一种夹具装置

摘要

本发明公开了一种夹具装置，属于面板制造夹具领域，包括：基座以及与基座连接的支撑部，还包括套在支撑部上端的夹具，所述支撑部包括位于其一端且与所述基座连接的第一连接体、延伸方向与第一连接体相反的第二支撑体以及位于其另一端的第三连接体；所述夹具套在第三连接体的端部，且夹具覆盖第三连接体的顶部，通过夹具包裹支撑部，使得在溅镀成膜的过程中，仅夹具会产生覆膜，支撑部不会产生覆膜问题，在进行替换时，仅需要更换夹具部分，同时改变了夹具和支撑部的连接方法，让夹具在更换时操作更加方便，更加省时，从而提升生产效率。

权利要求

1.一种夹具装置，包括基座以及与基座连接的支撑部，其特征在于，还包括套在支撑部上端的夹具，所述支撑部包括位于其一端且与所述基座连接的第一连接体、延伸方向与第一连接体相反的第二支撑体以及位于其另一端的第三连接体；所述夹具套在第三连接体的端部，且夹具覆盖第三连接体的顶部；

所述第三连接体设有位于其一侧边的第一导轨以及位于其另一侧边的第二导轨；所述夹具设有包裹所述第一导轨的第一导向槽以及包裹所述第二导轨的第二导向槽；

所述第三连接体还设有连接第一导轨和第二导轨的连接板以及位于连接板上的长槽；

所述夹具设有组装在所述长槽内的长挡体；所述第一导轨内设有至少一个第一弹簧定位销，所述第二导轨内设有至少一个第二弹簧定位销；所述夹具还设有与所述第一弹簧定位销配合的第一定位槽以及与所述第二弹簧定位销配合的第二定位槽。

2.根据权利要求1所述的夹具装置，其特征在于：所述夹具包括上表面、由上表面一端向下垂直连接的第一侧面、由上表面另一端向下垂直连接且与第一侧面相对设置的第二侧面、由上表面一侧向下垂直连接且位于第一侧面和第二侧面之间的第三侧面以及由上表面底部向下延伸且位于第一侧面和第二侧面之间的中间体；其中所述长挡体位于所述中间体的侧面，所述第一导向槽由上表面、第一侧面、中间体和第三侧面包围形成，所述第二导向槽由上表面、第二侧面、中间体和第三侧面包围形成。

3.根据权利要求2所述的夹具装置，其特征在于：所述第一定位槽和第二定位槽均位于中间体上，且第一定位槽与第一导向槽连通，第二定位槽与第二导向槽连通。

4.根据权利要求3所述的夹具装置，其特征在于：所述第一弹簧定位销和第二弹簧定位销均设有多个，多个第一弹簧定位销和第二弹簧定位销分别纵向排布在第一导轨和第二导轨的侧壁上，所述第一定位槽和第二定位槽也设有多个，多个第一定位槽和第二定位槽分别纵向排布在所述中间体的两侧。

5.根据权利要求3或4所述的夹具装置，其特征在于：所述第一弹簧定位销的顶部和第二弹簧定位销的顶部均为半球形凸起，所述第一定位槽和第二定位槽均为与半球形凸起组装配合的半球形凹槽。

6.根据权利要求2所述的夹具装置，其特征在于：所述夹具覆盖有弹性缓冲层，所述弹性缓冲层设置在第三侧面上。

7.根据权利要求1所述的夹具装置，其特征在于：所述夹具由热固性树脂制成。

说明书

一种夹具装置

技术领域

[0001] 本发明属于夹具的技术领域，尤其涉及一种夹具装置。技术背景

[0002] 在液晶显示面板制造过程中，尤其是阵列基板制造过程中，物理气相沉积是其中重要的一个步骤，现阶段，一台物理气相沉积设备包括六个基板支撑托盘，每个基板支撑托盘上安装有二十四到二十六个夹具装置，基板支撑托盘承载玻璃基板完成镀膜工艺，夹具装置在这个过程中起到固定玻璃基板的作用。

[0003] 在溅镀成膜的过程中，夹具装置也会被覆膜，因此需要定期更换，以防止在基板溅镀成膜过程中，夹具装置表面覆膜的剥落发尘导致面板的成膜出现异物、电弧、飞溅等不良的问题产生。

