加湿器以及空调装置

摘要

提供能够抑制蒸汽结露而产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态的加湿器。本发明的加湿器(5)具有：驻留水的驻留槽(51)，其朝向上方开放；加热器(52)，其对驻留槽(51)内的水进行加热；以及引导板(53)，其在沿水平方向延伸的第1方向(D1)上相对于驻留槽(51)的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于驻留槽(51)的上方。引导板(53)以该引导板(53)的上部位于比该引导板(53)的下部靠第1方向(D1)的驻留槽(51)的中央侧的位置的方式倾斜并延伸。

权利要求

1.一种加湿器，该加湿器设置在空调装置的水平流路部中，该空调装置具有：空气流通路，其使空气流通；以及

板，其安装于所述空气流通路的下游侧开口处，并且形成有空气通过孔，所述空气流通路具有所述水平流路部，该水平流路部沿水平方向延伸并且设置有所述下游侧开口，其特征在于，

该加湿器具有：

驻留水的驻留槽，其朝向上方开放；

加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以如下方式倾斜并延伸：使该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置，所述加湿器配置为在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向沿着所述水平流路部的延伸方向，并且所述加湿器配置为在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的一部分与所述空气通过孔重叠。

2.根据权利要求1所述的加湿器，其特征在于，所述引导板具有倾斜边部，该倾斜边部位于如下位置：在俯视时在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向的一侧的该倾斜边部的端部比另一侧的该倾斜边部的端部远离所述第

1方向的所述驻留槽的中央。

3.根据权利要求2所述的加湿器，其特征在于，所述引导板具有在水平面上朝向所述第2方向的另一侧的另一侧边部，所述另一侧边部沿所述第1方向延伸。

4.根据权利要求3所述的加湿器，其特征在于，所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部沿所述第1方向延伸，所述另一侧边部在俯视时与所述壁部重叠或者位于所述壁部的外侧。

5.根据权利要求3所述的加湿器，其特征在于，在所述另一侧边部处设置有向下方突出并且沿所述另一侧边部延伸的突部。

6.根据权利要求1所述的加湿器，其特征在于，所述引导板被设置为在俯视时在所述第1方向上与自身所位于的一侧的所述驻留槽的壁部之间形成间隙。

7.根据权利要求1所述的加湿器，其特征在于，所述引导板在所述第1方向上相对于所述驻留槽的中央配置于一侧和另一侧双方，一对所述引导板构成为以通过所述第1方向的所述驻留槽的中央并且沿与所述第1方向垂直的第2方向延伸的铅垂面为基准对称。

8.一种加湿器，该加湿器设置在空调装置的水平流路部中，该空调装置具有：空气流通路，其使空气流通；以及

板，其安装于所述空气流通路的下游侧开口处，并且形成有空气通过孔，所述空气流通路具有所述水平流路部，该水平流路部沿水平方向延伸并且设置有所述下游侧开口，其特征在于，

该加湿器具有：

驻留水的驻留槽，其朝向上方开放；

加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以如下方式倾斜并延伸：使该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置，所述加湿器配置为在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向沿着所述水平流路部的延伸方向，并且所述加湿器配置为在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的延长线通过所述空气通过孔的中心。

9.一种空调装置，其特征在于，

该空调装置具有：

空气流通路，其使空气流通；

板，其安装于所述空气流通路的下游侧开口处，并且形成有空气通过孔；以及加湿器，其设置于所述空气流通路，能够向所述空气流通路内提供蒸汽，所述空气流通路具有水平流路部，该水平流路部沿水平方向延伸并且设置有所述下游侧开口，在所述水平流路部中设置有所述加湿器，

所述加湿器具有：

驻留水的驻留槽，其朝向上方对所述水平流路部的内部开放；

加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以如下方式倾斜并延伸：使该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置，所述加湿器配置为在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向沿着所述水平流路部的延伸方向，在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的一部分与所述空气通过孔重叠。

10.根据权利要求9所述的空调装置，其特征在于，所述引导板在所述第1方向上相对于所述驻留槽的中央配置于一侧和另一侧双方，一对所述引导板构成为以通过所述第1方向的所述驻留槽的中央并且沿所述第2方向延伸的铅垂面为基准对称。

11.根据权利要求9所述的空调装置，其特征在于，所述引导板具有倾斜边部，该倾斜边部位于如下位置：在俯视时所述第2方向的一侧的该倾斜边部的端部比另一侧的该倾斜边部的端部远离所述第1方向的所述驻留槽的中央，所述板相对于所述加湿器位于所述第2方向的另一侧。

12.根据权利要求11所述的空调装置，其特征在于，所述引导板具有朝向所述第2方向的另一侧的另一侧边部，所述另一侧边部沿所述第1方向延伸。

13.根据权利要求12所述的空调装置，其特征在于，所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部沿所述第1方向延伸，所述另一侧边部在俯视时与所述壁部重叠或者位于所述壁部的外侧。

