液体喷射装置

摘要

本发明提供一种液体喷射装置，其改善了对液体喷射装置中的流道的流道阻力进行控制的技术。液体喷射装置具备：喷嘴；压力室，其产生从喷嘴喷出液体的压力；流道，其与压力室相连接，并供液体流通；流道壁部，其以改变流道的一部分的截面积的方式进行位移，从而改变流道的流道阻力；致动器，其使流道壁部进行位移。在致动器与流道壁部之间设置有放大位移机构。放大位移机构具备：弹性材料，其通过致动器的位移而进行弹性变形；收纳室，其通过流道壁部而被与流道分隔开，并对弹性材料进行收纳。在流道壁部中，受到来自弹性材料的压力而进行挠曲变形的部位的面积小于弹性材料从致动器受到压力的部位的面积。

权利要求

1.一种液体喷射装置，具备：

喷嘴，其喷出液体；

压力室，其与所述喷嘴连通，且对所述液体进行收纳；压力产生部，其使所述压力室产生用于从所述喷嘴喷出所述液体的压力；流道，其与所述压力室相连接，并供所述液体流通；

流道阻力变更部，其通过改变所述流道中的流道阻力，从而对所述压力室与所述流道之间的压力的传递进行控制，所述压力产生部具备：

隔膜，其构成所述压力室的壁面的一部分；

第一致动器，其产生用于使所述隔膜挠曲变形的位移，所述流道阻力变更部具备：

流道壁部，其构成所述流道的壁面的一部分，并以改变所述流道的一部分的截面积的方式而进行位移，从而改变所述流道中的流道阻力；

第二致动器，其使所述流道壁部进行位移；

放大位移机构，其被设置在所述第二致动器与所述流道壁部之间，所述放大位移机构使所述流道壁部的位移量与所述第二致动器的位移量相比而增大，所述放大位移机构具备：

弹性材料，其与所述第二致动器相连接，并通过所述第二致动器的位移而进行弹性变形；

收纳室，其通过所述流道壁部而被与所述流道分隔开，并将所述弹性材料收纳于所述流道壁部的上方，在所述流道壁部中，受到来自所述弹性材料的压力而在所述流道与所述收纳室之间进行挠曲变形的部位的面积小于所述弹性材料从所述第二致动器受到压力的部位的面积。

2.如权利要求1所述的液体喷射装置，其中，所述流道壁部由如下的隔膜构成，所述隔膜在通过从所述弹性材料受到的压力而向使所述流道的截面积缩小的第一方向进行了位移时，以产生作用于与所述第一方向相反的第二方向上的弹性力的方式而进行挠曲变形。

3.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射装置，其中，所述放大位移机构还具备密封壁部，所述密封壁部被配置于所述第二致动器与所述弹性材料之间并对所述收纳室进行密封，且根据所述第二致动器的位移而进行位移。

4.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射装置，其中，所述流道包括：

供给流道，其供给向所述压力室所供给的所述液体；

连通流道，其将所述供给流道与所述压力室连通，并具有在所述供给流道中开口的开口端部，所述流道壁部在所述供给流道中被设置在面对所述连通流道的所述开口端部的位置处，并以堵塞所述开口端部的方式进行位移，从而对所述液体向所述压力室的流入进行抑制。

5.如权利要求4所述的液体喷射装置，其中，所述连通流道中的所述开口端部侧的内周壁面以开口直径在朝向所述流道壁部的方向上扩大的方式而倾斜，所述流道壁部在向使所述流道的截面积缩小的方向进行了位移时，与所述内周壁面接触而对所述连通流道进行密封。

6.如权利要求4所述的液体喷射装置，其中，所述流道包括在与所述连通流道相比靠下游侧与所述供给流道相连接的循环流道，所述液体喷射装置还具备循环部，所述循环部以使所述液体流入所述循环流道的方式而使所述循环流道产生负压，并且使流入所述循环流道的所述液体向所述供给流道循环。

7.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射装置，其中，所述流道具备：

供给流道，其供给向所述压力室所供给的所述液体；

连通流道，其将所述供给流道与所述压力室连通；

第一循环流道，其在与所述连通流道相比靠下游侧与所述供给流道相连接，并从所述供给流道流入有所述液体；

第二循环流道，其与所述压力室相连接，并流入有所述压力室的所述液体；

汇合循环流道，其与所述第一循环流道和所述第二循环流道相连接，所述液体喷射装置还具备循环部，所述循环部使所述汇合循环流道产生负压，以使所述液体从所述第一循环流道和所述第二循环流道流入所述汇合循环流道，并且使流入所述汇合循环流道的所述液体向所述供给流道循环，所述第一循环流道具有在所述汇合循环流道中开口的连接开口，所述流道壁部在所述汇合循环流道中以面对所述连接开口的方式而被设置，并以堵塞所述连接开口的方式而进行位移。

8.如权利要求1所述的液体喷射装置，其中，所述流道壁部通过弹性支承部件而被支承，

所述弹性支承部件在所述第二致动器进行位移而向所述弹性材料施加了压力时，以产生作用于从所述流道朝向所述收纳室的方向上的弹性力的方式而进行变形，从而使所述流道壁部的位置向所述流道的截面积被缩小的方向移动。

9.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射装置，其中，在所述弹性材料的内部分散有填料，所述填料与所述弹性材料相比压缩率较小。

10.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射装置，其中，还具备调节部，所述调节部将所述第二致动器向所述弹性材料一侧按压，从而对使所述第二致动器驱动之前的所述流道壁部的初始的位置进行调节。

说明书

液体喷射装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种液体喷射装置。

背景技术

[0002] 一直以来，提出有通过致动器而对收纳于压力室内的喷出用的液体施加压力从而使所述液体从与压力室连通的喷嘴喷出的各种各样的液体喷射装置。在这样的液体喷射装置中，具有一种液体喷射装置，其通过致动器而使与压力室连接的液体的流道的内壁面进行位移，从而对该流道的流道阻力以可变的方式而进行控制(例如，下述的专利文献1、2等)。

[0003] 在如上所述的液体喷射装置中，为了提高液体的喷射的精度，优选为以更高的精度而对压力室的压力进行控制。因此，关于与压力室连接的液体的流道中的流道阻力的控制，也优选为能够在更大的范围内进行调节，并优选为能够更高速地进行变更以抑制响应延迟。而且，这样的流道阻力的控制优选为通过更简单的结构而被实现。

[0004] 专利文献1：日本特开2001-63047号公报

[0005] 专利文献2：日本特开2011-213094号公报

发明内容

[0006] 本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的方式来实现。

[0007] [1]根据本发明的一个方式，提供了一种液体喷射装置。该方式的液体喷射装置具备：喷嘴，其喷出液体；压力室，其与所述喷嘴连通，且对所述液体进行收纳，并产生用于从所述喷嘴喷出所述液体的压力；流道，其与所述压力室相连接，并供所述液体流通；流道壁部，其构成所述流道的壁面的一部分，并以改变所述流道的一部分的截面积的方式而进行位移，并改变所述流道中的流道阻力；致动器，其使所述流道壁部进行位移。在所述致动器与所述流道壁部之间设置有放大位移机构，所述放大位移机构使所述流道壁部的位移量与所述致动器的位移量相比而增大。所述放大位移机构具备：弹性材料，其与所述致动器相连接，并通过所述致动器的位移而进行弹性变形；收纳室，其通过所述流道壁部而被与所述流道分隔开，并将所述弹性材料收纳于所述流道壁部的上方，在所述流道壁部中，受到来自所述弹性材料的压力而在所述流道与所述收纳室之间进行挠曲变形的部位的面积小于所述弹性材料从所述致动器受到压力的部位的面积。

[0008] 根据该方式的液体喷射装置，由于能够通过放大位移机构而使流道壁部的相对于致动器的驱动的移动量增大，因此，能够以更大的范围而对流道的流道阻力进行调节、或者以更短的时间而对流道的流道阻力进行变更。因此，能够以更高的精度而对压力室的压力进行控制。另外，在该方式的液体喷射装置中，放大位移机构通过如下的简单的结构而被实现，所述结构为，通过经由收纳室的弹性材料而传递压力，从而与致动器的位移量相比而使流道壁部的位移量增大的结构。如果采用这种结构的放大位移机构，则由于能够减少由刚体构成的关节机构或齿轮的使用位置，因此，抑制了液体喷射装置中的机械磨损的发生。另外，如果采用具有这种被简化了的结构的放大位移机构，则能够实现液体喷射装置的小型化和轻量化。

