蒸镀装置及蒸镀方法

摘要

本发明公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示领域。所述蒸镀装置包括：蒸镀基台、蒸镀源基台、移动组件和至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源；所述蒸镀基台用于固定待蒸镀的基板；所述移动组件与所述蒸镀源基台固定连接，所述移动组件用于带动所述蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源基台靠近所述蒸镀基台的一侧，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在所述蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层。本发明有效地提高了蒸镀装置的蒸镀效率。本发明用于制造显示面板中的膜层。

权利要求

1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀基台、蒸镀源基台、移动组件、旋转组件、基板替换组件和至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源；

所述蒸镀基台用于固定待蒸镀的基板；

所述移动组件与所述蒸镀源基台固定连接，所述移动组件用于带动所述蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；

所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源基台靠近所述蒸镀基台的一侧，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层；

所述旋转组件用于在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，带动所述至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在所述至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度；

所述基板替换组件用于在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，替换所述蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置设置在蒸镀腔室内，所述旋转组件一端与所述蒸镀源基台固定连接，所述旋转组件另一端与所述蒸镀腔室的内壁连接。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：蒸镀源支撑板，所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源支撑板靠近所述蒸镀基台的一侧；

所述旋转组件的一端与所述蒸镀源基台固定连接，所述旋转组件的另一端与所述蒸镀源支撑板固定连接。

4.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：锁定结构；

所述锁定结构用于在所述蒸镀源基台沿所述待蒸镀的基板的延伸方向移动的过程中，锁定所述旋转组件。

5.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：遮挡板，所述遮挡板被配置为：在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，移动至所述至少两组蒸镀源与所述蒸镀基台之间，以遮挡所述至少两组蒸镀源。

6.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置设置在蒸镀腔室内，所述移动组件包括：滑动件和设置在所述蒸镀腔室内壁上的滑动导轨，所述滑动件的一端与所述滑动导轨滑动连接，所述滑动件的另一端与所述蒸镀源基台固定连接。

7.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源包括：蒸镀坩埚和喷嘴，所述喷嘴固定设置在所述蒸镀坩埚的出口上，所述蒸镀坩埚用于放置蒸镀源材料，所述喷嘴用于将所述蒸镀源材料喷射至所述待蒸镀的基板。

8.一种蒸镀方法，其特征在于，所述方法应用于权1至7任一所述的蒸镀装置，所述方法包括：通过蒸镀基台固定待蒸镀的基板；

通过移动组件带动蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；

在所述蒸镀源基台移动的过程中，通过至少两组蒸镀源中的每组蒸镀源将蒸镀源材料蒸镀至所述待蒸镀的基板，形成一个蒸镀膜层，其中，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠；

当所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，通过旋转组件带动所述至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在所述至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及，通过基板替换组件替换所述蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板。

说明书

蒸镀装置及蒸镀方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示领域，特别涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

[0002] 有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示面板的制备过程中，常采用蒸镀法进行膜层的制备。

[0003] 相关技术中，蒸镀装置一般包括多个蒸镀源，每个蒸镀源包括蒸镀坩埚以及设置在该蒸镀坩埚出口处的喷嘴。蒸镀法的原理为：将蒸镀源材料放置于蒸镀坩埚中，通过电阻加热或电子束加热等方式对蒸镀源材料进行加热，使蒸镀源材料由液态或固态转换为气态，并通过喷嘴将气态的蒸镀源材料喷至待镀膜的基板表面，使得气化后的蒸镀源材料沉积在待镀膜的基板表面形成膜层。

[0004] 该多个蒸镀源用于制造一个膜层。因此，该蒸镀装置的蒸镀效率较低。

发明内容

[0005] 本发明实施例提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，可以解决相关技术中蒸镀装置的蒸镀效率较低的问题。所述技术方案如下：

[0006] 第一方面，提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：蒸镀基台、蒸镀源基台、移动组件和至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源；

[0007] 所述蒸镀基台用于固定待蒸镀的基板；

[0008] 所述移动组件与所述蒸镀源基台固定连接，所述移动组件用于带动所述蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；

[0009] 所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源基台靠近所述蒸镀基台的一侧，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在所述蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层。

[0010] 可选地，所述蒸镀装置还包括：旋转组件和基板替换组件；

[0011] 所述旋转组件用于在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，带动所述至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在所述至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度；

[0012] 所述基板替换组件用于在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，替换所述蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板。

[0013] 可选地，所述蒸镀装置设置在蒸镀腔室内，所述旋转组件一端与所述蒸镀源基台固定连接，所述旋转组件另一端与所述蒸镀腔室的内壁连接。

[0014] 可选地，所述蒸镀装置还包括：蒸镀源支撑板，所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源支撑板靠近所述蒸镀基台的一侧；

