一种表面检测装置、系统及方法

摘要

本发明实施例公开了一种表面检测装置、系统及方法。该表面检测装置包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；反射模块包括反射转鼓和反射镜；散射光探测回路用于接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束；其中，第一方向与被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；第二方向垂直于被测物体的表面。本发明实施例提供的表面检测装置，可以实现提高检测效率的效果。

权利要求

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；

所述光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；

所述反射模块包括反射转鼓和反射镜；

所述散射光探测回路用于接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；

其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面；

所述反射转鼓的形状包括棱柱体、棱锥体或棱台中的任意一种，所述反射转鼓具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射转鼓的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述第一激光光束和所述第二激光光束。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述光发射模块包括：第一发射单元和第二发射单元；

所述第一发射单元用于发射所述第一激光光束；

所述第二发射单元用于发射所述第二激光光束。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射镜包括离轴抛物面镜；

所述离轴抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合，且所述离轴抛物面镜的对称轴垂直于所述被测物体的表面。

4.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射镜包括半透半反抛物面镜；

所述半透半反抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合。

5.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：工作台；

所述被测物体放置于所述工作台上，所述工作台沿第三方向移动；

其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉，所述第三方向与所述第五方向交叉。

6.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射转鼓包括层叠设置的第一反射子单元和第二反射子单元，所述第一反射子单元的转轴线和所述第二反射子单元的转轴线重合，所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁相接，且所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁之间的夹角不等于90°*L，L为自然数；

所述第一反射子单元的形状包括棱柱体，所述第一反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第一反射子单元的至少一部分外侧壁设有第一子反射镜，所述第一激光光束经过所述第一子反射镜投射到被测物体的表面上；

所述第二反射子单元的形状包括棱椎体或棱台，所述第二反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第二反射子单元的至少一部分外侧壁设有第二子反射镜，所述第二激光光束依次经过所述第二子反射镜和所述反射镜投射到所述被测物体的表面。

7.一种表面检测系统，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的表面检测装置、处理单元以及被检测物体传送接口。

8.一种表面检测方法，其特征在于，所述表面检测方法基于权利要求1-6任一项所述表面检测装置实现；

所述表面检测方法包括：

S1、开启光发射模块，以形成第一激光光束和第二激光光束；

S2、控制反射模块的反射转鼓接收所述第一激光光束和所述第二激光光束，并将所述第一激光光束和所述第二激光光束反射出去，同时控制反射模块的反射镜接收经所述反射转鼓反射的所述第二激光光束，并将所述第二激光光束反射出去；

S3、通过散射光探测回路接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；

其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面；

所述反射转鼓的形状包括棱柱体、棱锥体或棱台中的任意一种，所述反射转鼓具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射转鼓的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述第一激光光束和所述第二激光光束。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，S2之后，还包括：

控制工作台沿第三方向移动预设距离；或者，

S2之时，还包括：

控制工作台沿第三方向移动预设距离；

其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉；所述第三方向与所述第五方向交叉。

说明书

一种表面检测装置、系统及方法

技术领域

[0001] 本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种表面检测装置、系统及方法。

背景技术

[0002] 随着大规模集成电路的快速发展，硅片表面粒子情况对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视。

[0003] 图1是目前典型的一种对硅片表面粒子进行散射测量的量测设备的结构示意图，如图1所示，该量测设备包括机体10和设置于机体10上用于接收硅片的硅片传输接口20，其中，机体10内部设置有放置被测硅片14的工件台11、用于发射正入射光λ和斜入射光μ的发射单元12和光探测器13。发射单元12发出的正入射光λ和斜入射光μ照射到工件台11的被测硅片14的表面上，通过对被测硅片14表面的反射光和散射光γ的分析，实现被测硅片14表面粒子情况检测。为了实现对整个硅片的检测，工件台11设置y方向移动台和x方向移动台，另外设置绕z轴转动的转动台(图2)，通过移动台在x方向和y方向的移动，或者通过绕z轴转动的同时沿x轴的单向移动实现被测硅片14整体区域的扫描检测。

[0004] 然而，现有技术中通过工件台移动进行检测的方式(扫描速度依赖于移动台运动的速度)效率低。

发明内容

[0005] 本发明提供一种表面检测装置、系统及方法，以实现提高检测效率的效果。

[0006] 本发明实施例提供了一种表面检测装置，该表面检测装置包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；