[0009] [2]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述流道壁部由如下的隔膜构成，所述隔膜在通过从所述弹性材料受到的压力而向使所述流道的截面积缩小的第一方向进行位移时，以产生作用于与所述第一方向相反的第二方向上的弹性力的方式而进行挠曲变形。

[0010] 根据该方式的液体喷射装置，由于流道壁部由隔膜构成，因此，能够通过在流道壁部中产生的弹性力来提高相对于致动器的反复位移的流道壁部的位移的追随性。因此，能够提高液体喷射装置中的液体喷出的控制的精度。

[0011] [3]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述放大位移机构还具备密封壁部，所述密封壁部被配置于所述致动器与所述弹性材料之间，并对所述收纳室进行密封，且根据所述致动器的位移而进行位移。

[0012] 根据该方式的液体喷射装置，通过密封壁部而抑制了弹性材料从收纳室向致动器的一侧进行移动的情况。

[0013] [4]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述流道包括：供给流道，其供给向所述压力室所供给的所述液体；连通流道，其将所述供给流道与所述压力室连通，并具有在所述供给流道中开口的开口端部，所述流道壁部被设置于在所述供给流道中面对所述连通流道的所述开口端部的位置，并以堵塞所述开口端部的方式进行位移，从而对所述液体向所述压力室的流入进行抑制。

[0014] 根据该方式的液体喷射装置，能够通过流道壁部而精度良好地对液体从供给流道向连通流道的流入进行控制。另外，通过以堵塞开口端部的方式而使流道壁部进行位移，从而能够更有效地对为了从喷嘴喷出液体而产生的压力从压力室中泄漏的情况进行抑制。

[0015] [5]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述连通流道中的所述开口端部侧的内周壁面以开口直径在朝向所述流道壁部的方向上扩大的方式而倾斜，所述流道壁部在向使所述流道的截面积缩小的方向进行了位移时与所述内周壁面接触而对所述连通流道进行密封。

[0016] 根据该方式的液体喷射装置，能够提高由流道壁部实施的压力室的密封性。另外，由于流道壁部的位移通过开口端部的内周壁面而被引导，因此，流道壁部的位移动作进一步被平滑化。

[0017] [6]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述流道包括在与所述连通流道相比靠下游侧与所述供给流道相连接的循环流道，所述液体喷射装置还具备循环部，所述循环部以使所述液体流入所述循环流道的方式而使所述循环流道产生负压，并且使流入所述循环流道的所述液体向所述供给流道循环。

[0018] 根据该方式的液体喷射装置，通过使液体循环，从而抑制了液体滞留于压力室的情况。因此，抑制了因这样的液体的滞留而导致的液体的劣化或喷出不良的产生。另外，能够通过流道壁部来抑制液体向连通流道的流入，并且对液体向循环流道的流入进行控制。

[0019] [7]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述流道具备：供给流道，其供给向所述压力室所供给的所述液体；连通流道，其将所述供给流道与所述压力室连通；第一循环流道，其在与所述连通流道相比靠下游侧与所述供给流道相连接，并从所述供给流道流入有所述液体；第二循环流道，其与所述压力室相连接，并流入有所述压力室的所述液体；汇合循环流道，其与所述第一循环流道和所述第二循环流道相连接，所述液体喷射装置还具备循环部，所述循环部使所述汇合循环流道产生负压，以使所述液体从所述第一循环流道和所述第二循环流道流入所述汇合循环流道，并且使流入所述汇合循环流道的所述液体向所述供给流道循环，所述第一循环流道具有在所述汇合循环流道中开口的连接开口，所述流道壁部在所述汇合循环流道中以面对所述连接开口的方式而被设置，并以堵塞所述连接开口的方式而进行位移。

[0020] 根据该方式的液体喷射装置，通过在从喷嘴喷出液体时使流道壁部位移，从而能够在使液体从连通流道向压力室的流量增大的同时，抑制压力从压力室穿过第二循环流道而泄漏的情况。因此，能够有效地执行压力室中的液体的压力控制。

[0021] [8]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，所述流道壁部通过弹性支承部件而被支承，所述弹性支承部件在所述致动器进行位移而向所述弹性材料施加了压力时，以产生作用于从所述流道朝向所述收纳室的方向上的弹性力的方式而进行变形，并使所述流道壁部的位置向所述流道的截面积被缩小的方向移动。

[0022] 根据该方式的液体喷射装置，能够通过弹性支承部件而简单地产生在使流道壁部向流道的截面积被缩小的方向进行位移时所产生的相反方向的弹性力。

[0023] [9]在上述方式的液体喷射装置中，也可以采用如下的方式，即，在所述弹性材料的内部分散有填料，所述填料与所述弹性材料相比压缩率较小。

[0024] 根据该方式的液体喷射装置，由于能够通过填料来抑制弹性材料的压缩，因此，能够抑制致动器的驱动力通过弹性材料的压缩而被吸收的情况。因此，在放大位移机构中，能够提高压力从致动器向流道壁部的传递效率，并能够提高流道阻力的控制精度。

[0025] [10]上述方式的液体喷射装置也可以采用如下的方式，即，还具备调节部，所述调节部将所述致动器向所述弹性材料的一侧进行按压，从而对使所述致动器驱动之前的所述流道壁部的初始的位置进行调节。

[0026] 根据该方式的液体喷射装置，由于能够通过调节部来对放大位移机构的位移特性进行调节，因此，能够提高流道中的流道阻力的控制精度。

[0027] 上述的本发明的各方式所具有的多个结构要素并非全部是必要的结构要素，为了解决上述课题的一部分或全部，或者，为了实现本说明书所记载的效果的一部分或全部，能够对于所述多个结构要素的一部分而适当地进行其变更、删除、与新的其他结构要素之间的替换、限定内容的一部分删除。另外，为了解决上述课题的一部分或全部，或者，为了实现本说明书所记载的效果的一部分或全部，能够将上述的本发明的一个方式所含有的技术特征的一部分或全部与上述的本发明的其他方式所含有的技术特征的一部分或全部组合在一起，从而设为本发明的独立的一个方式。

[0028] 本发明还能够通过液体喷射装置以外的各种方式来实现。例如，能够通过喷出液体的头部、或对流道的流道阻力进行控制的控制装置、对头部中的压力室的压力进行控制的方法、对流道的流道阻力进行控制的方法、对流道的流道阻力进行控制的致动器所使用的放大位移机构等的方式来实现。

附图说明

[0029] 图1为表示第一实施方式中的液体喷射装置的整体结构的概要框图。

[0030] 图2为示意性地表示第一实施方式的头部的结构的概要剖视图。

[0031] 图3为表示第一实施方式的放大位移机构的动作特性的第一说明图。

[0032] 图4为表示第一实施方式的放大位移机构的动作特性的第二说明图。

[0033] 图5为示意性地表示第二实施方式的头部的结构的概要剖视图。

[0034] 图6为表示第三实施方式中的液体喷射装置的整体结构的概要框图。

[0035] 图7为示意性地表示第三实施方式的头部的结构的概要剖视图。

[0036] 图8为示意性地表示第四实施方式的头部的结构的概要剖视图。

[0037] 图9为示意性地表示第五实施方式的头部的结构的概要剖视图。

[0038] 图10为示意性地表示第六实施方式的头部的结构的概要剖视图。

具体实施方式

[0039] 1.第一实施方式：

[0040] 图1为表示第一实施方式中的液体喷射装置100A的整体结构的概要框图。液体喷射装置100A具备头部10A、控制部101和供给部110。

[0041] 头部10A向介质喷出液体DL。液体DL例如为具有预定的粘度的油墨。头部10A的动作通过控制部101而被控制。关于头部10A的结构，将在后文中叙述。

[0042] 控制部101被构成为具备CPU或存储器的计算机，并通过CPU读取并执行被存储于存储器中的控制程序或命令，从而实现用于对液体喷射装置100A进行控制的各种功能。控制程序可以被记录于非临时性的有形的各种记录介质中。控制部101可以通过电路而被构成。

[0043] 供给部110向头部10A供给液体DL。供给部110通过罐111、压力调节部115和供给通道116而构成。在罐111中收纳有液体DL。罐111内的液体DL穿过与头部10A连接的供给通道116而被供给至头部10A。

[0044] 压力调节部115被设置于供给通道116上，并穿过供给通道116而将向头部10A供给的液体DL的压力调节为预先规定的压力。压力调节部115由从罐111中抽吸液体DL的泵、或以使头部10A侧的压力成为预定的压力的方式而进行开闭的阀等而构成(省略图示)。

