流体压致动器的动作检测装置

摘要

提供一种流体压致动器的动作检测装置，其以廉价且简单的结构进行流体压致动器的动作检测。流体压致动器的动作检测装置具备：第1压力检测部，其检测第1压力作用室的压力；第2压力检测部，其检测所述第2压力作用室的压力；速度变化量计算部，其对所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力进行微分而计算出所述移动部件的速度变化量，所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力通过所述第1流量调整部或者所述第2流量调整部对流体流量的调整而变化；以及移位量计算部，其对由所述速度变化量计算部计算出的所述移动部件的速度变化量进行积分而计算出所述移动部件的移位量。

权利要求

1.一种流体压致动器的动作检测装置，其特征在于，所述流体压致动器具有：缸室；

移动部件，其在所述缸室内进行直线移动；

由所述移动部件在所述缸室内划定的第1压力作用室及第2压力作用室；

第1给排口，其与所述第1压力作用室连通；以及

第2给排口，其与所述第2压力作用室连通，

在所述第1给排口连接有第1给排流路，该第1给排流路针对所述第1给排口供给排出流体，并且在所述第2给排口连接有第2给排流路，该第2给排流路针对所述第2给排口供给排出流体，通过与所述第1给排流路及所述第2给排流路连接的切换阀切换针对所述第1压力作用室及所述第2压力作用室的流体的供给排出，通过使用设置于所述第1给排流路的第1流量调整部及设置于所述第2给排流路的第2流量调整部调整流体的流量，从而所述移动部件以预先设定的移动速度在所述缸室内进行直线移动，所述动作检测装置具备：

第1压力检测部，其检测所述第1压力作用室的压力；

第2压力检测部，其检测所述第2压力作用室的压力；

速度变化量计算部，其对所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力进行微分而计算出所述移动部件的速度变化量，所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力通过所述第1流量调整部或者所述第2流量调整部对流体流量的调整而变化；以及移位量计算部，其对由所述速度变化量计算部计算出的所述移动部件的速度变化量进行积分而计算出所述移动部件的移位量。

2.根据权利要求1所述的流体压致动器的动作检测装置，其特征在于，所述动作检测装置进一步具备判定部，该判定部在所述流体压致动器的初期动作以后，将计算出的所述移动部件的移位量与通过所述流体压致动器的初期动作得到的所述移动部件的移位量进行比较，判定所述流体压致动器的动作是否异常。

3.根据权利要求1所述的流体压致动器的动作检测装置，其特征在于，所述第1压力检测部配置于所述第1给排流路中的所述第1给排口与所述第1流量调整部之间，所述第2压力检测部配置于所述第2给排流路中的所述第2给排口与所述第2流量调整部之间。

说明书

流体压致动器的动作检测装置

技术领域

[0001] 本发明涉及流体压致动器的动作检测装置。

背景技术

[0002] 一般来说，作为流体压致动器的气压缸在缸室内收纳有作为移动部件的活塞，缸室内由活塞划定为第1压力作用室和第2压力作用室。另外，气压缸具有与第1压力作用室连通的第1给排口和与第2压力作用室连通的第2给排口。在第1给排口连接有第1给排流路，第1给排流路针对第1给排口供给排出作为流体的空气。另外，在第2给排口连接有第2给排流路，第2给排流路针对第2给排口供给排出空气。

[0003] 在第1给排流路及第2给排流路连接有切换阀。切换阀能够切换到第1切换状态，在该第1切换状态下，将来自作为流体供给源的空气供给源的空气经由第1给排流路及第1给排口向第1压力作用室供给，并且将第2压力作用室的空气经由第2给排口及第2给排流路向大气排出。另外，切换阀能够切换到第2切换状态，在第2切换状态下，将来自空气供给源的空气经由第2给排流路及第2给排口向第2压力作用室供给，并且将第1压力作用室的空气经由第1给排口及第1给排流路向大气排出。并且，通过切换阀切换到第1切换状态，从而活塞从位于活塞的移动方向上的第1冲程末端朝向第2冲程末端在缸室内进行直线移动。另外，通过切换阀切换到第2切换状态，从而活塞从第2冲程末端朝向第1冲程末端在缸室内进行直线移动。

