真空容器内压力多控制装置与真空容器内压力多控制方法

摘要

本发明的课题在于在将主阀和从动阀的集合体连接时，不进行统一的控制，而实现与处理装置的大小、内部的形态或顾客的要求形态相对应的主阀与从动阀的集合的连接，可快速地应对多样的要求。在主控制器和从动控制器的组合连接中设定操作模式，可向从与操作模式相对应的主控制器起依次多个串联的从动控制器，传递共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号，从动控制阀的打开度通过任意者的已产生的阀打开度信号而进行控制。

权利要求

1.一种处理容器内压力控制装置，该处理容器内压力控制装置对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置2个以上排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于处理容器的内部，对被处理体进行真空处理，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控制阀分别与该2个以上排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压力检测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力，其特征在于：

针对每个排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

控制器依次多个串联，并且具有各自1个的控制器的2个以上排气通路包括各自识别的各自识别代码和区分缆线时的缆线识别代码；

任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的阀打开度信号，其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从动控制器，形成通信线路，

·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的缆线识别代码、选择全部缆线的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，已产生的阀打开度信号而进行控制；

·在选择于针对具有各自1个的控制器的2个以上排气通路而区分缆线时的缆线识别代码、选择部分缆线的模式的场合，已选择的缆线的从动控制器中的一个从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的、已产生的阀打开度信号而进行控制，其它的缆线的从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的、各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制；

·在选择于区分缆线时的各自识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

2.一种处理容器内压力控制装置，该处理容器内压力控制装置对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置2个以上排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于处理容器的内部，对被处理体进行真空处理，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控制阀分别与该2个以上排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压力检测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力，其特征在于：

针对每个排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的阀打开度信号，其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从动控制器，形成通信线路；

主控制器产生共同地传递给全部从动控制器的阀打开度信号，以及各自传递给缆线形式的从动控制器的阀打开度信号，从动控制器通过由共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号形成的阀打开度信号中的任意者的阀打开度信号而进行控制。

3.一种基于处理容器内压力控制装置的处理容器内压力控制方法，该处理容器内压力控制方法对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置2个以上排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于处理容器的内部，对被处理体进行真空处理，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控制阀分别与该2个以上排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压力检测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力，其特征在于：针对每个排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的阀打开度信号，其它的剩余的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从动控制器，形成通信线路；

对于主控制器和从动控制器，其组合可按照多个而设定，具有对2个以上控制阀的打开度进行操作的操作模式，包括选择该操作模式的选择机构，针对已选择的各操作模式，设置主控制器和从动控制器的1个组合，可根据已设定的操作模式，将共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者的阀打开度信号传递给从动控制器。

说明书

真空容器内压力多控制装置与真空容器内压力多控制方法

技术领域

[0001] 本发明涉及真空容器内压力多控制装置与真空容器内压力多控制方法。

背景技术

[0002] 在LCD（液晶显示器）衬底等的面板显示器衬底的制造步骤中，在减压气氛下而对被处理体，进行蚀刻处理，成膜处理等的规定的真空处理。伴随面板显示器衬底的大型化，
装置也大型化，在向真空腔，即，处理容器内部，供给大流量的处理气体的同时，要求大的排
气能力。为此，在1个处理容器中，设置多个排气通路，如果处理容器为大容量，则在通过1个
控制阀而进行压力控制时，处理容器内的压力值不均匀，人们尝试通过设置多个排气通路
而使处理容器内部的压力值均匀。

[0003] 在专利文献1中，记载了下述的真空处理装置，其中，将n个排气通路与处理容器连接，针对每个排气通路而各自地设置真空排气机构，通过1个控制器而控制排气通路的传导
性。

[0004] 在专利文献2中，记载了下述的控制系统，在该控制系统中，分别在排气通路中，设置流体控制用装置，在排气通路中设置压力检测机构，可通过借助该压力检测机构而检测
的压力，通过一起，各自或区分缆线的方式中的任意一者，控制流体控制用装置的相应装
置。