[0007] 所述光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；

[0008] 所述反射模块包括反射转鼓和反射镜；

[0009] 所述散射光探测回路用于接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；

[0010] 其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面。

[0011] 进一步地，所述光发射模块包括：第一发射单元和第二发射单元；

[0012] 所述第一发射单元用于发射所述第一激光光束；

[0013] 所述第二发射单元用于发射所述第二激光光束。

[0014] 进一步地，所述反射镜包括离轴抛物面镜；

[0015] 所述离轴抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合，且所述离轴抛物面镜的对称轴垂直于所述被测物体的表面。

[0016] 进一步地，所述反射镜包括半透半反抛物面镜；

[0017] 所述半透半反抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合。

[0018] 进一步地，所述反射转鼓的形状包括棱柱体、棱锥体或棱台中的任意一种，所述反射转鼓具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射转鼓的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述第一激光光束和所述第二激光光束。

[0019] 进一步地，所述表面检测装置还包括：工作台；

[0020] 所述被测物体放置于所述工作台上，所述工作台沿第三方向移动；

[0021] 其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉，所述第三方向与所述第五方向交叉。

[0022] 进一步地，所述反射转鼓包括层叠设置的第一反射子单元和第二反射子单元，所述第一反射子单元的转轴线和所述第二反射子单元的转轴线重合，所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁相接，且所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁之间的夹角不等于90°*L，L为自然数；

[0023] 所述第一反射子单元的形状包括棱柱体，所述第一反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第一反射子单元的至少一部分外侧壁设有第一子反射镜，所述第一激光光束经过所述第一子反射镜投射到被测物体的表面上；

[0024] 所述第二反射子单元的形状包括棱椎体或棱台，所述第二反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第二反射子单元的至少一部分外侧壁设有第二子反射镜，所述第二激光光束经过依次经过所述第二子反射镜和所述反射镜投射到所述被测物体的表面。

[0025] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种表面检测系统，该表面检测系统包括如上所述的表面检测装置、处理单元以及被检测物体传送接口。

[0026] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种表面检测方法，该表面检测方法基于如上所述的表面检测装置实现；

[0027] 所述表面检测方法包括：

[0028] S1、开启光发射模块，以形成第一激光光束和第二激光光束；

[0029] S2、控制反射模块的反射转鼓接收所述第一激光光束和所述第二激光光束，并将所述第一激光光束和所述第二激光光束反射出去，同时控制反射模块的反射镜接收经所述反射转鼓反射的所述第二激光光束，并将所述第二激光光束反射出去；

[0030] S3、通过散射光探测回路接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；

[0031] 其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面。

[0032] 进一步地，S2之后，还包括：

[0033] 控制工作台沿第三方向移动预设距离；或者，

[0034] S2之时，还包括：

[0035] 控制工作台沿第三方向移动预设距离；

[0036] 其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉，所述第三方向与所述第五方向交叉。

[0037] 本发明实施例通过光发射模块发射第一激光光束和第二激光光束，以及散射光探测回路接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束和接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束，通过反射转鼓的高速转动以及设置反射镜，完成对被测物体的斜入射和正入射的高速扫描，解决现有技术中被测物体表面检测粒子效率低的问题，实现对被测物体的高速扫描，有效提升被测物体表面粒子检测的效率，且快速识别出被测物体表面不同种类的缺陷和颗粒的效果。

附图说明

[0038] 图1是现有技术中一种表面量测设备的结构示意图；

[0039] 图2是现有技术中一种表面量测设备的俯视图；

[0040] 图3是本发明实施例提供的一种表面检测装置的结构示意图；

[0041] 图4是本发明实施例提供的又一种表面检测装置的结构示意图；

[0042] 图5是本发明实施例提供的一种表面检测装置进行被测物体表面检测的扫描路径示意图；

[0043] 图6是本发明实施例提供的又一种表面检测装置进行被测物体表面检测的扫描路径示意图；

[0044] 图7是本发明实施例提供的一种表面检测系统的结构示意图；

[0045] 图8是本发明实施例提供的一种表面检测方法的流程图。

具体实施方式

[0046] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

[0047] 图3是本发明实施例提供的一种表面检测装置的结构示意图，如图3所示，该表面检测装置包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块110、反射模块120和散射光探测回路130；光发射模块110用于发射第一激光光束a和第二激光光束b；反射模块120包括反射转鼓121和反射镜122；散射光探测回路130用于接收第一激光光束a经过反射转鼓121的反射并以第一方向m投射到被测物体140的表面后散射的第一散射光束c，以及接收第二激光光束b依次经过反射转鼓121和反射镜122的反射并以第二方向n投射到被测物体140的表面后散射的第二散射光束d；其中，第一方向m与被测物体140的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；第二方向n垂直于被测物体140的表面。