[0004] 现有的夹具装置如图1所示，包括：基座1、与基座1连接的支撑部2以及与支撑部2连接的夹具3，夹具3在支撑部2上可以上下移动，调整夹具2的高度，调整到要求的高度时，通过螺丝4将夹具3固定在支撑部2上。夹具装置在溅镀成膜的过程中，不仅夹具3容易产生覆膜问题，支撑部2同样会产生覆膜问题，同样会造成面板的成膜问题。

[0005] 每个夹具装置从拆除到安装调试需要花费三分钟，需要将基座、支撑部和夹具同时拆除，对整个基板支撑托盘上的夹具装置进行更换，时间非常长，并且一个基板支撑托盘上的每个夹具装置需要联合工作，夹具装置之间的高度差会导致面板的破片等问题。

[0006] 现有的夹具装置在进行溅镀成膜时，需要用悬浮掩膜板对夹具装置进行保护，因此夹具装置需要处于悬浮掩膜板的不透光区下，因此增加了悬浮掩膜板的不透光区的面积，降低了气相沉积设备的有效成膜面积。

发明内容

[0007] 本发明提供了一种简单拆卸和安装的夹具装置，通过夹具包裹支撑部，使得在溅镀成膜的过程中，仅夹具会产生覆膜，支撑部不会产生覆膜问题，在进行替换时，仅需要更换夹具部分，同时改变了夹具和支撑部的连接方法，让夹具在更换时操作更加方便，更加省时，从而提升生产效率。

[0008] 一种夹具装置，包括基座以及与基座连接的支撑部，还包括套在支撑部上端的夹具，所述支撑部包括位于其一端且与所述基座连接的第一连接体、延伸方向与第一连接体相反的第二支撑体以及位于其另一端的第三连接体；所述夹具套在第三连接体的端部，且夹具覆盖第三连接体的顶部。

[0009] 优选的，所述第三连接体设有位于其至少一侧边的导轨，所述夹具设有包裹所述导轨的导向槽。

[0010] 优选的，所述第三连接体设有位于其一侧边的第一导轨以及位于其另一侧边的第二导轨；所述夹具设有包裹所述第一导轨的第一导向槽以及包裹所述第二导轨的第二导向槽。

[0011] 优选的，所述第三连接体还设有连接第一导轨和第二导轨的连接板以及位于连接板上的长槽；所述夹具设有组装在所述长槽内的长挡体。

[0012] 优选的，所述夹具包括上表面、由上表面一端向下垂直连接的第一侧面、由上表面另一端向下垂直连接且与第一侧面相对设置的第二侧面、由上表面一侧向下垂直连接且位于第一侧面和第二侧面之间的第三侧面以及由上表面底部向下延伸且位于第一侧面和第二侧面之间的中间体；其中所述长挡体位于所述中间体的侧面，所述第一导向槽由上表面、第一侧面、中间体和第三侧面包围形成，所述第二导向槽由上表面、第二侧面、中间体和第三侧面包围形成。

[0013] 优选的，所述第一导轨内设有至少一个第一弹簧定位销，所述第二导轨内设有至少一个第二弹簧定位销；所述夹具还设有与所述第一弹簧定位销配合的第一定位槽以及与所述第二弹簧定位销配合的第二定位槽；所述第一定位槽和第二定位槽均位于中间体上，且第一定位槽与第一导向槽连通，第二定位槽与第二导向槽连通。

[0014] 优选的，所述第一弹簧定位销和第二弹簧定位销均设有多个，多个第一弹簧定位销和第二弹簧定位销分别纵向排布在第一导轨和第二导轨的侧壁上，所述第一定位槽和第二定位槽也设有多个，多个第一定位槽和第二定位槽分别纵向排布在所述中间体的两侧。

[0015] 优选的，所述第一弹簧定位销的顶部和第二弹簧定位销的顶部均为半球形凸起，所述第一定位槽和第二定位槽均为与半球形凸起组装配合的半球形凹槽。

[0016] 优选的，所述夹具覆盖有弹性缓冲层，所述弹性缓冲层设置在第三侧面上。

[0017] 优选的，所述夹具由热固性树脂制成。

[0018] 本发明还公开了一种基板支撑托盘，包括多个上述的夹具装置以及支撑托盘，所述夹具装置阵列排布在支撑托盘的周围，所述夹具装置的基座通过紧固装置与支撑托盘固定连接。

