本发明涉及一种用于导入和分配至少一种气体到加工区中的气体分配器和一种用于制造该气体分配器的方法。气体分配器包括底板、温度控制板和顶板，它们通过连接方法气密地彼此连接。温度控制板具有温度控制通道，所述温度控制通道构造为通过腹板彼此分开的通孔并且从温度控制板的第一侧延伸到温度控制板的第二侧。在温度控制板的腹板中形成贯通的腹板孔，其对应于底板中的气体出口和顶板中的气体入口，并形成气体通道。在顶板中，温度控制流体分配器和温度控制流体收集器被构成为穿过顶板的通孔。因此，温度控制流体可以从布置在顶板上的温度控制流体供应接头通过温度控制流体分配器流入温度控制通道并且通过温度控制流体收集器流入到在顶板上设置的温度控制流体出口接头。根据该方法，首先在温度控制板上形成温度控制通道，在顶板上形成温度控制流体分配器和温度控制流体收集器，并且将底板、温度控制板和顶板气密地彼此连接。然后在一个共同的工艺步骤中生产气体通道。
1.一种气体分配器(100，200)，其包括底板(110，210)、温度控制板(120，220)、顶板(130，230)、至少一个温度控制流体供应附件(140，270)和至少一个温度控制流体出口附件(150，280)，其中底板(110，210)、温度控制板(120，220)和顶板(130，230)具有同一轮廓，
温度控制板(120，220)设置在底板(110，210)和顶板(130，230)之间并且这些板(110，
120，130，210，220，230)的边缘叠置地终止，
相叠的各板(110，120，130，210，220，230)通过连接方法气密地彼此连接，底板(110，210)具有完全穿过底板(110，210)的气体出口(111，211，212)，温度控制板(120，220)具有温度控制通道(121，221)，这些温度控制通道构造为通过腹板(122，222)彼此分开的通孔，其中温度控制通道(121，221)具有位于温度控制板(120，
220)的第一侧(124，224)上的第一端(123，223)和位于温度控制板的第二侧(126，226)上的第二端(125，225)、然而不完全延伸至相应的侧，其中第二侧(126，226)与第一侧(124，224)相对置，在温度控制板(120，220)的腹板(122，222)中形成贯通温度控制板(120，220)的腹板孔(128，228，229)，这些腹板孔(128，228，229)与底板(110，210)的气体出口(111，211，212)相对应，顶板(130，230)具有气体入口(133，239)，这些气体入口完全穿过顶板(130，230)并且与温度控制板(120，220)的腹板孔(128，228，229)的至少一部分相对应，顶板(130，230)包括至少一个温度控制流体分配器(134，231)以及至少一个温度控制流体收集器(135，233)，所述温度控制流体分配器构成为顶板(130，230)中的通孔并且覆盖与其对应的所有温度控制通道(121，221)的第一端(123，223)，所述温度控制流体收集器构成为顶板(130，230)中的通孔并且覆盖与其对应的所有温度控制通道(121，221)的第二端(125，225)，具有温度控制流体供应接头(141，271)的所述至少一个温度控制流体供应附件(140，
270)与顶板(130，230)气密地连接，并且因此布置在与其对应的温度控制流体分配器(134，
231)上方，使得该温度控制流体供应附件完全覆盖该温度控制流体分配器(134，231)，并且温度控制流体能够从温度控制流体供应接头(141，271)通过温度控制流体分配器(134，
231)流入温度控制通道(121，221)的第一端(123，223)中，并且
具有温度控制流体出口接头(151，281)的所述至少一个温度控制流体出口附件(150，
280)与顶板(130，230)气密地连接，并且因此布置在与其对应的温度控制流体收集器(135，
233)上方，使得该温度控制流体出口附件完全覆盖该温度控制流体收集器(135，233)，并且温度控制流体能够从温度控制通道(121，221)的第二端(125，225)通过温度控制流体收集器(135，233)流入到温度控制流体出口接头(151，281)中。
2.根据权利要求1所述的气体分配器(200)，还包括盖板(240)、气体供应板(250)和至少一个第一气体供应附件(290)，其中盖板(240)设置在温度控制板(220)和顶板(230)之间并且包括至少一个温度控制流体分配器(243)和至少一个温度控制流体收集器(244)以及气体通孔(241，242)，所述至少一个温度控制流体分配器(243)和所述至少一个温度控制流体收集器(244)构成为盖板(240)中的通孔并且对应于顶板(230)的所述至少一个温度控制流体分配器(231)和所述至少一个温度控制流体收集器(233)，并且气体通孔(241，242)对应于温度控制板(220)的腹板孔(228，229)，气体供应板(250)布置在盖板(240)和顶板(230)之间，并且包括至少一个温度控制流体分配器(251)和至少一个温度控制流体收集器(253)以及多个构成为穿过气体供应板(250)的通孔且通过腹板(256)彼此分开的气体供应通道(255)，其中所述至少一个温度控制流体分配器(251)和所述至少一个温度控制流体收集器(253)构成为所述气体供应板(250)中的通孔并且与顶板(230)的所述至少一个温度控制流体分配器(231)和所述至少一个温度控制流体收集器(233)相对应，其中气体供应通道(255)具有位于气体供应板(250)的第三侧(258)上的第一端(267)和位于气体供应板(250)的第四侧(260)上的第二端(259)、但不完全延伸至相应的侧(258，260)，其中第三侧(258)和第四侧(260)不同于气体供应板(250)的第一侧(252)和第二侧(254)，并且第四侧(260)与第三侧(258)相对置，并且每个气体供应通道(255)覆盖至少一个不与顶板(230)的气体入口(239)对应的气体通孔(241)，在气体供应板(250)的腹板(256)中形成腹板孔(261)，这些腹板孔(261)与顶板(230)的气体入口(239)和相应的气体通孔(242)相对应，并且顶板(230)具有第一气体供应开口(235)，所述第一气体供应开口构成为顶板(230)中的通孔并且覆盖所有气体供应通道(255)的第一端(257)，具有气体供应接头的第一气体供应附件(290)与顶板(230)气密地连接并且因此布置在第一气体供应开口(235)上方，使得第一气体供应附件完全覆盖第一气体供应开口(235)，并且气体能够从气体供应接头通过第一气体供应开口(235)流入到气体供应通道(255)的第一端(257)中。
3.根据权利要求2所述的气体分配器(200)，其特征在于：
顶板(230)具有第二气体供应开口(237)，该第二气体供应开口构成为顶板(230)中的通孔并且覆盖所有气体供应通道(255)的第二端(259)，气体分配器(200)还具有第二气体供应附件(291)，该第二气体供应附件与顶板(230)气密地连接并且布置在第二气体供应开口(237)上方，使得该第二气体供应附件完全覆盖第二气体供应开口(237)并且气体能够从气体供应接头通过第二气体供应开口(237)流入到气体供应通道(255)的第二端(259)中。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，温度控制板(120，220)中的腹板(122，222)由温度控制板(120，220)的材料构成，并且在所有区域中具有与温度控制板(120，220)相同的厚度。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，所述温度控制通道(121，221)在其第一端和第二端(123，125，223，225)之间直线延伸。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，温度控制板(120，220)中的腹板(122，222)在形成有腹板孔(128，228，229)的第一区域中具有比在第二区域中大的宽度。
7.根据权利要求6所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，位于两个相邻温度控制通道(121，221)之间的温度控制板(120，220)的材料的宽度大于或等于位于温度控制通道(121，221)和腹板孔(128，228，229)之间的温度控制板(120，220)的材料的宽度。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，所述底板(110，210)、所述温度控制板(120，220)和所述顶板(130，230)由相同的材料构成。
9.根据权利要求8所述的气体分配器(100，200)，其特征在于，所述底板(110，210)、所述温度控制板(120，220)和所述顶板(130，230)由金属构成。
10.一种制造气体分配器(100，200)的方法，包括以下步骤：
a)提供底板(110，210)、温度控制板(120，220)和顶板(130，230)以及至少一个温度控制流体供应附件(140，270)和至少一个温度控制流体出口附件(150，280)，其中底板(110，
