一种热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法

摘要

本发明涉及一种热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法，通过增加用于对药液进行热交换的热交换面积来提高热交换效率。热交换器包括：本体装置，连接于基板处理装置的药液排出口，具有形成热交换空间的本体外罩，该热交换空间对从液排出口排出的高温药液进行热交换；固定装置，包括设置在本体外罩内部的固定部件、密封固定部件前端的前端板和密封固定部件后端的后端板；至少一个冷却管，以线圈的形式缠绕在固定部件的外侧面，并具有沿固定部件的半径方向层叠的第一层冷却管和第二层冷却管，通过冷却流体流动与药液进行热交换；和设置在第一层和第二层冷却管之间，用于保持第一层和第二层冷却管之间间隔的间隔保持部件。

权利要求

1.一种热交换器，其特征在于，包括：

本体装置，连接于基板处理装置的药液排出口，具有本体外罩，该本体外罩形成热交换空间，用于对从所述药液排出口排出的药液进行热交换；

固定装置，包括设置于所述本体外罩内部的固定部件、密封所述固定部件前端的前端板和密封所述固定部件后端的后端板；

至少一个冷却管，以线圈的形式缠绕在所述固定部件的外侧面，具有沿所述固定部件的半径方向层叠的第一层冷却管和第二层冷却管，通过冷却液的流动使所述药液进行热交换；和间隔保持部件，设置在所述第一层冷却管和所述第二层冷却管之间，用于保持所述第一层冷却管和第二层冷却管之间的间隔，所述前端板包括：

第一外侧框体；

第一内侧板，具有比所述第一外侧框体更小的直径，设置为在所述第一外侧框体的半径方向，向内侧相隔一定距离并与所述固定部件的前端相结合；

多个第一连接框体，一端连接到第一外侧框体，另一端连接到第一内侧板，用于连接所述第一外侧框体和所述第一内侧板；和第一通孔，形成在所述多个第一连接框体中的两个相邻的第一连接框体中间，以通过所述药液。

2.根据权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述本体装置还包括第一盖体，用于密封所述本体外罩的前端，连接于所述基板处理装置的药液排出口，并设置有药液流入端口，该流入端口用于将所述药液流入到所述热交换空间。

3.根据权利要求2所述的热交换器，其特征在于，还包括第一冷却管设置口，设置在所述本体外罩的前端部，设置为与所述本体外罩的内部连通，以便所述冷却管的一端贯穿并露出到外部。

4.根据权利要求2所述的热交换器，其特征在于，还包括第一流动控制部件，设置在所述本体外罩的内部，且设置在所述第一盖体和所述前端板之间，用于将流入的药液分散到所述热交换空间。

5.根据权利要求4所述的热交换器，其特征在于，

所述第一流动控制部件形成为中空圆筒形状，

在所述第一流动控制部件的外壁形成有多个第一移动孔，用于使通过所述药液流入端口流入到内侧的药液能够移动到所述热交换空间侧。

6.根据权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述前端板还包括第一移动凹槽部，用于在所述冷却管形成所述第一层冷却管之后，移动所述冷却管以形成所述第二层冷却管。

7.根据权利要求1所述的热交换器，其特征在于所述间隔保持部件是形成为网状的网罩。

8.用于制造权利要求4所述的热交换器的制造方法，其特征在于，包括：第一结合步骤，将所述药液流入端口和所述第一流动控制部件结合到所述第一盖体；

第二结合步骤，将已结合所述药液流入端口和所述第一流动控制部件的所述第一盖体结合到所述本体外罩的前端；

冷却管设置步骤，该步骤反复下述过程：在所述前端板和所述后端板所结合的所述固定部件的周围形成所述第一层冷却管，在所述第一层冷却管的周围设置间隔保持部件后，在所述间隔保持部件的周围形成所述第二层冷却管；和固定部件设置步骤，将已设置所述冷却管的所述固定部件插入到所述本体外罩的内部进行设置。

9.一种热交换器模块，其特征在于，包括：

权利要求1所述的热交换器；

附加热交换器，设置在与所述热交换器相邻的位置；

第一法兰，与所述热交换器本体外罩的一侧相结合；和第二法兰，一侧与所述附加热交换器的第二本体外罩的一侧相结合，另一侧与所述第一法兰相结合，其中，所述热交换器的热交换空间与所述附加热交换器的第二热交换空间相互连通。