[0045] 图2为示意性地表示第一实施方式的头部10A的结构的概要剖视图。在图2中，图示了穿过喷嘴12的中心轴、流道15和压力室13的剖面。并且，在第一实施方式之后所说明的其他各实施方式中所参照的剖视图中，只要没有特别说明，则图示了相同的剖面。

[0046] 第一实施方式的头部10A具备金属制的壳体11，在壳体11的内部设置有喷嘴12、压力室13和流道15。喷嘴12与压力室13连通，并被设置为朝向壳体11的外部开口的贯穿孔。在第一实施方式中，由于头部10A在重力方向上喷出液体DL，因此，喷嘴12在重力方向上开口。并且，喷嘴12也可以以在重力方向以外的方向上开口的方式而设置。

[0047] 压力室13对从喷嘴12被喷出的液体DL进行收纳。在压力室13上连接有供液体DL流通的流道15。在第一实施方式中，流道15包括供给流道15a和连通流道15b。供给流道15a与供给部110的供给通道116相连接。供给流道15a从被设置于壳体11中的供给通道116的连接部起朝向压力室13延伸。连通流道15b将供给流道15a和压力室13连通。在流道15中，包括在供给流道15a中开口的连通流道15b的开口端部15be。在第一实施方式中，供给流道15a在压力室13的上方处延伸，连通流道15b从供给流道15a起向下方延伸并与压力室13连接。

[0048] 在压力室13中，经过供给流道15a和连通流道15b而被供给有液体DL。供给流道15a的压力通过供给部110的压力调节部115(图1)而被调节为喷嘴12的弯液面耐压以上的压力。而且，压力室13的压力通常通过被设置于供给流道15a与连通流道15b之间的后述的流道阻力变更部30而被调节至喷嘴12的弯液面耐压以下。

[0049] 在头部10A中还设置有压力产生部20。压力产生部20在控制部101(图1)的控制下使压力室13产生用于从喷嘴12喷出液体DL的压力、即喷出压力。在第一实施方式中，压力产生部20被设置于在水平方向上与压力室13相邻的位置上。在图2中，为了便于说明，压力产生部20用虚线来图示。

[0050] 在第一实施方式中，压力产生部20具备隔膜21和与隔膜21连接的喷出致动器22。隔膜21构成压力室13的壁面的一部分。在第一实施方式中，隔膜21构成朝向水平方向的侧壁面。隔膜21通过以挠曲变形的方式而进行位移，从而改变压力室13的容积，并使压力室13内产生喷出压力。喷出致动器22在控制部101(图1)的控制下产生用于使隔膜21挠曲变形的位移。喷出致动器22例如通过根据所施加的电压而进行伸缩的压电元件(压力元件)而构成。

[0051] 头部10A还具备流道阻力变更部30。流道阻力变更部30在控制部101(图1)的控制下通过改变流道15中的流道阻力，从而对压力室13与流道15之间的压力的传递进行控制。流道阻力变更部30具备流道壁部31、致动器35和放大位移机构40。

[0052] 流道壁部31构成流道15的壁面的一部分，并以改变流道15的一部分的截面积的方式而进行位移，从而改变流道15中的流道阻力。流道壁部31以改变流道15内的流道壁部31所面对的区域的截面积的方式而进行位移。在本说明书中，流道的“截面积”是指流道中的与液体的流动方向垂直的截面上的开口区域的面积。

[0053] 在第一实施方式中，流道壁部31构成供给流道15a的壁面的一部分，并被设置于面对连通流道15b的开口端部15be的位置上。由此，能够通过流道壁部31而精度良好地对液体DL从供给流道15a向连通流道15b的流入进行控制。

[0054] 在第一实施方式中，流道壁部31被构成为隔膜，且其外周端部通过被固定于壳体11上的膜状的部件而构成。流道壁部31根据被施加在厚度方向上的压力的变化，而如单点划线所图示的那样进行挠曲变形，从而在厚度方向上进行位移。在第一实施方式中，流道壁部31以堵塞连通流道15b的开口端部15be的方式而进行位移。

[0055] 在第一实施方式中，流道壁部31被构成为，能够位移至与开口端部15be的内周端部接触，从而成为供给流道15a与压力室13的连接被截断的状态为止。并且，在本说明书中，流道被堵塞且液体的流动被截断的状态可以被解释为，流道的流道阻力成为最大的状态。

[0056] 流道壁部31通过在进行了挠曲变形时作为复原力而产生弹性力的部件而构成。在第一实施方式中，流道壁部31通过橡胶制的膜状部件而构成。并且，流道壁部31可以不由橡胶制的部件构成，其也可以由其他的树脂部件构成，还可以由金属构成。

[0057] 流道壁部31优选为，具有大致均匀的厚度以抑制进行挠曲变形时的应力集中的产生。在此，在放大位移机构40中，在从致动器35经由弹性材料42并在从收纳室41朝向流道15的第一方向D1上向流道壁部31的表面施加了压力时，将在流道壁部31中向流道15侧最突出的部位定义为“流道壁部31的变形中心部MC”。另外，将在未进行挠曲变形的平坦的状态下的流道壁部31中的、穿过前述的变形中心部MC并将在流道壁部31中流道15的面对液体DL的区域的两端连结的线段中的具有最小长度的部位的长度，称为“挠曲变形部位的最小宽度”。此时，处于平坦的状态时的流道壁部31的厚度优选为，与挠曲变形部位的最小宽度相比而较小。由此，能够使流道壁部31易于挠曲变形，从而能够提高流道壁部31的位移相对于弹性材料42的位移的追随性。

[0058] 在此，可以认为，流道壁部31经由弹性材料42而受到的压力被均匀地传递至流道壁部31的表面。因此，在流道壁部31中面对流道15的部位的外周形状为圆形形状的情况下，流道壁部31的变形中心部MC可以被解释为该圆形形状的中心。该情况下的挠曲变形部位的最小宽度可以被解释为圆形形状的直径。另外，同样，在流道壁部31中面对流道15的部位的外周形状为正方形形状或长方形形状的情况下，流道壁部31的变形中心部可以被解释为该正方形形状或长方形形状的中心。该情况下的挠曲变形部位的最小宽度可以被解释为该正方形形状的一边的长度或该长方形形状的短边的长度。

[0059] 致动器35在控制部101(图1)的控制下进行驱动，从而使流道壁部31进行位移。致动器35被收纳于驱动室36中，驱动室36为被设置于壳体11的内部的空间。在第一实施方式中，致动器35由根据施加电压而进行伸缩变形的压电元件构成。致动器35的伸缩方向上的第一端部35a经由调节部60而被固定于壳体11上。关于调节部60将在后文中叙述。

[0060] 当致动器35进行伸缩时，与第一端部35a相反的一侧的第二端部35b的位置进行移动。致动器35的位移量为由致动器35的伸缩而导致的第二端部35b的移动距离。致动器35的第二端部35b经由连结部37而与放大位移机构40相连接。

[0061] 致动器35所产生的位移经由放大位移机构40而向流道壁部31被传递。放大位移机构40被设置于致动器35与流道壁部31之间，并使流道壁部31的位移量与致动器35的位移量相比而增大。放大位移机构40具备收纳室41、弹性材料42和密封壁部43。

[0062] 收纳室41作为设置于壳体11的内部的中空部位而构成，并通过密封壁部43和流道壁部31而被密封。在壳体11内部，收纳室41和驱动室36通过密封壁部43而被分隔开，且收纳室41和流道15通过流道壁部31而被分隔开。

[0063] 在收纳室41内收纳有弹性材料42。弹性材料42通过致动器35的位移而进行弹性变形。在第一实施方式中，弹性材料42经由密封壁部43而受到来自致动器35的压力。弹性材料42由如液体那样可全方位地呈现传递压力的流体的性质的材料而构成。弹性材料42在从外部受到压力而变形时所表现出的流动性越高，则越为优选。弹性材料42例如由以硅橡胶为代表的各种各样的橡胶材料构成。弹性材料42例如通过真空注塑而被成形。

[0064] 弹性材料42优选为，以与收纳室41的侧壁面之间几乎不产生间隙的方式而被填充于收纳室41内。由此，在弹性材料42被致动器35按压时，通过收纳室41的侧壁面而抑制了弹性材料42向与通过致动器35而被施加有外力的方向交叉的方向(在本实施方式中为水平方向)的变形。由于弹性材料42提高了放大位移机构40的相对于致动器35的位移的追随性，因此，优选为，通过粘合材料、或焊接、熔融等方法而与流道壁部31接合。

