，第一变形例所涉及的干燥装置1的干燥处理动作与所述的实施方式中的图5所示的干燥处理动作的第二例一样。

[0092] 在第一变形例所涉及的干燥装置1中，在由开闭阀控制部246控制的连通开闭阀171开放连通管17的连通路，加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛被设为惰性气体气氛，且所述各个内部的压力差变小的状态下，由开闭结构体控制部243控制的第一门体
142A及第二门体142B进行对第一开口部111及第二开口部121的开闭动作。如以上所述，第一变形例所涉及的干燥装置1能够在加热槽11对试料实施惰性气体气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽
12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0093] (2)此外，本发明的干燥装置1也可采用能够在加热槽11对试料只实施减压气氛下的加热处理后，在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理的结构(以下称为“第二变形例”)。具体而言，第二变形例所涉及的干燥装置1除了调整部13、受理部241及调整控制部242的结构不同以外，与所述的实施方式相同。

[0094] 在第二变形例所涉及的干燥装置1中，调整部13包括惰性气体供给部131、减压部132以及干燥空气供给部133。在第二变形例所涉及的干燥装置1中，受理部241受理在减压气氛下加热试料，接着在惰性气体气氛下冷却试料的指示。即，在第二变形例所涉及的干燥装置1中，受理部241只含所述的实施方式的第三指示受理部241C，不含第一指示受理部
241A及第二指示受理部241B。并且，在第二变形例所涉及的干燥装置1中，调整控制部242基于由受理部241受理的指示能够执行如下控制：加热处理控制，让减压部132将加热槽11调整为减压气氛，以便在加热槽11在减压气氛下加热试料；加热后控制，在加热槽11加热试料后，让惰性气体供给部131将加热槽11调整为惰性气体气氛；冷却前控制，在冷却槽12冷却试料前，让减压部132将冷却槽12调整为减压气氛；冷却处理控制，让惰性气体供给部131将冷却槽12调整为惰性气体气氛，以便在冷却槽12在惰性气体气氛下冷却试料；第一框体控制，与所述冷却前控制联动，让减压部132将框体141调整为减压气氛；以及第二框体控制，让惰性气体供给部131将框体141调整为惰性气体气氛。另外，第二变形例所涉及的干燥装置1的干燥处理动作与所述的实施方式中的图6所示的干燥处理动作的第三例一样。

[0095] 在第二变形例所涉及的干燥装置1中，在由开闭阀控制部246控制的连通开闭阀171开放连通管17的连通路，加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛被设为惰性气体气氛，且所述各个内部的压力差变小的状态下，由开闭结构体控制部243控制的第一门体
142A及第二门体142B进行对第一开口部111及第二开口部121的开闭动作。如以上所述，第二变形例所涉及的干燥装置1能够在加热槽11对试料实施减压气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施惰性气体气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0096] (3)此外，本发明的干燥装置1也可采用能够在加热槽11对试料只实施减压气氛下的加热处理后，在冷却槽12对试料实施减压气氛下的冷却处理的结构(以下称为“第三变形例”)。具体而言，第三变形例所涉及的干燥装置1除了调整部13、受理部241及调整控制部242的结构不同以外，与所述实施方式相同。

[0097] 在第三变形例所涉及的干燥装置1中，调整部13包括减压部132以及干燥空气供给部133。另外，在第三变形例所涉及的干燥装置1中，调整部13也可以包含惰性气体供给部131。此时，惰性气体供给部131在将加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部设为减压气氛之前，将所述各个内部设为惰性气体气氛。在第三变形例所涉及的干燥装置1中，受理部
241受理在减压气氛下加热试料，接着在减压气氛下冷却的指示。并且，在第三变形例所涉及的干燥装置1中，调整控制部242基于受理部241受理的指示能够执行如下控制：加热处理控制，让减压部132将加热槽11调整为减压气氛，以便在加热槽11在减压气氛下加热试料；
冷却处理控制，让减压部132将冷却槽12调整为减压气氛，以便在冷却槽12在减压气氛下冷却试料；以及框体控制，让减压部132将框体141调整为减压气氛。