[0004] 另外，作为对这样的气压缸的活塞的移动速度进行控制的方式，一般已知例如入口节流式控制方式及出口节流式控制方式：其使用分别设置于第1给排流路及第2给排流路的第1流量调整部及第2流量调整部。

[0005] 在入口节流式控制方式中，例如在切换阀切换到第1切换状态的情况下，利用第1流量调整部对将经由第1给排流路及第1给排口向第1压力作用室供给的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度进行控制。另外，例如在切换阀切换到第2切换状态的情况下，利用第2流量调整部对经由第2给排流路及第2给排口向第2压力作用室供给的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度进行控制。

[0006] 在出口节流式控制方式中，例如在切换阀切换到第1切换状态的情况下，利用第2流量调整部对从第2压力作用室经由第2给排口及第2给排流路向大气排出的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度进行控制。另外，例如在切换阀切换到第2切换状态的情况下，利用第1流量调整部对从第1压力作用室经由第1给排口及第1给排流路向大气排出的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度进行控制。

[0007] 这样，在气压缸中采用入口节流式控制方式或者出口节流式控制方式的任一个，使用第1流量调整部及第2流量调整部进行空气流量的调整，从而活塞以预先设定的移动速度在缸室内进行直线移动。

[0008] 但是，在气压缸中，在活塞在第1冲程末端与第2冲程末端之间移动的期间，有时会产生什么异常，从而活塞的移动速度异常变化。为了进行这样的气压缸的动作检测，例如在日本特开平9-329409号公报中使用磁致伸缩式传感器。磁致伸缩式传感器能够将在缸室内进行直线移动的活塞的位置连续地检测出。因此，通过使用磁致伸缩式传感器，能够进行如活塞的移动速度异常变化的、气压缸的动作检测。

发明内容

[0009] 发明要解决的课题

[0010] 但是，磁致伸缩式传感器因为用于组装到气压缸的结构复杂，或者磁致伸缩式传感器自身为昂价，所以具有难以说是用于进行气压缸的动作检测的有效结构的实情。

[0011] 本发明的目的在于提供一种流体压致动器的动作检测装置，该流体压致动器的动作检测装置能以廉价且简单的结构进行流体压致动器的动作检测。

[0012] 用于解决课题的方案

[0013] 是解决上述课题的流体压致动器的动作检测装置，所述流体压致动器具有：缸室；移动部件，其在所述缸室内进行直线移动；由所述移动部件在所述缸室内划定的第1压力作用室及第2压力作用室；第1给排口，其与所述第1压力作用室连通；以及第2给排口，其与所述第2压力作用室连通，在所述第1给排口连接有第1给排流路，该第1给排流路针对所述第1给排口供给排出流体，并且在所述第2给排口连接有第2给排流路，该第2给排流路针对所述第2给排口供给排出流体，通过与所述第1给排流路及所述第2给排流路连接的切换阀切换针对所述第1压力作用室及所述第2压力作用室的流体的供给排出，通过使用设置于所述第
1给排流路的第1流量调整部及设置于所述第2给排流路的第2流量调整部调整流体的流量，从而所述移动部件以预先设定的移动速度在所述缸室内进行直线移动，所述动作检测装置具备：第1压力检测部，其检测所述第1压力作用室的压力；第2压力检测部，其检测所述第2压力作用室的压力；速度变化量计算部，其对所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力进行微分而计算出所述移动部件的速度变化量，所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力通过所述第1流量调整部或者所述第2流量调整部对流体流量的调整而变化；以及移位量计算部，其对由所述速度变化量计算部计算出的所述移动部件的速度变化量进行积分而计算出所述移动部件的移位量。

[0014] 技术效果

[0015] 根据本发明，能够以廉价且简单的结构进行流体压致动器的动作检测。

附图说明

[0016] 图1是实施方式中的空气圧回路的整体构成图。

[0017] 图2是示出基于第2压力检测部的检测压力的变动波形、及通过作为比较例的磁致伸缩式传感器检测出的活塞的移位量的变动波形的坐标图。

[0018] 图3是示出活塞的速度变化量的变动波形的坐标图。

[0019] 图4是示出活塞的移位量的变动波形的坐标图。

具体实施方式

[0020] 以下，按照图1～图4对将流体压致动器的动作检测装置具体化的一个实施方式进行说明。本实施方式的流体压致动器的动作检测装置进行作为流体压致动器的气压缸的动作检测。