[0065] 密封壁部43的第一壁面43a与收纳室41的弹性材料42相面对，并构成收纳室41的壁面的一部分。第一壁面43a的相反侧的第二壁面43b经由连结部37而与致动器35的第二端部35b连结。密封壁部43的外周端被固定于壳体11上。如双点划线所图示的那样，密封壁部43作为根据致动器35的位移而在厚度方向上进行挠曲变形的隔膜而进行动作。

[0066] 在第一实施方式中，密封壁部43由橡胶制的膜状的部件构成。并且，密封壁部43也可以不由橡胶制的部件构成。密封壁部43既可以由其他的树脂部件构成，也可以由金属板构成。在放大位移机构40中，通过收纳室41被密封壁部43密封，从而在致动器35对弹性材料42进行按压时，抑制了弹性材料42从收纳室41向致动器35移动的情况。

[0067] 流道壁部31具有第一壁面31a和第二壁面31b，第一壁面31a与收纳室41的弹性材料42相面对，第二壁面31b与流道15的液体DL相面对。在致动器35产生位移而对收纳室41的弹性材料42施加压力时，流道壁部31向作为与收纳室41分离的方向的第一方向D1进行位移，从而使流道15的流道截面积缩小。

[0068] 第一实施方式的流道壁部31由于由隔膜构成，因此，当向使流道15的流道截面积缩小的第一方向D1进行位移时，会在产生作用于与第一方向D1相反的第二方向D2的弹性力的状态下进行位移。第一方向D1为沿着流道壁部31的厚度方向的方向，且为从收纳室41朝向流道壁部31的方向。在第一实施方式中，通过流道壁部31的位移而产生的作用于第二方向D2上的弹性力作为流道壁部31的相对于挠曲变形的复原力而产生。

[0069] 在放大位移机构40中，在流道壁部31中受到来自弹性材料42的压力而在流道15与收纳室41之间进行挠曲变形的部位的面积S1小于弹性材料42从致动器35受到压力的部位的面积S2(S1＜S2)。面积S2为，将通过致动器35的位移而进行变形的弹性材料42的部位在该位移方向上投影至与致动器35的位移方向正交的假想平面上的区域的面积。在第一实施方式中，面积S2相当于，将通过致动器35的位移而使密封壁部43进行挠曲变形的部位在该位移方向上投影至与致动器35的位移方向正交的假想平面上的区域的面积。面积S1为，将流道壁部31面对弹性材料42的区域在该位移方向上投影至与流道壁部31的位移方向正交的假想平面上的区域的面积。面积S1为，在流道壁部31中容许挠曲变形的区域的面积，也可以被解释为，将流道15和收纳室41连通且被流道壁部31堵塞的开口部的面积。

[0070] 在放大位移机构40中，如上文所述，在弹性材料42从致动器35受到压力的部位的面积S2、与在流道壁部31中进行挠曲变形的部位的面积S1之间设置有差。当通过致动器35的位移而受到压力时，弹性材料42表现出流体性的动作，并以流动的方式而进行变形。通过在弹性材料42中所体现的其流动性，从而使通过致动器35的位移而产生的压力向流道壁部31被传递。此时，根据帕斯卡的原理，流道壁部31的位移量Dp2根据面积S1、S2之差，而与作为致动器35的位移量的密封壁部43的位移量Dp1相比被放大。

[0071] 通过使流道壁部31的位移量被放大，从而能够大范围地对供给流道15a中的流道阻力进行调节。另外，相对于致动器35的伸缩速度而提高了流道壁部31的位移速度。因此，抑制了产生流道壁部31的响应延迟的情况，并能够以更加适当的时刻来使供给流道15a的流道阻力发生变化。此外，由于即使采用伸缩量较小的致动器35，也能够抑制收纳室41的位移范围的减少，因此，能够实现致动器35中的功率消耗的降低或致动器35的小型化。

[0072] 根据放大位移机构40，如上文所述，当致动器35伸长时，流道壁部31在产生向第二方向D2的弹性力的状态下进行位移。因此，致动器35收缩时的流道壁部31向第二方向D2的位移通过其弹性力而被支援。因此，即使在如高速地反复进行流道壁部31的位移那样的情况下，也能够抑制流道壁部31的位移的时刻相对于致动器35的驱动时刻而延迟的情况。

[0073] 在头部10A中，流道壁部31构成流道15的壁部，并且也构成放大位移机构40的收纳室41的壁部，从而头部10A被紧凑地构成。

[0074] 在放大位移机构40中，填料45被分散于收纳室41的弹性材料42之中。填料45由将与弹性材料42相比压缩率较小的材料设为颗粒状的部件而构成。“压缩率”为，表示在施加外力的前后的体积的变化率的值。压缩率越小，则施加外力时体积被减小的程度越小。也可以设为，填料45由与弹性材料42相比硬度较高的材料构成。填料45例如由金属或树脂、陶瓷、玻璃等构成。通过填料45，从而抑制了由致动器35施加的压力因弹性材料42的体积的压缩而被吸收的情况。因此，提高了压力经由收纳室41而从密封壁部43向流道壁部31传递的传递效率，从而提高了放大位移机构40相对于致动器35的位移的响应性。并且，填料45也可以被省略。

[0075] 放大位移机构40还具备调节部60。调节部60被设置于致动器35的第一端部35a侧。调节部60由调节螺栓61、被设置于壳体11上的螺孔62、和按压板63构成。调节螺栓61被插穿于螺孔62中，螺孔62朝向致动器35的第一端部35a而贯穿壳体11。调节螺栓61以其顶端部经由按压板63而对致动器35的第一端部35a进行按压的方式被安装于螺孔62中。

[0076] 在放大位移机构40中，通过使调节部60的调节螺栓61旋转以使朝向致动器35而向驱动室36突出的调节螺栓61的长度增减，从而能够改变致动器35相对于收纳室41的设置位置。如果通过调节螺栓61而改变致动器35的位置，则未使致动器35驱动时的初始状态下的密封壁部43的在朝向收纳室41的方向上的位移位置会发生变化。另外，初始状态下的流道壁部31的向第一方向D1的位移位置、或在初始状态下被施加于弹性材料42的压力会发生变化。这样，能够通过调节部60而对流道壁部31的初始的位置进行调节，从而对放大位移机构40的位移特性进行调节。并且，调节部60也可以被省略。

[0077] 在液体喷射装置100A中，控制部101(图1)对流道阻力变更部30例如以如下的方式进行控制。控制部101在从喷嘴12喷出液体DL时，首先，通过流道阻力变更部30而使流道壁部31向最远离连通流道15b的开口端部15be的位置位移，从而将供给流道15a的流道阻力设为最小的状态。由此，能够迅速地实施液体DL穿过供给流道15a而向压力室13的填充。并且，此时，优选为，控制部101对流道阻力变更部30进行控制，从而将压力室13内的压力调节为喷嘴12的弯液面耐压以下的压力。

[0078] 接下来，控制部101对喷出致动器22进行驱动，并瞬时性地减小压力室13的容积，从而在压力室13内产生大于喷嘴12的弯液面耐压的喷出压力。此时，控制部101根据喷出压力的产生时刻而使流道壁部31向第一方向D1位移，从而使供给流道15a的流道阻力增大。控制部101也可以设为，通过流道壁部31而堵塞开口端部15be，并切断供给流道15a与压力室13的连接。由此，由于抑制了在压力室13内所产生的喷出压力向供给流道15a泄漏的情况，因此，能够提高由头部10A实施的液体DL的喷出效率。

[0079] 尤其是，在第一实施方式中，由于流道壁部31被设置于面对开口端部15be的位置，因此，通过使流道壁部31向第一方向D1位移，从而能够将液体压入连通流道15b中。因此，通过配合喷出压力的产生时刻而使流道壁部31向第一方向D1位移，从而能够对压力室13内的压力的上升进行辅助，进而进一步提高了由头部10A实现的液体DL的喷出效率。

[0080] 控制部101在开始喷出来自喷嘴12的液体DL之后，使喷出致动器22收缩，从而使隔膜21进行位移，以使压力室13的容积增大。由此，由于在压力室13中产生将喷嘴12的液体DL向压力室13的一侧抽回的负压，因此，能够促进液体DL的液滴从喷嘴12分离并飞翔的情况。

[0081] 控制部101配合该负压的产生时刻而在供给流道15a的流道阻力被减小的方向上使流道壁部31向第二方向D2位移。压力室13的液体DL穿过连通流道15b而流入如下的区域，即，由于流道壁部31的位移而使供给流道15a的容积被放大的区域，由此，能够以更短时间而减小压力室13的压力。由此，能够更可靠地使液体DL的液滴与喷嘴12分离，从而能够使液滴的飞翔状态保持良好。

