本发明公开了一种线缆保护装置及光刻设备，该线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。相应的光刻设备包括该线缆保护装置。本发明能有效地避免线缆与障碍物之间严重摩擦，防止卡住气控箱，保护线缆。
1.一种线缆保护装置，所述线缆的一端与气控箱连接，另一端与被控装置连接；其特征在于，所述线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动；其中，所述挡板结构通过第一铰链结构转动连接在气控箱上，所述的第一铰链结构包括第一壳体及贯穿第一壳体的第一转轴，所述挡板结构通过与第一转轴垂直的第一连接板固定在所述第一转轴的两端，所述第一壳体固定在气控箱上，所述第一转轴可在第一壳体内转动，使得所述挡板结构能够以所述第一转轴为轴转动。
2.根据权利要求1所述的线缆保护装置，其特征在于，所述挡板结构包括可伸缩挡板和线缆挡板，所述可伸缩挡板的一端转动安装在气控箱上，所述可伸缩挡板的另一端与线缆挡板连接，线缆挡板与可伸缩挡板连接的一端转动安装在阻挡物或阻挡物的承载体上，另一端为自由端。
3.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述可伸缩挡板包括N块子挡板，N为不小于2，相邻子挡板之间滑动连接，以调整可伸缩挡板的长度。
4.根据权利要求3所述的线缆保护装置，其特征在于，所述的可伸缩挡板包括第一子挡板、第二子挡板和多段式滑轨，所述多段式滑轨的轨道和滑块分别固定在第一子挡板和第二子挡板上或相反设置，使得第一子挡板与第二子挡板可相对滑动。
5.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆挡板通过第二铰链结构转动连接在阻挡物或阻挡物的承载体上，所述的第二铰链结构包括第二壳体及贯穿第二壳体的第二转轴，所述线缆挡板通过与所述第二转轴垂直的第二连接板固定在所述第二转轴的两端，所述第二壳体固定在阻挡物上或所述第二转轴转动连接在阻挡物的承载体上，所述第二转轴可在第二壳体内转动，使得所述线缆挡板能够以所述第二转轴为轴转动。
6.根据权利要求5所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓与第二螺栓垂直设置。
7.根据权利要求5或6所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓固定在气孔箱上，所述第一壳体上设有与所述第一螺栓适配的螺纹孔，所述第二螺栓固定在第二壳体上，所述阻挡物上设有与所述第二螺栓适配的螺纹孔。
8.根据权利要求5所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一连接板与所述的第一转轴之间、所述第二连接板与所述的第二转轴之间均采用螺栓连接。
9.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端与所述阻挡物或阻挡物的承载体连接。
10.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端连接在第一铰链结构或气控箱上，且连接点不与第一转轴相交。
11.根据权利要求9或10所述的线缆保护装置，所述的挡板结构一体成型。
12.根据权利要求11所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括辅助支撑块，所述的辅助支撑块设置在阻挡物或阻挡物与线缆之间的阻挡物的承载体上，用于支撑挡板结构，并作为挡板结构相对阻挡物滑动的基点。
13.一种光刻设备，其特征在于，采用如权利要求1-12任一所述线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。
一种线缆保护装置及光刻设备
技术领域
[0001] 本发明属于电气保护设备技术领域，具体涉及一种线缆保护装置及光刻设备。
背景技术
[0002] 当大型机电一体化设备需要维修调试时，经常需要将控制高速运动平台的电气控制箱整体从原位置中抽出，此时由于很多线缆连接在气控箱中，线缆在跟随气控箱抽出的过程中难免会遇到障碍物的阻挡，由于线缆较粗较多，会导致线缆与障碍物之间的严重摩擦和挂牵，这会导致无法抽出气控箱的现象，严重的还可能导致线缆受损。
发明内容
[0003] 针对现有技术存在的上述不足，本发明提供一种线缆保护装置，旨在解决气控箱抽出时线缆与障碍物之间的严重摩擦和挂牵的技术问题，并对应提供相应的光刻设备。
[0004] 为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
[0005] 一种线缆保护装置，所述线缆的一端与气控箱连接，另一端与被控装置连接；所述线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。
[0006] 进一步，所述挡板结构通过第一铰链结构转动连接在气控箱上，所述的第一铰链结构包括第一壳体及贯穿第一壳体的第一转轴，所述挡板结构通过与第一转轴垂直的第一连接板固定在所述第一转轴的两端，所述第一壳体固定在气控箱上，所述第一转轴可在第一壳体内转动，使得所述挡板结构能够以所述第一转轴为轴转动。