14.根据权利要求12所述的空调装置，其特征在于，在所述另一侧边部处设置有向下方突出并且沿所述另一侧边部延伸的突部。

15.根据权利要求12所述的空调装置，其特征在于，该空调装置还具有吸湿部件，该吸湿部件在所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部的上方或者所述第2方向的另一侧的斜上方沿上下方向延伸。

16.根据权利要求9所述的空调装置，其特征在于，所述引导板被设置为在俯视时在所述第1方向上与自身所位于的一侧的所述驻留槽的壁部之间形成间隙。

17.一种空调装置，其特征在于，

该空调装置具有：

空气流通路，其使空气流通；

板，其安装于所述空气流通路的下游侧开口处，并且形成有空气通过孔；以及加湿器，其设置于所述空气流通路，能够向所述空气流通路内提供蒸汽，所述空气流通路具有水平流路部，该水平流路部沿水平方向延伸并且设置有所述下游侧开口，在所述水平流路部中设置有所述加湿器，

所述加湿器具有：

驻留水的驻留槽，其朝向上方对所述水平流路部的内部开放；

加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以如下方式倾斜并延伸，使该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置，所述加湿器配置为在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向沿着所述水平流路部的延伸方向，在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的延长线通过所述空气通过孔的中心。

18.根据权利要求17所述的空调装置，其特征在于，所述空气通过孔呈圆形，

在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的一部分与所述空气通过孔重叠，所述引导板从所述第1方向的所述空气通过孔的端点在第1方向上向所述空气通过孔的中心侧突出的距离相对于所述空气通过孔的直径之比为5/36～10/36。

说明书

加湿器以及空调装置

技术领域

[0001] 本发明涉及加湿器以及具有该加湿器的空调装置。

背景技术

[0002] 在半导体制造时的图案形成工序中有时利用光刻。在光刻中，首先，在基板上涂覆感光性的抗蚀剂之后，将对应于期望的图案的光向抗蚀剂曝光，接着，例如在抗蚀剂是光硬化型的感光材料的情况下，利用溶剂等去除抗蚀剂的没有被曝光的区域。由此，能够在抗蚀剂上形成(显影)期望的图案。

[0003] 像上述那样的抗蚀剂能够根据温度和湿度使涂覆时和曝光时的膜厚变化是公知的。因此，在抗蚀剂的周边环境的空气的温度和湿度与期望的温度和湿度有较大不同的状况下，有时形成的图案的尺寸精度会显著下降。因此，通常利用空调装置来精密地控制用于实施光刻的装置及其周边环境的温度和湿度。

[0004] 如上所述，在用于实施精密的温度调节和湿度调节的空调装置的领域中，以往提出了各种技术。例如在专利文献1中公开了为了防止驻留在加湿器的盘中的水的摇晃而在盘内收纳有网状的部件的装置。在该装置中，通过防止驻留在盘中的水的摇晃来实现湿度控制的精度提高。

[0005] 现有技术文献

[0006] 专利文献

[0007] 专利文献1：日本特开2007-335544号公报

发明内容

[0008] 发明要解决的课题

[0009] 而且，作为用于实施精密的温度调节和湿度调节的空调装置的一例，公知有如下的空调装置：该空调装置具有使空气流通的空气流通路以及收纳在该空气流通路内的冷却器、加热器和加湿器，在空气流通路内对空气的温度和湿度进行控制。在这样的空调装置中，有时采用如下的结构：将形成有空气通过孔的金属制的板安装在空气流通路的下游侧开口处，从而使空气流通路内的空气通过板的空气通过孔向下游侧流通。

[0010] 然而，本案发明人发现，在采用上述那样的结构的空调装置中容易产生湿度尖峰。另外，湿度尖峰是指空气的湿度瞬间大幅偏离目标值的现象。而且本案发明人经过锐意研究，结果得到如下见解：像这样的湿度尖峰的发生的主要原因在于，来自加湿器的蒸汽在上述的板的通过孔周围的壁面上结露，在壁面上所产生的水混入空气中而向下游侧流动。

[0011] 本发明就是根据上述见解而完成的，其目的在于，提供能够抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态的加湿器以及空调装置。

[0012] 用于解决课题的手段

[0013] 本发明是加湿器，其特征在于，该加湿器具有：驻留水的驻留槽，其朝向上方开放；加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置的方式倾斜并延伸。

[0014] 根据本发明的加湿器，能够使来自驻留槽的蒸汽混入至在水平面上从与第1方向交叉的方向通过驻留槽的上方的空气中，从而能够通过引导板将混入有该蒸汽的空气向驻留槽的中央侧引导，并且使混入有该蒸汽的空气通向驻留槽的外侧。由此，在水平面上，在沿与第1方向垂直的方向观察的情况下，能够将混入有蒸汽的空气聚集于位于引导板的延长线上的驻留槽的外侧的期望的区域。另一方面，能够抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散而在不期望的区域结露。其结果为，能够抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态。

[0015] 在本发明的加湿器中，也可以为，所述引导板具有倾斜边部，该倾斜边部位于如下位置：在俯视时在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向的一侧的该倾斜边部的端部比另一侧的该倾斜边部的端部远离所述第1方向的所述驻留槽的中央。