210)、温度控制板(120，220)和顶板(130，230)具有同一轮廓，
b)通过形成穿过温度控制板(120，220)的通孔，在温度控制板(120，220)中形成多个温度控制通道(121，221)，其中各单个通孔通过腹板(122，222)彼此分开并且具有位于温度控制板(120，220)的第一侧(124，224)上的第一端(123，223)和位于温度控制板(120，220)的第二侧(126，226)上的第二端(125，225)、然而不完全延伸至相应的侧(124，126，224，226)，其中第二侧(126，226)与第一侧(124，224)相对置，c)通过形成穿过顶板(130，230)的通孔，在顶板(130，230)中形成至少一个温度控制流体分配器(134，231)和至少一个温度控制流体收集器(135，233)，d)通过连接方法将底板(110，210)、温度控制板(120，220)和顶板(130，230)气密地彼此连接，使得这些板(110，120，130，210，220，230)的边缘叠置，并且所述至少一个温度控制流体分配器(134，231)覆盖与其对应的所有温度控制通道(121，221)的第一端(123，223)，并且所述至少一个温度控制流体收集器(135，233)覆盖与其对应的所有温度控制通道(121，221)的第二端(125，225)，e)将所述至少一个温度控制流体供应附件(140，270)和所述至少一个温度控制流体出口附件(150，280)与顶板(130，230)气密地连接，使得每个温度控制流体供应附件(140，
270)完全覆盖与其对应的温度控制流体分配器(134，231)，并且每个温度控制流体出口附件(150，280)完全覆盖与其对应的温度控制流体收集器(135，233)，并且f)通过在一个共同的工作过程中在顶板(130，230)中形成气体入口(139，239)、在温度控制板(120，220)的腹板(122，222)中形成腹板孔(128，228，229)和在底板(110，210)中形成气体出口(111，211，212)，形成气体通道，其中气体入口(133，239)完全穿过顶板(130，
230)，腹板孔(128，228，229)完全穿过温度控制板(120，220)，并且气体出口(111，211，212)完全穿过底板(110，210)。
在步骤a)中，附加地提供盖板(240)、气体供应板(250)和第一气体供应附件(290)，其中盖板(240)和气体供应板(250)与底板(210)、温度控制板(220)和顶板(230)具有同一轮廓，在步骤c)中，附加地在顶板(230)中形成作为穿过顶板(230)的通孔的第一气体供应开口(235)，
在盖板(240)中通过形成穿过盖板(240)的通孔，形成至少一个温度控制流体分配器(243)和至少一个温度控制流体收集器(244)，该至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器对应于顶板(230)中的所述至少一个温度控制流体分配器(231)和所述至少一个温度控制流体收集器(233)，在气体供应板(250)中通过形成穿过气体供应板(250)的通孔形成至少一个温度控制流体分配器(251)和至少一个温度控制流体收集器(253)以及多个气体供应通道(255)，所述至少一个温度控制流体分配器(251)和所述至少一个温度控制流体收集器(252)对应于顶板(230)中的所述至少一个温度控制流体分配器(231)和所述至少一个温度控制流体收集器(233)并且构成在气体供应板(250)的第一侧(252)或第二侧(254)上，并且各单个气体供应通道(255)通过腹板(256)彼此分离并且具有位于气体供应板(250)的第三侧(258)上的第一端(257)和位于气体供应板(250)的第四侧(260)上的第二端(259)、但不完全延伸至相应的侧(258，260)，其中第三侧(258)和第四侧(260)不同于第一侧(252)和第二侧(254)，并且第四侧(260)与第三侧(258)相对置，步骤d)分为子步骤d1)、d2)和d3)，其中
在步骤d1)中，底板(210)、温度控制板(220)和盖板(240)通过连接方法气密地彼此连接，使得这些板(210，220，240)的边缘叠置并且在盖板(240)中的所述至少一个温度控制流体分配器(243)覆盖与其对应的所有温度控制通道(221)的第一端(223)，并且盖板(240)中的所述至少一个温度控制流体收集器(244)覆盖与其对应的所有温度控制通道(221)的第二端(225)，由此产生第一板组合，在步骤d2)中，在一个共同的工作过程中在盖板(240)中形成第一气体通孔(241)、在温度控制板(220)的腹板(222)中形成第一腹板孔(228)并且在底板(210)中形成第一气体出口(211)，其中气体通孔(241)完全穿过盖板(240)，腹板孔(228)完全穿过温度控制板(220)，并且气体出口(211)完全穿过底板(210)，在步骤d3)中，第一板组合、气体供应板(250)和顶板(230)通过连接方法气密地彼此连接，使得这些板(210，220，230，240，250)的边缘叠置并且气体供应板(250)和顶板(230)中的温度控制流体分配器(251，231)和温度控制流体收集器(253，233)对应于盖板(240)中的所述至少一个温度控制流体分配器(243)和所述至少一个温度控制流体收集器(244)，并且顶板(230)中的第一气体供应开口(235)完全覆盖气体供应通道(255)的第一端(257)，在步骤e)中，附加地使第一气体供应附件(290)与顶板(230)气密地连接，使得气体供应附件(290)完全覆盖第一气体供应开口(235)，并且在步骤f)中，在一个共同的工作过程中在顶板(230)中形成气体入口(239)、在气体供应板(250)的腹板(256)中形成腹板孔(261)并且在盖板(240)中形成第二气体通孔(242)、在温度控制板(220)的腹板(222)中形成第二腹板孔(229)并且在底板(210)中形成第二气体出口(212)，其中气体入口(239)完全穿过顶板(230)，腹板孔(261)完全穿过气体供应板(250)，第二腹板孔(229)完全穿过温度控制板(222)，第二气体通孔(242)完全穿过盖板(240)，并且第二气体出口(212)完全穿过底板(210)。
12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在步骤d)之后和步骤f)之前，实施检查气体分配器(100，200)相对于温度控制流体的密封性的步骤，所述温度控制流体流过所述至少一个温度控制流体分配器(134，231)进入温度控制通道(121，221)的第一端(123，
223)、穿过温度控制通道(121，221)并且从温度控制通道(121，221)的第二端(125，225)出来穿过所述至少一个温度控制流体收集器(135，233)。
13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，在步骤d1)之后和步骤d2)之前，实施检查第一板组合相对于温度控制流体的密封性的步骤，所述温度控制流体流过所述至少一个温度控制流体分配器(231)进入温度控制通道(221)的第一端(223)、穿过温度控制通道(221)并且从温度控制通道(221)的第二端(225)出来穿过所述至少一个温度控制流体收集器(233)。
14.根据权利要求10至13中任一项所述的方法，其特征在于，温度控制板(120，220)中的腹板(122，222)构造成使得腹板在所有区域中具有与温度控制板(120，220)相同的厚度。
15.根据权利要求10至13中任一项所述的方法，其特征在于，温度控制板(120，220)中的腹板(122，222)构成为使得腹板在形成有腹板孔(128，228，229)的第一区域中具有比在第二区域中大的宽度。
16.根据权利要求10至13中任一项所述的方法，其特征在于，温度控制板(120，220)中的腹板(122，222)构造成使得位于两个相邻温度控制通道(121，221)之间的温度控制板(120，220)的材料的宽度大于或者等于位于温度控制通道(121，221)和构成的腹板孔(128，
228，229)之间的温度控制板(120，220)的材料的宽度。
层状构造的通过流体控制温度的气体分配器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种用于应用在基板处理区中的气体分配器，其中待进入的气体分布在表面上并且同时利用流体冷却或加热，并且本发明涉及一种制造这种气体分配器的方法。特别是这种气体分配器用于涂层装置，例如在制造太阳能电池时的涂层装置。
背景技术