[0015] 所述旋转组件的一端与所述蒸镀源基台固定连接，所述旋转组件的另一端与所述蒸镀源支撑板固定连接。

[0016] 可选地，所述蒸镀装置还包括：锁定结构；

[0017] 所述锁定结构用于在所述蒸镀源基台沿所述待蒸镀的基板的延伸方向移动的过程中，锁定所述旋转组件。

[0018] 可选地，所述蒸镀装置还包括：遮挡板，所述遮挡板被配置为：在所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，移动至所述至少两组蒸镀源与所述蒸镀基台之间，以遮挡所述至少两组蒸镀源。

[0019] 可选地，所述蒸镀装置设置在蒸镀腔室内，所述移动组件包括：滑动件和设置在所述蒸镀腔室内壁上的滑动导轨，所述滑动件的一端与所述滑动导轨滑动连接，所述滑动件的另一端与所述蒸镀源基台固定连接。

[0020] 可选地，所述蒸镀源包括：蒸镀坩埚和喷嘴，所述喷嘴固定设置在所述蒸镀坩埚的出口上，所述蒸镀坩埚用于放置蒸镀源材料，所述喷嘴用于将所述蒸镀源材料喷射至所述待蒸镀的基板。

[0021] 第二方面，提供了蒸镀方法，所述方法应用于第一方面任一所述的蒸镀装置，所述方法包括：

[0022] 通过蒸镀基台固定待蒸镀的基板；

[0023] 通过移动组件带动蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；

[0024] 在所述蒸镀源基台移动的过程中，通过至少两组蒸镀源中的每组蒸镀源将蒸镀源材料蒸镀至所述待蒸镀的基板，形成一个蒸镀膜层；

[0025] 其中，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠。

[0026] 可选地，所述方法还包括：

[0027] 当所述蒸镀源基台移动至所述待蒸镀的基板的任一端时，通过旋转组件带动所述至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在所述至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及，通过基板替换组件替换所述蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板。

[0028] 第三方面，提供了一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括：蒸镀腔室和第一方面任一所述的蒸镀装置，所述蒸镀装置设置在所述蒸镀腔室内。

[0029] 本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

[0030] 本发明实施例提供的蒸镀装置及蒸镀方法，通过蒸镀装置中的至少两组蒸镀源对待蒸镀的基板进行蒸镀，且至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，能够在移动组件用于带动蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端过程中(也称为一次扫描过程)，在待蒸镀的基板上形成至少两个膜层，相较于相关技术，增加了在一次扫描过程中形成的膜层数，有效地提高了蒸镀装置的蒸镀效率。

附图说明

[0031] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0032] 图1是相关技术中一种蒸镀腔室的结构示意图；

[0033] 图2是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；

[0034] 图3是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

[0035] 图4是本发明实施例提供的再一种蒸镀装置的结构示意图；

[0036] 图5是本发明实施例提供的一种通过旋转组件带动图3所示的蒸镀源基台旋转后的结构示意图；

[0037] 图6是是本发明实施例提供的又一种蒸镀装置的结构示意图；

[0038] 图7是本发明实施例提供的一种蒸镀方法的方法流程图；

[0039] 图8是本发明实施例提供的一种蒸镀系统的结构示意图。

具体实施方式

[0040] 为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

[0041] 图1为相关技术中一种蒸镀腔室的结构示意图，如图1所示，该蒸镀装置设置在蒸镀腔室1中，该蒸镀装置包括：蒸镀基台101、蒸镀源基台102、加热组件和一个蒸镀源簇(cluster)。该蒸镀源簇固定设置在蒸镀源基台102上，该蒸镀源簇中包括三个蒸镀源103，每个蒸镀源103包括：蒸镀坩埚1031和设置在蒸镀坩埚1031出口处的喷嘴1032，且该三个蒸镀源103在同一时刻的有效蒸镀面积重叠。示例地，在图1中，虚线框A1标示的区域为该三个蒸镀源在时刻t的有效蒸镀面积。其中，蒸镀基台101用于固定待蒸镀的基板20；加热组件用于对蒸镀源材料进行加热，使蒸镀源材料由液态或固态相变为气态；蒸镀坩埚1031用于放置蒸镀源材料；喷嘴1032用于将相变为气态的蒸镀源材料喷射至待蒸镀的基板20，使得气化后的蒸镀源材料沉积在待镀膜的基板表面形成膜层。