[0007] 进一步，所述挡板结构包括可伸缩挡板和线缆挡板，所述可伸缩挡板的一端转动安装在气控箱上，所述可伸缩挡板的另一端与线缆挡板连接，线缆挡板与可伸缩挡板连接的一端转动安装在阻挡物或阻挡物的承载体上，另一端为自由端。
[0008] 进一步，所述可伸缩挡板包括N块子挡板，N为不小于2，相邻子挡板之间滑动连接，以调整可伸缩挡板的长度。
[0009] 进一步，所述的可伸缩挡板包括第一子挡板、第二子挡板和多段式滑轨，所述多段式滑轨的最外侧结构和最内侧结构分别固定在第一子挡板和第二子挡板上或相反设置，使得第一子挡板与第二子挡板可相对滑动。
[0010] 进一步，所述线缆挡板通过第二铰链结构转动连接在阻挡物或阻挡物的承载体上，所述的第二铰链结构包括第二壳体及贯穿第二壳体的第二转轴，所述线缆挡板通过与所述第二转轴垂直的第二连接板固定在所述第二转轴的两端，所述第二壳体固定在阻挡物上或所述第二转轴转动连接在阻挡物的承载体上，所述第二转轴可在第二壳体内转动，使得所述线缆挡板能够以所述第二转轴为轴转动。
[0011] 进一步，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓与第二螺栓垂直设置。
[0012] 更进一步，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓固定在气孔箱上，所述第一壳体上设有与所述第一螺栓适配的螺纹孔，所述第二螺栓固定在第二壳体上，所述阻挡物上设有与所述第二螺栓适配的螺纹孔。
[0013] 再进一步，所述第一连接板与所述的第一转轴之间、所述第二连接板与所述的第二转轴之间均采用螺栓连接。
[0014] 进一步，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端与所述阻挡物或阻挡物的承载体连接。
[0015] 进一步，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端连接在第一铰链结构或气控箱上，且连接点不与第一转轴相交。
[0016] 进一步，所述的挡板结构一体成型。
[0017] 进一步，所述线缆保护装置还包括辅助支撑块，所述的辅助支撑块设置在阻挡物或阻挡物与线缆之间的阻挡物的承载体上，用于支撑挡板结构，并作为挡板结构相相对阻挡物滑动的基点。
[0018] 一种光刻设备，采用上述任一线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。
[0019] 与现有的技术相比，本发明具有如下有益效果：
[0020] 1、本发明将线缆和障碍物有效分隔，保护了线缆的完好，提高了维护维修效率和安全性。
[0021] 2、本发明结构简单巧妙，可靠性高，可以有效地解决线缆在气控箱抽出过程中发生的卡住的问题。
[0022] 3、本发明通过调节与气控箱连接的铰链与气控箱的距离，可以实现在需要的特定位置对U型线缆适当的压紧功能，使线缆在运动过程中的形状始终保持一种高度可控的形状。
附图说明
[0023] 图1为本发明的线缆保护装置的应用俯视示意图；
[0024] 图2为本发明的气动箱运动方向及第一挡板伸展方向示意图；
[0025] 图3为本发明实施例1的线缆保护装置的结构示意图；
[0026] 图4为本发明实施例1的第一铰链结构的结构示意图；
[0027] 图5为本发明实施例2的线缆保护装置的应用示意图；
[0028] 图6为本发明实施例3的线缆保护装置的结构示意图；
[0029] 图7为本发明实施例3的线缆保护装置的安装部位局部放大图；
[0030] 图8为本发明实施例4的第一铰链结构的结构示意图。
[0031] 附图中：1-线缆；2-挡板结构；21-可伸缩挡板结构；22-线缆挡板；4-第一铰链结构；40-第一壳体；401-第一转轴；402-第一连接板；41-第一螺栓；43-轴承组件；431-深沟轴承；432-上侧卡簧；433-下侧卡簧；5-第二铰链结构；50-第二螺栓；51-第二连接板；6-气控箱；7-阻挡物；8-复位弹簧；9-辅助支撑块；10-轴承座组件。
具体实施方式
[0032] 下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。
[0033] 一种线缆保护装置，所述线缆1一端与气控箱连接，另一端与被控装置连接，所述线缆保护装置包括挡板结构2，挡板结构2位于线缆1与一阻挡物之间，将线缆1与阻挡物隔离开，挡板结构2与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时挡板结构2可跟随气控箱运动，并以阻挡物为支点相对滑动。本发明线缆保护装置既可防止抽拉气控箱时线缆1与阻挡物发生碰撞或摩擦，又不会在线缆1运动时与线缆1发生碰触，影响线缆1工作。
[0034] 实施例1
[0035] 如图1-4所示，所述线缆保护装置包括可伸缩挡板结构21和线缆挡板22，所述可伸缩挡板结构21的一个端面通过第一铰链结构4安装在气控箱6表面，形成可转动连接；所述可伸缩挡板结构21与该端面相对的一个端面与线缆挡板22连接，线缆挡板22与可伸缩挡板结构21连接的一端通过第二铰链结构5安装在阻挡物7或阻挡物的承载体上，另一端沿直线方向自由延伸，形成可自由端；线缆挡板22的长度为不与相邻物体干涉的同时将线缆1与阻挡物7间隔开以提供最佳的线缆1保护为宜。