[0002] 气体分配器用于允许一种或多种气体从一个或多个气体储存室进入处理区或处理腔，并且用于该一种或多种气体在特定表面上的特定的、大多均匀的分布。该表面基本上对应于基板的待利用相应的处理步骤处理的表面，但也可以更大或更小。气体分配器(通常也称为喷头)在其面向基板的表面上具有开口，气体或气体通过该开口排出或放出，并且在另一个表面上具有至少一个用于待分配的气体的入口。开口应该优选地非常小且紧密，并且均匀地分布在气体分配器的面向基板的表面上，以使得基板的处理可以均匀地进行。在处理区中经常出现600℃至1250℃的温度。由高温引起的气体分配器的弯曲可导致基板的不均匀处理，特别是导致不均匀的涂层加设或层的去除，因为气体分布不再均匀地发生并且在气体出口与基板之间的距离沿着基板发生变化。此外，气体分配器中的高温可以引发待进入的气体与气体分配器的材料和/或与其他气体的反应，这可以一方面导致可用于基板处理的气体体积的减少，并且另外一方面导致在气体分配器中的沉积，因此堵塞气体出口。为了避免或至少减少这些影响，经常冷却气体分配器。然而，也可以针对性地加热气体分配器。
[0003] 已知的气体分配器包括例如整体的实心材料块、例如金属块，其中通过金属丝腐蚀或其他方法引入具有气体出口的气体通道以及横向于其延伸的温度控制通道。然而，在这种情况下，只能产生直线延伸的温度控制通道，该温度控制通道通过相对厚的材料壁与气体通道分开。由此，气体通道和气体出口的密度被限制在低水平，同时通过温度控制通道的流量以及因此可达到的温度控制的程度也受到限制。
[0004] US2013/0299009A1描述了一种用于分配至少两种不同气体的气体分配器，其包括冷却板和气体分配板。冷却板具有冷却通道(冷却通道构造为材料内部的孔或冷却板表面中的凹槽)以及与气体分配板中的开口或气体通道相对应的气体通道。气体分配板紧靠在冷却板的表面上，使得冷却板的气体通道和气体分配板中的开口或气体通道使气体能够从气体储存室输送到处理区。
[0005] 从DE102007026349A1中已知一种气体分配器，其由许多薄金属板构成。在金属板中分别设置多个环形盘，每个环形盘在中心具有孔，然后通过将金属板一个布置在另一个之上，这些环形盘形成作为小管的气体通道。由于环形盘在不形成气体分配器表面的金属板中通过具有比板本身更小的材料厚度的腹板连接，因此在气体通道的小管之间形成可被冷却介质穿流的空腔。
[0006] 最后两种已知的气体分配器的缺点是需要非常精确地彼此调节各个板(这些板具有包含在其中的用于气体输送的孔或环形盘)，以实现气体通道的密封性和低的壁粗糙度。因此，需要高的生产技术支出来制造气体分配器。此外，特别是DE102007026349 A1的气体分配器具有非常多的分立的三维的接头，这些接头在各个板通过钎焊或熔焊的连接过程中形成，结果是对连接过程的质量的要求进一步提高。
发明内容
[0007] 因此，本发明的目的是提供一种气体分配器，其不仅允许出色地对穿过的气体和气体分配器进行温度控制，并且允许小的气体出口的均匀的密集的分布，而且允许制造这种气体分配器的简单可能性。
[0008] 该目的通过一种气体分配器和一种用于制造这种气体分配器的方法解决。
[0009] 根据本发明的气体分配器包括底板、温度控制板、顶板、至少一个温度控制流体供应附件和至少一个温度控制流体出口附件。在这种情况下，底板、温度控制板和顶板具有同一轮廓，它们在俯视图中优选地是全等的，使得这些板的边缘叠置地终止。这些板的侧向延伸尺寸明显大于各个板的厚度。在此，这些板可以具有相同的厚度或不同的厚度。在至少一个另一个板邻接相应板的方向上测量板的厚度。优选地，底板和顶板构造得薄，而温度控制板构造成比底板和/或顶板厚，并且优选地是整个气体分配器的最厚板。温度控制板布置在底板和顶板之间，并且叠置的各板通过连接方法气密地彼此连接。底板具有气体出口，其完全穿过底板。温度控制板具有温度控制通道，该温度控制通道构造为穿过温度控制板的、通过腹板彼此分开的孔，其中温度控制通道具有位于温度控制板的第一侧的第一端和位于温度控制板的第二侧的第二端，但不完全延伸至相应的侧。在温度控制板的俯视图中，温度控制板的第二侧与第一侧相对置。在温度控制板的腹板中形成贯通的腹板孔，这些腹板孔对应于底板的气体出口。顶板具有气体入口，这些气体入口完全穿过顶板并且与温度控制板的腹板孔的至少一部分相对应。此外，顶板包括至少一个温度控制流体分配器以及至少一个温度控制流体收集器，所述温度控制流体分配器构成为顶板中的通孔并且覆盖与其对应的所有温度控制通道的第一端，所述温度控制流体收集器构成为顶板中的通孔并且覆盖与其对应的所有温度控制通道的第二端。具有温度控制流体供应接头的所述至少一个温度控制流体供应附件与顶板气密地连接，并且因此布置在与其对应的温度控制流体分配器上方，使得该温度控制流体供应附件完全覆盖该对应的温度控制流体分配器，并且温度控制流体能够从温度控制流体供应接头通过温度控制流体分配器流入对应的温度控制通道的第一端中。具有温度控制流体出口接头的所述至少一个温度控制流体出口附件与顶板气密地连接，并且因此布置在与其对应的温度控制流体收集器上方，使得该温度控制流体出口附件完全覆盖该对应的温度控制流体收集器，并且温度控制流体能够从对应的温度控制通道的第二端通过温度控制流体收集器流入到温度控制流体出口接头中。
[0010] “对应的”应理解为意味着气体分配器的相应开口、孔和元件在气体分配器的厚度方向上叠置(即一个在另一个上方)。例如，所有板的第一侧相叠。分别一个气体入口、与其对应的一个腹板孔和与其对应的一个气体出口形成一个气体通道，气体可以通过该气体通道从顶板上方的气体储存器流入底板下方的处理区中。类似地，相互对应的元件(温度控制流体供应附件、温度控制流体分配器、温度控制通道以及温度控制流体收集器和温度控制流体出口附件)形成流动通道，温度控制流体通过该流动通道流动并且可以在气体分配器中发挥其温度控制效果。
[0011] 在一个特定实施例中，气体分配器包括多个温度控制流体供应附件、多个温度控制流体分配器、至少一个温度控制流体收集器和至少一个温度控制流体供应附件。在这种情况下，每个温度控制流体分配器仅覆盖一定数量的温度控制通道的第一端，该数量小于所有温度控制通道的数量。每个温度控制流体供应附件对应于至少一个温度控制流体分配器并完全覆盖它。因此，可以通过各个不同的相互对应的温度控制流体供应附件、温度控制流体分配器和温度控制通道使各种不同的温度控制流体和/或具有不同温度的温度控制流体流动。因此，气体分配器的各不同的横向区域可以被冷却或加热到不同程度，从而可以更好地补偿气体分配器中的温度不均匀性。例如，在俯视图中气体分配器的中心区域可以比气体分配器的外部区域较低程度地冷却，气体分配器的外部区域由于来自气体分配器的温暖环境经由侧面的热吸收而被更强烈地加热。然而，对于气体分配器的不同区域，相应温度控制流体的温度控制效果的其他控制是可能的。此外，可以将具有相同温度的相同温度控制流体供给所有温度控制流体供应附件和温度控制流体分配器。特别是，在具有大量温度控制通道并且在垂直于温度控制通道走向的方向上具有大尺寸的大型气体分配器的情况下，在仅一个温度控制流体供应附件和仅一个温度控制流体分配器的情况下导致温度控制流体在温度控制流体分配器的延伸尺寸上的不均匀分布。这可以通过提供多个温度控制流体供应附件和多个温度控制流体分配器来避免。
[0012] 如果对于所有的温度控制流体供应附件和温度控制流体分配器使用相同的温度控制流体，但是对于不同的温度控制流体供应附件和温度控制流体分配器可以具有不同的温度，那么可以仅仅设置一个温度控制流体收集器，其从所有温度控制通道中移除温度控制流体，并且可以仅设置一个温度控制流体出口附件。然而，如果将不同的温度控制流体供给到不同的温度控制流体供应附件和温度控制流体分配器中，则有利地为所有对应于同一个温度控制流体分配器的温度控制通道提供单独的温度控制流体收集器和与其对应的单独的温度控制流体出口附件。
[0013] 如果来自不同气体储存器的不同气体或气体借助于气体分配器分配并供应到处理区，则气体分配器可以通过附加元件(例如，附加板)扩展。
[0014] 因此，在用于分配两种气体的特定实施例中，除了已经提到的元件之外，气体分配器还包括盖板、气体供应板和至少一个第一气体供应附件。在这种情况下，盖板设置在温度控制板和顶板之间并且包括至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器以及气体通孔。所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器分别构成为盖板中的通孔并且对应于顶板的所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器。这意味着在各单个板中的温度控制流体分配器的数量是分别相同的，并且在各单个板中的温度控制流体收集器的数量也是分别相同的，其中如上所述，温度控制流体分配器的数量和温度控制流体收集器的数量可以彼此不同。气体通孔对应于温度控制板的腹板孔并且完全穿过盖板。气体供应板布置在盖板和顶板之间，并且也包括至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器以及多个构成为穿过气体供应板的通孔且通过腹板彼此分开的气体供应通道。所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器构成为所述气体供应板中的通孔并且与顶板的所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器相对应。气体供应通道具有位于气体供应板的第三侧的第一端和位于气体供应板的第四侧的第二端、但不完全延伸至相应的侧。第三侧和第四侧不同于第一侧和第二侧，第四侧与第三侧相对置。每个气体供应通道覆盖盖板中的至少一个气体通孔，该至少一个气体通孔与顶板的气体入口不对应。在气体供应板的腹板中形成腹板孔，这些腹板孔与顶板的气体入口和盖板中的相对应的气体通孔相对应。此外在顶板构成第一气体供应开口，所述第一气体供应开口构成为顶板中的通孔并且覆盖所有气体供应通道的第一端。具有气体供应接头的第一气体供应附件与顶板气密地连接，并因此布置在第一气体供应开口上方，使得第一气体供应附件完全覆盖第一气体供应开口，并且气体能够从气体供应接头通过第一气体供应开口流入到气体供应通道的第一端中。