[0016] 在该情况下，由于能够将混入有蒸汽的空气沿倾斜边部向驻留槽的中央侧引导，并且使混入有该蒸汽的空气通向驻留槽的外侧的期望的区域，因此能够向驻留槽的外侧的期望的区域提供在驻留槽的第2方向的一侧的区域中大范围存在的混入有蒸汽的空气。由此，有效地抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散，从而能够有效地抑制不期望的蒸汽的结露。

[0017] 另外，在本发明的加湿器中，也可以为，所述引导板具有在水平面上朝向所述第2方向的另一侧的另一侧边部，所述另一侧边部沿所述第1方向延伸。

[0018] 在该情况下，相比于另一侧边部相对于第1方向倾斜的情况，能够抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏。

[0019] 另外，在本发明的加湿器中，也可以为，所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部沿所述第1方向延伸，所述另一侧边部在俯视时与所述壁部重叠或者位于所述壁部的外侧。

[0020] 在该情况下，能够有效地抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏。

[0021] 另外，在本发明的加湿器中，也可以为，在所述另一侧边部处设置有向下方突出并且沿所述另一侧边部延伸的突部。

[0022] 在该情况下，能够通过突部有效地抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏，并且能够使蒸汽在引导板的下表面上结露所产生的水从突部的下端返回驻留槽。另外，由于能够通过突部抑制引导板的弯曲变形，因此能够抑制由空气的流动所产生的引导板的颤动。

[0023] 另外，在本发明的加湿器中，也可以为，所述引导板被设置为在俯视时在所述第1方向上与自身所位于的一侧的所述驻留槽的壁部之间形成间隙。

[0024] 在该情况下，能够将浮球开关等部件配置为通过引导板与该引导板所位于的一侧的驻留槽的壁部之间的间隙。此外，虽然像这样有效地利用了间隙，但由于间隙位于远离提供空气的上述的驻留槽的中央外侧的期望的区域的位置，因此即使驻留槽的蒸汽在不期望的区域结露，也能够抑制水流向期望的区域。

[0025] 另外，在本发明的加湿器中，也可以为，所述引导板在所述第1方向上相对于所述驻留槽的中央配置于一侧和另一侧双方，一对所述引导板构成为以通过所述第1方向的所述驻留槽的中央并且沿与所述第1方向垂直的第2方向延伸的铅垂面为基准对称。

[0026] 在该情况下，相比于引导板为一个的情况，能够更有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中，从而能够将空气的湿度控制为更稳定的状态。

[0027] 另外，本发明是空调装置，其特征在于，该空调装置具有：空气流通路，其使空气流通；板，其安装于所述空气流通路的下游侧开口处，并且形成有空气通过孔；以及加湿器，其设置于所述空气流通路，能够向所述空气流通路内提供蒸汽，所述空气流通路具有水平流路部，该水平流路部沿水平方向延伸并且设置有所述下游侧开口，在所述水平流路部中设置有所述加湿器，所述加湿器具有：驻留水的驻留槽，其朝向上方对所述水平流路部的内部开放；加热器，其对所述驻留槽内的水进行加热；以及引导板，其在沿水平方向延伸的第1方向上相对于所述驻留槽的中央在一侧和另一侧的至少一方配置于所述驻留槽的上方，该引导板以该引导板的上部位于比该引导板的下部靠所述第1方向的所述驻留槽的中央侧的位置的方式倾斜并延伸，所述加湿器配置为在水平面上与所述第1方向垂直的第2方向沿着所述水平流路部的延伸方向。

[0028] 根据本发明的空调装置，能够将来自驻留槽的蒸汽在空气流通路的水平流路部内混入至在水平面上从与第1方向交叉的方向通过驻留槽的上方的空气中，从而能够通过引导板将混入有该蒸汽的空气向驻留槽的中央侧引导，并且使混入有该蒸汽的空气通向驻留槽的外侧。由此，能够以如下的状态将混入有蒸汽的空气聚集于板的空气通过孔：将加湿器设置为当在水平面上沿与第1方向垂直的方向、即沿第2方向进行观察的情况下，板的空气通过孔位于引导板的延长线上。另一方面，能够抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散而在不期望的区域(具体来说，是板的空气通过孔的周围的区域)结露。其结果为，能够抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态。

[0029] 在本发明的空调装置中，也可以为，所述引导板具有倾斜边部，该倾斜边部位于如下位置：在俯视时所述第2方向的一侧的该倾斜边部的端部比另一侧的该倾斜边部的端部远离所述第1方向的所述驻留槽的中央，所述板相对于所述加湿器位于所述第2方向的另一侧。

[0030] 在该情况下，由于能够将混入有蒸汽的空气沿倾斜边部向驻留槽的中央侧引导，并且能够使该混入有蒸汽的空气通向驻留槽的外侧的板的空气通过孔，因此能够向板的空气通过孔提供在驻留槽的第2方向的一侧的区域中大范围存在的混入有蒸汽的空气。由此，有效地抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散，从而能够有效地抑制不期望的蒸汽的结露。