[0019] 本发明还公开了一种物理气相沉积设备，包括多个基板支撑托盘以及覆盖基板支撑托盘的悬浮掩膜板，所述悬浮掩膜板包括透光区和不投光区，所述夹具装置处于悬浮掩膜板的透光区下。

[0020] 本发明通过让解决覆盖支撑部，在溅镀成膜的过程中，夹具能够对支撑部进行保护，防止支撑部出现覆膜现象，在更换时仅需要更换夹具，并且夹具和支撑部通过定位销和定位槽进行定位，大大减少了更换夹具时的操作时间，定位槽和定位销的配合，让定位更加精准，不会出现多个夹具高度不一致的问题，降低了更换夹具的操作难度，提高准确性。

附图说明

[0021] 图1为现有技术中夹具装置的结构示意图；

[0022] 图2为本发明夹具装置的结构示意图；

[0023] 图3为本发明夹具示意图；

[0024] 图4为本发明夹具装置装配示意图。

[0025] 附图标记列表：1-基座，2-支撑部，3-夹具，4-螺丝，21-第一连接体，22-第二支撑体，23-第三连接体，31-上表面，32-第一侧面，33-第二侧面，34-第三侧面，35-中间体，36-长挡体，51-第一导向槽，52-第二导向槽，62-第二定位槽，621-上第二定位槽，622-中第二定位槽，623-下第二定位槽，71-第一导轨，72-第二导轨，81-第一弹簧定位销，82-第二弹簧定位销，811-上第一弹簧定位销，812-中第一弹簧定位销，813-下第一弹簧定位销，821-上第二弹簧定位销，822-中第二弹簧定位销，823-下第二弹簧定位销。

具体实施方式

[0026] 下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

[0027] 实施例：

[0028] 如图2至图4所示为本发明夹具装置的实施例结构示意图，本实施例提供了一种夹具装置，包括：与基板支撑托盘(图未示)连接的基座1、与基座1连接的支撑部2以及套在支撑部2上端的夹具3。所述支撑部2包括位于其一端的第一连接体21、延伸方向与第一连接体21相反的第二支撑体22以及位于其另一端的第三连接体23，一连接轴100穿过第一连接体
21后与基座1固定连接；第二支撑体22和第三连接体23之间呈L型，第二支撑体22用于支撑基板；夹具3套在第三连接体23的端部，且夹具3覆盖第三连接体23的顶部，夹具3由热固性树脂制成。

[0029] 第三连接体23至少一侧边上设有导轨，本实施例中导轨设置有两个，即第三连接体23的两侧均设有第一导轨71和第二导轨72，可以根据设计需求设计一个或者多个导轨，与之对应的，夹具3上设置有与导轨7结构和数量上相匹配的导向槽。

[0030] 夹具3设有第一导向槽51和第二导向槽52，分别通过第一导向槽51包裹第一导轨71、第二导向槽52包裹第二导轨72，以此使得夹具3覆盖第三连接体23的顶部。第一导轨71和第二导轨72的侧壁分别设置有凸起的第一弹簧定位销81和第二弹簧定位销82，本实施例中，三个第一弹簧定位销81和第二弹簧定位销82分别等间距的纵向排列在第一导轨71和第二导轨72的侧壁上，其他实施例中，可以根据设计需求，设置一个或者多个弹簧定位销，多个弹簧定位销可以采用不等距的方式进行排列。与之对应的，在本实施例中，第一导向槽51和第二导向槽52的侧壁分别设置了三个与弹簧定位销8相互匹配的第一定位槽(图未示)和第二定位槽62，第一定位槽和第二定位槽62等间距的纵向排列在第一导向槽51和第二导向槽52的侧壁上。在完成组装后，至少有一个弹簧定位销和一个定位槽进行配合工作。通过第一弹簧定位销81和第一定位槽61的配合工作、第二弹簧定位销82和第二定位槽62的配合工作，可以实现精准和快速安装，减少安装时间。