[0082] 尤其是，在第一实施方式中，由于流道壁部31被设置于面对开口端部15be的位置，因此，通过使流道壁部31向第二方向D2位移，从而使连通流道15b易于产生负压。因此，通过配合喷出压力的产生时刻而使流道壁部31向第二方向D2位移，从而进一步提高了压力室13内的负压的产生效率，进而能够更良好地使液滴与喷嘴12分离。

[0083] 此外，例如，在头部10A在预先规定的期间内进入未执行液体DL的喷出的待机状态时，控制部101也可以使流道壁部31向第一方向D1位移，从而提高供给流道15a的流道阻力。控制部101也可以通过流道壁部31而堵塞连通流道15b的开口端部15be。由此，能够抑制液体DL在头部10A的待机过程中从喷嘴12泄漏的情况。

[0084] 参照图3和图4，对通过本发明的发明者的实验而被验证了的放大位移机构40的动作特性进行说明。在图3中，图示了表示密封壁部43和流道壁部31的位移量相对于被施加于致动器35的驱动电压的变化的坐标图Ds、Df。单点划线的坐标图Df表示密封壁部43的位移量，实线的坐标图Ds表示流道壁部31的位移量。确认到了通过放大位移机构40从而使各壁部43、31的位移量相对于驱动电压的增加而线性地增加的情况。另外，确认到了如下的情况，即，相对于相同的驱动电压，流道壁部31的位移量根据面积S1、S2(图2)之差而与密封壁部43的位移量相比被进一步放大的情况。

[0085] 在图4中，图示了表示密封壁部43和流道壁部31的位移速度相对于被施加于致动器35的驱动电压的变化的坐标图。在图4的坐标图中，流道壁部31向第一方向D1(图2)进行位移时的位移速度为正(+)，向第二方向D2(图2)进行位移时的位移速度为负(-)。单点划线的坐标图Vfa以及双点划线的坐标图Vfb表示密封壁部43的位移速度，实线的坐标图Vsa以及虚线的坐标图Vsb表示流道壁部31的位移速度。在放大位移机构40中，确认到了如下的情况，即，向第一方向D1进行位移时的流道壁部31的位移速度与位移量同样地根据面积S1、S2(图2)之差而与密封壁部43的位移速度相比被增大。另外，确认到了如下的情况，即，向第二方向D2进行位移时的流道壁部31的位移速度也以与向第一方向D1进行位移时大致同样的比率而与密封壁部43的位移速度相比被增大。

[0086] 如上文所述，根据第一实施方式的液体喷射装置100A，在流道阻力变更部30中，相对于致动器35的位移量的范围，流道壁部31的位移量通过放大位移机构40而被放大。因此，能够大范围地对流道15中的流道阻力进行调节。另外，由于能够相对于致动器35的伸缩速度而提高流道壁部31的位移速度，因此，抑制了流道壁部31的响应延迟的产生，并能够以更适当的时刻来改变流道15的流道阻力。因此，能够以较高的精度来对由流道阻力变更部30实现的流道15的流道阻力、以及连接有流道15的压力室13的压力进行控制，从而能够提高液体DL的喷射精度。另外，通过采用伸缩量较小的致动器35，从而能够实现头部10A中的功率消耗的减少或头部10A的小型化。

[0087] 根据第一实施方式的液体喷射装置100A，通过利用了帕斯卡原理的简单结构的放大位移机构40，从而在抑制装置的复杂化或大型化的同时，提高了流道15中的流道阻力的控制精度。根据第一实施方式的液体喷射装置100A所具备的放大位移机构40，与利用了杠杆等刚性体的关节机构或如由齿轮等传递压力那样的机械式的结构相比，能够抑制致动器35的位移被反复进行时的机械磨损的产生。另外，通过放大位移机构40的结构的简化，从而能够实现液体喷射装置100A的小型化和轻量化。

[0088] 在第一实施方式的液体喷射装置100A中，由于弹性材料42被流道壁部31支承，因此，即使反复进行致动器35的位移的增减，也会抑制弹性材料42向压力室13移动的情况。另外，在放大位移机构40中，作为压力传递介质而使用弹性材料42。因此，即使高速地使致动器35进行位移，也会抑制如在作为压力传递介质而使用了液体的结构中所发生的那样的压力传递介质内的产生气泡(气蚀)的情况。因此，抑制了由气蚀引起的放大位移机构40的性能降低，从而能够实现头部10A的稳定的驱动。另外，根据放大位移机构40，由于作为压力传递介质而使用了弹性材料42，因此，抑制了如在作为压力传递介质而使用了液体的结构中所发生的那样的产生液体的蒸发或泄漏的情况。

[0089] 根据第一实施方式的液体喷射装置100A，如下文所述，其制造工序被简化，从而能够实现制造成本的减少。通过作为放大位移机构40的压力传递介质而使用弹性材料42，从而与作为压力传递介质而使用液体的情况相比，易于实现制造工序中的弹性材料42的运输或设置。另外，在组装放大位移机构40时，能够通过流道壁部31而抑制弹性材料42的一部分错误地装入压力室13的情况。

[0090] 根据第一实施方式的液体喷射装置100A，如上文所述，通过使流道壁部31以在第二方向D2上产生弹性力的状态而向第一方向D1进行位移，从而提高了流道壁部31的响应性。在使致动器35高速地反复伸缩的情况下，能够特别显著地获得这样的效果。此外，根据第一实施方式的液体喷射装置100A，能够实现在本第一实施方式中所说明的各种效果。

[0091] 2.第二实施方式：

[0092] 图5为示意性地表示第二实施方式中的液体喷射装置100B所具备的头部10B的结构的概要剖视图。除了代替第一实施方式的头部10A而具备第二实施方式的头部10B的这一点之外，第二实施方式的液体喷射装置100B的结构与第一实施方式的液体喷射装置100A(图1)的结构大致相同。在第二实施方式的头部10B的结构中，连通流道15b具有倾斜壁面70，除此以外，与第一实施方式的头部10A(图2)的结构大致相同。

[0093] 在头部10B中，连通流道15b的内周壁面至少在开口端部15be侧构成倾斜壁面70，所述倾斜壁面70以开口直径在向朝向流道壁部31的方向上扩大的方式而倾斜成圆锥状。在头部10B中，如附图所示，也可以使连通流道15b的内周壁面整体构成倾斜壁面70。在头部10B中，流道壁部31能够在向第一方向D1进行位移时与倾斜壁面70接触从而对连通流道15b进行密封。

[0094] 根据第二实施方式的液体喷射装置100B，能够提高由流道壁部31实现的压力室13的密封性。另外，由于通过倾斜壁面70而引导了流道壁部31向第二方向D2的位移，因此，能够按照规定而使流道壁部31进行挠曲变形，由此使流道壁部31的位移动作更加圆滑化。此外，根据第二实施方式的液体喷射装置100B，除了在第二实施方式中所说明的效果以外，还能够实现与在第一实施方式中所说明的效果相同的各种作用效果。

[0095] 3.第三实施方式：

[0096] 图6为表示第三实施方式中的液体喷射装置100C整体结构的概要框图。除了在以下所说明的点之外，第三实施方式的液体喷射装置100C与第一实施方式的液体喷射装置100A(图1)的结构大致相同。液体喷射装置100C的供给部110具备加压泵117，以代替压力调节部115，并具备第三实施方式的头部10C，以代替第一实施方式的头部10A。液体喷射装置
100C还具备循环部120。循环部120具备排出通道121、液体贮留部122、负压产生源123和循环通道124。

[0097] 加压泵117将罐111内的液体DL穿过供给通道116而压送至头部10C。关于头部10C的结构将在后文中叙述。排出通道121对头部10C和液体贮留部122进行连接。并未通过头部10C而被用于喷出的液体DL穿过排出通道121而被排出到液体贮留部122。在液体贮留部122上连接有负压产生源123。负压产生源123通过使液体贮留部122内成为负压，从而穿过排出通道121而从头部10C抽吸液体DL。负压产生源123由各种泵构成。

[0098] 在液体喷射装置100C中，通过由加压泵117产生的加压和由负压产生源123产生的减压，从而对头部10D的压力室13(在此后所参照的图7中进行图示)的压力进行调节。在液体喷射装置100C中，也可以省略加压泵117以及负压产生源123中的任意一方。在省略了加压泵117的情况下，可以解释为，负压产生源123作为产生用于从罐111向头部10C供给液体DL的压力的供给部110的一个结构要素而发挥了功能。