[0042] 并且，蒸镀源基台102上还设置有遮挡板104和用于固定遮挡板104的支架105，该遮挡板104用于在无需将蒸镀源材料喷射至待蒸镀的基板20上时，遮挡蒸镀源。

[0043] 根据该蒸镀装置的结构可知，由于该蒸镀装置中三个蒸镀源的有效蒸镀面积重叠，因此，在蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端过程中(也称为一次扫描过程)，仅能在待蒸镀的基板上蒸镀一个膜层。且在完成一个扫描过程后，蒸镀源基台需要带动蒸镀源由该待蒸镀的基板的另一端移动至该待蒸镀的基板的一端，实现对蒸镀源的复位，并通过复位后的蒸镀源重复该扫描过程，在待蒸镀的基板上继续蒸镀膜层。由于该蒸镀装置在一次扫描过程中仅能蒸镀一个膜层，且在完成一个膜层的蒸镀后，需要将蒸镀源复位后才能继续蒸镀，因此，该蒸镀装置的蒸镀效率较低。

[0044] 为此，本发明实施例提供了一种蒸镀装置2，如图2所示，该蒸镀装置2可以包括：蒸镀基台21、蒸镀源基台22、移动组件23和一个蒸镀源簇，该蒸镀源簇包括至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源24。图2所示为一个蒸镀源簇包括三个蒸镀源24，该三个蒸镀源24分为两组蒸镀源，其中，虚线框T1中的两个蒸镀源为一组蒸镀源，虚线框T2中的两个蒸镀源为一组蒸镀源。可选地，该蒸镀源24可以为线源蒸镀源或面源蒸镀源。

[0045] 蒸镀基台21用于固定待蒸镀的基板20。

[0046] 移动组件23与蒸镀源基台22固定连接，移动组件23用于带动蒸镀源基台22由待蒸镀的基板20的一端移动至待蒸镀的基板20的另一端。

[0047] 至少两组蒸镀源沿蒸镀源基台22的移动方向B，依次固定设置在蒸镀源基台22靠近蒸镀基台21的一侧，至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层。且每组蒸镀源可以包括：蒸镀坩埚241和喷嘴242，该喷嘴242固定设置在蒸镀坩埚241的出口上，该蒸镀坩埚241用于放置蒸镀源材料，该喷嘴242用于将蒸镀源材料喷射至待蒸镀的基板20。可选地，可以通过调整蒸镀源之间的相对位置，或者，调整蒸镀源24中的喷嘴242的喷射角度，使得该至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠。示例地，图2所示的两组蒸镀源在时刻t的有效蒸镀面积分别如虚线框A2和虚线框A3所示，该虚线框A2和虚线框A3所示的有效蒸镀面积不重叠。

[0048] 并且，蒸镀装置2还可以包括：加热组件(图2未示出)，该加热组件用于对蒸镀源材料进行加热，使蒸镀源材料由液态或固态相变为气态。

[0049] 综上所述，本发明实施例提供的蒸镀装置，通过至少两组蒸镀源对待蒸镀的基板20进行蒸镀，且至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，能够在移动组件用于带动蒸镀源基台由待蒸镀的基板20的一端移动至待蒸镀的基板20的另一端过程中(即一次扫描过程中)，在待蒸镀的基板20上形成至少两个膜层形成至少两个膜层，相较于相关技术，增加了在一次扫描过程中形成的膜层数，有效地提高了蒸镀装置的蒸镀效率。

[0050] 其中，移动组件23包括：滑动件(图2未示出)和设置在蒸镀腔室内壁上的滑动导轨(图2未示出)，该滑动件的一端与滑动导轨滑动连接，该滑动件的另一端与蒸镀源基台22固定连接。

[0051] 可选地，请参考图3和图4，该蒸镀装置2还可以包括：旋转组件25和基板替换组件(图3和图4未示出)。

[0052] 该旋转组件25用于在蒸镀源基台22移动至待蒸镀的基板20的任一端时，带动至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度。