[0031] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述引导板具有朝向所述第2方向的另一侧的另一侧边部，所述另一侧边部沿所述第1方向延伸。

[0032] 在该情况下，相比于另一侧边部相对于第1方向倾斜的情况，能够抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏。

[0033] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部沿所述第1方向延伸，所述另一侧边部在俯视时与所述壁部重叠或者位于所述壁部的外侧。

[0034] 在该情况下，能够有效地抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏。

[0035] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，在所述另一侧边部处设置有向下方突出并且沿所述另一侧边部延伸的突部。

[0036] 在该情况下，能够通过突部有效地抑制来自驻留槽的蒸汽从另一侧边向外侧泄漏，并且能够使蒸汽在引导板的下表面上结露所产生的水从突部的下端返回驻留槽。另外，由于能够通过突部抑制引导板的弯曲变形，因此能够抑制由空气所产生的引导板的颤动。

[0037] 另外，也可以为，本发明的空调装置还具有吸湿部件，该吸湿部件在所述第2方向的另一侧的所述驻留槽的壁部的上方或者所述第2方向的另一侧的斜上方沿上下方向延伸。

[0038] 在该情况下，能够通过吸湿部件将来自驻留槽的蒸汽的一部分保持为水的状态，从而能够抑制蒸汽在板的空气通过孔的周围结露。特别是，来自驻留槽的板侧的区域的蒸汽会与空气混合而附着在板的空气通过孔的周围从而变得容易结露，但通过使吸湿部件位于驻留槽的板侧，能够有效地抑制结露的发生。另外，即使在来自驻留槽的蒸汽从另一侧边部向外侧泄漏的情况下，也能够通过吸湿部件保持为水的状态，从而能够有效地抑制从另一侧边部向外侧泄漏的蒸汽结露并且抑制结露所得的水与空气混合而流动。由此，能够将空气的湿度控制为更稳定的状态。

[0039] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述引导板被设置为在俯视时在所述第1方向上与自身所位于的一侧的所述驻留槽的壁部之间形成间隙。

[0040] 在该情况下，能够将浮球开关等部件配置为通过引导板与该引导板所位于的一侧的驻留槽的壁部之间的间隙。此外，虽然像这样有效地利用了间隙，但通过以间隙位于远离提供空气的板的空气通过孔的位置的方式配置加湿器，即使驻留槽的蒸汽在不期望的区域结露，也能够抑制水流向空气通过孔。

[0041] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的一部分与所述空气通过孔重叠。

[0042] 在该情况下，由于能够有效地抑制被引导板引导的混入有蒸汽的空气在板的空气通过孔的周围扩展，因此能够有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中。

[0043] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的延长线通过所述空气通过孔的中心。

[0044] 在该情况下，由于能够朝向板的空气通过孔的中心提供被引导板引导的混入有蒸汽的空气，因此能够有效地抑制该空气在板的空气通过孔的周围扩展。由此，能够有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中。

[0045] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述空气通过孔呈圆形，在沿所述第2方向观察的情况下，所述引导板的一部分与所述空气通过孔重叠，所述引导板从所述第1方向的所述空气通过孔的端点在第1方向上向所述空气通过孔的中心侧突出的距离相对于所述空气通过孔的直径之比为5/36～10/36。

[0046] 根据本案发明人的锐意研究，发现当引导板从第1方向的空气通过孔的端点在第1方向上突出的距离相对于空气通过孔的直径之比为5/36～10/36的情况下，能够非常有效地抑制混入有蒸汽的空气在板的空气通过孔的周围扩展。

[0047] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述引导板在所述第1方向上相对于所述驻留槽的中央配置于一侧和另一侧双方，一对所述引导板构成为以通过所述第1方向的所述驻留槽的中央并且沿所述第2方向延伸的铅垂面为基准对称。

[0048] 在该情况下，相比于引导板为一个的情况，能够更有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为更稳定的状态。

[0049] 发明效果

[0050] 根据本发明，能够抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态。

附图说明

[0051] 图1是本发明的一个实施方式的空调装置的侧视图。

[0052] 图2是图1的空调装置的空气流通路的下游侧开口的周边的剖视图。

[0053] 图3是沿与水平方向平行的图1的箭头III的方向观察设置于图1的空调装置的空气流通路上的加湿器的周边的图。

[0054] 图4是图3所示的加湿器的俯视图。

[0055] 图5是沿图3的箭头V的方向观察图3所示的加湿器的图。

[0056] 图6是图5的主要部分的放大图。

[0057] 图7是对图1所示的空调装置的加湿器的上方的空气的流动进行说明的图。

[0058] 图8是对图1所示的空调装置的加湿器的上方的空气的流动进行说明的图。

[0059] 图9是对图1所示的空调装置的加湿器的上方的空气的流动进行说明的图。

具体实施方式

[0060] 以下，参照附图，对本发明的一个实施方式进行详细的说明。

[0061] (空调装置的整体结构)