[0048] 其中，反射转鼓121包括棱柱体、棱台或棱锥体中的任意一种，其横截面为多边形，例如可以为八边形，相应地反射转鼓121至少有八个侧面，每个侧面上至少有一个反射单元123。优选地，反射转鼓121的整圈外侧壁连续布置有反射单元123。反射单元123例如可以包括具有反射功能的镜子。反射转鼓121围绕其旋转轴线124快速旋转，例如，旋转轴线124与z方向平行。

[0049] 具体地，光发射模块110发射第一激光光束a和第二激光光束b后，反射转鼓121的至少一个反射单元123能够接收到第一激光光束a和第二激光光束b。因为反射转鼓121快速转动，当反射转鼓121旋转时，反射单元123围绕反射转鼓121旋转轴线124快速旋转，经过快速旋转的反射单元123将第一激光光束a和第二激光光束b反射出去，使第一激光光束a以第一方向m投射到被测物体140的表面，相应地在被测物体140表面的光斑完成扫描，形成一段扫描圆弧，即为第一圆弧，因为第一方向m与被测物体140的表面法向的夹角大于0°小于90°，所以此方案可以实现斜入射方式的高速扫描，同时反射镜122接收反射转鼓121反射的第二激光光束b，使第二激光光束b以第二方向n投射到被测物体140的表面，相应地在被测物体140表面的光斑完成扫描，形成一段扫描圆弧，即为第二圆弧，因为第二方向n垂直于被测物体140的表面，所以此方案可以实现正入射方式的高速扫描。即以第一方向m投射到被测物体140的表面的第一激光光束完成被测物体140斜入射方向的扫描，以第二方向n投射到被测物体140的表面的第二激光光束完成被测物体140正入射方向的扫描，所以本技术方案可以实现斜入射和正入射两种入射方式的高速扫描，从而实现被测物体140不同种类的表面缺陷和颗粒的检测识别。散射光探测回路130接收第一激光光束a经过反射转鼓121的反射并以第一方向m投射到被测物体140的表面后散射的第一散射光束c，以及接收第二激光光束b依次经过反射转鼓121和反射镜122的反射并以第二方向n投射到被测物体140的表面后散射的第二散射光束d。

[0050] 示例性的，另Q为反射转鼓上反射单元123的数量，通过粗略的计算可以得到，经过一个反射单元123反射形成的一段扫描圆弧所对应的圆心角为2π/Q。当Q足够大时，圆心角变得很小，扫描圆弧将接近一段直线。反射转鼓每旋转一周，可以实现Q次扫描。进一步配合反射转鼓的高速旋转，可以实现光斑在第一方向m和第二方向n的高频率扫描。

[0051] 需要说明的是，本领域技术人员可以理解，反射转鼓121的横截面包括但不限于八边形，本领域技术人员可以根据产品所需自行设定横截面的边数，在本发明中不进行具体限制。另外，反射单元123的数量可以根据需要来设置。

[0052] 本发明实施例通过光发射模块发射第一激光光束和第二激光光束，以及散射光探测回路接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束和接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束，通过反射转鼓的高速转动以及设置反射镜，完成对被测物体的斜入射和正入射的高速扫描，解决现有技术中被测物体表面检测粒子效率低的问题，实现对被测物体的高速扫描，有效提升被测物体表面粒子检测的效率，且快速识别出被测物体表面不同种类的缺陷和颗粒的效果。

[0053] 在上述技术方案的基础上，可选的，继续参见图3，光发射模块110包括：第一发射单元和第二发射单元(图中未示出)；第一发射单元用于发射第一激光光束a；第二发射单元用于发射第二激光光束b。