10.根据权利要求9所述的热交换器模块，其特征在于，还包括密封部件，设置在所述第一法兰和所述第二法兰相结合的部分，用于防止从所述第一法兰和所述第二法兰相结合的部分流出所述药液。

11.根据权利要求9所述的热交换器模块，其特征在于，还包括；

第一冷却管设置口，设置为贯穿所述热交换器的本体外罩的前端部，用于由所述冷却管的一端贯穿并露出到外部；

第二冷却管设置口，设置为贯穿所述热交换器的本体外罩的后端部，用于由所述冷却管的另一端贯穿并露出到外部；

第三冷却管设置口，设置为贯穿所述附加热交换器的本体外罩的前端部，用于由与所述冷却管并列布置的第二冷却管的一端贯穿并露出到外部；和第四冷却管设置口，设置为贯穿所述附加热交换器的本体外罩的后端部，用于由所述第二冷却管的另一端贯穿并露出到外部，其中，所述热交换器的本体外罩和所述附加热交换器的本体外罩以直列布置。

12.用于制造权利要求9所述的热交换器模块的制造方法，其特征在于，包括：第一模块结合步骤，将所述第一法兰结合到所述热交换器的本体外罩的后端；

第二模块结合步骤，将所述第二法兰结合到所述附加热交换器的第二本体外罩的前端；和第三模块结合步骤，将所述第二法兰结合到所述第一法兰，连接所述热交换器和所述附加热交换器。

说明书

一种热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法，具体涉及一种用于对药液进行热交换且通过增加热交换面积来提高热交换效率的热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法。

背景技术

[0002] 通常，在半导体设备或平板显示器(FPD；flat panel display)的制造工艺中，为了在待处理基板(硅片或玻璃基板)上将执行特定功能的薄膜，例如氧化薄膜，金属薄膜，半导体薄膜等构图成(patterning)所需的形状，要执行对所述薄膜涂覆与光源反应的感光液的工序。

[0003] 像这样，为实现所定的电路图案，对待处理基板的薄膜涂覆感光液，对应于电路图案对所述感光膜进行曝光，对曝光的部位或没曝光的部位进行显影处理来去除的一系列的过程被定义为显影工序或光刻(Photolithography)工序。

[0004] 例如，在光刻工序中，执行对通过感光膜完成曝光的基板，用传送带等装置向一个方向水平传送并显像的过程。

[0005] 具体地，在基板显像处理时，进行对一个方向水平传送的基板表面，喷射用于显像的药液来去除基板的已曝光部位或未曝光部位后，回收处理使用在基板显像的药液的过程。

[0006] 另一方面，在回收药液的过程中进行热交换过程，该过程利用热交换器控制药液温度。

[0007] 传统的热交换器具有将多束冷却管的两端分别用一个固定部件捆绑后，设置在填满药液的热交换腔室内部的构造。即，冷却管散放在填满药液的热交换腔室内部，且冷却管的两端以在凝聚的状态下，以分别捆绑在一个固定部件的状态设置在所述热交换腔室。

[0008] 但是，根据传统的热交换器，捆绑在固定部件上的冷却管在两端相互接触的情况下，团成相互之间没有间隔的状态，不仅外观上不整洁，而且会存在不发生热交换的区域，产生热交换效率降低的问题。

[0009] 而且，由于设置在热交换腔室内部的冷却管以随意散开的状态分布，使冷却管与药液相互之间的热交换变得不均匀，产生热交换效率不均匀的问题。

发明内容

[0010] 要解决的课题

[0011] 本发明所要解决的课题是通过设置间隔保持部件和附加热交换器，增加用于对药液进行热交换的热交换面积来提高热交换效率的热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法。