[0015] 因此，在该具体实施例中，第一气体可以从顶板上方的储气容器提供顶板中的气体入口和与之对应的在气体供应板中的腹板孔、在盖板中的气体通孔、温度控制板中的腹板孔和底板上的气体出口流入到底板下方的处理区中，同时第二气体可以从另一个储气容器提供气体供应接头、气体供应附件、顶板中的气体供应开口板、气体供应板中的气体供应通道、盖板中的气体通孔(其与顶板中的气体入口不对应并且由气体供应通道覆盖)和温度控制板中的对应的腹板孔和底板中的气体出口流入底板下方的处理区中。在此，分配给第一气体的开口和孔以及分配给第二气体的开口和孔可以在气体分配器的横向延伸尺寸(即侧向延伸尺寸)上自由地布置和分布。它们可以均匀分布或形成特定的图案。
[0016] 在用于多种气体的气体分配器的另一特定实施例中，顶板具有第二气体供应开口，该第二气体供应开口构成为顶板中的通孔并且覆盖所有气体供应通道的第二端，并且气体分配器还具有第二气体供应附件。该第二气体供应附件与顶板气密地连接并且布置在第二气体供应开口上方，使得该第二气体供应附件完全覆盖顶板中的第二气体供应开口并且气体能够从气体供应接头通过第二气体供应开口流入到气体供应通道的第二端中。因此可以实现更均匀的第二气体供应，该第二气体现在从气体供应通道的两端流入气体供应通道中。
[0017] 如果第一气体供应开口和第二气体供应开口分别不覆盖所有气体供应通道的端部，而仅覆盖不同气体供应通道的相应端部，则第一气体供应附件结合第一气体供应开口和气体供应通道(其第一端被第一气体供应开口覆盖)用于分配第二气体，并且第二气体供应附件结合第二气体供应开口和气体供应通道(其第二端被第二气体供应开口覆盖)，用于分配第三气体。还可以插入另一个盖板和另一个气体供应板，它们结合相关的气体供应附件形成用于第三气体的气体通道。根据本发明的气体分配器可以以类似的方式扩展以分配其他气体，其中，可以应用所述两种可能性。
[0018] 优选地，温度控制板中的腹板由温度控制板的材料形成，并且在所有区域中具有与温度控制板相同的厚度。因此，在温度控制板与底板和顶板之间可以实现相对于温度控制流体密封的连接。此外，各个温度控制通道在很大程度上彼此隔离，并且仅通过温度控制流体分配器和温度控制流体收集器彼此连通。此外，温度控制板和整个气体分配器的稳定性增加。
[0019] 同样可以优选地也适用于气体供应板中的在气体供应通道之间的腹板，即气体供应板中的腹板在所有区域中具有与气体供应板相同的厚度。
[0020] 优选地，温度控制通道构造成在其第一端和第二端之间是直线的。也就是说，温度控制通道中的流动走向没有转弯、弯曲或大的方向变化。因此，形成理想的流动条件，其允许进行有效的温度控制。
[0021] 此外，温度控制板的第一侧与温度控制板的第二侧之间的距离是温度控制板的最短横向尺寸。如果温度控制通道沿着该距离(即垂直于温度控制板的第一侧和第二侧)从温度控制板的第一侧延伸到温度控制板的第二侧，则它们因此可以形成为具有最小长度，同时在这个方向上延伸几乎整个气体分配器的延伸尺寸。因此，流体仅短暂地流过气体分配器，并且基本上不改变其在气体分配器的第一侧和气体分配器的第二侧之间的温度，使得沿着在气体分配器的第一侧和第一侧之间的延伸尺寸实现气体分配器的均匀的调温。
[0022] 优选地，在其中形成有腹板孔的区域中的温度控制板中的腹板具有比在其他区域中大的宽度。也就是说，腹板具有加宽的区域，其中分别形成一个腹板孔。因此，实现了温度控制通道中的大的温度控制流体提及，同时具有腹板的高机械稳定性和腹板孔的壁的足够厚的壁厚。此外，由此增加了形成腹板孔的区域的周面，使得流过腹板孔的气体可以被最佳地温度控制。腹板的宽度垂直于温度控制通道的延伸方向并且在两个相邻的温度控制通道之间测量。
[0023] 优选地，温度控制板的位于两个相邻的温度控制通道之间的材料的宽度大于或等于温度控制板的位于温度控制通道和腹板孔之间的材料的宽度。因此，流过腹板孔的气体被最佳地温度控制，同时确保了腹板和温度控制通道的机械稳定性。
[0024] 当在两个相邻的温度控制通道之间的区域中以及在温度控制通道和腹板孔之间的区域中选择腹板材料的宽度时，追求在足够大的腹板宽度以减少泄漏和足够下的腹板宽度以改善温度控制流体对流过腹板孔的气体的温度控制效果之间的最佳折衷。如随后将参考该方法所述，腹板孔仅事后被引入温度控制板的腹板中，使得腹板(至少在待形成的腹板孔的区域中)必须足够宽，以便确保利用引入孔的方法相对于相邻的温度控制通道可靠地限定腹板孔。另一方面，在所形成的腹板孔和相邻的温度控制通道之间的剩余腹板材料的最小可能宽度改善了对流过腹板孔的气体的温度控制。另外，在温度控制通道的宽度方面，追求达到在流动条件和流量与在气体分配器中每单位面积可达到的腹板孔密度之间的最佳折衷。因此，小宽度的温度控制通道结合小宽度的腹板可以在气体分配器中实现每单位面积的高密度腹板孔。
[0025] 在根据本发明的气体分配器中使用的板可以由任何合适的材料构成，该材料允许通过连接方法使板彼此气密连接、板的加工(特别是温度控制道和可选的气体供应通道的腹板的形成以及孔和开口的形成)以及良好的热传导并因此通过温度控制流体对待分配的气体进行良好的温度控制。例如钎焊(例如真空钎焊)、熔焊(例如扩散熔焊)或粘合可用作连接方法。板材的另一选择标准是材料在气体分配器的使用环境中的耐受性，即例如相对于存在于处理区中的反应气体的耐受性。这种材料可以是例如金属例如铝、陶瓷、石英或石墨以及组合材料例如合金或复合材料。优选地，底板、温度控制板和顶板以及可选的盖板和气体供应板由相同的材料特别是金属构成。因此，一方面可以容易地实现各板的气密连接，另一方面避免了由于使用不同材料而导致的气体分配器内部的热应力。温度控制流体供应附件、温度控制流体出口附件和气体供应附件也优选地由同一材料组成。
[0026] 根据本发明的用于制造气体分配器的方法包括：提供所需板和附件的步骤，特别是提供底板、温度控制板和顶板以及至少一个温度控制流体供应附件和至少一个温度控制流体出口附件；用于在温度控制板中形成多个温度控制通道的步骤；用于在顶板中形成至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器的步骤；用于通过连接方法将各板彼此气密连接的步骤；用于将所述至少一个温度控制流体供应附件和所述至少一个温度控制流体出口附件气密地连接到顶板的步骤；和用于在各个板中形成开口和孔的步骤，它们共同形成气体通道，以使气体通过气体分配器。
[0027] 制备的板具有同一轮廓并且优选是全等的。通过形成穿过温度控制板的通孔来产生温度控制通道，其中各个孔通过腹板彼此分开。温度控制通道的第一端位于温度控制板的第一侧，第二端位于温度控制板的第二侧，但不完全延伸至相应的侧。也就是说，温度控制通道通过温度控制板的材料与温度控制板的所有外边缘间隔开。温度控制板的第二侧与第一侧相对置。所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器被制成穿过顶板的孔。在板的气密连接期间，这些板以这样的方式连接，使得各板的边缘叠置，并且实施至少一个温度控制流体分配器覆盖与其对应的所有温度控制通道的第一端，并且所述至少一个温度控制流体收集器覆盖与其对应的所有温度控制通道的第二端。在将所述至少一个温度控制流体供应附件和所述至少一个温度控制流体出口附件气密地连接到顶板的过程中，它们以这样的方式布置，使得特定的温度控制流体供应附件完全覆盖与之对应的温度控制流体分配器并且特定的温度控制流体出口附件完全覆盖与其对应的温度控制流体收集器。在形成气体通道的步骤中，顶板中的气体入口、温度控制板的腹板中的腹板孔和底板中的气体出口在一个共同工作过程中产生，其中气体入口完全穿过顶板，腹板孔完全穿过温度控制板并且气体出口完全穿过底板。
[0028] 由于气体通道(即顶板中的气体入口、温度控制板的腹板中的腹板孔和底板中的气体出口)是在一个共同工作过程中产生的，因此气体通道的走向没有偏移或弯曲等并且可以更光滑地和简单地、例如无调校地在不同的板中产生非常小的孔。气体通道总体上可以设计得非常薄，从而可以实现气体通道在整个气体分配器上布置的高密度和均匀性。例如，形成的气体通道可具有约0.5mm的直径和10至20个通道/cm2的密度。该方法使得气体分配器能够特别简单且节约成本地制造。