[0005] 在专利文献3中，记载有下述系统，在该系统中，通过数字网络而将主阀与从动阀的集合体连接。

[0006] 在专利文献4中，记载有用于将数据从主控制部，传送给从动控制部的下传环和用于将数据从从动控制部，传送给主控制部的上传环。

[0007] 已有技术文献

[0008] 专利文献

[0009] 专利文献1：JP特许第5322254号公报

[0010] 专利文献2：JP特许第3301042号公报

[0011] 专利文献3：JP特许第5123286号公报

[0012] 专利文献4：JP特许第6051547号公报。

发明内容

[0013] 发明要解决的课题

[0014] 象上述专利文献所示的那样，人们知道：在大容量的处理容器上连接多个排气通路，检测排气通路的压力，通过各控制器而以多个方式而控制控制阀，另外人们知道：通过
数字网络而将主阀和从动阀的集合体连接，人们知道有用于将数据从主控制部，传送给从
动控制部的下传环和用于将数据从从动控制部，传送给主控制部的上传环技法。

[0015] 按照这些手段，可通过多个方式而借助各控制器，控制控制阀，通过将主阀与从动阀的集合体连接，不针对各排气通路而设置压力检测器，不必要求通过已检测的压力，分别
产生控制信号，简化了控制的方式。

[0016] 对于真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法，没有几个控制对象，而控制单一的处理容器内的压力。人们要求形成下述的方式，其中，当连接主阀和从动
阀的集合体时，将主阀与从动阀的集合体的连接固定，而不进行统一的控制，与处理装置的
大小，内部的形态或顾客的要求形态相对应的主阀和从动阀的集合体的连接具有灵活的通
用性，人们要求可快速地应对多样的要求。

[0017] 人们要求适合于真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法的方案，其中，没有形成在主阀的移动和从动阀的移动之间，介设网络或控制用的其它的装置的
系统结构，另外，通过简化通信线路，主与从的关系充分而灵活地使用。

[0018] 本发明的目的在于针对上述方面而提供下述的方案，其中，在主阀控制的控制器与从动阀控制的控制器的集合体的连接之间，没有介设网络或控制用的其它的装置，另外
通过简化通信线路，灵活使用主与从的关系，当将主阀和从动阀的集合体连接时，不进行统
一的控制，而进行与处理装置的大小，内部的形态或顾客的要求形态相对应的主阀和从动
阀的集合体的连接，可快速地应对多样的要求，适合于真空容器内压力多控制装置或真空
容器内压力多控制方法。

[0019] 用于解决课题的技术方案

[0020] 本发明涉及一种真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法，其按照多项而对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置n个（n表示大于等于2的整
数）的排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于在其内
部，对被处理体，进行真空处理的处理容器，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控
制阀分别与该n个排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压
力检测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力。

[0021] 本发明提供一种真空容器内压力多控制装置，该真空容器内压力多控制装置按照多项而对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置n个（n表示大于等于2的整数）
的排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于在其内部，
对被处理体，进行真空处理的处理容器，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控制阀
分别与该n个排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压力检
测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力，

[0022] 针对每个排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

[0023] 控制器依次多个串联，并且具有各自1个的控制器的n个排气通路包括各自识别的各自识别代码和区分缆线时的缆线识别代码；

[0024] 任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器压力控制信号，其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按照
从主控制器起依次多个串联而产生的压力控制信号或与其等效的阀打开度信号（在下面称
为“阀打开度信号”），从主控制器，朝向末端的从动控制器，形成通信线路。

[0025] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的全部缆线识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，已
产生的阀打开度信号而进行控制。

[0026] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的缆线识别代码的模式的场合，已选择的缆线的从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递
的，已产生的压力控制信号而进行控制，已选择的其它的缆线的从动控制器通过以从主控
制器起依次多个串联而传递的，各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

[0027] ·在选择于区分缆线时的各自识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，各自产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

[0028] 本发明提供一种真空容器内压力多控制装置，该真空容器内压力多控制装置按照多项而对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其中，设置n个（n表示大于等于2的整数）
的排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一端侧连接于在其内部，
对被处理体，进行真空处理的处理容器，针对每个排气通路而各自地设置控制阀，该控制阀
分别与该n个排气通路的另一端侧连接，设置控制器，该控制器控制该控制阀，设置压力检
测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压力，

[0029] 针对每个排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

[0030] 任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的压力控制信号，其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按
照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从动控制
器，形成通信线路；

[0031] 主控制器产生共同地传递给全部从动的或缆线形式的控制器的阀打开度信号，以及各自传递给全部从动的或缆线形式的控制器的阀打开度信号，从动控制器通过由共同的
已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号形成的阀打开度信号中的任意者
的阀打开度信号而进行控制。