[0012] 课题解决方法

[0013] 为解决上述课题，本发明提供一种热交换器，其特征为，包括本体装置，连接于基板处理装置的药液排出口并具有本体外罩，该本体外罩形成热交换空间，用于对所述药液排出口排出的高温药液进行热交换；固定装置，包括设置在所述本体外罩内部的固定部件、密封所述固定部件前端的前端板和密封所述固定部件后端的后端板；至少一个冷却管，以线圈的形式缠绕在所述固定部件的外侧面，并具有沿所述固定部件的半径方向层叠的第一层冷却管和第二层冷却管，流动着冷却液，使所述药液进行热交换；和间隔保持部件，设置在所述第一层冷却管和所述第二层冷却管之间，用于保持所述第一层冷却管和第二层冷却管之间的间隔。

[0014] 所述本体装置还可以包括第一盖体，用于密封所述本体外罩的前端，与所述基板处理装置的药液排出口相连，设置有药液流入端口，用于将所述药液流入到所述热交换空间。

[0015] 所述热交换器还可以包括第一冷却管设置口，设置在所述本体外罩的前端部，且设置为与所述本体外罩的内部连通，以便所述冷却管的一端贯穿并露出到外部。

[0016] 而且，所述热交换器还可以包括第一流动控制部件，设置在所述本体外罩的内部，并设置在所述第一盖体和所述前端板之间，用于将流入的药液分散到所述热交换空间。

[0017] 所述第一流动控制部件形成为中空圆筒形，且所述第一流动控制部件的外壁可以形成多个第一移动孔，使通过所述药液流入端口流入到内侧的药液，移动到所述热交换空间侧。

[0018] 所述前端板可以包括：第一外侧框体；第一内侧板，形成为具有比所述第一外侧框体更小的直径，设置为向所述第一外侧框体的半径方向，向内侧相隔一定距离并与所述固定部件的前端相结合；多个第一连接框体，一端连接到第一外侧框体，另一端连接到第一内侧板，用于连接所述第一外侧框体和所述第一内侧板；和第一通孔，形成在所述多个第一连接框体中的两个相邻的第一连接框体中间，以由所述药液通过。

[0019] 所述前端板还可有包括第一移动凹槽部，所述冷却管形成所述第一层冷却管之后，移动所述冷却管以形成所述第二层冷却管，。

[0020] 所述间隔保持部件可以是形成为网状的网罩。

[0021] 根据本发明的其他实施形态，本发明提供一种用于制造所述热交换器的制造方法，包括第一结合步骤，将药液流入端口和第一流动控制部件结合到第一盖体；第二结合步骤，将已结合所述药液流入端口和所述第一流动控制部件的所述第一盖体结合到所述本体外罩的前端；冷却管设置步骤，该步骤反复下述过程，在所述前端板和所述后端板所结合的所述固定部件的周围形成所述第一层冷却管，在所述第一层冷却管的周围设置间隔保持部件后，在所述间隔保持部件的周围形成所述第二层冷却管；和固定部件设置步骤，将已设置所述冷却管的所述固定部件插入到所述本体外罩的内部进行设置。

[0022] 而且，根据本发明的另一个实施形态，本发明提供一种热交换器模块，其特征为，包含上述的热交换器；第一法兰，与所述热交换器本体外罩的一侧相结合；第二法兰，一侧与所述附加热交换器的第二本体外罩的一侧相结合，另一侧与所述第一法兰相结合，并提供所述热交换器的热交换空间和所述附加热交换器的热交换空间相互连通的结构。

[0023] 所述热交换器模块还可以包括密封部件，设置在所述第一法兰和所述第二法兰结合的部位，用于防止从所述第一法兰和所述第二法兰相结合的部分流出所述药液。

[0024] 而且，所述热交换器模块还可以包括，第一冷却管设置口，设置为贯穿所述热交换器的本体外罩的前端部，用于由所述冷却管的一端贯穿并露出到外部；第二冷却管设置口，设置为贯穿所述热交换器的本体外罩的后端部，用于由所述冷却管的另一端贯穿并露出到外部；第三冷却管设置口，设置为贯穿所述附加热交换器的本体外罩的前端部，用于由所述第二冷却管的一端贯穿并露出到外部；和第四冷却管设置口，设置为贯穿所述附加热交换器的本体外罩的后端部，用于由所述第二冷却管的另一端贯穿并露出到外部。