[0054] 在上述技术方案的基础上，可选的，反射镜122包括离轴抛物面镜；离轴抛物面镜的焦点与第二激光光束b在反射转鼓121的光斑重合，且离轴抛物面镜的对称轴垂直于被测物体140的表面。

[0055] 其中，当离轴抛物面镜的焦点与第二激光光束b在反射转鼓121的光斑重合，且离轴抛物面镜的对称轴垂直于被测物体140的表面时，第二激光光束b经过离轴抛物面镜的反射后会垂直的投射到被测物体140的表面上，实现被测物体140的正入射的高速扫描。

[0056] 在上述技术方案的基础上，可选的，图4是本发明实施例提供的又一种表面检测装置的结构示意图，如图4所示，反射镜122包括半透半反抛物面镜；半透半反抛物面镜的焦点与第二激光光束b在反射转鼓121的光斑重合。

[0057] 其中，当第二激光光束b以垂直于反射转鼓121的反射单元123的方向入射时，第二激光光束b一部分光束通过半透半反抛物面镜后，入射至反射转鼓121的反射单元123，经反射转鼓121的反射单元123返回至半透半反抛物面镜，当半透半反抛物面镜的焦点与第二激光光束b在反射转鼓121的光斑重合时，第二激光光束b经过半透半反抛物面镜的反射后会垂直的投射到被测物体140的表面上，实现被测物体140的正入射的高速扫描。

[0058] 在上述技术方案的基础上，可选的，反射转鼓121的形状包括棱柱体(参见图4)、棱锥体或棱台中的任意一种，反射转鼓121具有依次邻接设置的多个外侧壁，反射转鼓121的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，第一反射镜用于接收第一激光光束a和第二激光光束b。在上述技术方案的基础上，可选的，继续参见图3，表面检测装置还包括：工作台150；被测物体140放置于工作台150上，工作台150沿第三方向x移动；其中，第一激光光束a经过反射转鼓121的反射并以第一方向m投射到被测物体140的表面完成的是第四方向y的扫描；第二激光光束b依次经过反射转鼓121和反射镜122的反射并以第二方向n投射到被测物体140的表面完成的是第五方向(图中未示出)的扫描，第三方向x与第四方向y交叉；第三方向x和第五方向交叉。

[0059] 其中，当第一激光光束a以斜入射的方式投射到被测物体140的表面时，完成是第四方向y的扫描，在被测物体140上形成的是一段扫描圆弧，即为第一圆弧，此第一圆弧所对应的圆心角为2π/Q；第二激光光束b以正入射方式投射到被测物体140的表面时，完成的是第五方向的扫描，在被测物体140上形成的也是一段扫描圆弧，此圆弧即为第二圆弧，此第二圆弧所对应的圆心角为2π/Q。当Q足够大时，圆心角变得很小，第一圆弧和第二圆弧将接近一段直线。优选地，第三方向x和第四方向y垂直；第三方向x和第五方向垂直。需要说明的是，本发明实施例不对第三方向x和第四方向y以及第三方向x和第五方向之间的夹角进行具体限定，只要满足第三方向x和第四方向y以及第三方向x和第五方向交叉即可，图3仅以第三方向x和第四方向y垂直进行示例性说明。且图3仅以第四方向y的扫描在被测物体140上形成的是一段扫描直线进行示例性说明。反射转鼓121每转动1/Q圈，其中Q为反射单元123数量，也即第一激光光束a发出的入射光光斑，完整地从反射转鼓121其中一个侧面上的反射单元123的一侧扫描至另一侧，相应地从该反射单元123上反射出的光斑以第一方向m投射到被测物体140的表面，在被测物体140的表面完成第四方向y的一列扫描，以及第二激光光束b发出的入射光光斑，完整地从反射转鼓121其中一个侧面上的反射单元123的一侧扫描至另一侧，相应地从该反射单元123上反射出的光斑通过反射镜122发射出的光斑以第二方向n投射到被测物体140的表面，在被测物体140的表面完成第五方向的一列扫描。然后第三方向x移动工作台150步进到下一列扫描位置。同样在反射转鼓121下一个1/Q圈的转动时间内，完成第二列扫描和第三方向x移动工作台150至第三列的步进，如此重复完成一块区域的扫描，并把该区域定义为扫描单元区域200，具体参见图5，图5是本发明实施例提供的一种表面检测装置进行被测物体表面检测的扫描路径示意图，需要说明的是，图5仅以当第一激光光束a以斜入射的方式投射到被测物体140的表面时，完成第四方向y的扫描后散射光探测回路130接收到的扫描路径示意图。图6是本发明实施例提供的又一种表面检测装置进行被测物体表面检测的扫描路径示意图，参见图3和图6，反射转鼓121旋转的同时工作台150沿第三方向x匀速运动，反射转鼓121转动1/Q圈，反射转鼓121反射出的光斑在被测物体140表面上完成一斜列扫描，在反射转鼓121下一个1/Q圈的转动时间内，完成第二斜列扫描，如此往复完成一个扫描单元区域的扫描，并把该区域定义为扫描单元区域300。需要说明的是，图6仅以当第一激光光束a以斜入射的方式投射到被测物体140的表面时，完成第四方向y的扫描后散射光探测回路130接收到的扫描路径示意图。