[0021] 如图1所示，气压缸10具有：缸筒11；缸室12，其形成于缸筒11内；以及作为移动部件的活塞13，其收纳于缸室12内。活塞13在缸室12内进行往复直线移动。在活塞13一体地设置有活塞杆14。活塞杆14能够伴随活塞13的往复直线移动而从缸筒11进出。

[0022] 缸室12内由活塞13划定为第1压力作用室15及第2压力作用室16。在缸筒11形成有第1给排口17和第2给排口18，第1给排口17与第1压力作用室15连通，第2给排口18与第2压力作用室16连通。

[0023] 在第1给排口17连接有第1给排流路19，第1给排流路19针对第1给排口17供给排出作为流体的空气。在第2给排口18连接有第2给排流路20，第2给排流路20针对第2给排口18供给排出空气。在第1给排流路19及第2给排流路20连接有切换阀21。通过该切换阀21可切换针对第1压力作用室15及第2压力作用室16的空气的供给排出。

[0024] 切换阀21能够切换到第1切换状态，在该第1切换状态下，将来自作为流体供给源的空气供给源22的空气经由第1给排流路19及第1给排口17向第1压力作用室15供给，并且将第2压力作用室16的空气经由第2给排口18及第2给排流路20向大气排出。另外，切换阀21能够切换到第2切换状态，在该第2切换状态下，将来自空气供给源22的空气经由第2给排流路20及第2给排口18向第2压力作用室16供给，并且将第1压力作用室15的空气经由第1给排口17及第1给排流路19向大气排出。

[0025] 并且，通过切换阀21切换到第1切换状态，从而活塞13从位于活塞13的移动方向上的第1冲程末端朝向第2冲程末端在缸室12内进行直线移动。另外，通过切换阀21切换到第2切换状态，从而活塞13从第2冲程末端朝向第1冲程末端在缸室12内进行直线移动。

[0026] 在第1给排流路19设置有第1流量调整部23。第1流量调整部23配置于第1给排流路19中的第1给排口17与切换阀21之间。在第2给排流路20设置有第2流量调整部24。第2流量调整部24配置于第2给排流路20中的第2给排口18与切换阀21之间。第1流量调整部23是具有止回阀23a及可变节流阀23b的速度控制阀。第2流量调整部24是具有止回阀24a及可变节流阀24b的速度控制阀。

[0027] 第1流量调整部23的可变节流阀23b及第2流量调整部24的可变节流阀24b的阀开度由控制装置25控制。并且，通过使用第1流量调整部23及第2流量调整部24进行空气流量的调整，从而活塞13以预先设定的移动速度在缸室12内进行直线移动。

[0028] 在本实施方式中，作为对活塞13的移动速度进行控制的方式，采用出口节流式控制方式。在出口节流式控制方式中，例如在切换阀21切换到第1切换状态的情况下，第1流量调整部23的止回阀23a容许从空气供给源22经由第1给排流路19朝向第1给排口17的空气流动，来自空气供给源22的空气经由第1给排流路19及第1给排口17向第1压力作用室15供给。另一方面，第2流量调整部24的可变节流阀24b的阀开度由控制装置25控制，从第2压力作用室16经由第2给排口18及第2给排流路20向大气排出的空气的流量由可变节流阀24b调整。
由此，可控制活塞13的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度。

[0029] 另外，例如在切换阀21切换到第2切换状态的情况下，第2流量调整部24的止回阀24a容许从空气供给源22经由第2给排流路20朝向第2给排口18的空气流动，来自空气供给源22的空气经由第2给排流路20及第2给排口18向第2压力作用室16供给。另一方面，第1流量调整部23的可变节流阀23b的阀开度由控制装置25控制，从第1压力作用室15经由第1给排口17及第1给排流路19向大气排出的空气的流量由可变节流阀23b调整。由此，可控制活塞13的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度。

[0030] 气压缸10、第1给排流路19、第2给排流路20、切换阀21、第1流量调整部23以及第2流量调整部24构成来自空气供给源22的空气流动的空气圧回路1。