[0062] 图1是本发明的一个实施方式的空调装置1的侧视图。如图1所示，本实施方式的空调装置1具有：空气流通路2，其使空气流通；冷却器3、加热器4和加湿器5，它们设置于空气流通路2；以及送风机6，其赋予用于使空气在空气流通路2中流通的驱动力。空气流通路2具有：纵流路部21，其沿上下方向延伸；以及水平流路部22，其与纵流路部21的上部连通，从该上部沿水平方向延伸。在以下的说明中，将沿水平方向与图1的纸面垂直的方向称作第1方向D1，将沿水平方向与第1方向D1垂直并且水平流路部22所延伸的由图1的箭头示出的方向称作第2方向D2。

[0063] 纵流路部21在其下部设置有沿水平方向开口的上游侧开口21A，在本实施方式中，上游侧开口21A从纵流路部21的内部朝向第2方向D2的一侧(图1的右方向)开口。为了将空气取入至纵流路部21的内部而设置上游侧开口21A。在本实施方式中，设置在上游侧开口21A的外侧的过滤器装置23覆盖上游侧开口21A。由此，通过过滤器装置23而被去除了微粒的空气从上游侧开口21A被取入至纵流路部21的内部。另外，在以下的说明中，被称为“第2方向D2的一侧”的情况下的方向意味着图1的右方向，被称为“第2方向D2的另一侧”的情况下的方向意味着图1的左方向。

[0064] 水平流路部22在与纵流路部21侧相反的一侧的端部、即在第2方向D2的另一侧的端部设置有下游侧开口22A。这里，图2示出了空气流通路2的水平流路部22的下游侧开口22A的周边的通过沿第2方向D2的面进行剖切的纵剖视图。如图2所示，在本实施方式中，在下游侧开口22A处安装有板24，该板24形成有空气通过孔24A。板24被安装为利用没有形成空气通过孔24A的区域覆盖下游侧开口22A，空气通过孔24A形成为小于下游侧开口22A。由此，在本实施方式中，被从上游侧开口21A取入至空气流通路2的内部的空气被从板24的空气通过孔24A送往空气流通路2的外部。

[0065] 板24例如由不锈钢等板材形成。在本实施方式中，通过螺钉将板24安装于水平流路部22，但板24也可以通过焊接等与水平流路部22一体化，也可以是使板24与水平流路部22作为由一个材料形成的一体物而形成。另外，空气通过孔24A是圆形的孔(参照图3)，但空气通过孔24A的形状也可以是矩形等其他的形状。

[0066] 如图1和图2所示，送风机6配置为在第2方向D2上与板24对置，并且，经由送风管25与空气通过孔24A连通。送风机6通过使省略了图示的风扇旋转而将空气流通路2的内部的空气取入至该送风机6的内部，并从朝向上方开口的排出口25A排出。通过使送风机6将空气流通路2的内部的空气取入，而使外部的空气从上游侧开口21A被取入至空气流通路2的内部。由此，空气在空气流通路2中流通。

[0067] 如图1所示，在本实施方式中，冷却器3设置在纵流路部21的下部内，加热器4设置在纵流路部21的上部内。冷却器3也可以是冷却回路的蒸发器，该冷却回路是由压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器以使热介质进行循环的方式按照该顺序利用配管连接而成的。另外，加热器4可以是电加热器等，也可以是利用在上述的冷却回路中变成高温的热介质的一部分的结构。冷却器3能够以可变的制冷能力冷却空气流通路2的内部的空气，加热器4能够以可变的加热能力加热空气流通路2的内部的空气。加湿器5设置在水平流路部22中，并能够向空气流通路2内提供蒸汽。

[0068] (加湿器)

[0069] 接下来，参照图3至图6，对加湿器5进行详细叙述。图3是沿与水平方向平行的图1的箭头III的方向观察设置于空气流通路2的加湿器5的周边的图，更详细而言，是从空气流通路2的内部朝向第2方向D2的另一侧观察加湿器5的周边的图。图4是加湿器5的俯视图，在该图中，为了便于说明，用双点划线示出上述的水平流路部22和送风管25。图5是沿图3的箭头V的方向观察加湿器5的图，在该图中，为了便于说明，用双点划线示出上述的水平流路部22和送风管25。另外，图6是图5的主要部分的放大图。

[0070] 如图3至图6所示，本实施方式的加湿器5具有：驻留水的驻留槽51，其朝向上方对水平流路部22的内部开放；加热器52，其对驻留槽51内的水进行加热；以及一对引导板53，它们在沿水平方向延伸的第1方向D1上相对于驻留槽51的中央分别在一侧和另一侧配置于驻留槽51的上方，该一对引导板53以该引导板53的上部位于比该引导板53的下部靠第1方向D1的驻留槽51的中央侧的位置的方式倾斜并延伸。在本实施方式的加湿器5中，配置为一对引导板53在第1方向D1上相向，因此在水平面上与一对引导板53相向的方向垂直的方向是第2方向D2。因此，与一对引导板53相向的方向垂直的方向平行于水平流路部22的延伸方向。