[0053] 基板替换组件用于在蒸镀源基台22移动至待蒸镀的基板20的任一端时，替换蒸镀基台21上固定的待蒸镀的基板20。可选地，该基板替换组件可以包括机械手。

[0054] 在蒸镀源基台22由待蒸镀的基板20的一端移动至待蒸镀的基板20的另一端时，通过该旋转组件25带动至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及通过基板替换组件替换蒸镀基台21上固定的待蒸镀的基板20，使得在蒸镀源基台22由该待蒸镀的基板20的另一端移动至该待蒸镀的基板20的一端的过程中，能够继续通过该至少两组蒸镀源在替换后的待蒸镀的基板20上形成至少两个膜层。相对于相关技术，无需等待蒸镀源基台22复位至该待蒸镀的基板20的一端，就能够对替换后的待蒸镀的基板20进行蒸镀，可以减少由于蒸镀源基台22复位所消耗的时间，使得蒸镀装置2在相同时长内能够在更多的待蒸镀的基板20上蒸镀膜层，进一步地提高了蒸镀装置2的蒸镀效率。相应的，由于使蒸镀源材料相变为气态的条件较高，因此，该喷嘴处于常开状态，即无论蒸镀装置2是否处于蒸镀状态，该喷嘴均保持为喷射状态，当无需等待蒸镀源基台22复位至该待蒸镀的基板20的一端，就能够对替换后的待蒸镀的基板20进行蒸镀时，能够减少蒸镀源材料的浪费，提高蒸镀源材料的利用率，进而降低显示面板的生产成本。

[0055] 蒸镀装置可以设置在蒸镀腔室内，作为旋转组件25的一种可实现方式，请参考图3，该旋转组件25一端可以与蒸镀源基台22固定连接，该旋转组件25另一端可以与蒸镀腔室的内壁(例如：蒸镀腔室的底部)连接。在旋转组件25发生旋转时，该旋转组件25另一端与蒸镀腔室的连接点可作为旋转组件25进行旋转时的支点，使得该旋转组件25的一端以该支点为旋转中心进行旋转。并且，为了减小旋转时的阻力，该旋转组件25可以具有伸缩功能，在需要旋转蒸镀源基台22时，该旋转组件25可沿垂直于蒸镀源24的设置面的方向伸展，以抬高该蒸镀源基台22并旋转该蒸镀源基台22。在蒸镀过程中，该旋转组件25收缩，以减小旋转组件25与蒸镀腔室接触所产生的阻力。示例地，该旋转组件25的伸缩功能可以通过弹簧和卡扣实现，当弹簧处于伸展状态，且卡扣处于非锁定状态时，旋转组件25可沿垂直于蒸镀源
24的设置面的方向伸展；当弹簧处于压缩状态，且卡扣处于锁定状态时，该卡扣用于保持该弹簧的压缩状态，使得旋转组件25处于收缩状态。

[0056] 其中，旋转组件25可以包括：固定部(图3未示出)和旋转部(图3未示出)，该旋转部相对该固定部能够发生转动，在该第一种可实现方式中，该固定部与蒸镀腔室固定连接，该旋转部与蒸镀源基台22固定连接。当该旋转部发生转动时，该旋转部可带动该蒸镀源基台22发生转动，至少两组蒸镀源所构成的整体结构在该蒸镀源基台22的带动下，可在该至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度。

[0057] 示例地，在该可实现方式中，通过旋转组件25带动图3所示的蒸镀源基台22旋转后，其旋转后的示意图请参考图5，从该图5可以看出，在该蒸镀源基台22的带动下，至少两组蒸镀源所构成的整体结构在该至少两组蒸镀源的设置面内旋转了180度。

[0058] 可选地，请参考图4，该蒸镀装置2还可以包括：蒸镀源支撑板26，该至少两组蒸镀源沿蒸镀源基台22的移动方向B，依次固定设置在蒸镀源支撑板26靠近蒸镀基台21的一侧。相应的，作为旋转组件25的另一种可实现方式，该旋转组件25的一端可以与蒸镀源基台22固定连接，该旋转组件25的另一端可以与蒸镀源支撑板26固定连接。

[0059] 其中，旋转组件25包括：固定部(图4未示出)和旋转部(图4未示出)，该旋转部相对该固定部能够发生转动，该固定部与蒸镀源支撑板26固定连接，该旋转部与蒸镀源支撑板26固定连接。当该旋转部发生转动时，该旋转部可带动该蒸镀源支撑板26发生转动，至少两组蒸镀源所构成的整体结构在该蒸镀源支撑板26的带动下，可在该至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度。

[0060] 进一步地，蒸镀装置2还包括：锁定结构(图5中未示出)。该锁定结构用于在蒸镀源基台22沿待蒸镀的基板20的延伸方向移动的过程中，锁定旋转组件25。可选地，该锁定结构可以为卡扣等。在移动过程中，通过该锁定机构锁定旋转组件25，能够保证蒸镀源基台22在移动过程不会被旋转组件25带动旋转，能够保证在待蒸镀的基板20上形成的膜层的厚度均一性。

