一种显示面板制造方法

摘要

本发明公开了一种显示面板制造方法，包括：对玻璃基板进行清洗；在玻璃基板上溅射电极材料形成电极层；采用图形化制备工艺在电极层上制成传感器电极；将弹性体溶液均匀涂布在传感器电极上，并进行烘烤固化形成弹性体层；在弹性体层上溅射金属材料，对弹性体层进行拉伸，弹性体层在金属材料的应力作用下，形成均匀分布的裂缝，将裂缝定义为传感保持区；将传感压阻溶液均匀涂布到弹性体层上，传感压阻溶液渗入传感保持区，经过烘烤固化形成压阻传感区；在弹性体层上设置封装层。本发明中弹性体层形成裂缝结构，压阻传感区在裂缝中生成，使压阻传感材料不易在外力下脱落移位，从而增强了显示面板的稳定性及使用寿命。

权利要求

1.一种显示面板制造方法，其特征在于，所述方法包括：对玻璃基板进行清洗；在所述玻璃基板上溅射电极材料形成电极层；采用图形化制备工艺在所述电极层上制成传感器电极；将弹性体溶液均匀涂布在所述传感器电极上，并进行烘烤固化形成弹性体层；在所述弹性体层上溅射金属材料，对所述弹性体层进行拉伸，所述弹性体层在所述金属材料的应力作用下，形成均匀分布的裂缝，将所述裂缝定义为传感保持区；将传感压阻溶液均匀涂布到所述弹性体层上，所述传感压阻溶液渗入所述传感保持区，经过烘烤固化形成压阻传感区；

在所述弹性体层上设置封装层。

2.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述压阻传感区为层状结构。

3.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述将弹性体溶液均匀涂布在所述传感器电极上之前，所述弹性体溶液经过搅拌和真空除气泡处理。

4.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述弹性体层通过所述金属材料的应力拉伸形成均匀分布的裂缝之后，采用刻蚀法去除所述弹性体层上的所述金属材料。

5.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述电极材料由钼、铝、银和氧化铟锡中的至少一种组成。

6.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述弹性体溶液为透明聚二甲基硅氧烷溶液。

7.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述烘烤固化在真空干燥箱内进行，所述烘烤的温度范围为80℃至180℃。

8.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述金属材料由钼、铝和银中的至少一种组成。

9.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述压阻传感区的材料为碳化钛。

10.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其特征在于，所述图形化制备工艺包括：光刻、显影、烘烤和刻蚀。

说明书

一种显示面板制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示面板技术领域，特别是涉及一种显示面板制造方法。

背景技术

[0002] 目前，平板显示大多运用功能化集成技术，将多种传感部件集成在一起实现传感器系统，从而使平板显示屏变得更加轻薄。为了实现压力触控的目的，会在平板显示面板上方集成触控传感器。目前有三种主要类型的触控传感器，即压电、压容和压阻型。其中，压阻传感器可通过外部压力大小转换成电阻变化信号进行检测，由于其制造成本低、信号检测灵敏、信号检测范围大等原因，可广范适用于如智能触控显示、仿生皮肤、可穿戴智能电子设备等，该技术已经引起了产业界的极大关注。

[0003] 传统的高灵敏压阻传感器是利用基于碳质材料即碳纳米管(CNT)、石墨烯及其复合材料等制备，它们在受到力的作用后，通过检测电阻率的电信号输出变化来检测加载压力值大小。

[0004] 大多数这些传感器制造方法需要复杂的过程和精准的设计，但是，由于活性压阻材料通常会在外力作用下脱落，一些简单的涂布方法会导致传感器的不稳定性，传感器寿命较短。与此同时，石墨烯和碳纳米管(CNT)的高弹性模量会阻止其内部的原子运动，导致内部原子结构难以用于进一步提高相应传感器的灵敏度。

发明内容

[0005] 本发明的目的是提供一种显示面板制造方法，其中弹性体层为裂缝结构，压阻传感区在裂缝中生成，使压阻传感材料不易在外力下脱落移位，从而增强了显示面板的稳定性及使用寿命。

[0006] 为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

[0007] 一种显示面板制造方法，所述方法包括：

[0008] 对玻璃基板进行清洗；

[0009] 在所述玻璃基板上溅射电极材料形成电极层；

[0010] 采用图形化制备工艺在所述电极层上制成传感器电极；

[0011] 将弹性体溶液均匀涂布在所述传感器电极上，并进行烘烤固化形成弹性体层；

[0012] 在所述弹性体层上溅射金属材料，对所述弹性体层进行拉伸，所述弹性体层在所述金属材料的应力作用下，形成均匀分布的裂缝，将所述裂缝定义为传感保持区；

[0013] 将传感压阻溶液均匀涂布到所述弹性体层上，所述传感压阻溶液渗入所述传感保持区，经过烘烤固化形成压阻传感区；

[0014] 在所述弹性体层上设置封装层。

[0015] 可选的，所述压阻传感区为层状结构。

[0016] 可选的，所述将弹性体溶液均匀涂布在所述传感器电极上之前，所述弹性体溶液经过搅拌和真空除气泡处理。

[0017] 可选的，在所述弹性体层上溅射金属材料，对所述弹性体层进行拉伸，所述弹性体层在所述金属材料的应力作用下，形成均匀分布的裂缝，将所述裂缝定义为传感保持区。