[0099] 循环通道124为，用于使穿过排出通道121而从头部10C被排出的液体DL向头部10C的压力室13循环的流道。循环通道124对液体贮留部122和罐111进行连接。穿过排出通道121而被贮留于液体贮留部122内的液体DL穿过循环通道124而返回至罐111，并再次穿过供给通道116而被供给至头部10C的压力室13。并且，也可以在循环通道124中设置用于从液体贮留部122抽吸液体的泵。

[0100] 在液体喷射装置100C中，通过具备循环部120，从而能够再次利用从头部10C流出的液体DL。因此，能够抑制液体DL无谓地被消耗的情况，并能够提高液体DL的利用效率。并且，也可以在液体贮留部122或罐111中设置对再利用的液体DL的浓度或粘度、温度等各种状态进行调节的调节部。另外，也可以在排出通道121或循环通道124上设置过滤部，所述过滤部用于去除液体DL所含有的气泡或异物。

[0101] 图7为示意性地表示第三实施方式的头部10C的结构的概要剖视图。除了在流道15上增加了循环流道15c这一点之外，第三实施方式的头部10C的结构与第一实施方式的头部10A(图2)的结构大致相同。

[0102] 循环流道15c在与连通流道15b相比靠下游侧的位置上与供给流道15a相连接。循环流道15c与循环部120的排出通道121相连接。在循环流道15c中，通过循环部120(图6)而产生使液体DL向循环流道15c流入的负压。由此，穿过连通流道15b但并未流入压力室13的液体DL、以及穿过连通流道15b并从压力室13流出的液体DL将穿过循环流道15c而向排出通道121流出。

[0103] 在液体喷射装置100C的头部10C中，能够产生从压力室13朝向循环流道15c的液体DL的流动。因此，抑制了头部10C内的液体DL内的沉降成分的堆积或液体DL的伴随着溶剂成分的蒸发而产生的浓度变化等、头部10C中的因液体DL的滞留而产生的液体DL的劣化。因此，抑制了因这样的压力室13的液体DL的劣化而导致的喷出不良的发生。另外，在液体喷射装置100C中，即使在压力室13中产生了气泡，也能够将该气泡与液体DL一起从循环流道15c排出。因此，抑制了因压力室13的气泡而导致的喷出不良的发生。

[0104] 在头部10C中构成为，即使流道壁部31进行挠曲变形至与倾斜壁面70接触为止从而堵塞连通流道15b，也会在流道壁部31的周围留有对供给流道15a和循环流道15c进行连通的空间。因此，即使通过流道壁部31而堵塞连通流道15b，也会如箭头标记FL所图示的那样，液体DL能够持续地从供给流道15a流向循环流道15c。因此，通过流道壁部31向第一方向D1的位移，从而抑制了供给流道15a的压力急剧升高的情况、或循环流道15c的压力急剧下降的情况。因此，能够使头部10D中的液体DL顺利地持续流动。另外，能够减少作用于妨碍通过液体DL的压力而产生的流道壁部31的位移的方向上的力，从而能够使流道壁部31的位移动作平滑化。

[0105] 在液体喷射装置100C中，控制部101(图6)如第一实施方式中所说明的那样，配合通过压力产生部20而使压力室13产生喷出压力的时刻，而使流道壁部31向第一方向D1位移。由此，能够抑制喷出压力穿过连通流道15b而向供给流道15a或循环流道15c泄漏的情况。

[0106] 另外，在液体喷射装置100C中，控制部101如在第一实施方式中所说明的那样，配合使压力产生部20产生用于使压力室13与液滴分离的负压的时刻，而使流道壁部31向第二方向D2位移。由于在头部10C中设置有产生了负压的循环流道15c，因此，在使流道壁部31向第二方向D2进行位移时，能够在更短时间内使压力室13产生负压。

[0107] 根据具备使用了放大位移机构40的流道阻力变更部30的第三实施方式的液体喷射装置100C，除了在第三实施方式中所说明的各种效果以外，也能够实现在第一实施方式中所说明的各种作用效果。

[0108] 4.第四实施方式：

[0109] 图8为示意性地表示第四实施方式中的液体喷射装置100D所具备的头部10D的结构的概要剖视图。除了代替第三实施方式的头部10C而具备第四实施方式的头部10D这一点之外，第四实施方式的液体喷射装置100D的结构与第三实施方式的液体喷射装置100C的结构(图6)大致相同。除了增加了循环流道15c这一点之外，第四实施方式的头部10D的结构在与第二实施方式的头部10B的结构大致相同。

[0110] 在第四实施方式的头部10D中，通过在连通流道15b上设置倾斜壁面70，从而如第二实施方式所说明的那样，提高了由流道壁部31对开口端部15be的密封性。另外，流道壁部31的位移动作被平滑化。根据第四实施方式的液体喷射装置100D，由于具备循环部120，因此能够与第三实施方式中所说明的效果同样地抑制压力室13中的因液体DL的滞留而导致的不良情况的发生。

[0111] 此外，根据第四实施方式的液体喷射装置100D，除了第四实施方式中所说明的各种效果以外，也能够实现第一实施方式、第二实施方式以及第三实施方式中所说明的各种作用效果。

[0112] 5.第五实施方式：

[0113] 图9为示意性地表示第五实施方式中的液体喷射装置100E所具备的头部10E的结构的概要剖视图。除了代替第三实施方式的头部10C而具备第五实施方式的头部10E这一点之外，第五实施方式的液体喷射装置100E的结构与第三实施方式的液体喷射装置100C的结构(图6)大致相同。除了代替流道壁部31而增加了对流道壁部31E以及流道壁部31E进行支承的弹性支承部件72这一点之外，第五实施方式的头部10E的结构与第三实施方式的头部10C的结构大致相同。

[0114] 第五实施方式的流道壁部31E例如由金属板构成。流道壁部31E优选为，具有使在致动器35伸长时由经由收纳室41的弹性材料42而受到的压力所导致的向厚度方向的挠曲变形的产生得到抑制的程度的刚性。流道壁部31E并不限于金属板，也可以由其他的部件构成。流道壁部31E例如也可以由树脂板构成。在流道壁部31E的壁面31a、31b上，也可以形成有用于抑制挠曲变形的肋部。

[0115] 流道壁部31在第二壁面31b的与开口端部15be对置的位置上具有向开口端部15be突起的突起部73。并且，在本说明书中提及“对置”时，也包含在相互对置的对象物彼此之间存在有其他物体的状态。突起部73例如也可以被构成为具有半球形状。突起部73在流道壁部31E向第一方向D1进行位移时作为堵塞开口端部15be的盖部而发挥功能。突起部73既可以由与流道壁部31不同的部件构成，也可以由相同的部件构成。并且，突起部73既可以以完全地堵塞开口端部15be的方式构成，也可以被省略。供给流道15a与连通流道15b的连接部位被构成为，在突起部73堵塞了开口端部15be时，如箭头标记FL所示，在突起部73的周围留有空间以使液体DL能够流动。

[0116] 流道壁部31E通过使其外周端部被弹性支承部件72支承，从而以在厚度方向上能够进行位移的状态而被固定于壳体11上。弹性支承部件72具有将流道壁部31E的中央部包围的框状的形状。在第五实施方式中，弹性支承部件72被配置在设置于流道15内的阶梯部上，并在使流道壁部31E能够向第一方向D1以及第二方向D2位移的状态下从流道15侧对流道壁部31E进行支承。弹性支承部件72也作为防止液体DL从流道15向收纳室41的泄漏的密封部而发挥功能。

[0117] 当致动器35伸长而使密封壁部43进行位移时，流道壁部31E从收纳室41的弹性材料42受到压力。于是，弹性支承部件72被压缩，流道壁部31E在第二方向D2上产生弹性力的状态下，如单点划线所图示的那样，向第一方向D1进行位移。通过放大位移机构40，从而使流道壁部31E的位移量与致动器35的位移量相比而被进一步增大。因此，在头部10E中，与第一实施方式的头部10A同样地提高了流道15的流道阻力的控制精度。

[0118] 并且，在头部10E中，也可以如第一实施方式的头部10A那样应用不具有循环流道15c的结构。另外，也可以如第二实施方式的头部10B或第四实施方式的头部10D那样，应用在连通流道15b中至少使开口端部15be的内周壁面构成了倾斜壁面70的结构。

[0119] 在第五实施方式的头部10E中，由于抑制了流道壁部31E进行位移时的流道壁部31E的挠曲变形，因此，抑制了从弹性材料42被传递的压力通过流道壁部31E的那样的挠曲变形而被吸收的情况。因此，根据第五实施方式的头部10E，能够有效地将致动器35所产生的压力利用于由流道阻力变更部30实现的流道阻力的控制中。另外，抑制了因挠曲变形的反复进行而导致的流道壁部31E的劣化。根据第五实施方式的液体喷射装置100E，除了第五实施方式中所说明的各种效果以外，能够实现上述的各实施方式中所说明的各种作用效果。