[0032] 本发明提供一种基于真空容器内压力多控制装置的真空容器内压力多控制方法，该真空容器内压力多控制方法按照多项而对处理容器的排气通路的传导性进行控制，其
中，设置n个（n表示大于等于2的整数）的排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，
该排气通路的一端侧连接于在其内部，对被处理体，进行真空处理的处理容器，针对每个排
气通路而各自地设置控制阀，该控制阀分别与该n个排气通路的另一端侧连接，设置控制
器，该控制器控制该控制阀，设置压力检测机构，该压力检测机构检测该处理容器内的压
力，

[0033] 针对每个排气通路而设置的各控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态；

[0034] 任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的压力控制信号，其它的剩余的控制器用作从动控制器，该从动控制器
传递按照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从
动控制器，形成通信线路；

[0035] 对于主控制器和从动控制器，其组合可按照多个而设定。

[0036] 具有对n个控制阀的打开度进行操作的操作模式，包括选择该操作模式的选择机构，针对已选择的各操作模式，设置主控制器和从动控制器的1个组合，根据已设定的操作
模式，将共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者的阀打
开度信号传递给从动控制器。

[0037] 发明的效果

[0038] 按照本发明，关于主控制器和全部从动控制器，可按照多个而设定组合。

[0039] 具有操作模式，该操作模式对n个控制阀的打开度进行操作，包括选择机构，该选择机构选择该操作模式，针对已选择的各操作模式而设定主控制器和从动控制器的1个组
合，可根据已设定的操作模式，将共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开
度信号中的任意者的阀打开度信号传递给从动控制器。

[0040] 由此，可提供下述的方案，其中，在主阀控制的控制器与从动阀控制的控制器的集合体的连接之间，没有介设网络或控制用的其它的装置，另外通过简化通信线路，灵活使用
主与从的从属关系，当将主阀和从动阀的集合体连接时，不进行统一的控制，而进行与处理
装置的大小，内部的形态或顾客的要求形态相对应的主阀和从动阀的集合体的连接，可快
速地应对多样的要求，适合于真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法。

附图说明

[0041] 图1为表示采用本发明的实施例的已知的普通的衬底处理系统的外观结构的图；

[0042] 图2为表示本发明的实施例的外观结构的图；

[0043] 图3为通过更进一步具体的结构而表示图2所示的构思的图；

[0044] 图4为通过操作模式而表示真空容器内压力多控制装置的多控制的图；

[0045] 图5为在主阀和从动阀上附上识别代码，可选择与操作模式相对应的识别代码的例子的图；

[0046] 图6为各控制器所具有的功能，与进行功能选择的图。

[0047] 标号的说明：

[0048] 标号1表示处理容器；

[0049] 标号2表示控制阀；

[0050] 标号3表示控制器；

[0051] 标号4表示测量仪表；

[0052] 标号31表示主控制器（APC控制器（主））；

[0053] 标号32，33，34，35，36表示从动控制器（APC控制器（从动））；

[0054] 标号40表示通信缆线；

[0055] 标号41表示主阀；

[0056] 标号42，43，44，45，46表示从动阀；

[0057] 标号50表示PLC（程序逻辑控制器）；

[0058] 标号51表示作为可与PLC50连接的入口部的I/O

[0059] 标号52表示COM1；

[0060] 标号53表示COM2；

[0061] 标号54表示作为可与控制阀2连接的连接孔的阀（VALVE）；

[0062] 标号55表示作为可与电源连接的连接孔的电源部（POWER）；

[0063] 标号61，62，63表示衬底；

[0064] 标号70表示跟踪形态；

[0065] 标号71，72，73……（M’）表示测量仪表连接孔；

[0066] 标号100表示真空容器内压力多控制装置。

具体实施方式

[0067] 图1为表示采用本发明的实施例的已知的普通的衬底处理系统的外观结构的图。

[0068] 图1表示处理已运送的衬底220，比如，半导体衬底或液晶衬底的，已知的普通的衬底处理系统200，该衬底处理系统200包括从上游侧，朝向下游侧，工艺处理之前的上游侧的
负载锁定腔201，处理腔202和工艺处理后的下游侧的负载锁定腔203。在上游侧的负载锁定
腔201的入口部，设置门阀204，在上游侧的负载锁定腔201和处理腔202之间以及处理腔202
和下游侧的负载锁定腔203之间，设置闸阀205，206。在处理腔202中，设置多个压力控制阀
201和对应于多个压力控制阀210的多个真空泵233。