[0025] 这里，所述热交换器的本体外罩和所述附加热交换器的本体外罩以直列布置，所述冷却管和所述第二冷却管以并列布置。

[0026] 根据本发明另一个实施形态，本发明对于制造所述热交换器模块的热交换器制造方法，提供一种热交换器模块的制造方法，包括，第一模块结合步骤，将所述第一法兰结合到所述热交换器的本体外罩的后端；第二模块结合步骤，将所述第二法兰结合到所述附加热交换器的第二本体外罩的前端；第三模块结合步骤，将所述第二法兰结合到所述第一法兰以连接所述热交换器和所述附加热交换器。

附图说明

[0027] 图1示出了本发明实施例提供的热交换器中可以看到内部结构的示意图。

[0028] 图2示出了对本发明实施例提供的本体外罩结合第一盖体和第二盖体的状态的示意图。

[0029] 图3示出了本发明实施例提供的固定装置的结构的示意图。

[0030] 图4示出了本发明实施例提供的前端板中，冷却管进行移动以形成第一层冷却管和第二层冷却管的结构的示意图。

[0031] 图5示出了本发明实施例提供的冷却管中在第一层冷却管和第二层冷却管之间设置间隔保持部件的过程的示意图。

[0032] 图6示出了本发明实施例提供的热交换器模块中可以看到内部结构的示意图。

[0033] 图7示出了本发明实施例提供的热交换器模块中热交换器和附加热交换器结合前状态的示意图。

具体实施方式

[0034] 在下文中，将参考本发明的优选实施例的附图进行说明，该附图可以具体实现上述待解决的课题。在说明实施例时，对相同构成使用相同名称和相同符号，下文中省略据此的重复的说明。

[0035] 图1示出了本发明实施例提供的热交换器100中可以看到内部结构的示意图。图2示出了对本发明实施例提供的本体外罩111结合第一盖体112和第二盖体113的状态的示意图。图3示出了本发明实施例提供的固定装置120的结构的示意图。图4示出了本发明实施例提供的前端板中冷却管进行移动以形成第一层冷却管和第二层冷却管的结构的示意图。

[0036] 参照图1至图4，本发明实施例提供的热交换器100包括，本体装置110，固定装置120，冷却管140及间隔保持部件150。

[0037] 本体装置110为圆筒形状，且与基板处理装置(未图示)的药液排出口(未图示)相连，包括本体外罩111，其形成有热交换空间111a，用于将从药液排出口排出的高温药液进行热交换。

[0038] 本体装置110还可以包括第一盖体112和第二盖体113。

[0039] 第一盖体112为圆盘形状，用于密封本体外罩111的前端。

[0040] 此时，第一盖体112的后部为了与本体外罩111结合，可以设置有从第一盖体112的后部突出形成的第一结合端112a。

[0041] 即，操作者将第一盖体112的第一结合端112a插入到本体外罩111a的前端侧的内部后，用焊接的方法将第一盖体112固定到本体外罩111的前端。

[0042] 在第一盖体112上可以设置有药液流入端口114，连接于基板处理装置的药液排出口，用于将药液流入到所述热交换空间111a。

[0043] 第二盖体113与第一盖体112是以相同的形状形成，密封本体外罩111的后端。此时，第二盖体113的后面、即对着本体外罩111的面，可以设置有第二结合端113a。同样地，第二盖体113可以通过第二结合端113a固定到本体外罩111。

[0044] 第二盖体113可以设置药液排出端口115，用于将在热交换空间111a中已完成热交换的药液排出到外部。

[0045] 根据本发明实施例提供的热交换器还可以包括第一冷却管设置口161和第二冷却管设置口162。

[0046] 所述第一冷却管设置口161可以形成为圆筒形状并设置在所述本体外罩111的前端部。

[0047] 这里，设置在所述本体外罩111内部的冷却管140的一端，穿过所述第一冷却管设置口161并露出到本体外罩111的外部。因此，冷却管140从外部冷却流体供给装置(未图示)得到冷却流体的供应。

