微悬臂梁探针的设计方法

摘要

本发明公开了一种微悬臂梁探针的设计方法，包括：获取微悬臂梁探针测量摩擦系数的普适理论模型；获取不同结构的微悬臂梁探针的振动参数，根据振动参数和普适理论模型建立不同结构特性的微悬臂梁探针测量摩擦系数的理论模型；根据理论模型计算微悬臂梁探针正压力的最大测量值或摩擦力的最小测量值，并根据可测摩擦系数分辨率，获得满足摩擦系数分辨率要求的微悬臂梁探针的不同尺寸的分布；选取尺寸进行仿真分析，得到微悬臂梁探针振动频率特性，并根据振动频率特性和普适理论模型得到摩擦系数分辨率量级；若摩擦系数分辨率量级满足摩擦系数分辨率的预设要求，则提取该微悬臂梁探针的尺寸。上述方法实现了0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量。