[0069] 在双方的负载锁定腔201，203中，具有真空泵231，232，按照与真空泵231，232相组合的方式，设置真空阀233，234。该真空阀233，234实现仅仅开闭的操作。门阀204，207可作
为闸阀而对待。

[0070] 负载锁定腔201，203与处理腔202通过真空泵231，232，233而进行真空处理，以便进行衬底220的处理，通过各腔，进行一定的处理。控制压力控制阀210，进行腔内的压力控
制。

[0071] 在双方的负载锁定腔201，203，处理腔202中，分别附带有压力计241，242，234。

[0072] 在图1所示的衬底处理系统100中，本发明涉及设置于处理腔202中的多个压力控制阀210与对应于多个压力控制阀210而设置的多个真空泵213的多控制。

[0073] 在图2中，包括真空容器内压力多控制装置100。真空容器内压力多控制装置100多项地进行处理腔内部的压力控制。在本例子的场合，处理腔为作为真空容器的处理容器1。

[0074] 构成真空容器内压力多控制装置，该真空容器内压力多控制装置对真空处理容器1中的排气通路的传导性进行多项控制，在该真空容器内压力多控制装置中，设置n（n表示
大于等于2个的整数）个排气通路，以便对处理容器的内部进行真空排气，该排气通路的一
端连接于作为真空容器的处理容器1（与图1中的处理腔202相对应），针对每个排气通路而
各自地设置控制阀2（与图1的压力控制阀210相对应），该控制阀分别与该n个排气通路的另
一端连接，设置控制器3，该控制器控制该控制阀2，设置作为压力检测机构的测量仪表4，该
测量仪表4检测上述处理容器内的压力。在下面，在谈及针对各排气通路而设置的控制阀2
的功能时，将控制阀2内的，通过主控制器而控制的控制阀称为主阀，将通过从动控制器而
控制的控制阀称为从动阀。

[0075] 在真空容器内压力多控制装置100中，对于针对各排气通路而设置的各一个的控制器3，结构方案为相同形态，在压力控制信号传递功能（即，阀打开度信号传递功能）与控
制处理容器内的压力的控制阀2的控制功能上，具有相同形态。

[0076] 通过该形态，任意的控制器3用作主控制器31，产生压力控制信号，其它的全部控制器32，33，34，35，36，……（N）用作从动控制器，该从动控制器按照从主控制器31起依次多
个串联（Daisy chain），接收已产生的压力控制信号。

[0077] 多个串联指通过比如，通信线缆40而使控制器31，32，33，34，35，36，……（N）串联。主控制器31通过已产生的压力控制信号，控制主阀41，从动控制器32，33，34，35，36，……
（N）通过已产生的压力控制信号，分别控制从动阀42，43，44，45，46，……（N）。

[0078] 针对各排气通路而设置的各自一个的控制器在压力控制信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态。主控制器31与PLC（程序逻辑控制器）50连接，输入通过压力
检测机构而检测的压力值，构成目标的处理容器内的压力值。从主控制器，朝向末端的从动
控制器，形成通信线路。

[0079] 还具有连接有主控制器31的高级控制装置不限于PLC，而采用其它的控制器等的情况。

[0080] 于是，在本例子中，形成标号31表示的控制器用作主控制器的结构，但是，由标号32，33，34，35，36，……（N）表示的任意的控制器可为主控制器，而其它的控制器可为从动控
制器。

[0081] 图3为通过更具体的结构而表示图2所示的构思的图。

[0082] 象图3所示的那样，控制器31，32，33，34，35，36，……（N），与主阀41，从动阀42，43，44，45，46，……（N）具有相同的结构。

[0083] 全部控制器依次多个串联，并且具有各自一个的控制器的n个排气通路包括分别识别的各自识别代码与区分缆线时的缆线识别代码。

[0084] 任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的压力控制信号，其它的控制器用作传递按照从主控制器起依次多个
串联而产生的压力控制信号的从动控制器。