[0048] 第二冷却管设置口162以与第一冷却管设置口161相同的形状形成并设置在本体外罩111的后端部。

[0049] 同样的，设置在本体外罩111内部的冷却管140的另一端穿过第二冷却管设置口162并露出到本体外罩111的外部。

[0050] 结果，冷却管140的另一端在穿过第二冷却管162后露出到本体外罩111的外部，且将在热交换空间111a中已完成热交换的冷却流体排出到外部。

[0051] 本发明实施例提供的热交换器还可以包括第一流动控制部件170。其部件设置在本体外罩111的内部，且设置在第一盖体112和前端板122之间，用于将流入的药液分散到热交换空间111a。

[0052] 此时，第一流动控制部件170形成为中空的圆筒形状。第一流动控制部件170的外壁可以形成多个第一移动孔171，可以将通过药液流入端口114流入到内侧的药液移动到热交换空间111a侧。

[0053] 更具体地，当在第一盖体112的后面和前端板122前面之间设置有第一流动控制部件170时，药液流入端口114和第一流动控制部件170的内部空间处于连通状态。

[0054] 此时，药液通过药液流入端口114流入到第一流动控制部件170的内部，流入到第一流动控制部件170内部的药液通过第一移动孔171时被分散并移动到所述热交换空间111a。

[0055] 根据本发明实施例提供的热交换器还可以包括第二流动控制部件180，其部件设置在所述本体外罩111的内部并配置在所述第二盖体113和所述后端板128之间，可以使经由热交换空间111a的药液移动到药液排出端口115侧。

[0056] 同样地，第二流动控制部件180形成为中空的圆筒形状。第二流动控制部件180的外壁可以形成多个第二移动孔181，可以将经由热交换空间111a的药液流入到第二流动控制部件180的内部。

[0057] 当第二移动控制部件180设置在第二盖体113的后面和后端板128的前面之间，药液排出端口115和第二流动控制部件180的内部空间成连通状态。

[0058] 此时，经由热交换空间111a的药液通过第二移动孔181流入到第二流动控制部件180的内部空间，流入到第二流动控制部件180内部空间的药液通过药液排出端口115排出到外部。

[0059] 如图3所示，固定装置120为用于设置后述冷却管140的构成，且这种固定装置120可以包括固定部件121、前端板122和后端板128。

[0060] 固定部件121可以形成为圆筒形状，并通过前端板122和后端板128具有封闭结构。此时，冷却管140缠绕并设置在固定部件121的周围。

[0061] 前端板122可以包括第一外侧框体123、第一内侧板124、多个第一连接框体125和第一通孔126。

[0062] 第一外侧框体123可以形成为一部分被切断的切断环形状，第一内侧板124可以形成为圆盘形状。

[0063] 此时，第一内侧板124可以形成为具有比第一外侧框体123小的直径。

[0064] 并且，第一内侧板124设置为向第一外侧框123的半径方向，向内侧相隔一定距离的状态并可以与固定部件121的前端相结合。结果，固定部件121的前端由第一内侧板124所封闭。

[0065] 第一连接框体125的一端与外侧框体123相连，另一端与第一内侧板124相连，从而连接第一外侧框123和第一内侧板124。

[0066] 第一通孔126形成在多个第一连接框体125中两个相邻的第一连接框体之间。这里，通过第一移动孔171的药液经由第一通过孔126移动到热交换空间111a。

[0067] 后端板128可以包括第二外侧框体129、第二内侧板130、多个第二连接框体131和第二通孔132。

[0068] 因后端板128的结构和功能与上述前端板122相同，故省略其详细说明。

[0069] 此时，第二内侧板130与固定部件121的后端相结合，封闭固定部件121的后端。

[0070] 图4示出了本发明实施例提供的前端板122中冷却管140进行移动以形成第一层冷却管141(图5)和第二层冷却管142(图5)的结构的示意图。

[0071] 如图4所示，前端板122还可以包括第一移动凹槽部127，用于在冷却管140形成第一冷却管141之后，冷却管140移动以形成第二层冷却管142。

[0072] 移动凹槽部127在第一外侧框123中被切断的切断区域、对应于切断区域的第一内侧板124外侧的一部分区域和设置在切断区域两侧的两个第一连接框体之间形成。

[0073] 当冷却管140缠绕在固定部件121的周围形成第一层冷却管141时，为形成第二层冷却管142，冷却管140经过第一移动凹槽部127，挂在形成于第一移动凹槽部127的一侧的第一连接框125之后，通过第一通孔126。

