成膜装置

摘要

提供使用多个基板保持器、对基板的两面能够高效率地成膜、小型且结构简单的通过型的成膜装置。在真空槽（2）内具备对保持于基板保持器（11）的基板（10）上进行成膜的第1及第2成膜区域（4、5）、相对于铅垂面的投影形状形成为连续的环状地设置成通过第1及第2成膜区域（4、5）的搬运路径、在使多个基板保持器（11）水平的状态下沿搬运路径搬运的基板保持器搬运机构（3）。基板保持器搬运机构（3）具备与设置于各基板保持器（11）的被驱动部接触而使基板保持器（11）向移动方向推压来移动的多个驱动部，该驱动部关于相邻的基板保持器（11），以移动方向下游侧的基板保持器（11）的移动方向上游侧的端部、移动方向上游侧的基板保持器（11）的移动方向下游侧的端部接近的状态在第1及第2成膜区域（4、5）搬运。

权利要求

1.一种成膜装置，其特征在于，

前述成膜装置具备真空槽、第1成膜区域、第2成膜区域、基板保持器搬运机构，前述真空槽形成单一的真空氛围，前述第1成膜区域设置于前述真空槽内，在保持于基板保持器的基板处形成第1膜，前述第2成膜区域设置于前述真空槽内的前述第1成膜区域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，前述基板保持器搬运机构使多个前述基板保持器通过第1成膜区域和前述第2成膜区域，前述基板保持器搬运机构具有搬运路径和驱动部，

前述搬运路径形成为，投影至铅垂面的形状为环状的形状，

前述驱动部与设置于多个前述基板保持器的被驱动部接触，在维持前述基板保持器的水平状态的同时，推压前述被驱动部，使前述基板保持器沿前述搬运路径移动，前述基板保持器搬运机构具有第1搬运部和第2搬运部，前述第1搬运部被从前述第1成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第1成膜区域，前述第2搬运部被从前述第2成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第2成膜区域，在前述基板保持器搬运机构设置有搬运折回部，前述搬运折回部使前述基板保持器从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动，在前述基板保持器搬运机构，设置有使前述驱动部从前述第2搬运部向前述第1搬运部移动的驱动部折回部，前述搬运折回部构成为，具有形成为连续的环状的反转部，借助设置于前述反转部的支承部、设置于前述搬运折回部的支承部将前述基板保持器支承，借助前述驱动部推压前述被驱动部，由此，在将前述基板保持器维持水平状态的同时，使其从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

在前述基板保持器的移动方向的下游侧的端部和移动方向的上游侧的端部，设置有将成膜材料屏蔽的突出状的屏蔽部。

3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

相邻地移动的两个前述基板保持器的前述屏蔽部中，先移动的前述基板保持器的前述移动方向的上游侧的前述屏蔽部和后移动的前述基板保持器的前述移动方向的下游侧的前述屏蔽部形成为，距前述基板保持器的底面的高度不同，配置成移动时重合。

4.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

前述基板保持器搬运机构具有架设于以旋转轴线为中心旋转的两个驱动轮的搬运驱动部件，前述驱动部包括分别设置于前述搬运驱动部件的第2驱动部和第1驱动部，在各前述基板保持器的前述被驱动部，包括设置于前述基板保持器的移动方向的上游侧的上游侧被驱动部和设置于下游侧的下游侧被驱动部，前述第2驱动部与前述下游侧被驱动部接触，推压前述下游侧被驱动部，使前述基板保持器直线移动，前述第1驱动部配置于比前述第2驱动部靠移动方向的后方侧的位置，位于在被前述第

2驱动部直线移动的前述基板保持器的移动方向上游侧的前述驱动轮的侧面地旋转中，与前述上游侧被驱动部接触地推压，使前述基板保持器比前述第2驱动部的移动速度快地移动。

5.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

前述基板保持器构成为，多个成膜对象基板被沿相对于该移动方向正交的方向排列。

说明书

成膜装置

技术领域

[0001] 本发明涉及在真空中对保持于基板保持器的基板的两面进行通过成膜的成膜装置的技术。

背景技术

[0002] 以往，已知将多个被成膜基板分别载置于托盘等基板保持器来进行通过成膜（通過成膜）的成膜装置。

[0003] 作为这样的成膜装置，将作为成膜对象的基板向真空槽内导入(装载)来使基板保持器保持，将成膜已结束的基板从基板保持器卸下来向真空槽外排出(卸载)。

[0004] 在现有技术的方案中，基板在从装载位置至卸载位置，其成膜面被水平地保持，沿在水平面内构成的环状的搬运路径移动的同时，进行各处理。

[0005] 结果，在这样的现有技术中，有无法避免成膜装置的大型化及复杂化的问题。

[0006] 此外，在将保持着各基板的多个基板保持器搬运来进行通过成膜的情况下，优选地使成膜的效率尽可能大。

[0007] 但是，进行这样的通过成膜的装置中有难以高效率地进行成膜的问题。

[0008] 特别地，在对基板的两面进行成膜的装置中，也有上述问题会更严重的问题。

[0009] 专利文献1：日本特开2007-031821号公报。

发明内容

[0010] 本发明是考虑这样的以往的技术问题而作出的，其目的在于，提供一种成膜装置，前述成膜装置使用多个基板保持器，对于基板的两面能够高效率地成膜，且为小型且简单的结构，该成膜装置是通过型的。

[0011] 用于实现上述目的的本发明是一种成膜装置，前述成膜装置具备真空槽、第1成膜区域、第2成膜区域、基板保持器搬运机构，前述真空槽形成单一的真空氛围，前述第1成膜区域设置于前述真空槽内，在保持于基板保持器的基板处形成第1膜，前述第2成膜区域设置于前述真空槽内的前述第1成膜区域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，前述基板保持器搬运机构使多个前述基板保持器通过第1成膜区域和前述第2成膜区域，前述基板保持器搬运机构具有搬运路径和驱动部，前述搬运路径形成为，投影至铅垂面的形状为环状的形状，前述驱动部与设置于前述多个基板保持器的被驱动部接触，在维持前述基板保持器的水平状态的同时，推压前述被驱动部，使前述基板保持器沿前述搬运路径移动，前述基板保持器搬运机构具有第1搬运部和第2搬运部，前述第1搬运部被从前述第1成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第1成膜区域，前述第2搬运部被从前述第2成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第2成膜区域，在前述基板保持器搬运机构设置有搬运折回部，前述搬运折回部在维持前述基板保持器的水平状态的同时使前述基板保持器从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动，在前述基板保持器搬运机构，设置有使前述驱动部从前述第2搬运部向前述第1搬运部移动的驱动部折回部。

[0012] 此外，本发明的成膜装置为，在前述基板保持器的移动方向的下游侧的端部和移动方向的上游侧的端部，设置有将成膜材料屏蔽的突出状的屏蔽部。

[0013] 本发明的成膜装置为，相邻地移动的两个前述基板保持器的前述屏蔽部中，先移动的前述基板保持器的前述移动方向的上游侧的前述屏蔽部和后移动的前述基板保持器的前述移动方向的下游侧的前述屏蔽部形成为，距前述基板保持器的底面的高度不同，配置成移动时重合。