[0085] 从主控制器，朝向末端的从动控制器，形成通信线路。将已产生的压力控制信号传递到末端的从动控制器。

[0086] 在图3中，将主控制器31表示为APC控制器（主），将从动控制器32，33，37作为APC控制器（从动1），APC控制器（从动2）而依次表示为APC控制器（从动7），该图表示各控制器可通
过由主控制器而产生的压力控制信号，相同地控制的情况。

[0087] 在图3中，各控制器31，32，33，34，35，36，……（N）包括作为与PLC50连接的入口部的I/O（51），COM1（52），COM2（53），作为可与控制阀2连接的连接孔的阀（VALVE）54，作为可与
电源连接的连接孔的电源部（POWER）55，这些部分形成于衬底61，62，63，……（M）上。另外，
在衬底61，62，63，……（M）上形成作为可与测量仪表4连接的连接孔的测量仪表71，72，
73，……（M）。

[0088] 包括该I/O（51），COM1（52），COM2（53），作为连接孔的阀（VALVE）54，作为连接孔的电源部（POWER）55和任意的测量仪表连接孔71，72，73，……（M）的结构的衬底61，62，
63，……（M）由相同结构，形状而形成，哪个衬底为从动控制器这一点是任意的。

[0089] 在本例子中，仅仅采用设置于主控制器31的衬底61上的测量仪表71。

[0090] 在电源部（Power）55上分别连接电源59。排气通路可连接而到达最大数量15个，在各排气通路中设置控制阀2，从动控制器3并列设置而达到最大14个。如果放入主控制器，则
并列设置而多个串联达到最大数量15个。

[0091] 用作主控制器的任意的控制器从PLC，输入必要的数据，产生用于控制从动控制器的压力控制信号。由此，各控制器具有对于产生压力控制信号来说，足够的运算处理能力。
经过运算而产生的压力控制信号经由通信线路40，按照从主控制器起依次多个串联，传递
给从动控制器，设定各控制阀的打开度。通信线路40象箭头所示的那样，于双向而传递信
号。

[0092] 所产生的压力控制信号的典型的信号为阀的打开度信号。于是，主控制器计算各阀的打开度，作为产生作为经过计算的数据的阀打开度信号的压力控制信号，经由通信线
路40，传递给从动控制器。如果从从动控制器看，依次传递通过主控制器而产生的压力控制
信号。压力控制信号可置换为等效的阀打开度信号。在下面采用阀打开度信号而进行说明。
于是，如果从从动控制器看，依次传递通过主控制器而产生的阀打开度信号。

[0093] 通过测量仪表4，检测处理容器内的压力状态，检测数据输入到主控制器31中，用于处理。

[0094] 象这样，真空内压力多控制装置具有PLC50，PLC50按照已输入的指令，将与PLC50连接的任意的控制器用作主控制器，将其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器通过
从主控制器起依次多个串联，传递已产生的压力控制信号。

[0095] 如果从动作而观看，从动阀进行伴随主阀而进行动作70。

[0096] 来自PLC50的控制方法通过RS232命令，模拟DC输入输出的线性控制与Hi／Lo信号的输入输出的对应而进行。

[0097] 图4为通过操作模式而表示真空容器内压力多控制装置的多控制的图。通过设定多个操作模式，可进行各种的多控制。

[0098] 在图4中示出针对操作模式而设定e.g.－1，e.g.－2，e.g.－3，e.g.－4的场合。不限于e.g.－1，e.g.－2，e.g.－3，e.g.－4的4个操作模式。

[0099] 在操作模式e.g.－1的场合，具有主功能的主控制器31产生阀打开度信号，发出已产生的阀打开度信号的指令。该指令经由通讯线路40，依次传递给从动控制器32，33，34，
35，36，……（N）。

[0100] 接收了已产生的压力控制信号的指令的从动控制器32，33，34，35，36，……（N）可与主控制器31基本同步地接收控制信号，传递与邻接的控制器基本同步而传递的，已产生
的阀打开度信号的指令。在这里，其表现为通过主阀而同步（SMV）。主控制器31和从动控制
器32，33，34，35，36，……（N）通过来自主控制器31的已产生的压力控制信号，即，打开度指
令，将各控制阀4驱动到打开度位置点。