[0074] 在形成第一层冷却管141之后，将间隔保持部件150设置在第一层冷却管141的外侧。之后，通过第一通孔126的冷却管140进一步缠绕在间隔保持部件150的外侧面，形成第二冷却管142。

[0075] 同样的，后端板128还可以包括第二移动凹槽部133，用于在冷却管140形成第二层冷却管142之后移动冷却管140，形成第三层冷却管(未图示)。

[0076] 因第二移动凹槽部133的结构和功能与第一移动凹槽部127相同，省略其详细说明。

[0077] 另一方面，相对于第一移动凹槽部127，第二移动凹槽部133的角度设置为大约倾斜120度左右为宜。这是为了在冷却管140缠绕固定部件121并完成设置的状态下，将冷却管140的一端通过第一冷却管设置口161露出到外部，另一端通过第二冷却管露出到外部的时候，使冷却管140不被弯曲。

[0078] 图5示出了本发明实施例提供的冷却管140的第一层冷却管141和第二层冷却管142之间设置间隔保持部件150的过程的示意图。

[0079] 此时，图5a是表示冷却管140缠绕在固定部件121的周围，形成第一层冷却管141的状态的示意图。图5b是表示在第一层冷却管141的外侧，设置了间隔保持部件150的状态的示意图，图5c是表示冷却管140缠绕在间隔保持部件150的外侧，形成第二层冷却管142的状态的示意图。

[0080] 参照图5，冷却管140可以设置为以线圈的形式缠绕在固定部件121的外侧面上。

[0081] 冷却管140具有沿固定部件121的半径方向层叠的第一层冷却管141和第二层冷却管142，内部流动着用于对药液进行热交换的冷却流体。此时，冷却流体可以使用工艺冷却水(Process cooling water:PCW)和冷媒等物质。

[0082] 即，冷却管沿固定部件121的半径方向以层叠的形式缠绕，形成第一层冷却管141和第二层冷却管142。

[0083] 间隔保持部件150设置在第一层冷却管141和第二层冷却管142之间，保持第一层冷却管141和第二层冷却管142之间的间隔。此时，第一层冷却管141和第二层冷却管142之间的间隔形成在1mmˉ5mm范围内为宜。

[0084] 即，由于第一层冷却管141和第二层冷却管142之间设置了间隔保持部件150，第一层冷却管141和第二层冷却管142之间形成空隙。

[0085] 此时，随着药液流动在第一层冷却管141和第二层冷却管142之间所形成的空隙中，增加了药液和冷却管140之间的热交换面积，可以提高热交换效率。

[0086] 另一方面，间隔保持部件150可以使用网状的网罩。

[0087] 即，间隔保持部件150使用网罩，通过第一层冷却管141和第二层冷却管142之间的药液同时通过网罩的细密的孔之间，可以进一步增加药液和冷却管140之间的热交换面积。

[0088] 另一方面，虽然本发明的一个实施例中提示了间隔保持部件150使用了网罩，但是只要是可以保持第一层冷却管141和第二层冷却管142之间的间隔的构造物的话，就能使用任何构造物，不限制间隔保持部件150的材料和结构。

[0089] 参照图1至图5，对根据本发明提供的实施例的热交换器的制造方法进行如下说明。

[0090] 本发明的一个实施例提供的热交换器的制造方法包括第一结合步骤、第二结合步骤、冷却管设置步骤、固定部件设置步骤、设置口结合步骤和第四结合步骤。

[0091] 首先，执行将第一盖体112与药液流入端口114和第一流动控制部件170相结合的第一结合步骤。此时，药液流入端口114设置在第一盖体112的前面，第一流动控制部件170设置在第一盖体112的后面。

[0092] 此时，通过粘合将药液流入端口114粘贴到第一盖体112的前面，用于粘合的粘合剂干燥后，可以通过焊接固定粘合部位。第一流动控制部件170可以通过粘合固定到第一盖体112的后面。

