[0072] 步骤b):当系统的温度和压力均达到设定值后,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到10-100nm时,启动Si源的溅射,Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al1-xSIx合金层,0.01
[0073] 步骤c):当(Al/Al1-xSIx)n的厚度达到200-5000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al1-xSIx)n合金的外延片取出,在(Al/Al1-xSIx)n合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al1-xSIx)n合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al1-xSIx)n合金层剥离掉。
[0074] 实施例三
[0075] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.015的Al0.985Si0.015合金层,单层的Al层厚度为15nm,单层的Al0.985Si0.015合金层厚度为30nm,P型电极层和N型电极层的厚度为2700nm。
[0076] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0077] 步骤a1):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.2×10-8托以及控制反应炉内的温度为180℃;
[0078] 步骤b1):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到15nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.985Si0.015合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到30nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长60个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.985Si0.015)60超晶格电极层。
[0079] 步骤c1):当(Al/Al0.985Si0.015)60的厚度达到2700nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.985Si0.015)60合金的外延片取出,在(Al/Al0.985Si0.015)60合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.985Si0.015)60合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.985Si0.015)60合金层剥离掉。
[0080] 实施例四
[0081] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.02的Al0.98Si0.02合金层,单层的Al层厚度为10nm,单层的Al0.98Si0.02合金层厚度为20nm,P型电极层和N型电极层的厚度为3000nm。
[0082] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0083] 步骤a2):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.0×10-8托以及控制反应炉内的温度为190℃;
[0084] 步骤b2):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到10nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.98Si0.02合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到20nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长100个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.98Si0.02)100超晶格电极层。
[0085] 步骤c2):当(Al/Al0.98Si0.02)100的厚度达到3000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.98Si0.02)100合金的外延片取出,在(Al/Al0.98Si0.02)100合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.98Si0.02)100合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.98Si0.02)100合金层剥离掉。
[0086] 实施例五
[0087] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.03的Al0.97Si0.03合金层,单层的Al层厚度为20nm,单层的Al0.97Si0.03合金层厚度为20nm,P型电极层和N型电极层的厚度为4000nm。
[0088] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0089] 步骤a3):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.0×10-8托以及控制反应炉内的温度为180℃;
[0090] 步骤b3):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到20nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.97Si0.03合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到20nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长100个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.97Si0.03)100超晶格电极层。
[0091] 步骤c3):当(Al/Al0.97Si0.03)100的厚度达到4000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.97Si0.03)100合金的外延片取出,在(Al/Al0.97Si0.03)100合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.97Si0.03)100合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.97Si0.03)100合金层剥离掉。
[0092] 实施例六
[0093] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.04的Al0.96Si0.04合金层,单层的Al层厚度为6nm,单层的Al0.96Si0.04合金层厚度为24nm,P型电极层和N型电极层的厚度为3000nm。
[0094] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0095] 步骤a4):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.0×10-8托以及控制反应炉内的温度为170℃;
[0096] 步骤b4):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到6nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.96Si0.04合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到24nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长100个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.96Si0.04)100超晶格电极层。
[0097] 步骤c4):当(Al/Al0.96Si0.04)100的厚度达到3000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.96Si0.04)100合金的外延片取出,在(Al/Al0.96Si0.04)100合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.96Si0.04)100合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.96Si0.04)100合金层剥离掉。
[0098] 实施例七
[0099] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.05的Al0.95Si0.05合金层,单层的Al层厚度为5nm,单层的Al0.95Si0.05合金层厚度为25nm,P型电极层和N型电极层的厚度为3000nm。
[0100] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0101] 步骤a5):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.0×10-8托以及控制反应炉内的温度为150℃;
[0102] 步骤b5):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到5nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.95Si0.05合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到25nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长100个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.95Si0.05)100超晶格电极层。
[0103] 步骤c5):当(Al/Al0.95Si0.05)100的厚度达到3000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.95Si0.05)100合金的外延片取出,在(Al/Al0.95Si0.05)100合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.95Si0.05)100合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.95Si0.05)100合金层剥离掉。
[0104] 实施例八
[0105] 本实施例提供的GaN发光二级管制备时,利用电子束溅射技术,制作Si掺杂的摩尔含量为0.02的Al0.98Si0.02合金层,单层的Al层厚度为20nm,单层的Al0.98Si0.02合金层厚度为10nm,P型电极层和N型电极层的厚度为3000nm。
[0106] 具体的,步骤105包括如下步骤:
[0107] 步骤a6):对蒸镀系统进行抽真空,腔体真空在3.0×10-8托以及控制反应炉内的温度为190℃;
[0108] 步骤b6):当系统的温度和压力达到设定值时,启动Al源的溅射电极,同时控制Al源溅射的功率,形成Al层,当Al层厚度达到20nm时,启动Si源的溅射,通过Al源和Si源的溅射,在Al层上形成Al0.98Si0.02合金层,,并通过Si源电极的功率来控制Al电极层中Si的摩尔含量,当Al0.985Si0.015合金层的厚度达到10nm时,关闭Si溅射源,继续生长Al层,共生长100个循环,在透明导电层40和N型GaN层10上分别形成(Al/Al0.98Si0.02)100超晶格电极层。
[0109] 步骤c6):当(Al/Al0.98Si0.02)100的厚度达到3000nm时,关闭系统,并进行冷却,将镀好(Al/Al0.98Si0.02)100合金的外延片取出,在(Al/Al0.98Si0.02)100合金上设置光刻胶,并通过曝光、显影、刻蚀及清洗将N型GaN层10和P型GaN层30之间的(Al/Al0.98Si0.02)100合金去除,以形成相互隔开的P型电极层50和N型电极层60,其中,刻蚀时可以H2SO4对外延片进行腐蚀,将多余的(Al/Al0.98Si0.02)100合金层剥离掉。
[0110] 实施例九
[0111] 本实施例提供一种LED芯片,包括至少一个上述实施例的GaN发光二级管,其中,本实施例提供的LED芯片中,由于GaN发光二级管的述P型电极层50和N型电极层60均由多个Al层和多个Al/Si合金层依次交替层叠形成,由于Al/Si合金层中是Al金属中掺杂Si材料,与现有技术中电极层采用Al金属相比,本实施例中Al金属中掺杂Si时降低了Al金属的硬度以及提升Al金属的导电性能,且Al/Si合金延展性较好且不易被氧化,这样在封装焊线过程中能提升焊线的良率,使得电极线不易脱落,焊线连接更牢靠,而且Al/Si合金导电性的提升可以改善电流的有效扩展,因此,本实施例提供的LED芯片实现了电极线不易脱落以及焊线连接更牢靠的目的,而且改善电流的有效扩展。
[0112] 最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。