[0061] 请参考图6，该蒸镀装置2还可以包括：遮挡板27，该遮挡板27可以通过支架28固定在蒸镀源基台22上。该遮挡板27被配置为：在蒸镀源基台22移动至待蒸镀的基板20的任一端时，移动至至少两组蒸镀源与蒸镀基台21之间，以遮挡至少两组蒸镀源，使得在至少两组蒸镀源所构成的整体结构的旋转过程中，蒸镀源材料不会被喷射至待蒸镀的基板20上，进而保证在待蒸镀的基板20上形成的膜层的厚度均一性。

[0062] 综上所述，本发明实施例提供的蒸镀装置，通过至少两组蒸镀源对待蒸镀的基板进行蒸镀，且至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，能够在移动组件用于带动蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端过程中(即一次扫描过程中)，在待蒸镀的基板上形成至少两个膜层形成至少两个膜层，相较于相关技术，增加了在一次扫描过程中形成的膜层数，并且，通过旋转组件带动至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及通过基板替换组件替换蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板，可以减少由于蒸镀源基台复位所消耗的时间，使得蒸镀装置在相同时长内能够在更多的待蒸镀基板上蒸镀膜层，有效地提高了蒸镀方法的蒸镀效率。

[0063] 本发明实施例还提供了一种蒸镀方法，该蒸镀方法可以应用于本发明实施例提供的蒸镀装置，请参考图7，该方法可以包括：

[0064] 步骤601、通过蒸镀基台固定待蒸镀的基板。

[0065] 可选地，该蒸镀基台可以产生吸附力，该吸附力可将待蒸镀的基板固定在该蒸镀基台上。其中，待蒸镀的基板可以为透明基板，其具体可以是采用玻璃、石英、透明树脂等具有一定硬度的导光且非金属材料制成的基板。

[0066] 步骤602、通过移动组件带动蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端，且在蒸镀源基台移动的过程中，通过至少两组蒸镀源中的每组蒸镀源将蒸镀源材料蒸镀至待蒸镀的基板，形成一个蒸镀膜层。

[0067] 由于至少两组蒸镀源是沿蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在蒸镀源基台靠近蒸镀基台的一侧的，且至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，在蒸镀源基台移动的过程中，按照蒸镀源到该待蒸镀基板另一端的由近至远的距离，靠近该待蒸镀基板另一端的一组蒸镀源可在待蒸镀的基板的表面先形成一个膜层，远离该待蒸镀基板另一端的一组蒸镀源可在该形成的膜层上再形成一个膜层，依次类推，在一次扫描过程中，能够在待蒸镀的基板上形成至少两个膜层，进而提高蒸镀效率。

[0068] 进一步，该蒸镀装置还可以包括：旋转组件和基板替换组件。相应的，该蒸镀方法还可以包括如下步骤：

[0069] 步骤603、当蒸镀源基台移动至待蒸镀的基板的任一端时，通过旋转组件带动至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及，通过基板替换组件替换蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板。

[0070] 在蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端时，通过该旋转组件带动至少两组蒸镀源所构成的整体结构，在至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及通过基板替换组件替换蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板，使得在蒸镀源基台由该待蒸镀的基板的另一端移动至该待蒸镀的基板的一端的过程中，能够继续通过该至少两组蒸镀源在替换后的待蒸镀的基板上形成至少两个膜层，相对于相关技术，无需等待蒸镀源基台复位至该待蒸镀的基板的一端后，就能够对替换后的待蒸镀的基板进行蒸镀，可以减少由于蒸镀源基台复位所消耗的时间，使得蒸镀装置在相同时长内能够在更多的待蒸镀基板上蒸镀膜层，进一步地提高了蒸镀装置的蒸镀效率。

[0071] 综上所述，本发明实施例提供的蒸镀方法，在蒸镀源基台移动的过程中，通过至少两组蒸镀源对待蒸镀的基板进行蒸镀，且至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，能够在移动组件用于带动蒸镀源基台由待蒸镀的基板的一端移动至待蒸镀的基板的另一端过程中(也称为一次扫描过程)，在待蒸镀的基板上形成至少两个膜层形成至少两个膜层，相较于相关技术，增加了在一次扫描过程中形成的膜层数，并且，通过旋转组件带动至少两组蒸镀源的设置面内旋转180度，以及通过基板替换组件替换蒸镀基台上固定的待蒸镀的基板，可以减少由于蒸镀源基台复位所消耗的时间，使得蒸镀装置在相同时长内能够在更多的待蒸镀基板上蒸镀膜层，有效地提高了蒸镀方法的蒸镀效率。

[0072] 本发明实施例还提供一种蒸镀系统，请参考图8，该蒸镀系统可以包括：蒸镀腔室01和上述实施例提供的蒸镀装置2，该蒸镀装置2设置在蒸镀腔室01内。

[0073] 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。