平面波导型激光装置转让专利
申请号 : CN201680087881.2
文献号 : CN109565141B
文献日 : 2021-03-05
发明人 : 正田史生 , 渡边洋次郎 , 柳泽隆行
申请人 : 三菱电机株式会社
摘要 :
在平面波导型激光装置(1)中，在波导(2)的上表面接合有基板(6)。在基板(6)的与激光的振荡方向垂直的端面的靠波导(2)侧的角部形成有倒角而成的形状的凹部(6a)。波导(2)的与激光的振荡方向垂直的端面被涂层(7)包覆。与该涂层(7)连续的绕入部(7a)包覆波导(2)的朝向基板(6)的凹部(6a)的上表面。