[0120] 6.第六实施方式：

[0121] 图10为示意性地表示第六实施方式中的液体喷射装置100F所具备的头部10F的结构的概要剖视图。除了代替第三实施方式的头部10C而具备第六实施方式的头部10F这一点之外，第六实施方式的液体喷射装置100F的结构与第三实施方式的液体喷射装置100C的结构(图6)大致相同。除了流道15的结构被改变且设置有流道阻力变更部30的位置被改变这一点之外，第六实施方式的头部10F的结构与第三实施方式的头部10C的结构大致相同。

[0122] 在第六实施方式的头部10F中，作为流道15，除了供给流道15a以及连通流道15b以外，还增加了第一循环流道15p和第二循环流道15q。另外，代替循环流道15c而设置有汇合循环流道15r。

[0123] 第一循环流道15p在与连通流道15b相比靠下游侧的位置上与供给流道15a相连接。在第一循环流道15p中，主要从供给流道15a流入液体DL。第二循环流道15q与压力室13相连接。在第二循环流道15q中流入有压力室13的液体DL。第二循环流道15q优选为，在与连通流道15b相比靠近喷嘴12的位置上与压力室13相连接。

[0124] 汇合循环流道15r与第一循环流道15p和第二循环流道15q相连接。汇合循环流道15r与循环部120的排出通道121相连接。在汇合循环流道15r中，通过循环部120而产生使液体DL向汇合循环流道15r流入的负压。由此，供给流道15a的液体DL的一部分穿过第一循环流道15p而向汇合循环流道15r流入，剩余的部分穿过连通流道15b而向压力室13流入。未被用于从喷嘴12的喷出的压力室13的液体DL穿过第二循环流道15q而向汇合循环流道15r流入。从第一循环流道15p和第二循环流道15q向汇合循环流道15r流入的液体DL向排出通道
121被排出，并穿过供给部110而再次被供给至头部10F。

[0125] 流道阻力变更部30被设置于汇合循环流道15r上。流道阻力变更部30在控制部101(图6)的控制下，通过使流道壁部31在汇合循环流道15r中位移，从而改变汇合循环流道15r的一部分的开口截面，由此改变流道15的流道阻力。

[0126] 第一循环流道15p在端部处具有连接开口15po，所述连接开口15po在汇合循环流道15r中开口。流道壁部31被设置于面对第一循环流道15p的位置上。流道壁部31在致动器35伸长时，如单点划线所图示的那样，以堵塞连接开口15po的方式而进行挠曲变形，从而在产生作用于第二方向D2上的弹性力的状态下向第一方向D1进行位移。并且，由于流道阻力变更部30具备放大位移机构40，因此，流道壁部31的位移量如第一实施方式所说明的那样与致动器35的位移量相比而被增大。

[0127] 汇合循环流道15r被构成为，即使流道壁部31向第一方向D1进行位移而堵塞连接开口15po，也会在流道壁部31的周围留有供液体DL流动的空间。由此，即使在通过流道壁部31而使连接开口15po被堵塞的状态下，如箭头标记FL所图示的那样，汇合循环流道15r的液体DL也会持续流动。通过利用流道壁部31来堵塞连接开口15po，从而能够促进液体DL从供给流道15a穿过连通流道15b而向压力室13流入。因此，能够在短时间内实施液体DL向压力室13的填充。

[0128] 在液体喷射装置100F中，控制部101(图6)例如以如下的方式对流道阻力变更部30进行控制。控制部101在未从喷嘴12喷出液体DL的待机状态下将连接开口15po打开，并设为连接开口15po的流道阻力较低的状态，从而促进经过第一循环流道15p以及汇合循环流道15r的液体DL的循环。由此，抑制了压力室13中的液体DL的滞留。并且，此时，压力室13的压力被调节为在弯液面耐压以下。

[0129] 控制部101在开始进行液体DL从喷嘴12的喷出时，首先，使流道壁部31向连接开口15po位移，从而提高连接开口15po的流道阻力。控制部101也可以设为通过流道壁部31而使连接开口15po被堵塞。由此，抑制了液体DL从供给流道15a向第一循环流道15p的流动，并促进了液体DL经过连通流道15b而向压力室13的填充。

[0130] 接下来，控制部101在提高了连接开口15po的流道阻力的状态下通过压力产生部20而使压力室13内产生喷出压力。由于连接开口15po的流道阻力较高从而抑制了液体DL向第一循环流道15p的流入，因此，抑制了压力室13内的喷出压力经过连通流道15b而泄露的情况，由此提高了由头部10F实现的液体DL的喷出效率。

[0131] 控制部101在开始进行液体DL从喷嘴12的喷出之后，通过压力产生部20而使压力室13的容积增大。由此，能够使压力室13产生将喷嘴12的液体DL抽回至压力室13的负压，并能够促进液体DL的液滴与喷嘴12内的液体DL的分离。控制部101配合该负压的产生时刻而使流道壁部31向第二方向D2位移，从而减少连接开口15po的流道阻力。由此，由于经过连通流道15b的液体DL向压力室13的流入受到抑制，因此，抑制了通过从连通流道15b被供给的液体DL而使压力室13的压力的降低受到妨碍的情况。因此，能够更加可靠地使液体DL的液滴与喷嘴12内的液体DL分离。

[0132] 尤其是，在第六实施方式中，由于流道壁部31被设置于面对连接开口15po的位置上，因此，通过使流道壁部31向第二方向D2位移，从而能够在第一循环流道15p以及连通流道15b中产生瞬时性的压力降低。因此，进一步提高了压力室13内的负压的产生效率，从而能够促进液滴与喷嘴12内的液体DL分离。

[0133] 根据第六实施方式的液体喷射装置100F，由于除了与供给流道15a相连接的第一循环流道15p以外，还具有与压力室13相连接的第二循环流道15q，因此能够更有效地抑制压力室13中的液体DL的滞留。另外，由于通过由流道阻力变更部30实施的流道阻力的控制而能够在使液体DL循环的状态下对液体DL向压力室13的供给压力进行控制，因此较为有效。此外，根据第六实施方式的液体喷射装置100F，除了第六实施方式中所说明的各种效果以外，还能够实现上述的各实施方式中所说明的各种作用效果。

[0134] 7.其他实施方式：

[0135] 上述的各实施方式中所说明的各种结构例如能够以如下的方式进行改变。以下所说明的改变例均被定位为用于实施发明的方式的一个示例。

[0136] 7-1.其他的实施方式1：

[0137] 在上述的各实施方式中，通过使流道壁部31以面对开口端部15be或连接开口15po的方式而被配置，从而流道阻力变更部30在多个流道的连接部位处均改变了各流道中的流道阻力。与此相对，流道阻力变更部30的流道壁部31也可以不被设置于上述各实施方式所说明的位置上。流道壁部31也可以以能够改变流道15的流道阻力的方式而被设置于流道15的任意位置上。流道壁部31例如也可以被设置于供给流道15a、或连通流道15b、循环流道15c、第二循环流道15q的中途。

[0138] 7-2.其他的实施方式2：

[0139] 各实施方式的头部10A～10F中的流道15的结构或流道阻力变更部30的配置结构并未被限定于所图示的结构。例如，供给流道15a或循环流道15c可以不在水平的方向上延伸，连通流道15b也可以不沿着重力方向而延伸。另外，流道阻力变更部30例如也可以以与流道壁部31的位移方向和致动器35的位移方向不同的方式被构成。另外，流道壁部31和密封壁部43既可以以隔着弹性材料42而相互对置的方式被配置，也可以被配置于相互偏置了的位置上。

[0140] 7-3.其他的实施方式3：

[0141] 在上述的各实施方式中，弹性材料42既可以以按照收纳室41的形状而预先成形的状态被配置于收纳室41中，也可以以具有流动性的状态而被注入收纳室41来成形。弹性材料42可以不由在从收纳室41中被取出时被保持形状的材料而构成，例如，也可以由同时具有流动性和弹性的胶体而构成。作为弹性材料42，不会被限定于橡胶状的弹性体。弹性材料42能够由在如第一实施方式中所说明的那样被施加了压力时，在内部如液体那样表现出可全方位地传递压力的流体性的状态的材料而构成。并且，弹性材料42优选为，由在从外部被施加了压力时体积不易被压缩的材料而构成。