[0031] 进行气压缸10的动作检测的动作检测装置30具备第1压力检测部31和第2压力检测部32，第1压力检测部31检测第1压力作用室15的压力，第2压力检测部32检测第2压力作用室16的压力。第1压力检测部31配置于第1给排流路19中的第1给排口17与第1流量调整部23之间。第2压力检测部32配置于第2给排流路20中的第2给排口18与第2流量调整部24之间。

[0032] 第1压力检测部31及第2压力检测部32分别与控制装置25电连接。第1压力检测部31及第2压力检测部32是将与检测压力成比例的电压值向控制装置25输出的模拟输出方式的压力变换器。控制装置25对从第1压力检测部31及第2压力检测部32输出的模拟信号进行数字变换(AD变换)。另外，该情况的采样周期例如为1ms以下。另外，控制装置25也可以根据需要对已变换的数字信号进行移动平均处理。

[0033] 控制装置25预先存储有速度变化量计算程序，该速度变化量计算程序对第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力进行微分而计算出活塞13的速度变化量，所述第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力通过第1流量调整部23或者第2流量调整部24对空气流量的调整而变化。因此，控制装置25作为如下速度变化量计算部发挥作用：对第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力进行微分而计算出活塞13的速度变化量。

[0034] 另外，控制装置25预先存储有移位量计算程序，该移位量计算程序对计算出的活塞13的速度变化量进行积分而计算出活塞13的移位量。因此，控制装置25也作为如下移位量计算部发挥作用：对计算出的活塞13的速度变化量进行积分而计算出活塞13的移位量。

[0035] 图2中用实线L1示出例如切换阀21切换到第1切换状态、活塞13从第1冲程末端移动到第2冲程末端时的基于第2压力检测部32的检测压力的变动波形(压力波形)。另外，图2中作为比较例用双点划线L2示出通过使用磁致伸缩式传感器而检测出的活塞13的移位量的变动波形(输出波形)。对图2中实线L1和双点划线L2进行比较可知：基于第2压力检测部32的检测压力的变动波形与通过磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量的变动波形没有相关关系。

[0036] 图3中用实线L3示出通过对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而得到的活塞13的速度变化量的变动波形(速度波形)。另外，在图3中作为比较例用双点划线L4示出通过对由磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量进行微分计算而得到的活塞13的速度变化量的变动波形(速度波形)。本发明人对图3中实线L3和双点划线L4进行比较发现如下：通过对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而得到的活塞13的速度变化量的变动波形与通过对由磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量进行微分计算而得到的活塞13的速度变化量的变动波形具有相关关系。

[0037] 在图4中用实线L5示出通过对活塞13的速度变化量进行积分计算而得到的活塞13的移位量的变动波形，该活塞13的速度变化量通过对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而得到。另外，在图4中作为比较例用双点划线L2示出由磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量的变动波形。该图4所示的双点划线L2与图2中用双点划线L2示出的由磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量的变动波形相同。本发明人对图4中实线L5和双点划线L2进行比较发现：通过对活塞13的速度变化量进行积分计算而得到的活塞13的移位量的变动波形与由磁致伸缩式传感器检测出的活塞13的移位量的变动波形具有相关关系，其中该活塞13的速度变化量通过对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而得到。

[0038] 因此，本实施方式的控制装置25对基于第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力进行微分而计算出活塞13的速度变化量，并对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量，其中，第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力通过第1流量调整部23或者第2流量调整部24对空气流量的调整而变化。

[0039] 在控制装置25预先存储有所使用的气压缸10的活塞13的冲程量或者活塞直径等参数。并且，存储有通过气压缸10的初期动作得到的活塞13的移位量作为基线。例如，控制装置25存储有图4中用实线L5示出的活塞13的移位量的变动波形作为基线。

[0040] 在此，所谓“通过气压缸10的初期动作得到的活塞13的移位量”是“通过气压缸10最初被使用的初次动作得到的活塞13的移位量”。另外，也可以是气压缸10最初被使用之后的多次动作得到的活塞13的移位量的平均值作为基线(baseline)被存储于控制装置25。

[0041] 例如，由控制装置25计算出的活塞13的移位量的变动波形是图4中用虚线L6示出的变动波形，在与用实线L5示出的活塞13的移位量的变动波形(基线)比较而产生某种一定差异的情况下，判定为气压缸10的动作异常。因此，控制装置25也作为如下判定部发挥作用：在气压缸10的初期动作以后，将计算出的活塞13的移位量与通过气压缸10的初期动作得到的活塞13的移位量进行比较，判定气压缸10的动作是否异常。