[0060] 在上述技术方案的基础上，可选的，继续参见图3,反射转鼓121包括层叠设置的第一反射子单元和第二反射子单元，第一反射子单元的转轴线和第二反射子单元的转轴线重合，第一反射子单元的外侧壁和第二反射子单元的外侧壁相接，且第一反射子单元的外侧壁和第二反射子单元的外侧壁之间的夹角不等于90°*L，L为自然数；第一反射子单元的形状包括棱柱体，第一反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，第一反射子单元的至少一部分外侧壁设有第一子反射镜，第一激光光束a经过第一子反射镜投射到被测物体的表面上；第二反射子单元的形状包括棱椎体或棱台，第二反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，第二反射子单元的至少一部分外侧壁设有第二子反射镜，第二激光光束b经过依次经过第二子反射镜和反射镜122投射到被测物体140的表面。

[0061] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种表面检测系统，图7是本发明实施例提供的一种表面检测系统的结构示意图，如图7所示，该表面检测系统包括如上所述的表面检测装置1000、处理单元3000以及被检测物体传送接口2000。

[0062] 其中，被检测物体传送接口2000用于将被测物体传送至表面检测装置1000的工作台上，表面检测装置1000用于对此被测物体的表面进行检测，处理单元3000用于接收表面检测装置1000得到的检测状态，并根据表面检测装置1000得到的检测状态得知被测物体的表面的粒子情况。

[0063] 本技术方案，通过表面检测装置的反射转鼓的高速转动以及设置反射镜完成对被测物体的斜入射和正入射的高速扫描，解决现有技术中被测物体表面检测粒子效率低的问题，实现对被测物体的高速扫描，有效提升被测物体表面粒子检测的效率，且通过处理单元对比表面检测装置得到的检测状态，即不同方向入射光的散射光信息，可以快速和有效甄别被测物体表面不同种类的缺陷和颗粒。

[0064] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种表面检测方法，图8是本发明实施例提供的一种表面检测方法的流程图，如图8所示，该表面检测方法包括：

[0065] S1、开启光发射模块，以形成第一激光光束和第二激光光束；

[0066] S2、控制反射模块的反射转鼓接收第一激光光束和第二激光光束，并将第一激光光束和第二激光光束反射出去，同时控制反射模块的反射镜接收经反射转鼓反射的第二激光光束，并将第二激光光束反射出去；

[0067] S3、通过散射光探测回路接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束；

[0068] 其中，第一方向与被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；第二方向垂直于被测物体的表面。

[0069] 本发明实施例通过光发射模块发射第一激光光束和第二激光光束，以及散射光探测回路接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束和接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束，通过反射转鼓的高速转动以及设置反射镜完成对被测物体的斜入射和正入射的高速扫描，解决现有技术中被测物体表面检测粒子效率低的问题，实现对被测物体的高速扫描，有效提升被测物体表面粒子检测的效率，且快速识别出被测物体表面不同种类的缺陷和颗粒的效果。

[0070] 在上述方案的基础上，可选的，S2之后，还包括：

[0071] 控制工作台沿第三方向移动预设距离；或者，

[0072] S2之时，还包括：

[0073] 控制工作台沿第三方向移动预设距离；

[0074] 其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉，所述第三方向与所述第五方向交叉。

[0075] 注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。