基于位移的重叠或对准

摘要

一种方法包括：获得衬底上的多个结构的图像，通过转移设计布局的对应图案而将多个结构中的每一个结构形成到所述衬底上；获得所述结构中的每一个结构相对于该结构的参照点的位移；以及基于所述位移，使用硬件计算机系统将多个结构中的每一个结构分配到多个组中的一个组中。