[0042] 如图1所示，控制装置25与通知部26电连接。并且，控制装置25当判定为气压缸10的动作异常时，将该判定结果向通知部26发送。并且，通知部26向作业者通知气压缸10的动作异常。通知部26例如是通过显示气压缸10的动作异常而向作业者通知的显示器。

[0043] 接着，对本实施方式的作用进行说明。

[0044] 当切换阀21切换到第1切换状态时，控制装置25以活塞13以预先设定的移动速度在缸室12内从第1冲程末端直线移动到第2冲程末端的方式，对第2流量调整部24的可变节流阀24b的阀开度进行控制。并且，控制装置25对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而计算出活塞13的速度变化，并且对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量。由此，可连续地检测出在缸室12内从第1冲程末端直线移动到第2冲程末端的活塞13的位置，并能够进行活塞13在缸室12内从第1冲程末端直线移动到第2冲程末端时的气压缸10的动作检测。

[0045] 另外，当切换阀21切换到第2切换状态时，控制装置25以活塞13以预先设定的移动速度在缸室12内从第2冲程末端直线移动到第1冲程末端的方式，对第1流量调整部23的可变节流阀23b的阀开度进行控制。并且，控制装置25对基于第1压力检测部31的检测压力进行微分计算而计算出活塞13的速度变化量，并且对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量。由此，可连续地检测出在缸室12内从第2冲程末端直线移动到第1冲程末端的活塞13的位置，并能够进行活塞13在缸室12内从第2冲程末端直线移动到第1冲程末端时的气压缸10的动作检测。

[0046] 并且，控制装置25在气压缸10的初期动作以后，将计算出的活塞13的移位量与基线进行比较，在产生某种一定差异的情况下，判定为气压缸10的动作异常。

[0047] 在上述实施方式中能够得到以下效果。

[0048] (1)动作检测装置30具备控制装置25，该控制装置25对第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力进行微分而计算出活塞13的速度变化量，并对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量，其中第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力通过第1流量调整部23或者第2流量调整部24对空气流量的调整而变化。据此，动作检测装置30能够连续地检测出在缸室12内进行直线移动的活塞13的位置，因此能够进行活塞13在缸室12内进行直线移动时的气压缸10的动作检测。因此，控制装置25不使用磁致伸缩式传感器，只是利用第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力就能够检测出活塞13的移位量，因此能够以廉价且简单的结构进行气压缸10的动作检测。

[0049] (2)控制装置25在气压缸10的初期动作以后，将计算出的活塞13的移位量与基线进行比较，在产生某种一定差异的情况下，判定为气压缸10的动作异常。据此，能够预知气压缸10的故障。另外，能够确定气压缸10的异常部位。

[0050] (3)第1压力检测部31配置于第1给排流路19中的第1给排口17与第1流量调整部23之间。据此，与第1压力检测部31例如配置于第1给排流路19中的第1流量调整部23与切换阀21之间的情况相比，能够利用第1压力检测部31精度良好地检测出第1压力作用室15的压力。另外，第2压力检测部32配置于第2给排流路20中的第2给排口18与第2流量调整部24之间。据此，与第2压力检测部32例如配置于第2给排流路20中的第2流量调整部24与切换阀21之间的情况相比，能够利用第2压力检测部32精度良好地检测出第2压力作用室16的压力。

[0051] (4)控制装置25对第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力进行微分而计算出活塞13的速度变化量，所述第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力通过第1流量调整部23或者第2流量调整部24对空气流量的调整而变化，因此能够检测出活塞13在移动后到停止的速度变化量作为连续的值。

[0052] (5)第1压力检测部31只要配置于第1给排流路19中的第1给排口17与第1流量调整部23之间的任意位置即可，第2压力检测部32只要配置于第2给排流路20中的第2给排口18与第2流量调整部24之间的任意位置即可，因此第1压力检测部31及第2压力检测部32的设置性良好。

[0053] (6)控制装置25不使用磁致伸缩式传感器，只是利用第1压力检测部31或者第2压力检测部32的检测压力就能够检测出活塞13的移位量，因此难以受到电气的外来干扰噪声的影响，从而能够精度良好地检测出活塞13的移位量。