[0029] 在该方法的一个具体实施方案中，通过该方法生产用于分配两种不同气体的气体分配器，附加地提供盖板、气体供应板和第一气体供应附件，其中盖板和气体供应板与底板、温度控制板和顶板具有同一轮廓，并且优选地是全等的。此外，在顶板中除了所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器之外另外形成第一气体供应开口作为穿过顶板的通孔。此外，在盖板中通过形成穿过盖板的通孔形成至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器，该至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器与顶板中的温度控制流体分配器和温度控制流体收集器相对应。在气体供应板中还形成至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器，该至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器对应于顶板中的所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器并且形成在气体供应板的第一侧或第二侧上。此外，通过形成穿过气体供应板的通孔，在气体供应板中形成多个气体供应通道。各个气体供应通道通过腹板彼此分开，并且具有位于气体供应板的第三侧的第一端和位于气体供应板的第四侧的第二端。然而，气体供应通道不完全延伸到相应的侧，而是通过气体供应板的材料与气体供应板的外边缘间隔开。气体供应板的第三侧和第四侧与气体供应板的第一侧和第二侧不同，其中第四侧与第三侧相对置。
[0030] 在该具体实施例中将各板彼此气密连接的步骤被扩展并且分成多个单独的子步骤。在第一子步骤中，底板、温度控制板和盖板通过连接方法气密地彼此连接，使得这些板的边缘叠置并且在盖板中的所述至少一个温度控制流体分配器覆盖与其对应的所有温度控制通道的第一端，并且盖板中的所述至少一个温度控制流体收集器覆盖与其对应的所有温度控制通道的第二端。由此产生第一板组合。在第二子步骤中，在一个共同的工作过程中在盖板中形成第一气体通孔、在温度控制板的腹板中形成第一腹板孔并且在底板中形成第一气体出口，其中气体通孔完全穿过盖板，腹板孔完全穿过温度控制板，并且气体出口完全穿过底板。由此产生的第一气体通道用于分配气体，该气体在气体分配器的操作期间由气体供应附件、顶板中的第一气体开口和气体供应板中的气体供应通道提供。在第三个子步骤中，第一板组合、气体供应板和顶板通过连接方法气密地彼此连接，使得这些板的边缘叠置并且气体供应板和顶板中的温度控制流体分配器和温度控制流体收集器对应于盖板中的所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器，并且顶板中的第一气体供应开口完全覆盖气体供应通道的第一端。
[0031] 除了温度控制流体供应附件和温度控制流体出口附件与顶板的气密连接之外，第一气体供应附件与顶板气密地连接，使得气体供应附件完全覆盖顶板中的气体供应开口。此外，在一个共同的工作过程中在顶板中形成气体入口、在气体供应板的腹板中形成腹板孔并且在盖板中形成第二气体通孔、在温度控制板的腹板中形成第二腹板孔并且在底板中形成第二气体出口。在此，气体入口完全穿过顶板，腹板孔完全穿过温度控制板或气体供应板，气体通孔完全穿过盖板，并且气体出口完全穿过底板。在该步骤中形成的第二气体通道用于分配在气体分配器的操作期间在顶板上方提供的气体，使得气体可以流过顶板中的气体入口、气体供应板中的腹板孔、盖板中的第二气体通孔、所述温度控制板中的所述第二腹板孔和所述底板中的所述第二气体出口进入所述底板下方的加工区。
[0032] 该方法可以通过结合进一步的步骤或形成另外的开口并提供气体分配器的其他元件来扩展，并且适合于要生产的所需气体分配器，使得例如可以制造用于两种以上气体的气体分配器，如已经参考根据本发明的气体分配器所述的。
[0033] 由于分配给特定气体的气体通道，即盖板中的第一气体通孔、温度控制板的腹板中的第一腹板孔和底板中的第一气体出口或顶板中的气体入口、气体供应板腹板中的腹板孔、盖板中的第二气体通孔、温度控制板腹板中的第二腹板孔和底板中的第二气体出口，在一个共同工作过程中形成，所以它们具有光滑的表面并且可以以简单且成本有利的方式制造得非常小并且紧密地布置。
[0034] 温度控制通道和气体供应通道以及顶板中的气体供应开口和各种板中的温度控制流体分配器和温度控制流体收集器可以通过成本有利的制造工艺形成，例如激光切割、水射流切割、铣削等。气体通道通过合适的制造方法制造，例如钻孔、金属丝腐蚀、激光切割、水射流切割或其他已知方法。各个板气密地彼此连接，例如通过真空钎焊、扩散熔焊或粘合。这确保了温度控制板和可选的气体供应板在腹板的区域中也气密地连接到相邻的板。附件也可以通过这种方法连接到顶板，但是其他连接方法也是可能的，只要它们确保气密连接即可。
[0035] 优选地，在各个板彼此气密连接的步骤之后或者在通过连接方法制造第一板组合之后并且在板或第一板组合中形成开口和孔的步骤之前，实施检查气体分配器相对于温度控制流体的密封性的步骤，所述温度控制流体在制成的气体分配器使用时流过所述温度控制流体分配器进入温度控制通道的第一端、穿过温度控制通道并且从温度控制通道的第二端出来穿过所述温度控制流体收集器。为此，可以将流体(例如温度控制流体)引入第一板组合中，使得流体通过温度控制流体分配器流入温度控制通道的第一端、穿过温度控制通道并从温度控制通道的第二端出来穿过温度控制流体收集器流出。当然，也可以使用其他检查密封性或检查连接步骤的实施的方法。因此，在形成气体通道之前可以检查相应的连接步骤的质量，并且如果需要，可以再次进行连接步骤。如果制造用于分配两种不同气体的气体分配器，则在盖板中形成第一气体通孔、在温度控制板的腹板中形成第一腹板孔和在底板中形成第一气体出口的步骤之后，在第一板组合、气体供应板和顶板彼此连接之前，可以再次执行用于检查第一板组合的密封性的步骤。
[0036] 优选地，温度控制板中的腹板构造成使得腹板在所有区域中具有与温度控制板相同的厚度。
[0037] 进一步优选地，温度控制板中的腹板构成为使得腹板在形成有腹板孔的区域中具有比在其他区域中大的宽度。
[0038] 优选地，温度控制板中的腹板构造成使得位于两个相邻温度控制通道之间的温度控制板材料的宽度大于或者等于位于温度控制通道和构成的腹板孔之间的温度控制板材料的宽度。也就是说，在制成腹板孔之后，在腹板孔边缘与通过温度控制板材料与该腹板孔间隔开的温度控制通道的边缘之间的距离应该小于两个相邻的温度控制通道之间的距离。在已知的待制造的腹板孔的横向延伸尺寸和假定腹板孔相对于腹板的宽度的最佳布置时，因此可以在温度控制通道的形成期间如此选择温度控制板中的腹板宽度，使得在后面的工艺步骤中产生腹板孔的区域中腹板具有满足该要求的宽度。
附图说明
[0039] 下面参考附图详细说明本发明。在图中：
[0040] 图1示出了根据本发明的气体分配器的第一实施例的示例的示意性透视图。
[0041] 图2示出了图1的气体分配器的各个元件的示意性透视图。
[0042] 图3示出了图1的气体分配器的示意俯视图，其示出了各个板的元件相对于彼此的布置。
[0043] 图4示出了图1中的气体分配器沿线A-A'的横截面。
[0044] 图5示出了根据本发明的气体分配器的第二实施例的示例的示意性透视图。
[0045] 图6示出了图5的气体分配器的各个元件的示意性透视图。
[0046] 图7示出了图5的气体分配器的示意俯视图，其示出了各个板的元件相对于彼此的布置。
[0047] 图8示出了图5中的气体分配器沿B-B'线的横截面。
[0048] 图9示出了具有多个温度控制流体供应附件和温度控制流体分配器的气体分配器的各个元件的示意性透视图。
[0049] 图10示出了根据本发明的气体分配器的温度控制板的实施例的示意性俯视图的局部。
[0050] 图11示出了根据本发明的用于制造气体分配器的方法的第一实施例的示意图。
[0051] 图12示出了根据本发明的用于制造气体分配器的方法的第二实施例的示意图。
具体实施方式
[0052] 图1以透视图示意性地示出了根据本发明的气体分配器的第一实施例的示例100。气体分配器的第一实施例适合于将气体从气体储存室引入处理区并将其分布在特定表面上。气体分配器具有底板110、温度控制板120和顶板130以及温度控制流体供应附件140和温度控制流体出口附件150。温度控制流体供应附件140包含温度控制流体供应接头141并且布置在顶板130的第一侧131上并且气密地彼此连接与顶板130连接。温度控制流体出口附件150包含温度控制流体出口接头151并且布置在顶板130的第二侧132上并且气密地与顶板130彼此连接，其中第二侧132与第一侧131相反。底板110、温度控制板120和顶板130具有同一轮廓和相同的尺寸，并且彼此一致地布置并且气密地彼此连接。图1还示出了形成在顶板130中的气体入口133。在未由附件140和150覆盖的气体分配器侧面上示出的紧固孔
160用于将气体分配器连接到其他部件、例如储气容器或处理区壁。
[0053] 图2以透视分解图示出了图1中的气体分配器的各个元件。在此特别地，可以看到在顶板130中的温度控制流体分配器134(其布置在顶板130的第一侧131上并且被图1中的温度控制流体供应附件140覆盖)和温度控制流体收集器135(其布置在顶板130的第二侧132上并且在图1中被温度控制流体出口附件150覆盖)。温度控制流体分配器134和温度控制流体收集器135是穿过顶板130的孔，并且通过顶板130的材料与顶板130的相应外边缘