[0014] 本发明的成膜装置为，前述基板保持器搬运机构具有架设于以旋转轴线为中心旋转的两个驱动轮的搬运驱动部件，前述驱动部包括分别设置于前述搬运驱动部件的第2驱动部和第1驱动部，在各前述基板保持器的前述被驱动部，包括设置于前述基板保持器的移动方向的上游侧的上游侧被驱动部和设置于下游侧的下游侧被驱动部，前述第2驱动部与前述下游侧被驱动部接触，推压前述下游侧被驱动部，使前述基板保持器直线移动，前述第1驱动部配置于比前述第2驱动部靠移动方向的后方侧的位置，在位于前述驱动轮的侧面地旋转中，与前述上游侧被驱动部接触地推压，使前述基板保持器比前述第2驱动部的移动速度快地移动，前述驱动轮位于被前述第2驱动部直线移动的前述基板保持器的移动方向上游侧。

[0015] 进而，本发明的成膜装置为，多个成膜对象基板沿相对于该移动方向正交的方向排列。

[0016] 发明效果

[0017] 本发明中，在形成单一的真空氛围的真空槽内，具备基板保持器搬运机构，前述基板保持器搬运机构的搬运路径相对于铅垂面的投影形状形成为连续的环状，并且在使多个基板保持器水平的状态下沿搬运路径搬运，所以能够提供小型的成膜装置。

[0018] 此外，在本发明中，基板保持器搬运机构具有与分别设置于多个基板保持器的被驱动部接触地将该基板保持器向移动方向推压来使其移动的多个驱动部，该驱动部关于相邻的两个基板保持器，构成为在移动方向下游侧的基板保持器的移动方向上游侧的端部和移动方向上游侧的基板保持器的移动方向下游侧的端部接近的状态下在成膜区域搬运，所以能够在不进行复杂的控制的情况下在搬运路径配置尽可能多的基板保持器，由此能够提供结构简单且高效率地进行成膜的成膜装置。

[0019] 此外，能够使多个基板保持器之间的间隔比现有技术窄，所以能够减少成膜材料的浪费地高效率地使用，并且能够减少通过基板保持器之间的成膜材料的量，所以能够减少成膜材料向真空槽内的附着量，此外，能够防止真空槽内的成膜材料的污染。

[0020] 此外，能够提供能够对基板的两面高效率地进行成膜且为小型且结构简单的通过型的成膜装置。

[0021] 此外，借助屏蔽部，能够防止真空槽内的成膜材料的污染。

[0022] 此外，通过适当地设定驱动部间的距离，能够使多个基板保持器自动地接近来移动。

[0023] 此外，在使第1及第2搬运部以一定的速度搬运的状态下，即使在从第1旋转驱动机构侧排出基板保持器时，也能够借助搬运驱动部件的加速用驱动部将基板保持器加速，由此，能够使排出的基板保持器相对于后续的基板保持器自动地离开来顺畅地排出。

[0024] 在从第1旋转驱动机构侧导入基板保持器的情况下通过第1旋转驱动机构时，且在从第1旋转驱动机构侧排出基板保持器时，能够借助搬运驱动部件的加速用驱动部容易地将基板保持器加速。

[0025] 此外，在本发明中，在构成为基板保持器沿相对于该移动方向正交的方向将多个成膜对象基板排列来保持的情况下，与现有技术那样的搬运沿基板的移动方向将多个基板排列来保持的基板保持器来进行成膜的情况相比较，能够减少基板保持器的长度及与此相伴的剩余空间，所以能够使成膜装置更节省空间。

附图说明

[0026] 图1是表示本发明的成膜装置的实施方式的整体的概略结构图。

[0027] 图2是表示本实施方式的基板保持器搬运机构的基本结构的俯视图。

[0028] 图3是表示该基板保持器搬运机构的要部结构的主视图。

[0029] 图4(a) 图4(c)表示用于本实施方式的基板保持器的结构，图4(a)是俯视图，图4~(b)是主视图，图4(c)是表示屏蔽部的附近的放大图。

[0030] 图5(a)、图5(b)是表示基板保持器搬运机构的第1及第2驱动部的尺寸、基板保持器的尺寸的关系的说明图。

[0031] 图6是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其1)。

[0032] 图7是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其2)。

[0033] 图8是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其3)。

[0034] 图9(a)、图9(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板保持器搬运机构传递的动作的说明图(其1)。

[0035] 图10(a)、图10(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板保持器搬运机构传递的动作的说明图(其2)。

[0036] 图11(a)、图11(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板保持器搬运机构传递的动作的说明图(其3)。

[0037] 图12(a)、图12(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板保持器搬运机构传递的动作的说明图(其4)。

[0038] 图13(a)、图13(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板搬入搬出机构传递的动作的说明图(其1)。

[0039] 图14(a)、图14(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板搬入搬出机构传递的动作的说明图(其2)。

[0040] 图15(a)、图15(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板搬入搬出机构传递的动作的说明图(其3)。

[0041] 图16是表示从真空槽内排出基板的动作的说明图(其1)。

[0042] 图17是表示从真空槽内排出基板的动作的说明图(其2)。

[0043] 图18是表示从真空槽内排出基板的动作的说明图(其3)。

具体实施方式

[0044] 以下，参照附图，详细地对本发明的实施方式进行说明。

[0045] 图1是表示本发明的成膜装置的实施方式的整体的概略结构图。

[0046] 此外，图2是表示本实施方式的基板保持器搬运机构的基本结构的俯视图，图3是表示该基板保持器搬运机构的要部结构的主视图。

[0047] 进而，图4(a) 图4(c)表示用于本实施方式的基板保持器的结构，图4(a)是俯视~图，图4(b)是主视图，图4(c)是表示屏蔽部的附近的放大图。

[0048] 如图1所示，本实施方式的成膜装置1具有与真空排气装置1a连接的形成单一的真空氛围的真空槽2。

[0049] 在真空槽2的内部具有后述的搬运路径，设置有将基板保持器11沿搬运路径搬运的基板保持器搬运机构3。

[0050] 该基板保持器搬运机构3构成为将保持基板10的多个基板保持器11以接近的状态连续搬运。

[0051] 这里，基板保持器搬运机构3例如由链轮齿等构成，具有从驱动机构(图中未示出)传递旋转驱动力而动作的同径的圆形的第1及第2驱动轮(第1及第2旋转驱动机构)31、32，这些第1及第2驱动轮31、32被以使各自的旋转轴线Q1、Q2平行的状态隔开既定距离地配置。