[0101] 主控制器31的主阀的移动和从动控制器32，33，34，35，36，……（N）的从动阀的移动之间的时间差在50ms以内，通常在20ms以内，是极小的，在这里，表现为同步控制（SMV）。
于是，在本实施例中，同步控制指在通常的极小的期间差内，进行动作控制。

[0102] 相对大容量的处理容器1，采用1个主控制器31和14个从动控制器32，33，34，35，36，……（N），进行打开度位置控制，压力控制的同步控制，该从动控制器32，33，34，35，
36，……（N）的最大数量达到15个。

[0103] 操作模式e.g.－2，e.g.－3表示通过专用保持命令，仅仅将任意的从动阀控制在任意的阀打开度位置的场合的模式。

[0104] 操作模式e.g.－2表示对从动阀42进行各自关闭控制，对从动阀43进行SMV，对从动阀44进行各自关闭控制，对从动阀45进行SMV控制的场合。

[0105] 操作模式e.g.－3表示对从动阀42各自打开度位置控制的50％打开控制，对从动阀43进行SMV控制，对从动阀44进行SMV控制，对从动阀45各自打开度位置控制的30％打开
控制的场合。

[0106] 哪个从动阀处于SMV，各自打开度位置控制的50％打开，各自打开度位置控制的30％打开这一点依赖于处理容器的个性或使用者的需求而确定。

[0107] 操作模式e.g.－4表示通过输入专用保持命令，使全部的从动阀独立，将其控制在任意的阀打开度位置的场合的模式。

[0108] 在操作模式e.g.－4中，主阀41，从动阀42，从动阀43，从动阀44，从动阀45通过各自产生的阀打开度信号而控制。

[0109] 按照本实施例，可进行从动阀的各自动作。

[0110] 处理容器在内部设备的结构，配置中，分别具有个性，在控制内部压力时，分别要求具有个性的控制。通过事前，把握各处理容器的个性，采用与个性相对应的控制方法。真
空内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法可通过下述方式构成，该方式为：包括
选择操作模式的选择机构，将控制从动控制器的阀打开度信号指定为共同的已产生的阀打
开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者。

[0111] 图4表示操作模式e.g.－1～操作模式e.g.－4，关于操作模式e.g.－2，模式e.g.－3，可适当变形。

[0112] 对于真空内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法，压力控制信号中的共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者均可从主控制器，
传递给从动控制器，主控制器通过由共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打
开度信号而形成的压力控制信号中的任意者的阀打开度信号而控制。

[0113] 图5为可使主阀和从动阀，附带识别代码，对应于操作模式，选择识别代码的例子的图。

[0114] 在PLC中存储这些操作模式，为了简化采用哪种操作模式，可对应于操作模式，在从动阀44，从动阀45中设置各自识别代码和分辨缆线时的缆线识别代码。在操作模式
e.g.－1～模式e.g.－3的场合，设置缆线识别代码，在模式e.g.－4的场合，设置各自识别
代码。可通过象这样而设定代码，可任意地选择选择方向A，选择方向B，设定操作模式。识别
代码的赋予的方式不限于上述的方式。

[0115] 图6为各控制器所具有的功能，与进行功能选择的图。

[0116] 象上述那样，针对各排气通路而设置的各自一个的控制器3在阀打开度信号传递功能和控制处理容器内的压力的控制阀2的控制功能上具有相同形态。这些功能对应于操
作模式而自动选择，进行图4所示的各种的控制。

[0117] 在操作模式e.g.－1～模式e.g.－3的场合，通过阀打开度信号传递功能，来自主控制器31的阀打开度信号通过多个串联而依次传递。

[0118] 即使在操作模式e.g.－2，模式e.g.－3的情况下，仍通过阀打开度信号传递功能，来自主控制器31的阀打开度信号通过多个串联而依次传递。在这些场合，从动阀的控制通
过已设定的操作模式而分别设定。

[0119] 即使在操作模式e.g.－4中的情况下，仍通过阀打开度传递功能，从主控制器31而产生的阀打开度信号通过多个串联而依次传递，但是，打开度信号没有获得，而通过已传递
的，已产生的各自的阀打开度信号的操作模式而进行控制。

[0120] 依次多个串联控制器，并且包括各自一个的控制器的n个排气通路包括分别识别的各自识别代码与区分缆线时的缆线识别代码。

[0121] 可在n个排气通路中设定操作模式，对应于操作模式，选择性地指定在于n个分别设定的控制器中设置的各自识别代码与缆线识别代码，可通过各控制器，控制控制阀。