[0142] 7-4.其他的实施方式4：

[0143] 在上述第六实施方式中，也可以代替被构成为隔膜的流道壁部31，而应用被支承于弹性支承部件72上的第五实施方式的流道壁部31E的结构。

[0144] 7-5.其他的实施方式5：

[0145] 在上述的各实施方式中，流道壁部31由如下材料而构成，所述材料在从收纳室41向朝向压力室13的第一方向D1挠曲变形时，以在第二方向D2上产生弹性力的状态而进行挠曲变形。与此相对，流道壁部31也可以通过在外力被解除时几乎不会产生使流道壁部31的形状复原的程度上的弹性力的薄膜状的部件而构成。

[0146] 构成流道壁部31的材料并未被特别限定。流道壁部31例如能够由如下的各种各样的材料构成。流道壁部31例如也可以由天然橡胶(NR)、或合成天然橡胶、丁二烯橡胶(BR)、丁基橡胶(IIR)、腈橡胶(NBR)、乙烯-丙烯橡胶(EPM)、氯丁橡胶(CR)、丙烯橡胶(ACM)、氟橡胶(FKM)、乙烯·醋酸乙烯橡胶、氯醇橡胶(CO，ECO)、多硫化橡胶等而构成。

[0147] 另外，流道壁部31例如也可以由聚乙烯或聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、聚氯乙烯(PVC)、尼龙、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚偏氟乙烯树脂(PVDF树脂)、EVOH树脂等而构成。关于密封壁部43，也可以与流道壁部31同样地由上述材料构成。

[0148] 流道壁部31的形状未被限定于具有大致均匀的厚度的平坦的形状。流道壁部31例如也可以具有以在厚度方向上挠曲变形的方式而弯折为折皱的结构、或设置有用于减少厚度并易于弯折的槽部的结构。在上述的各实施方式中，流道壁部31也可以由与弹性材料42相同的材料构成。另外，流道壁部31也可以作为弹性材料42的一部分而被构成。

[0149] 7-6.其他的实施方式6：

[0150] 在上述的各实施方式中，也可以省略密封壁部43。在该情况下，优选为，在致动器35与收纳室41的侧壁面之间形成有如下的间隙，即，可获得被致动器35按压的弹性材料42不会向致动器35侧流动的程度的流道阻力的宽度以下的间隙。另外，也可以采用通过粘合材料而将该间隙填埋的结构。作为该情况下的粘合材料，优选为，使用能够以不因致动器35的位移而断裂的方式进行变形的材料。

[0151] 7-7.其他的实施方式7：

[0152] 在上述的各实施方式中，密封壁部43由挠曲变形的部件构成。与此相对，密封壁部43也可以由几乎不会发生挠曲变形的具有刚性的板状部件构成。在该情况下，密封壁部43以通过致动器的35的位移而进行移动的方式且在其外周端部未被固定于壳体11上的状态下，被配置于致动器35与弹性材料42之间。在该结构中，密封壁部43的外周端部与收纳室41的侧壁面之间的间隙优选为具有如下的宽度，即，可获得被致动器35按压的弹性材料42向致动器35侧移动的情况得到抑制的程度的流道阻力的宽度。或者，密封壁部43的外周端部与收纳室41的侧壁面之间的间隙也可以由粘合材料填埋。作为该情况下的粘合材料，优选为，使用能够以不因致动器35的位移而断裂的方式进行变形的材料。

[0153] 7-8.其他的实施方式8：

[0154] 在上述的各实施方式中，致动器35也可以由压电元件构成。致动器35例如也可以由气缸或电磁阀、磁致伸缩元件等可产生位移的各种元件或装置构成。

[0155] 7-9.其他的实施方式9：

[0156] 在上述的各实施方式中，液体喷射装置100A～100F采用了喷出机构，所述喷出机构通过由压电元件构成的喷出致动器22所造成的隔膜的挠曲变形而喷出液体DL。液体喷射装置100A～100F并未被限于这样的喷出机构，也可以被构成为，通过其他的喷出机构而从喷嘴12喷出液体DL。例如，在液体喷射装置100A～100F中，也可以采用通过在压力室13中使活塞进行往复运动而从喷嘴12喷出液体DL的机构。

[0157] 7-10.其他的实施方式10：

[0158] 上述的各实施方式的液体喷射装置100A～100F并不限于喷出油墨的液体喷射装置，也可以作为喷出各种液体的液体喷射装置来实现。例如，也可以作为如下的各种液体喷射装置来实现。

[0159] (1)传真机装置等图像记录装置。

[0160] (2)在液晶显示器等图像显示装置用的滤色器的制造中所使用的颜色材料喷出装置。

[0161] (3)在有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示器、或面发光显示器(Field Emission Display，FED)等的电极形成中所使用的电极材料喷出装置。

[0162] (4)喷出包括在生物芯片制造中所使用的生物体有机物在内的液体的液体喷射装置。

[0163] (5)作为精密吸液管的样本喷出装置。

[0164] (6)润滑油的喷出装置。

[0165] (7)树脂液的喷出装置。

[0166] (8)在利用针头而向钟表、照相机等精密机械喷出润滑油的液体喷射装置。

[0167] (9)为了形成光通信元件等中所使用的微小半球透镜(光学透镜)等在基板上喷出紫外线硬化树脂等透明树脂液的液体喷射装置。

[0168] (10)为了对基板等进行蚀刻而喷射酸性或碱性的蚀刻液的液体喷射装置。

[0169] (11)具备喷出其他的任意的微小量的液滴的液体喷出头的液体喷射装置。

[0170] 在本说明书中，“液体”只要是能够被液体喷射装置消耗的材料即可。例如、“液体”只要是物质为液相时的状态下的材料即可，粘性较高或较低的液相状态的材料、以及溶胶、凝胶水、其它无机溶剂、有机溶剤、溶液、液状树脂、液状金属(金属熔液)这样的液相状态的材料也被包含在“液体”中。另外，不仅是作为物质的一种状态的液体，在溶剂中溶解、分散或混合有由颜料或金属粒子等固体物构成的功能材料的粒子也被包含在“液体”中。作为液体的代表性的示例而列举出油墨或液晶等。在此，油墨包括一般的水溶性油墨、油性油墨以及胶状油墨、热熔性油墨等各种液体组合物。另外，“液滴”是指，从液体喷射装置被喷出的液体的状态，也包括粒状、泪状、丝状拉出尾状物的状态。

[0171] 7-11.其他的实施方式11：

[0172] 在上述实施方式中，通过软件而被实现的功能以及处理的一部分或全部也可以通过硬件来实现。另外，通过硬件而被实现的功能以及处理的一部分或全部也可以通过软件来实现。作为硬件，例如能够使用集成电路、分立电路、或对这些电路进行组合的电路模块等各种电路。

[0173] 本发明并不限定于上述的实施方式或实施例、改变例，能够在不脱离其主旨的范围内通过各种结构来实现。例如，为了解决上述课题的一部分或全部，或者为了实现上述效果的一部分或全部，能够对与发明内容部分所记载的各个方式中的技术特征相对应的实施方式、实施例、改变例中的技术特征适当地进行替换或组合。另外，不仅限于在本说明书中将该技术特征作为非必要技术特征来进行说明的情况，只要在本说明书中并未将该技术特征作为必要技术特征来进行说明，则都能够适当地删除。

[0174] 符号说明

[0175] 10A…头部；10B…头部；10C…头部；10D…头部；10E…头部；10F…头部；11…壳体；12…喷嘴；13…压力室；15…流道；15a…供给流道；15b…连通流道；15be…开口端部；15c…循环流道；15p…第一循环流道；15po…连接开口；15q…第二循环流道；15r…汇合循环流道；20…压力产生部；21…隔膜；22…喷出致动器；30…流道阻力变更部；31…流道壁部；
31E…流道壁部；31a…第一壁面；31b…第二壁面；35…致动器；35a…第一端部；35b…第二端部；36…驱动室；37…连结部；40…放大位移机构；41…收纳室；42…弹性材料；43…密封壁部；43a…第一壁面；43b…第二壁面；45…填料；60…调节部；61…调节螺栓；62…螺孔；
63…按压板；70…倾斜壁面；72…弹性支承部件；73…突起部；100A…液体喷射装置；100B…液体喷射装置；100C…液体喷射装置；100D…液体喷射装置；100E…液体喷射装置；100F…液体喷射装置；101…控制部；110…供给部；111…罐；115…压力调节部；116…供给通道；
117…加压泵；120…循环部；121…排出通道；122…液体贮留部；123…负压产生源；124…循环通道；D1…第一方向；D2…第二方向；DL…液体；MC…变形中心部。