136和137间隔开。此外，可以看到在温度控制板120中的温度控制通道121。各温度控制通道
121通过腹板彼此分开，并且每个温度控制通道121具有第一端123和第二端125，第一端布置在温度控制板120的第一侧124上，第二端布置在温度控制板120的第二侧上。因此，温度控制通道121分别从它们的第一端123延伸到它们的第二端125，但是不延伸到温度控制板
120的相应外边缘。例如，第二端125由温度控制板120的材料在温度控制板的第二侧126上与温度控制板120的外边缘127隔开。由于尺寸问题在图2中不能识别在腹板中形成的腹板孔，这然而要参考图4进行阐述。另外，在底板110中可以看到气体出口111，它们形成为穿过底板110的孔。每个气体入口133对应于一个在温度控制板中的腹板孔和一个气体出口111，它们一起形成一个气体通道。在图1中还可以看出，紧固孔160不仅形成在顶板130中，而且形成在温度控制板120和底板110中，其中，在每种情况下，一个位于底板110的紧固孔160对应于位于上方的在温度控制板120中的一个紧固孔160和位于上方的在顶板130中的一个紧固孔160。螺钉或铆钉或其他紧固装置可以被引导通过如此形成的紧固通道。然而，紧固孔
160也可以仅形成在顶板130中或形成在顶板130和温度控制板120中并且分别都具有内螺纹，使得螺钉可以用作紧固装置。
[0054] 图3示出了图1的气体分配器的示意性俯视图，其中各个板的元件和它们相对于彼此的布置已经可见。特别地可以看出通过腹板122彼此分开的温度控制通道121和气体出口111、形成在温度控制板120的腹板122中的腹板孔128和气体入口133，其中一个气体出口
111、一个腹板孔128和一个气体入口133精确地位于彼此之上，因此在图3的图中仅显示为一个孔。此外，一方面可以看到温度控制通道121的第一端123和布置在其上方的温度控制流体分配器134和布置在其上方的具有温度控制流体供应接头141的温度控制流体供应附件140，另一方面可以看到温度控制通道121的第二端125、设置在其上方的温度控制流体收集器135和设置在其上方的具有温度控制流体出口接头151的温度控制流体出口附件150。
[0055] 图4示出了图1中的气体分配器沿图3中所示的线A-A'的横截面视图。线A-A'最初沿着温度控制通道121a延伸，然后穿过多个腹板122a至122g分别位于形成一个腹板孔128的区域和多个温度控制通道121b至121g，并最终再次沿另一个温度控制通道121h延伸。可以看到具有气体出口111的底板110、具有温度控制通道121a至121h和腹板122a至122g的温度控制板120以及具有气体入口133、温度控制流体分配器134和温度控制流体收集器135的顶板130。还可以看到温度控制通道121a的第一端123(该剖视线最初通过该温度控制通道延伸)以及温度控制通道121h的第二端125(该剖视线最终通过该温度控制通道延伸)。此外，示出了温度控制流体供应附件140和温度控制流体出口附件150。因此，气体可以从气体储存容器(该气体储存容器布置在顶板130上方并且与顶板气密地连接130)流出，通过气体入口133、分别对应的腹板孔128和气体出口111流入到在底板110下方的处理区中并且在那里均匀且精细地分布。
[0056] 图5以示意性透视图示出了根据本发明的气体分配器的第二实施例的示例200。第二实施例的这个例子允许用气体分配器引入和分配两种不同的气体。为此目的，除了底板210、温度控制板220和顶板230之外，气体分配器还具有盖板240和气体供应板250，它们各自气密地与相邻的板连接。除了温度控制流体供应附件270和温度控制流体出口附件280之外，第一气体供应附件290和第二气体供应附件291也布置在顶板230上并且与顶板气密地连接上。顶板230还具有气体入口239。温度控制流体供应附件270包含温度控制流体供应接头271，并且温度控制流体出口附件280包含温度控制流体出口接头281。
[0057] 图6以透视分解图示出了图5中的气体分配器的各个部件，其不反映气体分配器的元件的实际尺寸关系。在这种情况下，气体分配器相对于图5中的视图围绕假想的旋转轴线旋转90°，该旋转轴线从上到下穿过气体分配器。底板210具有第一气体出口211和第二气体出口212，它们分配给不同的气体。这将在后面参照图8详细讨论。再次在温度控制板220中形成通过腹板222彼此分开的温度控制通道221。在这种情况下，每个温度控制通道221具有位于温度控制板220的第一侧224上的第一端223和位于温度控制板220的第二侧226上的第二端225。温度控制通道221不延伸到温度控制板220的外边缘，例如如针对外边缘227所示。在腹板222中形成第一腹板孔228(每个腹板孔对应于其中一个第一气体出口211)和第二腹板孔229(每个第二腹板孔分别对应于其中一个第二气体出口212)。在盖板240中形成第一气体通孔241(每个第一气体通孔对应于其中一个第一气体出口211)和第二气体通孔242(每个第二气体通孔分别对应于其中一个第二气体出口212)。此外，盖板240具有温度控制流体分配器243和温度控制流体收集器244，温度控制流体分配器覆盖温度控制通道221的第一端223，温度控制流体收集器覆盖温度控制通道的第二端225。在气体供应板250中形成温度控制流体分配器251(其对应于盖板240中的温度控制流体分配器243)和温度控制流体收集器253(其对应于盖板240中的温度控制流体收集器244)。在这种情况下，温度控制流体分配器251形成在气体供应板250的第一侧252上，而温度控制流体收集器253形成在气体供应板的第二侧254上。此外，气体供应板250具有气体供应通道255，气体供应通道通过腹板
256彼此分开。在这种情况下，每个气体供应通道255具有在气体供应板250的第三侧258上的第一端257和在气体供应板250的第四侧260上的第二端259。在这里，“侧”应理解为板的邻接板外边缘的边缘区域，其中这些侧在板的拐角处重叠。由于板具有近似正方形的轮廓，因此存在四个侧，其中第一侧和第二侧以及第三侧和第四侧彼此相对置。在腹板256中形成有腹板孔261，其对应于底板210中的第二气体出口212、温度控制板220中的第二腹板孔229和盖板240中的第二气体通孔242。气体供应通道255覆盖盖板240中的第一气体通孔241，其对应于温度控制板220中的第一腹板孔228和底板210中的第一气体出口211。在顶板230中可以看到温度控制流体分配器231(其设置在顶板230的第一侧232上，并且在图5中由温度控制流体供应附件270覆盖)和温度控制流体收集器233(该温度控制流体收集器布置在顶板230的第二侧234上并且在图5中由温度控制流体出口附件280覆盖)。温度控制流体分配器231对应于气体供应板250中的温度控制流体分配器250和盖板240中的温度控制流体收集器233，而温度控制流体收集器233与气体供应板250中的温度控制流体收集器253和盖板
240中的温度控制流体收集器244相对应。此外，还可以看到第一气体供应开口235(其布置在顶板230的第三侧236上并且在图5中被第一气体供应附件290覆盖)和第二气体供应开口
237(其布置在顶板230的第四侧238上并且在图5中由第二气体供应附件291覆盖)。第一气体供应开口235覆盖气体供应通道255的第一端257，而第二气体供应开口237覆盖气体供应通道255的第二端259。顶板230中的气体入口239对应于底板中的第二气体出口212。
[0058] 温度控制流体分配器243、251和231以及温度控制流体收集器244、253和233以与温度控制通道221、气体供应通道255以及第一和第二气体供应开口235、237相同的方式是穿过相应板的贯通孔并且通过相应板的材料与相应的外边缘间隔开。因此，温度控制通道221分别从它们的第一端223延伸直到它们的第二端225，但是不延伸到温度控制板220的相应外边缘。以相同的方式，气体供应通道255各自从它们的第一端257延伸到它们的第二端
259，但是不延伸到气体供应板250的相应外边缘。
[0059] 图7示出了图5的气体分配器的示意性俯视图，其中各个板的元件及其相对于彼此的布置已经可见。特别地，可以看到温度控制通道221(它们通过腹板222彼此分开)和气体供应通道255(它们通过腹板256彼此分开)。此外，可以看到第一气体出口211、温度控制板220中的第一腹板孔228和第一气体通孔241，其中分别一个第一气体出口211、一个第一腹板孔228和一个第一气体通孔241精确地位于彼此之上并且因此在图7的图中仅显示为一个孔。另外，分别叠置的第二气体出口212、第二腹板孔229、第二气体通孔242、气体供应板250中的腹板孔261和气体入口239在图7中仅显示为一个孔。