[0052] 并且，在第1及第2驱动轮31、32处，例如由链等构成的两根搬运驱动部件33被离开地架设。

[0053] 进而，如图2所示，在这些第1及第2驱动轮31、32处，架设有两根搬运驱动部件33的构造体以既定的距离被平行地配置，由此形成有相对于被铅垂配置的平面(该平面为相对于被水平面垂直地配置的平面，称作铅垂面。)呈环状的搬运路径。

[0054] 在本实施方式中，在构成搬运路径的搬运驱动部件33的上侧的部分，形成有从第1驱动轮31向第2驱动轮32移动而将基板保持器11沿第1移动方向搬运的往路侧搬运部(也称作第1搬运部)33a，并且形成有借助第2驱动轮32的周围的部分的搬运驱动部件33将基板保持器11的移动方向折回来向相反方向转换的折回部33b，进而，在两根搬运驱动部件33中的下侧的部分，形成有从第2驱动轮32向第1驱动轮31移动来将基板保持器11沿第2移动方向搬运的返路侧搬运部(也称作第2搬运部)33c。

[0055] 本实施方式的基板保持器搬运机构3构成为，位于各搬运驱动部件33的上侧的往路侧搬运部33a、位于各搬运驱动部件33的下侧的返路侧搬运部33c分别相向，关于铅垂方向重叠(参照图1、图2)。

[0056] 此外，在基板保持器搬运机构3，设置有将基板保持器11导入的基板保持器导入部30A、将基板保持器11折回来搬运的搬运折回部30B、将基板保持器11排出的基板保持器排出部30C。

[0057] 这里，搬运折回部30B具有例如形成为连续的环状的反转部34，借助设置于该反转部34的多个支承部(图中未示出)、设置于上述搬运驱动部件33的折回部33b的多个支承部(图中未示出)将各基板保持器11支承，向往路侧搬运部33a上的既定方向的移动结束的基板保持器11被向返路侧搬运部33c移动，开始向与在往路侧搬运部33a上移动时的方向相反的方向的移动。

[0058] 基板保持器11在往路侧搬运部33a移动时朝向铅垂上方的面在被从往路侧搬运部33a向返路侧搬运部33c移动时和在返路侧搬运部33c上移动时的双方均维持朝向铅垂上方的状态。

[0059] 此外，在本实施方式中，第1、第2驱动轮31、32以两方的侧面借助马达等旋转装置以相同速度移动的方式，以旋转轴线Q1、Q2为中心沿相同的旋转方向以一定的速度旋转。

[0060] 各搬运驱动部件33与第1、第2驱动轮31、32的侧面接触，与搬运驱动部件33的第1驱动轮31接触的部分和与第2驱动轮32接触的部分在不与第1、第2驱动轮31、32一起滑动的情况下旋转移动而从移动方向后方侧向移动方向前方侧旋转移动。另一方面，在第1驱动轮31和第2驱动轮32之间，从移动方向后方侧(移动方向上游侧)向移动方向前方侧(移动方向下游侧)直线移动。

[0061] 各搬运驱动部件33由不伸缩的材料构成，此外，以不松弛的方式架设于第1、第2驱动轮31、32之间，在往路侧搬运部33a中和返路侧搬运部33c中，各搬运驱动部件33被配置成水平的平面形状。因此，第1、第2驱动轮31、32之间的各搬运驱动部件33也构成为以与第1及第2驱动轮31、32的侧面的移动速度相同的速度移动。

[0062] 在本实施方式中，在真空槽2内，设置有与配置于基板保持器搬运机构3的上部的溅射源4Ｔ面对的空间即第1成膜区域4、与配置于基板保持器搬运机构3的下部的溅射源5Ｔ面对的空间即第2成膜区域5。

[0063] 另外，在第1及第2成膜区域4、5，分别设置有将既定的溅射气体导入的气体导入机构(图中未示出)。

[0064] 在本实施方式中，具有上述搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a被从上述第1成膜区域4的一端遍及至另一端地直线地配置，如后所述，沿往路侧搬运部33a内的搬运路径移动的基板保持器11构成为，在第1成膜区域4的一端和另一端之间沿水平方向移动地通过。

[0065] 此外，具有搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c同样地被从上述第2成膜区域5的一端遍及至另一端之间地直线地配置，如后所述，沿返路侧搬运部33c内的搬运路径移动的基板保持器11构成为，在上述第2成膜区域5的一端和另一端之间沿水平方向移动地通过。

[0066] 并且，基板保持器11通过具有构成搬运路径的这些搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a及返路侧搬运部33c之中的情况下，保持于基板保持器11的多个基板10(参照图2)被以水平状态移动。

[0067] 在真空槽2内的基板保持器搬运机构3的附近的位置、例如与第1驱动轮31相邻的位置，设置有基板搬入搬出机构6，前述基板搬入搬出机构6用于将基板保持器11向基板保持器搬运机构3传递，此外，用于从基板保持器搬运机构3接收基板保持器11。

[0068] 本实施方式的基板搬入搬出机构6具有支承部62，前述支承部62设置于例如被升降机构60向铅垂上方或铅垂下方驱动的驱动杆61的末(上)端部。

[0069] 在本实施方式中，搬运机器人64设置于基板搬入搬出机构6的支承部62上，构成为，在该搬运机器人64上支承上述基板保持器11来使基板保持器11向铅垂上下方向移动，且借助搬运机器人64在与基板保持器搬运机构3之间将基板保持器11传递且接收。

[0070] 该情况下，如后所述，基板搬入搬出机构6构成为，向基板保持器搬运机构3的往路侧搬运部33a的基板保持器导入部30A传递基板保持器11(将该位置称作“基板保持器接受位置”。)，此外，基板搬入搬出机构6构成为，从基板保持器搬运机构3的返路侧搬运部33c的基板保持器排出部30C接收基板保持器11(将该位置称作“基板保持器取出位置”。)。

[0071] 例如在真空槽2的上部，设置有基板搬入搬出室2A，前述基板搬入搬出室2A用于向真空槽2内搬入基板10且从真空槽2搬出基板10。

[0072] 该基板搬入搬出室2A例如经由连通口2B设置于上述基板搬入搬出机构6的支承部62的上方的位置，例如在基板搬入搬出室2A的上部设置有能够开闭的盖部2a。

[0073] 并且，如后所述，构成为，将被向基板搬入搬出室2A内搬入的基板10向基板搬入搬出机构6的支承部62的搬运机器人64上的基板保持器11传递来保持，且将已成膜的基板10A从基板搬入搬出机构6的支承部62的搬运机器人64上的基板保持器11例如向真空槽2的外部的大气中搬出。

[0074] 另外，本实施方式的情况下，在基板搬入搬出机构6的支承部62的上部的边缘部，设置有用于在将基板10搬入及搬出时将基板搬入搬出室2A和真空槽2内的氛围隔离的例如O型圈等密封部件63。

[0075] 该情况下，构成为，使基板搬入搬出机构6的支承部62向基板搬入搬出室2A侧上升，使支承部62上的密封部件63与真空槽2的内壁紧贴来堵塞连通口2B，由此相对于真空槽2内的氛围将基板搬入搬出室2A内的氛围隔离。