[0071] 另外，在以下的说明中，被称为“第1方向D1的一侧”的情况下的方向意味着图3的左方向，被称为“第1方向D1的另一侧”的情况下的方向意味着图3的右方向。另外，被称为“第2方向D2的一侧”的情况下的方向意味着图4的下方向，被称为“第2方向D2的另一侧”的情况下的方向意味着图4的上方向。

[0072] 驻留槽51具有底壁51A和从底壁51A的外周缘的整个区域向上方竖起的周壁51B，该底壁51A和该周壁51B由不锈钢等的板材形成。驻留槽51的俯视形状是在第1方向D1上具有长度方向的长方形状。周壁51B具有与长方形状的一对短边对应的位于第1方向D1的一侧和另一侧的一对壁部、以及与长方形状的一对长边对应的位于第2方向D2的一侧和另一侧的一对壁部。另外，如果对驻留槽51与板24的空气通过孔24A之间的位置关系进行说明，则如图3所示，在沿第2方向D2观察的情况下，空气通过孔24A位于驻留槽51的上方。

[0073] 在本实施方式中，驻留槽51以贯通水平流路部22的下壁的状态而设置。如果进行详细说明，则如图6所示，在周壁51B上设置有向外侧延伸出的凸缘51C，使凸缘51C与形成于水平流路部22的下壁的开口的外周缘卡定，从而使驻留槽51被水平流路部22的下壁保持。另外，在本实施方式中，采用驻留槽51的一部分向水平流路部22的外部露出的结构，但加湿器5整体也可以被收纳于水平流路部22的内部。另外，如图3所示，加热器52被收纳于驻留槽
51的内部，沿驻留槽51的长度方向延伸。在加湿器5中，通过调节加热器52的加热量而对从驻留在驻留槽51中的水产生的蒸汽的量进行调节，由此，能够将在空气流通路2中流通的空气的湿度调节至期望的湿度。

[0074] 一对引导板53分别由不锈钢等的板材形成，被从驻留槽51的底壁51A竖起的省略图示的支承部件支承，保持相对于水平方向倾斜的姿势。在本实施方式中，构成为一对引导板53以通过第1方向D1的驻留槽51的中央并且沿第2方向D2延伸的铅垂面为基准对称。另外，一对引导板53的上部在第1方向D1上相互远离，来自驻留槽51的蒸汽能够通过一对引导板53的上部之间。另外，在本实施方式中，一对引导板53在沿第2方向D2观察的情况下直线延伸，但也可以呈弯曲状延伸。

[0075] 如图4所示，一对引导板53分别具有：倾斜边部54，在俯视时第2方向D2的一侧的该倾斜边部54的端部位于比另一侧的该倾斜边部54的端部在第1方向D1上远离驻留槽51的中央的位置；另一侧边部55，其朝向第2方向D2的另一侧；以及下侧边部56，其在上下方向上位于驻留槽51侧并沿第2方向D2延伸。在图示的例子中，倾斜边部54、另一侧边部55以及下侧边部56以在俯视时形成为三角形的方式相互连接。

[0076] 上述的板24和送风机6相对于加湿器5位于第2方向D2的另一侧，因此另一侧边部55朝向板24和送风机6一侧。与此相对，倾斜边部54与另一侧边部55的第1方向D1的驻留槽
51的中央侧的端部连接，成为朝向板24和送风机6一侧的相反侧的状态。如图5所示，在沿第
1方向D1观察的情况下，倾斜边部54朝向板24和送风机6一侧向斜上方倾斜并延伸。

[0077] 如图4所示，本实施方式的另一侧边部55沿第1方向D1延伸，因此，另一侧边部55与第2方向D2的另一侧的驻留槽51的壁部51BB平行。这里，如图4至图6所示，另一侧边部55在俯视时与第2方向D2的另一侧的驻留槽51的壁部51BB重叠。另外，在本实施方式中，另一侧边部55在俯视时与第2方向D2的另一侧的驻留槽51的壁部51BB重叠，但另一侧边部55也可以在俯视时位于壁部51BB的外侧。

[0078] 另外，如图3所示，在另一侧边部55设置有向下方突出并且沿另一侧边部55延伸的突部57。在本实施方式中，突部57与引导板53是由一个材料形成的一体物，但也可以通过螺钉将突部57安装于引导板53，也可以通过焊接等将突部57安装于引导板53。

[0079] 另一方面，如图3和图4所示，下侧边部56分别在第1方向D1上远离自身所位于的一侧的驻留槽51的壁部。即，在本实施方式中，引导板53被设置为在俯视时在第1方向D1上与自身所位于的一侧的驻留槽51的壁部之间形成间隙S。在本实施方式中，省略图示的浮球开关被配置为通过配置于第1方向D1的另一侧的引导板53与驻留槽51的壁部之间的间隙S。另外，也可以不形成这样的间隙S。