[0098] 在第三变形例所涉及的干燥装置1中，在由开闭阀控制部246控制的连通开闭阀171开放连通管17的连通路，加热槽11、冷却槽12及框体141的各个内部气氛被设为减压气氛，且所述各个内部的压力差变小的状态下，由开闭结构体控制部243控制的第一门体142A及第二门体142B进行对第一开口部111及第二开口部121的开闭动作。如以上所述，第三变形例所涉及的干燥装置1能够在加热槽11对试料实施减压气氛下的加热处理后，利用搬送部18将试料沿搬送方向H搬送而使其从加热槽11移动到冷却槽12，接着在冷却槽12对试料实施减压气氛下的冷却处理，并搬出冷却后的试料。

[0099] (4)此外，本发明的干燥装置1也可为受理部241只具有第一指示受理部241A，并只进行基于第一指示的处理的装置。

[0100] 所述的实施方式主要包含具有以下结构的技术。在干燥含有液体成分的试料时，有助于提供实现高干燥效率并能实现装置的小型化的干燥装置。

[0101] 所述的实施方式的一方面所涉及的干燥装置，用于干燥含有液体成分的试料，其包括：加热槽，具有第一开口部和试料的搬入开口部，用于加热试料；冷却槽，具有与所述第一开口部相向的第二开口部和试料的搬出开口部，用于冷却在所述加热槽加热后的试料；开闭结构体，被配设在所述加热槽与所述冷却槽之间，用于开闭所述第一开口部及所述第二开口部；搬送部，将试料从所述加热槽向所述冷却槽搬送；调整部，调整所述加热槽及所述冷却槽的内部的气氛；以及调整控制部，控制所述调整部。

[0102] 根据该干燥装置，由于用于加热试料的加热槽和用于冷却试料的冷却槽在之间存在开闭结构体的状态下分别独立设置。因此，加热槽的温度保持用于加热试料的温度，冷却槽的温度保持用于冷却试料的温度即可，不像以往的分批方式的干燥装置那样需要在各槽反复实施降温操作及升温操作。因此，能够防止用于降温操作及升温操作的能量消耗，并且，能够缩短干燥时间，能够实现高干燥效率。此外，干燥装置经由搬入开口部从装置外部向加热槽搬入试料，并经由搬出开口部从冷却槽向装置外部搬出试料。即，本发明所涉及的干燥装置不是如具备三个气密室的以往的连续搬送方式的干燥装置那样具备相当于除进行试料的搬入或搬出的两个气密室以外的气密室的处理槽的结构。因此，与以往的连续搬送方式的干燥装置相比较，能够实现装置的小型化。

[0103] 在所述的干燥装置中，所述开闭结构体包括：框体，连接所述第一开口部和所述第二开口部；以及门体，通过在所述框体内相对于所述第一开口部及所述第二开口部移动，从而开闭该第一开口部及第二开口部，所述调整部还调整所述框体的内部的气氛。

[0104] 在该结构中，能够以包括开闭加热槽的第一开口部和冷却槽的第二开口部的门体的简单的结构实现开闭结构体。此外，调整部能够调整连接第一开口部和第二开口部的开闭结构体的框体的内部气氛。因此，在框体内门体移动而开闭第一开口部及第二开口部时，能够缩小加热槽、冷却槽及框体的各个内部气氛之差。此外，通过调整部调整内部气氛，能够缩小加热槽、冷却槽及框体的各个内部的压力差。因此，能够使框体内的门体的移动动作顺畅。

[0105] 在所述的干燥装置中，也可以还包括：连通管，形成用于使所述加热槽、所述冷却槽及所述框体分别连通的连通路；连通开闭阀，被设置在所述连通管，用于开闭所述连通路；以及开闭阀控制部，与所述调整控制部的控制联动而控制所述连通开闭阀。

[0106] 在该结构中，加热槽、冷却槽及框体通过连通管而能够连通。因此，在框体内门体移动而开闭第一开口部及第二开口部时，能够进一步缩小加热槽、冷却槽及框体的各个内部气氛之差。此外，通过连通管能够进一步缩小加热槽、冷却槽及框体的各个内部的压力差。因此，能够使框体内的门体的移动动作更顺畅。