[0076] 在两根搬运驱动部件33处，设置成多个成对的驱动部分别以既定的间隔向搬运驱动部件33的外侧突出。

[0077] 如图3所示，在本实施方式中，在两根搬运驱动部件33分别设置有用作加速用驱动部的第1驱动部21和作为不用于加速的其他驱动部第2驱动部22，前述第1驱动部21和前述第2驱动部22是成对的驱动部。

[0078] 这里，第1驱动部21和第2驱动部22两方均为棒状，第1驱动部21和第2驱动部22以相对于搬运驱动部件33的表面垂直的方式设置，固定于搬运驱动部件33。总之，棒状的第1、第2驱动部21、22被垂直地立设于各搬运驱动部件33的表面。如后所述，第1、第2驱动部21、22设置成，与基板保持器11的第1、第2被驱动部12、13接触，将该基板保持器11向移动方向推压来使其移动。

[0079] 此外，在一对搬运驱动部件33(参照图2)的内侧的位置，在第1及第2驱动轮31、32之间设置有将搬运的基板保持器11支承的一对基板保持器支承机构18。

[0080] 搬运驱动部件33设置成环状，被以一部分位于上方而另一部分位于下方的方式配置。搬运驱动部件33为由金属形成的带等。

[0081] 在搬运驱动部件33的位于上方的部分，基板保持器11被基板保持器支承机构18以位于被搬运驱动部件33靠上方的位置的方式支承，在搬运驱动部件33的位于下方的部分，基板保持器11被基板保持器支承机构18以位于比搬运驱动部件33靠下方的位置的方式支承。

[0082] 基板保持器支承机构18例如由多个辊等能够旋转的部件构成，分别设置于搬运驱动部件33的附近。

[0083] 在本实施方式中，如图3所示，在搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a的附近设置往路侧基板保持器支承机构18a，并且在搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c的附近设置返路侧基板保持器支承机构18c，往路侧基板保持器支承机构18a和返路侧基板保持器支承机构18c构成为，配置成支承被搬运的基板保持器11的下表面的两边缘部。

[0084] 用于本实施方式的基板保持器11在基板10的两面上进行成膜，基板保持器11具有保持器主体9，如后所述，第1、第2被驱动部12、13设置于保持器保体9的两侧面。在保持器主体9形成有开口部，设为托盘状。

[0085] 如图2及图4(a) (c)所示，本实施方式的基板保持器11例如形成为长条矩形的平~板状，构成为，在其长边方向即相对于移动方向正交的方向上将例如矩形的多个基板10排成一列来分别保持。

[0086] 这里，在保持多个基板10的部分设置有与各基板10形状相同、各基板10的两面全部露出的大小的开口部17。构成为，在保持基板的部分，在借助图中未示出的保持部件露出两面的状态下将基板保持于开口部17上。基板10为矩形的情况下开口部17的形状也是矩形。

[0087] 本发明中未被特别限定，但从使设置面积变小且使处理能力提高的观点考虑，关于基板保持器11，优选地像本实施方式这样，构成为沿相对于移动方向正交的方向将多个基板10排成一列来分别保持。

[0088] 但是，从使成膜效率提高的观点考虑，也能够沿相对于移动方向正交的方向将多个基板10排成多列。

[0089] 该情况下，若基板10为圆形形状，则例如通过采用交错排列，能够使不成膜的部分的面积变小。

[0090] 此外，根据基板10和后述的第1及第2屏蔽部15、16的尺寸比排列成多列的话成膜效率提高的情况下，也能够将基板10排成多列。

[0091] 各基板保持器11的保持器主体9是长边方向相对于移动方向垂直地配置的矩形形状，在保持器主体9的四个侧面中，有朝向基板保持器11移动的移动方向的下游侧的侧面和朝向上游侧的侧面、朝向侧方的两个侧面，在朝向侧方的两个侧面分别设置有第1、第2被驱动部12、13。

[0092] 在朝向侧方的两个侧面的一个侧面中，第1被驱动部12被比第2被驱动部13靠移动方向的下游侧地设置，因此，在两个侧面中，第1被驱动部12设置于保持器主体9的先头侧，第2被驱动部12设置于保持器主体9的后尾侧。

[0093] 第1、第2被驱动部12、13为棒状，被沿水平方向伸展地垂直地设置于保持器主体9的侧面。

[0094] 在两根搬运驱动部件33间设置有间隙，保持器主体9位于两根搬运驱动部件33之间，第1、第2被驱动部12、13分别配置于两根搬运驱动部件33上。这里，第1、第2被驱动部12、13与两根搬运驱动部件33不接触，在第1、第2被驱动部12、13与第1驱动部21或第2驱动部22不接触的状态下，基板保持器11由于移动的搬运驱动部件33而不移动。

[0095] 这些第1及第2被驱动部12、13的截面形状为以分别沿基板保持器11的长边方向延伸的中心轴线为中心的圆形形状，如后所述，构成为，与设置于搬运驱动部件33的第1、第2驱动部21、22接触而第1及第2被驱动部12、13被第1或第2驱动部21、22推压，由于被推压的力，基板保持器11向移动方向移动。

[0096] 两根搬运驱动部件33以相同速度移动，分别设置于两根搬运驱动部件33的第2驱动部22与分别设置于一个基板保持器11的两个侧面的第1被驱动部12同时接触，此外，分别设置于两根搬运驱动部件33的第1驱动部21与分别设置于一个基板保持器11的两个侧面的第2被驱动部13同时接触。

[0097] 借助搬运驱动部件33使基板保持器11移动时，在基板保持器11的移动方向的上游侧的端部和下游侧的端部分别设置有屏蔽部。这里，将上游侧和下游侧的某一方的端部的屏蔽部设为第1屏蔽部(屏蔽部)15，将另一侧的屏蔽部设为第2屏蔽部(屏蔽部)16。

[0098] 这些第1及第2屏蔽部15、16用于将飞溅的成膜材料(溅射颗粒)屏蔽，分别设置成遍及基板保持器11的长边方向的整个区域地从移动方向侧两端部向移动方向突出。

[0099] 在本实施方式中，如图4(c)所示，设置于基板保持器11的第1被驱动部12侧的端部的第1屏蔽部15被设置成在基板保持器11的下表面侧例如向移动方向下游侧突出，设置于基板保持器11的第2被驱动部13侧的端部的第2屏蔽部16被设置成在基板保持器11的上表面侧例如向移动方向上游侧突出。

[0100] 并且，在多个基板保持器11接近的状态下被搬运的情况下，例如如图4(c)所示，相邻的两个基板保持器11中的一方的基板保持器11的第1屏蔽部15在下方，另一方的基板保持器11的第2屏蔽部16在上方(或一方的基板保持器11的第1屏蔽部15在上方，另一方的基板保持器11的第2屏蔽部16在下方)，第1、第2屏蔽部15、16重叠。