[0080] 另外，在本实施方式中，如图3所示，在沿第2方向D2观察的情况下，引导板53的一部分与板24的空气通过孔24A重叠。另外，在沿第2方向D2观察的情况下，从引导板53的上部向斜上方的延长线通过空气通过孔24A的中心C1。这里，引导板53的上述延长线优选为通过空气通过孔24A的中心C1并且相对于沿第1方向D1的直线呈20°～30°的角度。在本案发明人的锐意研究下，发现通过在这样的角度范围内设定引导板53的角度，能够提高湿度的控制精度。另外，在本实施方式中，在沿第2方向D2观察的情况下，引导板53与板24的空气通过孔24A重叠，但引导板53也可以不与空气通过孔24A重叠，引导板53的上部也可以位于比空气通过孔24A靠下方的位置。

[0081] 另外，如图3所示，引导板53从第1方向D1的空气通过孔24A的端点在第1方向D1上向空气通过孔24A的中心侧突出的距离L相对于空气通过孔24A的直径之比优选为5/36～10/36。特别是，在本实施方式中，上述距离为空气通过孔24A的直径的6/36(1/6)。在本案发明人的锐意研究下，发现通过在这样的尺寸范围内设定引导板53的位置，能够提高湿度的控制精度。

[0082] 另一方面，本实施方式的加湿器5还具有吸湿部件60，该吸湿部件60在第2方向D2的另一侧(板24侧)的驻留槽51的壁部51BB的上方或者第2方向D2的另一侧的斜上方，沿上下方向延伸。如图3所示，吸湿部件60呈在第1方向D1上具有长度方向的长方形状，在第1方向D1上越过一对引导板53而向外侧延伸。另外，如图4和图5所示，吸湿部件60形成为板状。

[0083] 在沿第2方向D2、即水平流路部22的延伸方向观察的情况下，吸湿部件60覆盖空气通过孔24A的一部分，在图示的例子中，吸湿部件60从空气通过孔24A的下端朝向上端覆盖空气通过孔24A的上下方向的最大长度的1/3的范围。在本实施方式中，吸湿部件60覆盖空气通过孔24A的一部分。详细而言，使吸湿部件60跨越空气通过孔24A的一部分和板24的壁面，而覆盖该空气通过孔24A的一部分和该板24的壁面。然而，吸湿部件60也可以不覆盖空气通过孔24A，例如，也可以仅覆盖比空气通过孔24A的下端靠下方的板24的壁面。另外，吸湿部件60也可以覆盖空气通过孔24A的斜下方或侧方的板24的壁面。

[0084] 在本实施方式中，吸湿部件60是海绵，被图6所示的由不锈钢等构成的板状的支承部件61支承。在图示的例子中，支承部件61沿吸湿部件60的板24侧的面延伸，对该面进行支承。支承部件61安装在从驻留槽51的壁部51BB向板24侧延伸出的凸缘51C上，向上方延伸。构成吸湿部件60的海绵由合成树脂构成，特别优选为聚氨酯泡沫。特别是，构成吸湿部件60的海绵优选为聚氨酯泡沫中的软质聚氨酯泡沫，更优选为软质聚氨酯泡沫中的聚醚系软质聚氨酯泡沫。在吸湿部件60是聚醚系软质聚氨酯泡沫的情况下，能够抑制吸湿部件60在半导体制造工序中带来不良影响，因此特别在半导体制造的用途中是有用的。另外，吸湿部件
60只要具有吸湿性即可，可以由与海绵不同的材料构成，例如，也可以由布等纤维或多孔材料构成。

[0085] 接下来，对本实施方式的作用进行说明。

[0086] 在本实施方式的空调装置1中，送风机6通过使风扇旋转而将空气流通路2的内部的空气取入至该送风机6的内部，并从朝向上方开口的排出口25A排出。通过使送风机6将空气流通路2的内部的空气取入，而使外部的空气被从空气流通路2的上游侧开口21A取入至空气流通路2的内部。由此，空气在空气流通路2中流通。被取入至空气流通路2内的空气首先被冷却器3冷却，接着被加热器4加热而被调节至期望的温度。然后，空气通过加湿器5的上方，该空气的湿度被调节。

[0087] 在图7至图9中，用箭头示出通过加湿器5的空气的流动。加湿器5能够在空气流通路2的水平流路部22内使来自驻留槽51的蒸汽混入至在水平面上从与第1方向D1交叉的方向通过驻留槽51的上方的空气。然后，如各图的箭头所示，能够通过引导板53将混入有该蒸汽的空气向驻留槽51的中央侧引导，并且使混入有该蒸汽的空气通向驻留槽51的外侧。

[0088] 由此，能够以如下的状态将混入有蒸汽的空气聚集于板24的空气通过孔24A：将加湿器5设置为当沿在水平面上与第1方向D1垂直的方向、即沿第2方向D2进行观察的情况下，板24的空气通过孔24A位于引导板53的延长线上。另一方面，能够抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散而在不期望的区域(具体来说，是板24的空气通过孔24A的周围的区域)结露。