[0093] 与此同时，药液排出端口115和第二流动控制部件180可以固定到第二盖体113。

[0094] 然后，执行第二结合步骤，将结合了药液流入端口114和第一流动控制部件170的第一盖112与本体外罩111的前端进行结合。

[0095] 此时，操作者将形成在第一盖体112的第一结合端112a插入到本体外罩111的前端内部之后，通过粘合进行粘贴，当粘合中使用的粘合剂干燥后，可以通过焊接固定粘合部位。

[0096] 然后，反复执行冷却管140的设置步骤，在前端板122和后端板128所结合的固定部件121的周围缠绕冷却管140，形成第一层冷却管141，在第一层冷却管141的周围设置间隔保持部件150之后，在间隔保持部件150的周围缠绕冷却管，形成第二层冷却管142。

[0097] 另一方面，在第一结合步骤之前执行冷却管140设置步骤也可以。

[0098] 然后，执行固定部件121设置步骤，将设置有冷却管140的固定部件121插入到本体外罩111的内部。

[0099] 此时，冷却管140的一端和另一端是通过各结合孔(未图示)露出到外部，该结合孔是为了将第一冷却管设置口161和第二冷却管设置口162结合到本体外罩111而形成的。

[0100] 然后，执行设置口结合步骤，将第一冷却管设置口161和第二冷却管设置口162结合到本体外罩111的前部和后部。

[0101] 此时，冷却管140的一端穿过第一冷却管设置口161露出到外部。同样地，冷却管140的另一端穿过第二冷却管设置口162露出到外部。

[0102] 然后，执行将第二盖体113通过与第一盖体112相同的过程结合到本体外罩111后端的过程。

[0103] 通过上述过程可以制造本发明实施例提供的热交换器。

[0104] 如上的本发明实施例提供的热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法，通过在冷却管的第一层冷却管和第二层冷却管之间所设置的间隔保持部件，使药液可以在第一层冷却管和第二层冷却管之间进行流动，具有提高热交换效率的效果。

[0105] 现在开始对本发明实施例提供的热交换模块进行说明。

[0106] 图6示出了本发明实施例提供的热交换器模块中可以看到内部结构的示意图，图7示出了本发明实施例提供的热交换器模块的热交换器和附加热交换器的结合前状态的示意图。

[0107] 参照图6和图7，本发明实施例提供的热交换模块包括，热交换器1000，设置在相邻于热交换器1000的附加热交换器200，与热交换器1000的一侧相结合的第一法兰300，和一侧与热交换器的一侧相结合，另一侧与第一法兰300相结合的第二法兰400。

[0108] 此时，热交换器的热交换空间111a和附加热交换器的第二热交换空间211a设置为相互连通为宜。

[0109] 同时，本实施例提供的热交换器模块中具备的热交换器1000与前述的热交换器100具有类似的结构。但是，本实施例提供的热交换器1000不具备所述热交换器100的第二盖体113(图1)。

[0110] 此外，附加热交换器200与前述热交换器100具有类似的结构。只是本实施例提供的附加热交换器200不具备热交换器100的第一盖体112(图1)。

[0111] 即，因本实施例提供的热交换器1000和附加热交换器200需要相互连通，所以设置第一法兰300和第二法兰400，用于结合热交换器1000和附加热交换器200。

[0112] 通过连通热交换器的热交换空间111a和附加热交换器的热交换空间211a，使热交换器的通过热交换空间111a的药液移动到附加热交换器200的第二热交换空间211a。

[0113] 附加热交换器200包括第二本体装置210，第二固定装置，第二冷却管(未图示)和第二间隔保持部件(未图示)。

[0114] 第二本体装置210包括第二本体外罩211和第二盖体213。

[0115] 第二本体外罩211形成第二热交换空间211a。此时，第二热交换空间211a与热交换器1000的热交换空间111a形成连通的状态。

[0116] 热交换模块中，第二盖213起封闭第二本体外罩211后端的作用。此时，所述第二盖213上设置药液排出端口215，用于将在热交换空间111a和第二热交换空间211a中已进行热交换的药液排出到外部。