[0054] (7)磁致伸缩式传感器组装到气压缸10，因此根据气压缸10的尺寸等，有时需要将磁致伸缩式传感器相对于气压缸10的组装位置变更，或者需要将磁致伸缩式传感器自身变更为与气压缸10的尺寸相应的大小。但是，在本实施方式中，只是利用配置于第1给排流路19的第1压力检测部31及配置于第2给排流路20的第2压力检测部32的检测压力就能够检测出活塞13的移位量。因此，不必由于受到气压缸10的尺寸的影响而变更第1压力检测部31及第2压力检测部32的设置位置、或者将第1压力检测部31及第2压力检测部32自身的尺寸变更。

[0055] 另外，上述实施方式也可以按以下变更。

[0056] ·在实施方式中，控制装置25也可以不作为如下判定部发挥作用：该判定部在气压缸10的初期动作以后，将计算出的活塞13的移位量与基线进行比较，判定气压缸10的动作是否异常。总之，动作检测装置30只要是能够连续地检测出在缸室12内直线移动的活塞13的位置，且能够进行活塞13在缸室12内直线移动时的气压缸10的动作检测的结构即可。

[0057] ·在实施方式中，第1压力检测部31例如也可以配置于第1给排流路19中的第1流量调整部23与切换阀21之间。另外，第2压力检测部32例如也可以配置于第2给排流路20中的第2流量调整部24与切换阀21之间。总之，第1压力检测部31只要能够检测出第1压力作用室15的压力，则其设置位置不被特别限定，且第2压力检测部32只要能够检测出第2压力作用室16的压力，则其设置位置不被特别限定。

[0058] ·在实施方式中，控制装置25也可以使用预先存储的气压缸10的活塞13的冲程量或者活塞直径等参数，对例如气压缸10的推力等更多的动作信息实时地进行运算并将其输出。

[0059] ·在实施方式中，控制装置25例如也可以将基于检测空气温度的温度传感器的检测温度编入到检测活塞13的移位量的计算中，并基于检测温度进行校正处理。

[0060] ·在实施方式中，也可以使与对第1流量调整部23及第2流量调整部24各自的可变节流阀23b、24b的阀开度进行控制的控制装置25不同的控制装置作为速度变化量计算部、移位量计算部及判定部发挥作用。

[0061] ·在实施方式中，也可以分别另外设置作为速度变化量计算部发挥作用的控制装置、作为移位量计算部发挥作用的控制装置、以及作为判定部发挥作用的控制装置。

[0062] ·在实施方式中，通知部26也可以不是显示器，例如也可以通过灯的点亮向作业者通知气压缸10的动作异常。

[0063] ·在实施方式中，动作检测装置30也可以进行气压缸10以外的流体压致动器的动作检测。因此，作为在缸室12中移动的移动部件不限于活塞13。

[0064] ·在实施方式中，作为对活塞13的移动速度进行控制的方式，也可以采用入口节流式控制方式。在入口节流式控制方式中，例如在切换阀21切换到第1切换状态的情况下，通过利用第1流量调整部23对经由第1给排流路19及第1给排口17向第1压力作用室15供给的空气流量进行调整，从而对活塞13的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度进行控制。另外，例如在切换阀21切换到第2切换状态的情况下，通过利用第2流量调整部24对经由第2给排流路20及第2给排口18向第2压力作用室16供给的空气流量进行调整，从而对活塞13的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度进行控制。

[0065] 当切换阀21切换到第1切换状态时，控制装置25对基于第1压力检测部31的检测压力进行微分计算而计算出活塞13的速度变化量，并且对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量。由此，可连续地检测出在缸室12内从第1冲程末端直线移动到第2冲程末端的活塞13的位置，并能够进行活塞13在缸室12内从第1冲程末端直线移动到第2冲程末端时的气压缸10的动作检测。

[0066] 当切换阀21切换到第2切换状态时，控制装置25对基于第2压力检测部32的检测压力进行微分计算而计算出活塞13的速度变化量，并且对计算出的活塞13的速度变化量进行积分计算而计算出活塞13的移位量。由此，可连续地检测出在缸室12内从第2冲程末端直线移动到第1冲程末端的活塞13的位置，并能够进行活塞13在缸室12内从第2冲程末端直线移动到第1冲程末端时的气压缸10的动作检测。