[0036] 所述第一铰链结构4包括第一壳体40及贯穿第一壳体40的第一转轴401，所述挡板结构2通过与第一转轴401垂直的第一连接板402固定在所述第一转轴401的两端，所述第一壳体40固定在气控箱上，所述第一转轴401可在第一壳体40内转动，使得所述挡板结构2能够以所述第一转轴401为轴转动。
[0037] 所述的可伸缩挡板结构21包括至少两块挡板，相邻挡板之间滑动连接用以调整可伸缩挡板结构21的长度。具体地，所述的可伸缩挡板结构21包括第一挡板、第二挡板和分段式滑轨，所述分段式滑轨的轨道和滑块分别固定在第一挡板和第二挡板上或相反设置，使得第一挡板与第二挡板可相对滑动，从而改变可伸缩挡板结构21的长度。
[0038] 所述线缆挡板22通过第二铰链结构5转动连接在阻挡物或阻挡物的承载体上，所述的第二铰链结构5包括第二壳体及贯穿第二壳体的第二转轴，所述线缆挡板22通过与所述第二转轴垂直的第二连接板51固定在所述第二转轴的两端，所述第二壳体固定在阻挡物上或所述第二转轴转动连接在阻挡物的承载体上，所述第二转轴可在第二壳体内转动，使得所述线缆挡板22能够以所述第二转轴为轴转动。
[0039] 所述第一壳体40通过第一螺栓41连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓50连接在阻挡物上，所述第一螺栓41固定在气孔箱上，所述第一壳体40上设有与所述第一螺栓41适配的螺纹孔，所述第二螺栓50固定在第二壳体上，所述阻挡物上设有与所述第二螺栓50适配的螺纹孔。所述第一连接板402与所述的第一转轴401之间、所述第二连接板51与所述的第二转轴之间均采用螺栓连接。
[0040] 在所述的第一转轴401的两端与所述第一壳体40之间通过轴承组件43连接，所述轴承组件43包括套于所述第一转轴401端部的深沟轴承431以及用于卡紧深沟轴承431的上侧卡簧432和上侧卡簧433。
[0041] 如图2所示，实际工况中将气控箱6抽出后，被拉出的线缆1(U型线缆)与可伸缩挡板结构21和线缆挡板22相切。图示箭头为气控箱6的抽出方向，在抽出过程中(抽出距离由0至300mm)，可伸缩挡板结构21的长度从215mm变化到407mm。此发明实施例中使用的线性滑轨自身长度例如为200mm，行程例如为228mm，完全可以满足需求。
[0042] 一种光刻设备，采用上述任一线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。
[0043] 实施例2
[0044] 由于在各种情况下都可能有对线缆1的保护需求，针对箱体抽拉行程较小且有充足空间安装线缆保护装置的工况下，本实施例提供另一种的线缆保护装置设计方案，其安装示意图如图5所示，其挡板结构2一体成型，所述挡板结构2的一个端面通过第一铰链结构4安装在气控箱6表面，形成可转动连接；所述挡板结构2与该端面相对的一个端面沿直线方向自由延伸，形成可自由端；所述第一铰链结构4到自由端的长度大于所述第一铰链结构4到阻挡物7之间的距离。此外，还增加了复位弹簧8和辅助支撑块9。
[0045] 所述的复位弹簧8的一端连接在所述挡板结构2上，另一端与阻挡物7连接，如图5所示。
[0046] 所述的辅助支撑块9设置在阻挡物7或阻挡物的承载体上，用于在挡板结构2靠近阻挡物7时与所述的挡板结构2接触以提供支撑来防止挡板结构2下坠。
[0047] 一种光刻设备，采用上述任一线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。
[0048] 实施例3
[0049] 如图6、7所示，本实施例与实施例2的区别是，所述的复位弹簧8的一端连接在所述挡板结构2上，另一端连接在第一铰链结构4或气控箱6上，具体的安装在第一铰链结构4的第一壳体40上，且连接点不与第一转轴401相交。气孔控箱6被推拉时，挡板结构2绕第一转轴401转动，使得挡板结构2与阻挡物之间的夹角发生变化，由于复位弹簧8连接第一铰链结构4或气控箱6的一端与第一转轴401存在一定距离且不相交，则使得复位弹簧8的转动角度与挡板结构2的转动角度不同，从而使得挡板结构2与复位弹簧8之间的夹角发生变化，进而改变了复位弹簧8的长度。当气控箱6被抽拉后，复位弹簧8也被拉长，复位弹簧8为气控箱6的复位提供一定的拉力。
[0050] 可选的，复位弹簧8通过一连接杆81固定在第一壳体40上，连接杆81垂直于第一转轴401并向自由端方向延伸，且连接杆81所在的平面与第一壳体40上与气控箱6接触的的表面平行。
[0051] 实施例4
[0052] 对于一些不能将铰链结构固定在阻挡物7侧壁的情况，本发明实施例提出了一种铰链模块替代方案。本实施例中将第一铰链结构4直接垂直连接在阻挡物的承载体上，如图8所示，其余结构与实施例1相同。所述第一转轴401的一端延伸出所述的壳体一定长度，在延伸部分安装轴承座组件10，该轴承座组件10的转动方向与所述第一转轴401的转动方向垂直。
[0053] 套设在第一转轴401上的轴承组件43可以有一组，也可以是两组。轴承组件43可以水平设置，轴承座组件10竖直设置。
[0054] 一种光刻设备，采用上述任一线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。
[0055] 本发明的上述实施例仅仅是为说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。