[0122] 在该图中，对全部的从动阀多个串联的例子进行了说明，但是，也可针对几个从动阀，不进行多个串联，而独立地操作。在这样的场合，本实施例涉及多个控制器多个串联的
场合的控制。

[0123] 象这样，任意的控制器与高级PLC连接，该高级PLC根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的压力控制信号，该任意的控制器用作主控制器，其它的剩余
的控制器跟踪按照从主控制器起依次多个串联而传递的阀打开度信号，用作跟踪传递的从
动控制器。

[0124] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的全部缆线识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器而依次多个串联而传递的，已
产生的阀打开度信号而进行控制。

[0125] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的全部缆线识别代码的模式的场合，已选择的从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递
的，已产生的阀打开度信号而进行控制。

[0126] ·在选择于区分缆线时的各自识别代码的模式的场合，全部控制器通过各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

[0127] 另外，设置PLC，该PLC将与PLC连接的任意的控制器用作主控制器，将其它的控制器用作从动控制器。

[0128] 可设定多个操作模式，对应于已设定的操作模式，按照多个而设定主控制器与从动控制器的组合。

[0129] 形成真空容器内压力多控制方法，在该方法中，在n个排气通路中设置的控制器的组合中，根据已输入的操作信号，设定操作模式，对应于操作模式，通过各控制器而控制控
制阀。

[0130] 按照本实施例，提供下述这样的结构。

[0131] 针对各排气通路而设置的各自1个的控制器在阀打开度信号传递功能和控制阀的控制功能上，具有相同形态。

[0132] 控制器依次多个串联，并且具有各自1个的控制器的n个排气通路包括各自识别的各自识别代码和区分缆线时的缆线识别代码。

[0133] 任意的控制器用作主控制器，该主控制器根据通过上述压力检测机构而检测的压力值，产生处理容器的阀打开度信号，其它的控制器用作从动控制器，该从动控制器传递按
照从主控制器起依次多个串联而产生的阀打开度信号，从主控制器，朝向末端的从动控制
器，形成通信线路。

[0134] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的全部缆线识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，已
产生的阀打开度信号而进行控制。

[0135] ·在选择于针对具有各自1个的控制器的n个排气通路而区分缆线时的缆线识别代码的模式的场合，已选择的缆线的从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递
的，已产生的阀打开度信号而进行控制，已选择的其它的缆线的从动控制器通过以从主控
制器起依次多个串联而传递的，各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

[0136] ·在选择于区分缆线时的各自识别代码的模式的场合，全部从动控制器通过以从主控制器起依次多个串联而传递的，各自的已产生的阀打开度信号而各自地进行控制。

[0137] 另外，构成在下面给出的真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法。

[0138] 主控制器产生共同地传递给全部从动的或缆线形式的控制器的压力控制信号，以及产生分别地传递给全部从动的或缆线形式的控制器的阀打开度信号，从动控制器通过由
共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号构成的压力控制信号中的
任意的阀打开度信号而进行控制。

[0139] 对于主控制器和从动控制器，其组合可按照多个而设定。

[0140] 具有对n个控制阀的打开度进行操作的操作模式，包括选择该操作模式的选择机构，针对已选择的各操作模式，设置主控制器和从动控制器的1个组合，可根据已设定的操
作模式，将共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者的阀
打开度信号传递给从动控制器。

[0141] 按照本实施例，对于主控制器和从动控制器，其组合可按照多个而设定。

[0142] 具有对n个控制阀的打开度进行操作的操作模式，包括选择该操作模式的选择机构，针对已选择的各操作模式，设置主控制器和从动控制器的1个组合，可根据已设定的操
作模式，将共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号中的任意者的阀
打开度信号传递给从动控制器。

[0143] 由此，没有在主阀控制的控制器与从动阀控制的控制器的集合体的连接之间，介设网络或控制用的其它的装置，另外使通信线路简化，借此，灵活采用主和从动的从属关
系，在将主阀和从动阀的集合体连接时，不进行统一的控制，实现与处理装置的大小，内部
的形态或顾客的需求形态相对应的主阀与从动阀的集合体的连接，可快速地应对多样的要
求，提供适用于真空容器内压力多控制装置或真空容器内压力多控制方法的方案。