[0031] 本实施例中第一弹簧定位销81包括垂直等距分布的上第一弹簧定位销811、中第一弹簧定位销812以及下第一弹簧定位销813，第二弹簧定位销82包括垂直等距分布的上第二弹簧定位销821、中第二弹簧定位销822以及下第二弹簧定位销823，第一定位槽包括垂直等距分布的上第一定位槽(图未示)、中第一定位槽(图未示)以及下第一定位槽(图未示)，第二定位槽62包括垂直等距分布的上第二定位槽621、中第二定位槽622以及下第二定位槽623，所述上第一弹簧定位销811与中第一弹簧定位销812之间的距离与上第一定位槽和中第一定位槽距离相等，所述上第二弹簧定位销821与中第二弹簧定位销822之间的距离与上第二定位槽621和中第二定位槽622距离相等，本实施例中，上第一弹簧定位销811与上第一定位槽配合，中第一弹簧定位销812和中第一定位槽配合，下第一弹簧定位销813和下第一定位槽配合，上第二弹簧定位销821与上第二定位槽621配合，中第二弹簧定位销822和中第二定位槽622配合，下第二弹簧定位销823和下第二定位槽623配合实现定位和固定。

[0032] 同时在其他实施例中，也可以通过中第一弹簧定位销812和上第一定位槽配合，下第一弹簧定位销813和中第一定位槽配合，上第一弹簧定位811销和下第一定位槽空置，实现夹具3的不同高度调整，以适应不同厚度的基板，提升了该装置的适用范围。进一步的，可以在可以设置第一弹簧定位销81、第二弹簧定位销82、第一定位槽、第二定位槽62可以设置多于三个，或者仅设置两个。

[0033] 第三连接体23还设有连接两个导轨71、72的连接板231以及位于连接板231上的长槽232。

[0034] 夹具3包括上表面31、由上表面31一端向下垂直连接的第一侧面32、由上表面31另一端向下垂直连接且与第一侧面32相对设置的第二侧面33、由上表面31一侧向下垂直连接且位于第一侧面32和第二侧面33之间的第三侧面34、由上表面31底部向下延伸且位于第一侧面32和第二侧面33之间的中间体35、位于中间体35侧面的长挡体36以及位于上表面31和第三侧面34之间且由上表面31延伸的挡块37。其中中间体35与第三侧面34连接。第一导向槽51由上表面31、第一侧面32、中间体35和第三侧面34包围形成，第二导向槽52由上表面31、第二侧面32、中间体35和第三侧面34包围形成；第一定位槽61和第二定位槽62均位于中间体35上，且第一定位槽61与第一导向槽51连通，第二定位槽62与第二导向槽52连通。

[0035] 进一步的，还可以在第三侧面34上设置弹性缓冲层，弹性缓冲层能够，保护基板，防止基板与夹具3直接接触导致的划伤。

[0036] 第一弹簧定位销81和第二弹簧定位销82的顶部为半球形，第一定位槽和第二定位槽62为与第一弹簧定位销81和第二弹簧定位销82的顶部相互匹配的半球形凹槽。

[0037] 支撑部2组装在夹具3上时，夹具3的长挡体36插入支撑部2的长槽232内，同时第一导轨71插入第一导向槽51内、第二导轨72插入第二导向槽52内，第一弹簧定位销81与对应的第一定位槽配合，第二弹簧定位销与对应的第二定位槽配合，以此完成夹具3套在支撑部2上端。

[0038] 本发明夹具装置不仅可以用来支撑基板的支撑托盘，也可以用在其他适于支撑或需要夹持的物体上。

[0039] 本发明还公开了一种物理气相沉积设备，包括基板支撑托盘以及覆盖基板支撑托盘的悬浮掩膜板，所述悬浮掩膜板包括透光区和不投光区，所述夹具装置处于悬浮掩膜板的透光区下。

[0040] 由于本发明提供的夹具在溅镀成膜的过程中，支撑部不会因为溅镀成膜产生覆膜现象，因此在溅镀成膜的过程中，不需要对夹具装置进行额外保护，可以让夹具装置处于透光区，以此增加了基板的有效成膜面积。

[0041] 以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种等同变换(如数量、形状、位置等)，这些等同变换均属于本发明的保护范围。