[0101] 可以在重叠的第1、第2屏蔽部15、16之间设置有间隙。

[0102] 这里，“相邻的两个基板保持器11”意味着，其他基板保持器11不位于这两个基板保持器11之间，其他部件相邻的情况也是同样的。

[0103] 图5(a)、图5(b)是表示基板保持器搬运机构3的第1及第2驱动部21、22的尺寸和基板保持器11的尺寸的关系的说明图。

[0104] 本实施方式的情况下，各部分的尺寸关系以往路侧搬运部33a的情况为例来说明，但在作为第1搬运部的往路侧搬运部33a、作为第2搬运部的返路侧搬运部33c中，各部分的尺寸关系相同，所以往路侧搬运部33a的尺寸关系在返路侧搬运部33c中也成立。

[0105] 如图5(a)、图5(b)所示，位于往路侧搬运部33a的多个第1驱动部21的高度(从位于往路侧搬运部33a内的搬运驱动部件33表面至上端的距离。关于“高度”，以下相同。)H1比被搬运的基板保持器11的第1及第2被驱动部12、13的高度h高。

[0106] 在一根搬运驱动部件33中，相邻的第1驱动部21、21间的搬运驱动部件33被平面状地配置时的中心间距离即第1间距Ｐ被设定成全为相同大小。中心间距离设为朝向下游侧的面间的距离和朝向上游侧的面间的距离相等。以下也相同。

[0107] 本实施方式的情况下，第1间距Ｐ如图5(b)所示，被设定成比一个基板保持器11的第1及第2被驱动部12、13间的距离即被驱动部间距p大。

[0108] 并且，构成为，使一根搬运驱动部33中相邻的第1驱动部21、21与位于相邻的位置的基板保持器11的第2被驱动部13、13的移动方向上游侧的面分别接触，使第1驱动部21、21移动，将第2被驱动部13、13推压，由此，若在往路侧搬运部33a中使基板保持器11向移动方向下游侧移动，则相邻的基板保持器11、11在接近的状态排列后被搬运。

[0109] 这里，第1间距Ｐ、被驱动部间距p、各基板保持器11的尺寸(第1及第2屏蔽部15、16的尺寸)被设定成，位于移动方向下游侧的基板保持器11的移动方向上游侧的端部、位于移动方向上游侧的基板保持器11的移动方向下游侧的端部接近，相邻的移动方向上游侧的基板保持器11的第1屏蔽部15、移动方向下游侧的基板保持器11的第2屏蔽部16一方位置下方而另一方位于上方地将间隙配置于之间地重叠(参照图4(c))。

[0110] 另一方面，设定成，位于往路侧搬运部33a的多个第2驱动部22的高度(相对于往路侧搬运部33a的顶部的距离)H2比基板保持器11的第1及第2被驱动部12、13的高度h高，且比上述第1驱动部21的高度H1低。

[0111] 在一根搬运驱动部件33中，第1驱动部21和第2驱动部22被交替地配置，相邻的第2驱动部22、22间的搬运驱动部件33被配置成平面形状时的距离即第2间距Ｐ0被设定成与上述第1间距Ｐ相同的大小。

[0112] 并且，在一根搬运驱动部件33中，在第2驱动部22的移动方向上游侧和下游侧，第1驱动部21分别相对于第2驱动部22被相邻地配置，在第2驱动部22和相对于该第2驱动部22在移动方向上游侧相邻的第1驱动部21之间的搬运驱动部件33被配置成平面形状时的距离即上游侧间距Ｐ1，比第2驱动部22和相对于该第2驱动部22在移动方向下游侧相邻的第1驱动部21之间的搬运驱动部件33被配置成平面形状时的距离即下游侧间距Ｐ2大(参照图5(a))。

[0113] 更详细地说，第2间距Ｐ0为朝向第1、第2驱动部21、22的移动方向的下游的面间的距离，被驱动部间距p为朝向第1、第2被驱动部12、13的移动方向的上游的面间的距离。上游侧间距Ｐ1比被驱动部间距p小(参照图5(b))。

[0114] 以下，参照图6 图18，说明本实施方式的成膜装置1的动作、以及使用该成膜装置1~的成膜方法。

[0115] 在本实施方式中，首先，如图6所示，使基板搬入搬出机构6的支承部62上的密封部件63与真空槽2的内壁紧贴，在相对于真空槽2内的氛围将基板搬入搬出室2A内的氛围隔离的状态下，在呈大气压后，打开基板搬入搬出室2A的盖部2a。

[0116] 之后，使用图中未示出的搬运机器人将基板10装配于基板搬入搬出机构6的支承部62的搬运机器人64上的基板保持器11来保持。

[0117] 并且，如图7所示，将基板搬入搬出室2A的盖部2a关闭，进行真空排气至呈既定的压力为止后，使基板搬入搬出机构6的支承部62下降至基板保持器接受位置，基板保持器11的高度处于与搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a相同的高度位置。

[0118] 进而，如图8所示，借助设置于基板搬入搬出机构6的支承部62的搬运机器人64将基板保持器11配置于基板保持器搬运机构3的基板保持器导入部30A。

[0119] 参照图9(a)、图9(b) 图12(a)、图12(b)，对在本实施方式中将基板保持器11向基~板保持器搬运机构3传递的动作进行说明。

[0120] 另外，实际上，该传递动作时，也同时进行将基板保持器11向基板搬入搬出机构6传递的动作，但在本说明书中，为了容易理解，在后说明基板保持器11被向基板搬入搬出机构6传递的动作。

[0121] 以下，对与基板保持器11A相邻的后续的基板保持器11B被从基板搬入搬出机构6向第1搬运部33a移动的工序进行说明，前述基板保持器11A位于搬运驱动部件33，前述搬运驱动部件33位于往路侧搬运部33a中。

[0122] 首先，使用基板搬入搬出机构6的搬运机器人64，将后续的基板保持器11B如图9(a)所示，配置于基板保持器搬运机构3的基板保持器导入部30A。

[0123] 配置于基板保持器导入部30A的基板保持器11B静止于将往路侧搬运部33a向上游侧延长的场所，该基板保持器11B的第1被驱动部12位于比第2被驱动部13靠移动方向下游侧的位置。

[0124] 此时，基板保持器11A和位于基板保持器导入部30A的后续的基板保持器11B离开，屏蔽部15、16不重合。

[0125] 在位于基板保持器导入部30A的后续的基板保持器11B的下方，第1驱动轮31以旋转轴线Q1为中心旋转，与第1驱动轮31接触的搬运驱动部件33的部分以与第1驱动轮31的旋转速度相同的大小的旋转速度旋转移动。设置于旋转移动的搬运驱动部件33的第2驱动部22B也旋转移动，通过该旋转移动，第2驱动部22B如图9(b)所示地向上方移动。

[0126] 若第1驱动轮31进一步旋转，设置有第2驱动部22B的部分的搬运驱动部件33从第1驱动轮31离开，则第2驱动部22B开始沿往路侧搬运部33a的搬运路径的直线移。