[0089] 另外，能够通过吸湿部件60将来自驻留槽51的蒸汽的一部分保持为水的状态，从而能够抑制蒸汽在板24的空气通过孔24A的周围结露。特别是，来自驻留槽51的板24侧的区域的蒸汽会与空气混合而附着在板24的空气通过孔24A的周围，从而变得容易结露，但通过使吸湿部件60位于驻留槽51的板24侧，能够有效地抑制结露的发生。

[0090] 因此，根据以上所说明的本实施方式，能够抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中，从而能够将空气的湿度控制为稳定的状态。

[0091] 另外，在本实施方式中，引导板53具有倾斜边部54，该倾斜边部54位于如下位置：在俯视时第2方向D2的一侧的该倾斜边部54的端部比另一侧的该倾斜边部54的端部在第1方向D1上远离驻留槽51的中央，板24相对于加湿器5位于第2方向D2的另一侧。

[0092] 根据该结构，由于能够将混入有蒸汽的空气沿倾斜边部54朝向驻留槽51的中央侧引导，并且能够使混入有蒸汽的空气朝向驻留槽51的外侧的板24的空气通过孔24A通过，因此能够向板24的空气通过孔24A提供在驻留槽51的第2方向D1的一侧的区域中大范围存在的混入有蒸汽的空气。由此，有效地抑制混入有蒸汽的空气大范围地扩散，从而能够有效地抑制不期望的蒸汽的结露。

[0093] 另外，引导板53具有朝向第2方向D2的另一侧的另一侧边部55，另一侧边部55沿第1方向D1延伸。根据该结构，相比于另一侧边部55相对于第1方向D1倾斜的情况，能够抑制来自驻留槽51的蒸汽从另一侧边部55向外侧泄漏。特别是，在本实施方式中，另一侧边部55在俯视时与第2方向D2的另一侧的驻留槽51的壁部51BB重叠或者位于壁部51BB的外侧。由此，能够有效地抑制来自驻留槽51的蒸汽从另一侧边部55向外侧泄漏。

[0094] 另外，在另一侧边部55处设置有向下方突出并且沿另一侧边部55延伸的突部57。根据该结构，能够有效地抑制来自驻留槽51的蒸汽从另一侧边部55向外侧泄漏，并且能够使蒸汽在引导板53的下表面上结露所产生的水从突部57的下端返回驻留槽51。另外，由于能够通过突部57抑制引导板53的弯曲变形，因此能够抑制由空气的流动所产生的引导板53的颤动。

[0095] 另外，加湿器5还具有吸湿部件60，该吸湿部件60在第2方向D2的另一侧的驻留槽51的壁部51BB的上方或者第2方向D2的另一侧的斜上方沿上下方向延伸。根据该结构，即使在来自驻留槽51的蒸汽从另一侧边部55向外侧泄漏的情况下，由于能够通过吸湿部件60保持为水的状态，因此能够有效地抑制从另一侧边部55向外侧泄漏的蒸汽结露并且抑制结露所得的水与空气混合而流动。由此，能够将空气的湿度控制为更稳定的状态。

[0096] 另外，引导板53被设置为在俯视时在第1方向D1上与自身所位于的一侧的驻留槽51的壁部之间形成间隙S。根据该结构，能够将浮球开关等部件配置为通过引导板53与该引导板53所位于的一侧的驻留槽51的壁部之间的间隙S。此外，虽然像这样有效地利用了间隙，但通过以间隙位于远离提供空气的板24的空气通过孔24A的位置的方式配置加湿器5，即使驻留槽51的蒸汽在不期望的区域结露，也能够抑制水流向空气通过孔24A。

[0097] 另外，在沿第2方向D2观察的情况下，所述引导板53的一部分与空气通过孔24A重叠。根据该结构，由于能够有效地抑制被引导板53引导的混入有蒸汽的空气在板24的空气通过孔24A的周围扩展，因此能够有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入至空气中。

[0098] 特别是，在沿第2方向D2观察的情况下，引导板53的延长线通过空气通过孔24A的中心C1。根据该结构，由于能够向板24的空气通过孔24A的中心提供被引导板53引导的混入有蒸汽的空气，因此能够有效地抑制该空气在板24的空气通过孔24A的周围扩展。由此，能够有效地抑制蒸汽结露所产生的水混入空气中。

[0099] 以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式中，引导板53在第1方向D1上相对于驻留槽51的中央而配置在两侧，但引导板53也可以相对于驻留槽51的中央而仅设置在任意一方。

[0100] 标号说明

[0101] 1：空调装置；2：空气流通路；3：冷却器；4：加热器；5：加湿器；6：送风机；21：纵流路部；21A：上游侧开口；22：水平流路部；22A：下游侧开口；24：板；24A：空气通过孔；51：驻留槽；51A：底壁；51B：周壁；51C：凸缘；52：加热器；53：引导板；54：倾斜边部；55：另一侧边部；56：下侧边部；57：突部；60：吸湿部件、61：支承部件。