[0018] 可选的，所述电极材料为由钼、铝、银和氧化铟锡中的至少一种组成。

[0019] 可选的，所述弹性体溶液为透明聚二甲基硅氧烷溶液。

[0020] 可选的，所述烘烤固化在真空干燥箱内进行，所述烘烤的温度范围为80℃至180℃。

[0021] 可选的，所述金属材料为由钼、铝、银和氧化铟锡中的至少一种组成。

[0022] 可选的，所述压阻传感区的材料为碳化钛。

[0023] 可选的，所述图形化制备工艺包括：光刻、显影、烘烤和刻蚀。

[0024] 根据本发明提供的发明内容，本发明公开了以下技术效果：本发明提供一种显示面板制造方法，其中弹性体层形成裂缝结构，压阻传感区在裂缝中生成，使压阻传感材料不易在外力下脱落移位，从而增强了显示面板的稳定性及使用寿命；另外，本发明提供的显示面板制造方法中压阻传感区材料采用碳化钛，碳化钛具有层状结构，当外部压力去除时，能够迅速可逆恢复，从而提高了显示面板的灵敏度。

附图说明

[0025] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0026] 图1为本发明实施例显示面板制造方法流程示意图；

[0027] 图2为本发明实施例显示面板结构示意图；

[0028] 图3为本发明实施例显示面板在受到外部压力时的结构示意图；

[0029] 图4为本发明实施例叉指电极图形图。

具体实施方式

[0030] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0031] 本发明的目的是提供一种显示面板制造方法，其中压阻传感区在弹性体层的裂缝中生成，使压阻传感材料不易在外力下脱落移位，从而增强了显示面板的稳定性及使用寿命。

[0032] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

[0033] 如图1-3所示，本发明提供的一种显示面板制造方法，所述方法包括：

[0034] 步骤101：对玻璃基板10进行清洗；

[0035] 步骤102：在玻璃基板10上溅射电极材料形成电极层；

[0036] 步骤103：采用图形化制备工艺在所述电极层上制成传感器电极21；

[0037] 步骤104：将弹性体溶液均匀涂布在所述传感器电极21上，并进行烘烤固化形成弹性体层31；

[0038] 步骤105：在弹性体层31上溅射金属材料，对弹性体层31进行拉伸，弹性体层31在所述金属材料的应力作用下，形成均匀分布的裂缝，将所述裂缝定义为传感保持区32；

[0039] 步骤106：将传感压阻溶液均匀涂布到弹性体层31上，所述传感压阻溶液渗入所述传感保持区32，经过烘烤固化形成压阻传感区51；

[0040] 步骤107：在弹性体层31上设置封装层60。

[0041] 其中，步骤102中，所述电极材料为由钼、铝、银和氧化铟锡中的至少一种组成。

[0042] 其中，步骤103中，电极层涂布光刻胶之后，经过光刻、显影、烘烤和刻蚀等图形化制备工艺制成传感器电极21。

[0043] 其中，步骤104中，所述弹性体溶液为透明聚二甲基硅氧烷溶液；将弹性体溶液均匀涂布在传感器电极21上之前，所述弹性体溶液经过搅拌和真空除气泡处理。

[0044] 其中，步骤105中，弹性体层31通过所述金属材料的应力拉伸形成均匀分布的裂缝之后，采用刻蚀法去除弹性体层31上的所述金属材料；

[0045] 所述金属材料为由钼、铝、银和氧化铟锡中的至少一种组成。

[0046] 其中，步骤106中，压阻传感区51为层状结构；压阻传感区51的材料为碳化钛、石墨烯或碳纳米管；

[0047] 使用碳化钛作为传感压阻材料的显示面板能够满足检测面板上微小压力的要求，提高显示面板的灵敏度，同时有机材料形成的裂缝结构，使得传感压阻材料能够在裂缝中形成高度互连的线结构，从而使压阻传感材料不易因外部压力而脱落移位，进而增加显示面板的稳定性和使用寿命。

[0048] 其中，步骤104和步骤106中，所述烘烤固化在真空干燥箱内进行，所述烘烤的温度范围为80℃至180℃。

[0049] 如图4所示，传感器电极21为叉指电极图形。

[0050] 本发明公开的显示面板的工作过程如下：

[0051] 在弹性体层31和传感器电极21之间形成的欧姆接触，当在显示面板上施加外部压力F时，压阻传感区51中相邻两层之间的垂直距离将减小，传感材料之间的传感保持区32会变小，进而减小内阻Rc，并增加导电率，从而电流增加。所以外部压力可以通过变化的层间距离的电阻率变化来监测。

[0052] 当压力F增加到一定程度时，压阻传感区51变得更加紧密，层间距离逐渐变小，电阻进一步减小，但同时减小速率变小。当应变超过阈值时，压阻传感器灵敏度逐渐饱和。

[0053] 此外，当压力F快速去除时，由于压阻传感区51的材料的可逆性，压阻传感区51中相邻两层之间的距离能快速返回原始状态。所以通过外力开关，压阻传感区51中相邻两层之间的距离可以减小以及可逆地恢复。

[0054] 因此，由于施加不同压力F时，电阻的电阻值不同，所以只要测得压阻传感层的电阻值即能得到压力F大小。

[0055] 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

[0056] 本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。