[0117] 第二固定装置可以包括第二固定部件221、第二前端板222和第二后端板228。

[0118] 此时，第二前端板222可以包括第三外侧框223、第三内侧板224、多个第三连接框225、第三通孔226和第三移动凹槽部227。

[0119] 第二后端板228可以包括第四外侧框229、第四内侧板230、多个第四连接框231和第四通孔232和第四移动凹槽部233。

[0120] 上述的附加热交换器200的第二固定部件的结构与前述的热交换器的固定装置120(图3)的结构和作用相同，因此省略对第二固定装置的详细说明。

[0121] 虽未图示，第二冷却管可以包括第三层冷却管和第四层冷却管，第二冷却管与热交换器100的冷却管140(图5)的结构和作用相同，因此省略详细的说明。

[0122] 第二间隔保持部件(未图示)设置在第三层冷却管和第四层冷却管之间，第二间隔保持部件与所述的间隔保持部件150(图5)的结构和作用相同，因此省略详细的说明。

[0123] 附加热交换器200还可以包括第三冷却管设置口261和第四冷却管设置口262，第三冷却管设置口261和第四冷却管设置口262与热交换器的第一冷却管设置口161(图2)和第二冷却管设置口162(图2)的结构和作用相同，因此省略详细的说明。

[0124] 附加热交换器200还可以包括形成有第三移动孔271的第三流动控制部件270和形成有第四移动孔(未图示)的第四流动控制部件(未图示)，第三流动控制部件270和第四流动控制部件与热交换器的第一流动控制部件170(图2)和第二流动控制部件180(图2)的结构和作用相同，因此省略详细的说明。

[0125] 另一方面，本发明实施例提供的热交换器模块中，热交换器1000的本体外罩111和附加热交换器200的本体外罩211以直列方式布置，冷却管140和第二冷却管以并列方式布置。

[0126] 即，通过将冷却管140和第二冷却管并列设置于各个本体外罩(111，211)，可以提高流动到各个本体外罩(111，211)内部的药液和冷却流体之间的热交换效率。

[0127] 第一法兰300可以结合到热交换器本体外罩111的后端。

[0128] 第二法兰400的一侧可以结合到附加热交换器200中第二本体外罩211的前端，另一侧可以结合到第一法兰300。

[0129] 此时，第一法兰300和第二法兰400可以通过螺栓进行连接。

[0130] 即，通过与热交换器的本体外罩111的后端所结合的第一法兰300和与附加热交换器的第二本体外罩211的前端所结合的第二法兰400相互结合，从而使热交换器1000和附加热交换器200相连。

[0131] 另一方面，本发明实施例提供的热交换模块还可以包括密封部件500。

[0132] 密封部件500设置在第一法兰300和第二法兰400相结合的部分，防止从第一法兰300和第二法兰400相结合的部分流出药液。

[0133] 现在开始对本发明实施例提供的热交换器模块的制造方法进行说明。

[0134] 本发明实施例提供的热交换器模块的制造方法可以包括第一模块结合步骤、第二模块结合步骤和第三模块结合步骤。

[0135] 首先，执行第一模块结合步骤，将热交换器1000的本体外罩111的后端与第一法兰300结合。此时，操作者将第一法兰300通过粘合的方式粘贴到本体外罩111的后端，粘合中使用的粘合剂干燥后，可以通过焊接固定粘合部位。

[0136] 然后，执行第二模块结合步骤，将第二法兰400结合到附加热交换器200中第二本体外罩221的前端。此时，操作者将第二法兰400通过粘合的方式粘贴到本体外罩211的前端，粘合中使用的粘合剂干燥后，可以通过焊接固定粘合部位。

[0137] 然后，执行第三模块结合步骤，为结合热交换器1000和附加热交换器200，将第二法兰400结合到第一法兰300。此时，第一法兰300和第二法兰400可以通过螺栓进行连接。

[0138] 通过上述过程，热交换器的热交换空间111a和附加热交换器200的第二热交换空间211a处于连通状态。

[0139] 通过上述过程可以制造本发明实施例提供的热交换模块。

[0140] 而且，本发明的热交换模块通过热交换器对药液和第一冷却管的冷却流体进行一次热交换，通过附加热交换器对药液和第二冷却管的冷却流体进行二次热交换，从而具有提高热交换效率的效果。

[0141] 如上所述，本发明不限定于上述特定的优选的实施例，在不脱离本发明的权利要求要旨的前提下，本领域的普通技术人员来可以进行多样的改变，这样的改变属于本发明的范围。