[0107] 在所述的干燥装置中，也可以还包括：受理部，受理有关试料的干燥条件的指示，所述调整部包括：向所述加热槽、所述冷却槽及所述框体的内部供给惰性气体的惰性气体供给部；以及将所述加热槽、所述冷却槽及所述框体的内部减压为低于大气压的压力的减压部，所述调整控制部，基于由所述受理部受理的指示，控制所述惰性气体供给部及所述减压部。在该结构中，能够基于受理部受理的指示，将加热槽、冷却槽及框体的内部气氛调整为惰性气体气氛或减压气氛。

[0108] 在所述的干燥装置中，也可以为：所述调整控制部执行以下控制：第一加热处理控制，让所述惰性气体供给部将所述加热槽调整为惰性气体气氛，以便使所述加热槽在惰性气体气氛下加热试料；第二加热处理控制，让所述减压部将所述加热槽调整为减压气氛，以便使所述加热槽在减压气氛下加热试料；加热后控制，在所述加热槽加热试料后，让所述惰性气体供给部将所述加热槽调整为惰性气体气氛；冷却控制，与所述加热后控制联动，让所述惰性气体供给部将所述冷却槽调整为惰性气体气氛；以及框体控制，与所述加热后控制联动，让所述惰性气体供给部将所述框体调整为惰性气体气氛，所述开闭阀控制部，在执行所述加热后控制的期间、即、执行所述冷却控制且执行所述框体控制的第一连通开闭阀控制期间，让所述连通开闭阀开放所述连通路，在所述第一连通开闭阀控制期间以外的剩余的第二连通开闭阀控制期间，让所述连通开闭阀封闭所述连通路，所述门体在所述第一连通开闭阀控制期间进行开闭动作。

[0109] 在该结构中，能够在将加热槽、冷却槽及框体的各个内部气氛设为惰性气体气氛，并进一步缩小各个内部的压力差的基础上，使开闭结构体的门体移动。因此，能够使框体内的门体的移动动作顺畅。

[0110] 在所述的干燥装置中，所述受理部包括：第一指示受理部，受理在惰性气体气氛下加热试料后在减压气氛下加热的第一指示；第二指示受理部，受理在惰性气体气氛下加热试料的第二指示；以及第三指示受理部，受理在减压气氛下加热试料的第三指示。所述调整控制部执行以下控制：在所述第一指示受理部受理了所述第一指示的情况下，依次执行所述第一加热处理控制、所述第二加热处理控制及所述加热后控制；在所述第二指示受理部受理了所述第二指示的情况下，依次执行所述第一加热处理控制及所述加热后控制；在所述第三指示受理部受理了所述第三指示的情况下，依次执行所述第二加热处理控制及所述加热后控制。在该结构中，能够在加热槽实施与受理部的第一指示受理部、第二指示受理部及第三指示受理部受理的指示相对应的加热处理。

[0111] 在所述的干燥装置中，也可以还包括：第一风扇，在所述加热槽的内部产生循环气流；以及第二风扇，在所述冷却槽的内部产生循环气流。

[0112] 在该结构中，利用第一风扇在加热槽的内部产生循环气流，并利用第二风扇在冷却槽的内部产生循环气流，因此，能够利用该循环气流提高加热处理及冷却处理的处理效率。

[0113] 在所述的干燥装置中，也可以为：所述调整部包括向所述加热槽、所述冷却槽及所述框体的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，所述调整控制部执行如下控制：加热处理控制，让所述惰性气体供给部将所述加热槽调整为惰性气体气氛，以便使所述加热槽在惰性气体气氛下加热试料；冷却控制，让所述惰性气体供给部将所述冷却槽调整为惰性气体气氛；以及框体控制，让所述惰性气体供给部将所述框体调整为惰性气体气氛。在该结构中，能够在加热槽对试料实施惰性气体气氛下的加热处理后，在冷却槽对试料实施冷却处理。

[0114] 在所述的干燥装置中，也可以为：所述调整部包括将所述加热槽、所述冷却槽及所述框体的内部减压为低于大气压的压力的减压部，所述调整控制部执行如下控制：加热处理控制，让所述减压部将所述加热槽调整为减压气氛，以便使所述加热槽在减压气氛下加热试料；冷却控制，让所述减压部将所述冷却槽调整为减压气氛；以及框体控制，让所述减压部将所述框体调整为减压气氛。在该结构中，能够在加热槽对试料实施减压气氛下的加热处理后，在冷却槽对试料实施冷却处理。