[0060] 此外，还可以看到温度控制流体分配器243、251和231以及布置在其上方的温度控制流体供应附件270(它们布置在温度控制通道221的第一端223上方)以及温度控制流体收集器244、253和233以及布置在其上方的温度控制流体出口附件280(它们布置在温度控制通道221的第二端225上方)。还示出了第一气体供应附件290和第一气体供应开口235(它们布置在气体供应通道255的第一端257上方)和第二气体供应附件291和第二气体供应开口237(它们布置在气体供应通道255的第二端259的上方)。
[0061] 图8示出了图5中的气体分配器沿图7中所示的线B-B'的横截面视图。线B-B'最初与温度控制流体供应接头271相交，然后在温度控制流体供应接头271内折弯90°，一直延伸到温度控制通道221a，再次折弯90°，然后进一步平行于该线的第一段延伸。在这种情况下，该剖视线与温度控制板220中的多个温度控制通道221a至221h和腹板222a至222g分别在构成有第一腹板孔228或第二腹板孔229的区域内相交，并且与气体供应板250中的多个气体供应通道255a至255e和腹板256a至256c分别在构成有腹板孔261的区域内相交，并最终与腹板256d和气体供应通道255e在气体供应通道的第一端257的区域内相交。再次可以看到具有第一气体出口211和第二气体出口212的底板210、具有温度控制通道221a至221h、腹板222a至222g和第一和第二腹板孔228、229的温度控制板220、具有第一气体通孔241和第二气体通孔242以及温度控制流体分配器243的盖板240以及具有气体供应通道255a至255e、腹板256a至256d和腹板孔261以及温度控制流体分配器251的气体供应板250以及具有气体入口239、温度控制流体分配器231和第一气体供应开口235的顶板230。还示出了具有温度控制流体供应接头271的温度控制流体供应附件270和第一气体供应附件290。因此，第一气体可以从第一气体储存容器(该第一气体储存容器位于第一气体供应附件290和第二气体供应附件291的上方并且气密地与它们连接)流出、通过第一气体供应开口235和第二气体供应开口237(图8中未示出)流入到气体供应通道255并从这些气体供应通道通过第一气体通孔241、在温度控制板220中的第一腹板孔228和第一气体出口211进入底板210下方的处理区中并且在那里均匀和精细分布。第二气体可以从位于顶板230上方的且与顶板气密地连接230的第二气体储存容器流出、通过气体入口239、在气体供应板250中的分别对应的腹板孔261、第二气体通孔242、在温度控制板220中的第二腹板孔229和第二气体出口212流入到处理区中并且在那里均匀和精细分布。因此，提供两种类型的气体通道，不同的气体可以通过这两种气体通道。
[0062] 第一实施例或第二实施例的气体分配器还可以具有多个温度控制流体供应附件和多个温度控制流体出口附件以及相应的许多温度控制流体分配器和温度控制流体收集器。图9示出了第一实施例的气体分配器的示例，其具有三个温度控制流体供应附件140a、140b和140c，三个温度控制流体出口附件150a、150b和150c以及在顶板130中的三个温度控制流体分配器134a、134b和134c以及三个温度控制流体收集器135a、135b和135c。在这种情况下，温度控制流体分配器134a覆盖温度控制通道121的第一数量的第一端123，温度控制流体分配器134b覆盖温度控制通道121的第二数量的第一端123，并且温度控制流体分配器
134c覆盖温度控制通道121的第三数量的第一端123，其中每个温度控制流体分配器134a至
134c覆盖不同的温度控制通道121。第一、第二和第三数字可以不同或至少部分相同。在所示的情况下，第一、第二和第三数字是相同的。然而，例如，第一数字和第三数字也可以相同，而第二数字大于第一数字。每个温度控制流体供应附件140a至140c对应于特定的温度控制流体分配器134a至134c。因此，温度控制流体供应附件140a对应于温度控制流体分配器134a，温度控制流体供应附件140b对应于温度控制流体分配器134b，并且温度控制流体供应附件140c对应于温度控制流体分配器134c。温度控制流体出口附件150a至150c对应于特定的温度控制流体收集器135a至135c。因此，温度控制流体出口附件150a对应于温度控制流体收集器135a，温度控制流体出口附件150b对应于温度控制流体收集器135b，并且温度控制流体出口附件150c对应于温度控制流体收集器135c。在这种情况下，温度控制流体收集器135a覆盖温度控制通道121的第一数量的第二端125，温度控制流体收集器135b覆盖温度控制通道121的第二数量的第二端125，并且温度控制流体收集器135c覆盖温度控制通道121的第三数量的第二端125，其中每个温度控制流体收集器135a至135c覆盖不同的温度控制通道121。关于温度控制通道的被覆盖的第二端125的数量，相应地参考由温度控制流体分配器134a至134c覆盖的温度控制通道的第一端123的数量。优选地，温度控制流体收集器150a至150c中的特定一个正好覆盖这些温度控制通道121的第二端125，这些温度控制通道的第一端被温度控制流体分配器134a至134c中的特定一个覆盖。
[0063] 替代地，可以如参考图1所述仅形成一个温度控制流体出口附件150和一个温度控制流体收集器135。在每种情况下，经由温度控制流体供应附件140a和温度控制流体分配器134a可以例如将具有第一温度的温度控制流体引入到温度控制通道121的第一数量的第一端123中，而例如具有不同温度的温度控制流体可通过相互对应的温度控制流体供应附件
140b、140c和温度控制流体分配器134b、134c被引入到温度控制通道121的第二数量和第三数量的第一端123中。因此，各个温度控制流体的温度可以精确地适应温度控制，该温度控制将在气体分配器内的特定位置处实现。特别地，因此可以实现气体分配器的均匀温度控制和/或可以补偿外部影响，其例如由于气体分配器在其侧边缘区域中的强烈散热引起。
[0064] 尽管在图中示出了气体通道的均匀布置和分布，但是可以形成气体通道的任何合适的布置或分布(对于如图5至图9中不同的气体亦如此)，如果相应地配置温度控制通道和气体供应通道的布置。此外，孔和开口可以具有任意和彼此不同的形状(例如圆形、椭圆形、四边形或多边形)和尺寸，只要确保一种或多种气体和温度控制流体的通过即可。
[0065] 作为一个例子，提到了表1中列出的各个组件的值，但是根据本发明的气体分配器不限于特定尺寸。长度和宽度以及厚度形成笛卡尔系统，然而板不必是矩形的，而是可以具有任何形状。然而，优选它们是矩形的。在温度控制通道和气体供应通道以及附属腹板的情况下，长度是在相应通道的第一和第二端之间的延伸尺寸，其中包括相应的端部。在温度控制流体分配器、温度控制流体收集器和气体供应开口的情况下，长度是横向于各个温度控制通道或气体供应通道的被元件覆盖的端部的延伸尺寸。
[0066] 表格1
[0067]
[0068]
[0069] 图10示出了气体分配器的温度控制板120的示意性俯视图的一部分。这示出了温度控制板120的一区段，其具有温度控制通道121、腹板122和温度控制通道的第一端123。腹板和温度控制通道具有在x方向上测量的宽度和在y方向上测量的长度，其中温度控制通道和腹板在图10中未示出其全长。腹板122包含第一区域1221，在该第一区域中形成有腹板孔128，这些腹板孔在图10中显示为黑色圆圈。第一区域1221具有比第二腹板区域1222大的宽度，在第二腹板区域中没有形成腹板孔128，因此温度控制通道121形成“蛇形线”，在其中温度控制流体可以特别有效地温度控制第一区域1221和流过腹板孔128的气体。相邻的各腹板122的第一区域1221沿y错开地布置，由此能够在给定表面上实现高密度的第一区域1221和腹板孔128。同时，两个相邻的温度控制通道121之间、即第二区域1222中的腹板材料的宽度大于在温度控制通道121和腹板孔128之间在第一区域1221内的腹板材料的宽度。因此，流过腹板孔128的气体可以通过温度控制流体特别有效地进行温度控制。此外，温度控制通道121沿y方向直线延伸，即没有转弯、弯曲或折弯(除了腹板122的第一区域1221周围)，从而可以实现温度控制流体的较大的通过量和可以在所有温度控制通道上及其整个长度上实现均匀的流动条件。
[0070] 参照图10中的温度控制板120进行的相同配置和陈述也适用于温度控制板220。气体供应板250中的气体供应通道255和腹板256可以以相同的方式配置，其中形成有腹板孔261的腹板256的第一区域对应于温度控制板220中的腹板222的第一区域和形成在其中的第一腹板孔228。
[0071] 图11示出了根据本发明的用于制造气体分配器的第一实施例的方法的第一实施例的示意图。首先，在步骤S110中，提供底板、温度控制板和顶板，它们具有同一轮廓并且优选地是全等的。底板和顶板没有气体入口或气体出口。在温度控制板中还没有形成腹板孔或其他的属于气体通道的孔。此外，提供至少一个温度控制流体供应附件和至少一个温度控制流体出口附件。在步骤S120中，通过形成穿过温度控制板的通孔，在温度控制板中形成如上所述的多个温度控制通道。在步骤S130中，同样如上所述，通过形成穿过顶板的通孔，在顶板中形成至少一个温度控制流体分配器和至少一个温度控制流体收集器。步骤S110、S120和S130可以以任何顺序或甚至部分地同时进行，使得在步骤S110中已经提供具有温度控制通道的温度控制板和/或具有所述至少一个温度控制流体分配器和所述至少一个温度控制流体收集器的顶板。
