一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭。本发明通过提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，节约了更换量测灯丝的时间，减少了空气中的水汽和微粒进入到腔室当中，保证了产品的质量，也更加的便捷、实用。
1.一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；
当需要对所述量测指示装置进行维修时，通过控制所述手阀关闭所述量测通道，随后再对所述量测指示装置进行维修；
所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统用于控制所述量测指示装置切换至其他的所述量测指示灯并进行工作；
当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再对所述量测指示装置进行维修。
2.根据权利要求1所述一种高电流离子注入机，其特征在于，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
3.根据权利要求1所述一种高电流离子注入机，其特征在于，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
4.一种量测指示装置的维修方法，适用于高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；
步骤S1，当需要对所述量测指示装置进行维修时，关闭所述高电流离子注入机的涡轮泵，以使所述高电流离子注入机停止工作；
步骤S3，对所述量测指示装置进行维修，并在维修完毕后转向步骤S4；
步骤S5，打开所述涡轮泵，以使所述高电流离子注入机重新开始工作；
所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统控制所述量测指示装置切换至其他的所述量测指示灯并进行工作；
当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再开始执行所述步骤S1。
5.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
所述步骤S3中，通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
6.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法
技术领域
[0001] 本发明涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法。
背景技术
[0002] 现有的高电流离子注入机在运行货物时，量测指示装置可能会发生灯丝断裂等情况，设备工程师会先进行量测灯丝切换，显示正常后继续运行货物，如切换NG，设备工程师
将会停止设备，开腔进行更换量测灯丝。这样不仅会浪费很多的时间，也会增加水汽，使得
空气中的杂质进入到腔室中。
发明内容
[0003] 本发明的目的在于，提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，用于解决以上技术问题。本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
[0004] 一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超
过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有
一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭；
[0005] 当需要对所述量测指示装置进行维修时，通过控制所述手阀关闭所述量测通道，随后再对所述量测指示装置进行维修。
[0006] 优选地，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
[0007] 通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
[0008] 优选地，所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；
[0009] 所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统用于控制所述量测指示装置切换至其他的
所述量测指示灯并进行工作；
[0010] 当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再对所述量测指示装置进行维修。
[0011] 优选地，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
[0012] 优选地，一种量测指示装置的维修方法，适用于高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室
内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装
置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手
阀控制所述量测通道的开闭；
[0013] 所述维修方法包括：
[0014] 步骤S1，当需要对所述量测指示装置进行维修时，关闭所述高电流离子注入机的涡轮泵，以使所述高电流离子注入机停止工作；
[0015] 步骤S2，通过所述手阀关闭所述量测通道；
[0016] 步骤S3，对所述量测指示装置进行维修，并在维修完毕后转向步骤S4；
[0017] 步骤S4，通过所述手阀打开所述量测通道；
[0018] 步骤S5，打开所述涡轮泵，以使所述高电流离子注入机重新开始工作。
[0019] 优选地，所述量测指示装置中设置有量测指示灯；
[0020] 所述步骤S3中，通过更换所述量测指示灯内的量测灯丝对所述量测指示装置进行维修。
[0021] 优选地，所述量测指示装置中设置有多个量测指示灯；
[0022] 所述量测指示装置还连接一外部的控制系统，当所述量测指示装置中当前正在工作的所述量测指示灯发生故障时，所述控制系统控制所述量测指示装置切换至其他的所述
量测指示灯并进行工作；
[0023] 当所述量测指示装置中的所有所述量测指示灯均发生故障时，再开始执行所述步骤S1。
[0024] 优选地，所述手阀通过密封圈和卡箍与所述量测指示装置和所述量测接口相接。
[0025] 本发明的有益效果在于：
[0026] 通过一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，节约了更换量测灯丝的时间，减少了空气中的水汽和微粒进入到腔室当中，保证了产品的质量，也更加的便捷、实用。
附图说明
[0027] 图1为本发明的结构示意图；
[0028] 图2为本发明的维修方法步骤流程图。
[0029] 上述说明书中附图标记表示说明：
[0030] 1、反应腔室；2、手阀；3、量测指示装置。
具体实施方式
[0031] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其
他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0032] 需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033] 下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
[0034] 如图1所示，一种量测指示装置的维修方法，适用于高电流离子注入机，匹配于高电流离子注入机的反应腔室(process chamber)1设置一量测指示装置(IG3)3，量测指示装
置3用于对反应腔室1内的真空值进行量测，并在真空值超过预设阈值时告警；量测指示装
置3与反应腔室1的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于量测通道上的手阀2控
制量测通道的开闭；
[0035] 当需要对量测指示装置3进行维修时，通过控制手阀2关闭量测通道，随后再对量测指示装置3进行维修。
[0036] 本发明较佳的实施例中，量测指示装置3中设置有多个量测指示灯；量测指示装置3还连接一外部的控制系统，当量测指示装置3中当前正在工作的量测指示灯发生故障时，
控制系统控制量测指示装置3切换至其他的量测指示灯并进行工作；当量测指示装置3中的
所有量测指示灯均发生故障时，再对量测指示装置3进行维修。
[0037] 如图2所示，维修方法包括：当需要对量测指示装置3进行维修时，关闭高电流离子注入机的涡轮泵(turbo pump)，以使高电流离子注入机停止工作；再通过手阀2关闭量测通
道；对量测指示装置3进行维修，具体地，通过更换量测指示灯内的量测灯丝(gauge
filament)对量测指示装置3进行维修，然后通过手阀2打开所述量测通道；打开涡轮泵，以
使高电流离子注入机重新开始工作。
[0038] 本发明较佳的实施例中，手阀2通过密封圈和卡箍与量测指示装置3和量测接口相接。
[0039] 以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的
等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