[0127] 旋转移动中的第2驱动部22B向旋转的外侧突出，直线移动中，向上方突出。

[0128] 位于基板保持器导入部30A的基板保持器11B的第1被驱动部12位于比旋转轴线Q1的正上方靠上游侧的位置时，旋转中的第2驱动部22B与第1被驱动部12接触，位于比旋转轴线Q1的正上方靠下游侧的位置时，从旋转移动改变成直线移动的第2驱动部22B与第1被驱动部12接触。位于旋转轴线Q1的正上方时，从旋转移动切换成直线移动时的第2驱动部22B与第1被驱动部12接触(图10(a))。

[0129] 在哪个场合下，朝向第2驱动部22B的移动方向下游侧的面均与朝向第1被驱动部12的移动方向上游侧的面接触。

[0130] 若第2驱动部22B与第1被驱动部12接触的状态下旋转移动或直线移动，则第1被驱动部12由于第2驱动部22B被向移动方向下游侧推压，基板保持部11B向移动方向下游侧移动。

[0131] 若继续直线移动，则如图10(b)所示，基板保持部11B的先头进入往路侧搬运部33a的内部，在往路侧搬运部33a的内部直线移动。先行的基板保持器11A也一起移动，该第2被驱动部13和后续的基板保持器11B的第1被驱动部12在仅以下游侧间距Ｐ2的距离离开的状态下直线移动。

[0132] 此时，在比使基板保持部11B移动的第2驱动部22B靠移动方向上游侧处，通过第1驱动轮31的旋转，与第2驱动部22B相邻的第1驱动部21B旋转移动，由此向上方移动，如图11(a)所示，第1驱动部21B接近第2被驱动部13。

[0133] 第1驱动部21B在旋转移动中，相对于搬运驱动部件33垂直，若第1驱动轮31以旋转轴线Q1为中心旋转，则第1驱动部21B的上端沿比第1驱动轮31直径大的同心圆旋转。

[0134] 因此，第1驱动部21B的上端的旋转移动速度比与第1驱动部21接触的搬运驱动部件33的旋转移动速度快。

[0135] 第2驱动部22B直线移动时，第1驱动部21B的上端朝向第1搬运部33a的移动方向的上游侧的同时旋转，向上方移动，朝向斜上方的同时向上方移动的第1驱动部21B的上端和第2驱动部22B与第1被驱动部12接触的部分之间的距离比上游侧间距Ｐ1大。

[0136] 第1、第2被驱动部12、13位于相同的水平面的基准面内。第1驱动部21B通过旋转而上升、其上端的部分与基准面交叉时，基板保持器11B在第2被驱动部13位于比第1驱动轮31的中心轴线Q1的正上方的位置靠上游侧的状态下，通过第2驱动部22B的推压而进行移动中，第2被驱动部13位于第1被驱动部12的上端部分和第1驱动部21B的延长线上之间。

[0137] 第1驱动部21B的水平方向的移动速度比第2被驱动部13的移动速度快，所以第1驱动部21B追上第2被驱动部13，第1驱动部21B的上端部分的下游侧的面与第2被驱动部13的上游侧的面接触(图11(b))。

[0138] 进而，若第1驱动部21B进一步旋转的同时上升，则第2被驱动部13以比第2驱动部22B的移动速度快的速度被第1驱动部21B向水平方向推压，基板保持部11B的第1被驱动部
12从接触着的第2驱动部22B离开(图12(a))。

[0139] 第1驱动部21B通过第1驱动轮31中心轴线Q1的正上方的位置前第1驱动部21B与第2被驱动部13接触的部分以比第2驱动部22B的移动速度快的速度沿水平方向移动，后续的基板保持部11B接近先行的基板保持部11A。第1驱动部21B和第2被驱动部13的接触部分在第1驱动部21B旋转移动的期间从上端侧向根部侧移动(图12(b))。

[0140] 若第1驱动部21B到达第1驱动轮31的中心轴线Q1的正上方的位置，则第1驱动部21B的旋转移动结束，变为直线移动。第1驱动部21B的移动速度与第2驱动部22B的移动速度相等。

[0141] 第1驱动部21B位于比第1驱动轮31的中心轴线Q1的正上方的位置靠上游侧的位置时，先行的第2驱动部22B和后行的第1驱动部21B之间的距离由于第1驱动轮31的旋转而缩短，但若第1驱动部21B到达第1驱动轮31的中心线Q1的正上方的位置，则先行的第2驱动部22B和后行的第1驱动部21B之间的距离为上游侧间距Ｐ1的大小，第2驱动部22B和第1驱动部21B直线移动的期间，上游侧间距Ｐ1的距离被维持。

[0142] 通过以上的工序，后续的基板保持器11B的导入动作结束。

[0143] 设置于搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a的多个第1驱动部21分别与各基板保持器11的第2被驱动部13接触，使该往路侧搬运部33a向朝向第2驱动轮32(参照图8)的移动方向下游侧(第1移动方向)移动，各基板保持器11分别被来自第1驱动部21的驱动力在接近的状态下被搬运。

[0144] 各基板保持器11通过基板保持器搬运机构3的动作，在搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a中沿移动路径移动，通过第1成膜区域4(参照图1)。

[0145] 在往路侧搬运部33a中移动时，各基板保持器11接近第2驱动轮32。

[0146] 由此，上述第1驱动部21与被往路侧基板保持器支承机构18a支承的多个基板保持器11的第2被驱动部13接触而被推压，在以一定的间隔接近的状态下，在搬运驱动部件33的往路侧搬运部33a上向搬运折回部30B移动(参照图3)。

[0147] 并且，基板保持器11通过第1成膜区域4的位置时，在保持于基板保持器11的基板10的表面上，借助位于基板保持器11的上方的第1溅射源4Ｔ进行基于溅射的成膜(参照图
1、图2)。

[0148] 之后，在搬运折回部30B中，维持使第1搬运部33a在移动中各基板保持器11的朝向上方的面朝向上方、朝向下方的面朝向下方的状态，同时使各基板保持器11从往路侧搬运部33a向搬运折回部30B移动，从搬运折回部30B向返路侧搬运部33c移动(图1参照)。

[0149] 在搬运折回部30B中移动中的基板保持器11，第1被驱动部12位于在返路侧搬运部33c处的搬运移动方向即第2移动方向的上游侧，第2被驱动部13位于下游侧。

[0150] 从搬运折回部30B向返路侧搬运部33c移动时，使第1驱动部21与位于搬运折回部30B的基板保持器11的第2被驱动部13接触，使基板保持器11借助第1驱动部21直线移动。

[0151] 第1驱动部21与后续的基板保持器11的第2被驱动部13接触的同时旋转移动来使基板保持器11移动时，该基板保持器11与先行的基板保持器11相比高速移动与上述的往路侧搬运部33a的情况相同。