[0072] 在随后的步骤S140中，底板、温度控制板和顶板通过连接方法气密地彼此连接。在这种情况下，各板的边缘上下布置并且顶板布置成，输送使得至少一个温度控制流体分配器覆盖与其对应的温度控制通道的第一端并且所述至少一个温度控制流体收集器覆盖与其对应的温度控制通道的第二端。顶板和底板还没有气体入口或气体出口，并且温度控制板仍然还没有腹板孔。
[0073] 在步骤S150中，所述至少一个温度控制流体供应附件和所述至少一个温度控制流体出口附件与顶板气密地连接。各元件相对于彼此布置，使得所述至少一个温度控制流体供应附件完全覆盖与其对应的温度控制流体分配器，并且所述至少一个温度控制流体出口附件完全覆盖与之对应的温度控制流体收集器。
[0074] 在步骤S160中，通过在一个共同工作过程中在顶板中形成气体入口、在温度控制板的腹板中形成腹板孔并且在底板中形成气体出口，形成气体通道。步骤S160可以在步骤S150之前或之后执行，但是总是在步骤S140之后执行。因此，各个板不再相对于彼此滑动，并且所形成的气体通道具有光滑的表面和直的延伸，从而不会阻碍气体穿过。此外，形成气体通道的所有孔和开口的共同形成可以比各单个板中的孔或开口的单独形成以及之后在一个用于连接板的步骤中将这些孔和开口相互对齐相比更简单且成本有利地实现。此外，在用于形成温度控制通道和用于形成腹板孔的制造方法的相应精度时，可以使用该方法生产具有零泄漏率的气体分配器。
[0075] 图12示出了根据本发明的方法的第二实施例的示意图，该方法用于制造气体分配器的第二实施例的示例，其与参照图5至8描述的气体分配器的第二实施例的示例不同仅在于：气体分配器仅具有一个气体供应附件，并且在顶板中仅具有一个气体供应开口。首先，在步骤S210中，提供底板、温度控制板、盖板、气体供应板和顶板，它们具有同一轮廓并且优选地是全等的。此时底板和顶板没有气体入口或气体出口，温度控制板和气体供应板仍然没有腹板孔或其他属于气体通道的孔，并且盖板仍然没有气体通孔。另外，提供温度控制流体供应附件和温度控制流体出口附件以及气体供应附件。
[0076] 在步骤S220中，如上所述，通过形成穿过温度控制板的孔，在温度控制板中形成多个温度控制通道。在盖板中，在步骤S230中，温度控制流体分配器和温度控制流体收集器形成为穿过盖板的孔。在步骤S240中，如上所述，气体供应通道以及温度控制流体分配器和温度控制流体收集器在气体供应板中形成为穿过气体供应板的通孔。在步骤S250中，通过形成穿过顶板的通孔，在顶板中形成温度控制流体分配器和温度控制流体收集器以及如上所述的气体供应开口。步骤S210至S250可以以任何顺序执行或者也可以部分地同时执行，使得在步骤S210中已经提供具有温度控制通道的温度控制板和/或提供具有气体供应通道的气体供应板和/或提供包括盖板、气体供应板和顶板的组的一个或多个设有温度控制流体分配器和温度控制流体收集器的板和/或提供具有气体供应开口的顶板。
[0077] 在随后的步骤S260中，底板、温度控制板和盖板通过连接方法气密地彼此连接。由此形成第一板组合，其中板的边缘上下布置并且盖板布置成，使得温度控制流体分配器覆盖温度控制通道的第一端并且温度控制流体收集器覆盖温度控制通道的第二端。盖板和底板仍然没有气体通孔或气体出口，并且温度控制板仍然没有腹板孔。
[0078] 在随后的步骤S270中，通过在一个共同的工作过程中形成盖板中的第一气体通孔、温度控制板中的第一腹板孔和底板中的第一气体出口，在第一板组合中产生第一气体通道。
[0079] 随后，在步骤S280中通过连接方法气密地彼此连接第一板组合和气体供应板以及顶板，其中板的边缘彼此上下布置并且气体供应板和顶板布置成，使得各单个板的温度控制流体分配器和温度控制流体收集器彼此上下布置，并且顶板中的气体供应开口覆盖气体供应通道的第一端，气体供应板和顶板仍然没有腹板孔或气体入口。
[0080] 在步骤S290中，温度控制流体供应附件和温度控制流体出口附件以及气体供应附件与顶板气密地连接。这些元件相对于彼此以这样的方式布置，使得温度控制流体供应附件完全覆盖顶板中的温度控制流体分配器，温度控制流体出口附件完全覆盖顶板中的温度控制流体收集器，并且气体供应附件中完全覆盖气体供应开口。
[0081] 在步骤S300中，通过在一个共同的工作过程中在顶板中形成气体入口、在气体供应板的腹板中形成腹板孔、在盖板中形成第二气体通孔、在温度控制的腹板中形成第二腹板孔和在底板中形成第二气体出口，形成第二气体通道。步骤S300可以在步骤S290之前或之后执行，但是总是在步骤S280之后执行。因此，各个板不再能相互滑动。
[0082] 通过该方法形成的第一和第二气体通道具有光滑的表面和直的延伸，从而不会妨碍气体穿过。此外，形成第一或第二气体通道的所有孔和开口的共同形成可以比各单个板中的孔或开口的单独形成以及之后在一个用于连接板的步骤中将这些孔和开口相互对齐相比更简单且成本有利地实现。此外，在用于形成温度控制通道和气体供应通道和用于形成腹板孔的制造方法的相应精度时，可以使用该方法生产具有零泄漏率的用于多种气体的气体分配器。
[0083] 可选地，在步骤S140之后且在步骤S160之前或在步骤S260之后且在步骤S270之前，可以实施用于检查相应的板组合相对于温度控制流体的密封性的步骤。为此，温度控制流体通过温度控制流体分配器引入温度控制通道中。
[0084] 该方法的各种扩展是可能的，以便产生根据本发明的气体分配器的非常不同的实施例，然而本领域技术人员可以基于这里给出的实施例容易地识别和实现这些实施例。
[0085] 附图标记列表
[0086] 100 用于气体分配器的第一实施例的示例
[0087] 110 底板
[0088] 111 气体出口
[0089] 120 温度控制板
[0090] 121 温度控制通道
[0091] 122 温度控制板中的腹板
[0092] 1221 腹板的第一区域
[0093] 1222 腹板的第二区域
[0094] 123 温度控制通道的第一端
[0095] 124 温度控制板的第一侧
[0096] 125 温度控制通道的第二端
[0097] 126 温度控制板的第二侧
[0098] 127 温度控制板在第二侧的外边缘
[0099] 128 腹板孔
[0100] 130 顶板
[0101] 131 顶板的第一侧
[0102] 132 顶板的第二侧
[0103] 133 气体入口
[0104] 134、134a-c 温度控制流体分配器
[0105] 135 温度控制流体收集器
[0106] 136,137 顶板的外边缘
[0107] 140,140a-c 温度控制流体供应附件
[0108] 141 温度控制流体供应接头
[0109] 150 温度控制流体出口附件
[0110] 151 温度控制流体出口接头
[0111] 160 紧固孔
[0112] 200 用于气体分配器的第二实施例的示例
[0113] 210 底板
[0114] 211 第一气体出口
[0115] 212 第二气体出口
[0116] 220 温度控制板
[0117] 221 温度控制通道
[0118] 222 温度控制板中的腹板
[0119] 223 温度控制板通道的第一端
[0120] 224 温度控制板的第一侧
[0121] 225 温度控制板通道的第二端
[0122] 226 温度控制板的第二侧
[0123] 227 温度控制板在第二侧的外边缘
[0124] 228 第一腹板孔
[0125] 229 第二腹板孔
[0126] 230 顶板
[0127] 231 温度控制流体分配器
[0128] 232 顶板的第一侧
[0129] 233 温度控制流体收集器
[0130] 234 顶板的第二侧
[0131] 235 第一气体供应开口
[0132] 236 顶板的第三侧
[0133] 237 第二气体供应开口
[0134] 238 顶板的第四侧
[0135] 239 气体进口
[0136] 240 盖板
[0137] 241 第一气体通孔
[0138] 242 第二气体通孔
[0139] 243 温度控制流体分配器
[0140] 244 温度控制流体收集器
[0141] 250 气体供应板
[0142] 251 温度控制流体分配器
[0143] 252 气体供应板的第一侧
[0144] 253 温度控制流体收集器
[0145] 254 气体供应板的第二侧
[0146] 255 气体供应通道
[0147] 256 气体供应板中的腹板
[0148] 257 气体供应通道的第一端
[0149] 258 气体供应板的第三侧
[0150] 259 气体供应通道的第二端
[0151] 260 气体供应板的第四侧
[0152] 261 腹板孔
[0153] 270 温度控制流体供应附件
[0154] 271 温度控制流体供应接头
[0155] 280 温度控制流体出口附件
[0156] 281 温度控制流体出口接头
[0157] 290 第一气体供应附件
[0158] 291 第二气体供应附件