[0152] 各基板保持器11在以一定的间隔接近的状态下，在搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c上向基板保持器排出部30C移动(参照图3)。

[0153] 各基板保持器11到达基板保持器排出部30C之前通过第2成膜区域5。

[0154] 该情况下，在本实施方式的基板保持器搬运机构3中，如上所述，经由搬运折回部30B从往路侧搬运部33a向返路侧搬运部33c移动的基板保持器11在往路侧搬运部33a内朝向上方的面朝向上方，朝向下方的面朝向下方。

[0155] 这样，通过搬运折回部30B时，基板保持器11的相对于上下的方向不改变，所以通过第2成膜区域5的位置时，保持于基板保持器11的基板10的未由第1溅射源4Ｔ形成膜的面面向第2溅射源5Ｔ。

[0156] 因此，若使位于基板保持器11的下方的第2溅射源5Ｔ溅射的同时使基板保持器11通过，则向保持于基板保持器11的基板10的背面形成膜(参照图1)。

[0157] 基板保持器11到达基板保持器排出部30C后，进行将基板保持器11向基板搬入搬出机构6传递的动作。

[0158] 该情况下，将基板搬入搬出机构6的支承部62配置于基板保持器取出位置(参照图16)。

[0159] 以下，参照图13(a)、图13(b) 图15(a)、图15(b)，对在本实施方式中基板保持器11~被向基板搬入搬出机构6传递的动作进行说明。

[0160] 另外，实际上，该传递动作时也进行将基板保持器11向基板保持器搬运机构3传递的动作，但该动作如上所述，所以以下为了容易理解，仅对将基板保持器11向基板搬入搬出机构6传递的动作进行说明。

[0161] 图13(a)表示应向基板搬入搬出机构6传递的基板保持器11C被配置于基板保持器搬运机构3的基板保持器排出部30C的状态。

[0162] 以下，对配置于搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c的先行的基板保持器11C(以下称作“先行侧基板保持器11C”。)从后续的基板保持器11D(以下称作“后续侧基板保持器11D”。)分离而被向基板搬入搬出机构6传递的情况为例进行说明。

[0163] 在图13(a)所示的状态下，设置于搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c的两个第1驱动部21C、21D分别与先行侧基板保持器11C和后续侧基板保持器11D的第2被驱动部13的移动方向上游侧的部分接触，使该返路侧搬运部33c向第1驱动轮31沿第2移动方向移动，由此，先行侧基板保持器11C和后续侧基板保持器11D分别借助来自先行侧第1驱动部21C和后续侧第1驱动部21D的驱动力被向第2移动方向搬运。

[0164] 该情况下，与先行侧基板保持器11C的第2被驱动部13接触的加速用驱动部即先行侧第1驱动部21C在第1驱动轮31的下部位于朝向铅垂方向的位置，先行侧基板保持器11C和后续侧基板保持器11D呈接近的状态。

[0165] 从该状态使基板保持器搬运机构3动作来使第1驱动轮31旋转，如图13(b)所示，若使设置于搬运驱动部件33的返路侧搬运部33c的先行侧第1驱动部21C及后续侧第1驱动部21D沿第1驱动轮31的圆弧在第2移动方向上移动，则先行侧基板保持器11C及后续侧基板保持器11D被各自的驱动力向第2移动方向搬运。

[0166] 该情况下，先行侧第1驱动部21C在比第1驱动轮31直径大的同心圆上与先行侧基板保持器11C的第2被驱动部13接触且进行旋转移动，所以先行侧第1驱动部21C使先行侧基板保持器11C的第2被驱动部13向第2移动方向移动的速度，比后续侧第1驱动部21D使后续侧基板保持器11D的第2被驱动部13向第2移动方向移动的速度大，结果，先行侧基板保持器11C的移动方向上游侧的端部相对于后续侧基板保持器11D的移动方向下游侧的端部离开。

[0167] 之后，随着第1驱动轮31的旋转，先行侧第1驱动部21C从铅垂方向变为倾斜的状态，与之相随，如图13(b)所示，先行侧第1驱动部21C和先行侧基板保持器11C的第2被驱动部13的接触脱离，由此，先行侧基板保持器11C失去推进力，所以借助基板搬入搬出机构6的搬运机器人64使先行侧基板保持器11C向第2移动方向移动，相对于后续侧基板保持器11D离开。

[0168] 并且，这以后使用基板搬入搬出机构6的搬运机器人64进行先行侧基板保持器11C的取出动作。

[0169] 进而，若继续搬运驱动部件33的动作，则先行侧第1驱动部21C与搬运驱动部件33一同沿第1驱动轮31的圆弧向上方移动，所以如图14(a)所示，以先行侧第1驱动部21C的末端部不与先行侧基板保持器11C的第2被驱动部13接触的方式，使用上述搬运机器人64使先行侧基板保持器11C向第2移动方向移动。

[0170] 附图标记33d为，使借助返路侧搬运部33c通过第2成膜区域5的第1、第2驱动部21、22与设置有第1、第2驱动部21、22的搬运驱动部件33的部分一同，从返路侧搬运部33c向往路侧搬运部33a移动的驱动部折回部，第1、第2驱动部21、22沿第1驱动轮31的圆弧向上方移动。

[0171] 若继续搬运驱动部件33的动作，则如图14(b)所示，第2驱动部22C与搬运驱动部件33一同沿第1驱动轮31的圆弧向上方移动，但此时，后续的第2驱动部22C与先行的基板保持器11C的第1被驱动部12接近(参照图15(a))，所以如图15(b)所示，以先行的第2驱动部22C的末端部不与先行侧基板保持器11C的第1被驱动部12接触的方式，使用上述搬运机器人64使先行侧基板保持器11C向第2移动方向移动。

[0172] 通过以上工序，先行侧基板保持器11C的取出动作结束。

[0173] 并且，关于通过上述工序进行取出动作的基板保持器11，如图16所示，与搬运机器人64一同配置于支承部62上。

[0174] 之后，如图17所示，使基板搬入搬出机构6的支承部62上升，使支承部62上的密封部件63与真空槽2的内壁紧贴而相对于真空槽2内的氛围将基板搬入搬出室2A内的氛围隔离的状态下，进行通气直至呈大气压。

[0175] 并且，如图18所示，打开基板搬入搬出室2A的盖部2a，使用图中未示出的搬运机器人，将已成膜的基板10A从基板保持器11取出至大气中。

[0176] 之后，返回图6所示的状态，重复上述动作，由此，相对于多个基板10分别对两面进行成膜。

[0177] 在以上所述的本实施方式中，在形成单一的真空氛围的真空槽2内中，以搬运路径相对于铅垂面的投影形状为连续（一連）的环状的方式形成，并且具备在使多个基板保持器11水平的状态下沿搬运路径搬运的基板保持器搬运机构3，所以能够提供小型的成膜装置
1。

[0178] 此外，在本实施方式中，基板保持器搬运机构3具有与分别设置于多个基板保持器11的第1及第2被驱动部12、13接触而将该基板保持器11沿移动方向推压来使其移动的多个第1及第2驱动部21、22，该第1及第2驱动部21、22构成为，关于相邻的基板保持器11，以移动方向下游侧的基板保持器11的移动方向上游侧的端部和移动方向上游侧的基板保持器11的移动方向下游侧的端部接近的状态在第1及第2成膜区域4、5搬运，所以能够在不进行复杂的控制的情况下在搬运路径处配置尽量多的基板保持器11，由此能够提供结构简单且效率较好地进行成膜的成膜装置1。

[0179] 进而，能够使多个基板保持器11之间的间隔与现有技术相比较窄，所以能够减少成膜材料的浪费，能够高效率地使用，并且能够使通过基板保持器11之间的成膜材料的量变少，所以能够减少成膜材料向真空槽2内的附着量，此外能够防止真空槽2内的成膜材料的污染。

[0180] 进而，此外，本实施方式的基板保持器搬运机构3构成为，具有将基板保持器11沿搬运路径向第1移动方向搬运的往路侧搬运部33a、将基板保持器11沿搬运路径向与第1移动方向相反的方向即第2移动方向搬运的返路侧搬运部33c、将基板保持器11以维持上下关系的状态从往路侧搬运部33a向返路侧搬运部33c折回地搬运的搬运折回部30B，往路侧搬运部33a通过第1成膜区域4，且返路侧搬运部33c通过第2成膜区域5，所以能够提供如下成膜装置1：能够对于基板10的两面高效率地成膜，且为小型且结构简单的通过型的成膜装置1。

[0181] 并且，在本实施方式中，在基板保持器11的移动方向下游侧端部及移动方向上游侧端部设置有将成膜材料屏蔽的突出状的第1及第2屏蔽部15、16，这些第1及第2屏蔽部15、16设置成相邻的基板保持器11在搬运时接近的状态下重合，所以能够进一步减少成膜材料向真空槽2内的附着量，并且能够切实地防止真空槽2内的成膜材料的污染。

[0182] 另一方面，在本实施方式中，基板保持器搬运机构3以在架设于圆形的第1及第2驱动轮31、32的连续的搬运驱动部件33向其外侧突出的方式具有第1及第2驱动部21、22，其中，第1驱动部21构成为，使将多个基板保持器11导入且排出的一侧的第1驱动轮31沿其圆弧通过时，第1驱动部21与基板保持器11的第2被驱动部13接触，以比往路侧搬运部33a及返路侧搬运部33c的移动方向上的搬运速度大的速度将第2被驱动部13推压来使其移动，所以在使以往路侧搬运部33a及返路侧搬运部33c一定的速度搬运的状态下，在从第1驱动轮31侧向基板保持器11导入的情况下，在通过第1驱动轮31时能够借助搬运驱动部件33的第1驱动部21将基板保持器11加速，由此能够使导入的基板保持器11相对于先行的基板保持器11自动地接近地配置。

[0183] 此外，在使往路侧搬运部33a及返路侧搬运部33c以一定的速度搬运的状态下，在从第1驱动轮31侧排出基板保持器11时，也能够借助搬运驱动部件33的第1驱动部21将基板保持器11加速，由此能够使排出的基板保持器11相对于后续的基板保持器11自动离开来顺畅地排出。

[0184] 特别地，作为加速用驱动部的第1驱动部21相对于搬运驱动部件33的高度H1形成为，比作为其他驱动部的第2驱动部22相对于搬运驱动部件33的高度H2大(H1＞H2)。

[0185] 构成为，第1驱动部21与基板保持器11的第2被驱动部13接触时在与第1驱动轮31的直径相比直径较大的同心圆上与基板保持器11的第2被驱动部13接触且旋转移动，所以能够以极简单的结构，在从第1驱动轮31侧导入基板保持器11的情况下通过第1驱动轮31时、且在从第1驱动轮31侧排出基板保持器11时，借助搬运驱动部件33的第1驱动部21容易地将基板保持器11加速。

[0186] 此外，在本实施方式中，构成为，基板保持器11沿相对于该移动方向正交的方向将多个基板10排列地保持，所以与现有技术那样的搬运沿基板的移动方向将多个基板排列来保持的基板保持器来进行成膜的情况比较，能够减少基板保持器的长度及与此相伴的剩余空间，所以能够使成膜装置更节省空间。

[0187] 另外，本发明不限于上述实施方式，能够进行各种改变。

[0188] 例如在上述实施方式中，将搬运驱动部件33的上侧的部分设为作为第1搬运部的往路侧搬运部33a，且将搬运驱动部件33的下侧的部分设为作为第2搬运部的返路侧搬运部33c，但本发明不限于此，它们的上下关系也能够颠倒。

[0189] 此外，关于第1及第2驱动部21、22的形状，不限于上述实施方式，只要能够与第1及第2被驱动部12、13切实地接触来推压而使其移动，就能够采用各种形状的装置。

[0190] 进而，本发明不仅对于像上述实施方式那样将成膜前的基板10向真空槽2内搬入而将已成膜的基板10A从真空槽2搬出的情况，也能够对于将成膜前的基板10与基板保持器11一同向真空槽2内搬入而将已成膜的基板10A与基板保持器11一同从真空槽2搬出的情况应用。

[0191] 另外，在上述例子中，将上方的往路侧搬运部设为第1搬运部，将下方的返路侧搬运部设为第2搬运部，但也可以将上方的往路侧搬运部设为第2搬运部，将下方的返路侧搬运部设为第1搬运部来由第2搬运部成膜后借助第1搬运部成膜。此外，也可以将往路侧搬运部配置于下方，将返路侧搬运部配置于上方。

[0192] 附图标记说明

[0193] 1…成膜装置

[0194] 2…真空槽

[0195] 3…基板保持器搬运机构

[0196] 4…第1成膜区域

[0197] 4Ｔ…溅射源

[0198] 5…第2成膜区域

[0199] 5Ｔ…溅射源

[0200] 6…基板搬入搬出机构

[0201] 10…基板

[0202] 11…基板保持器

[0203] 11A…先行侧基板保持器

[0204] 11B…后续侧基板保持器

[0205] 12…第1被驱动部(被驱动部)

[0206] 13…第2被驱动部(被驱动部)

[0207] 15…第1屏蔽部(屏蔽部)

[0208] 16…第2屏蔽部(屏蔽部)

[0209] 21…第1驱动部(驱动部、加速用驱动部)

[0210] 22…第2驱动部(驱动部)

[0211] 30A…基板保持器导入部

[0212] 30B…搬运折回部

[0213] 30C…基板保持器排出部

[0214] 31…第1驱动轮(第1旋转驱动机构)

[0215] 32…第2驱动轮(第2旋转驱动机构)

[0216] 33…搬运驱动部件

[0217] 33a…往路侧搬运部(第1搬运部)

[0218] 33b…折回部

[0219] 33c…返路侧搬运部(第2搬运部)。