一种合金薄膜的测厚装置转让专利
申请号 : CN201910393949.5
文献号 : CN110160478B
文献日 : 2021-04-23
发明人 : 王奇 , 王敏雪 , 立群 , 谷爱俊 , 程晓龙 , 洪万里
申请人 : 安徽迈德福新材料有限责任公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:包括测厚仪(1)、工作台(2)、矩形凸台(4)和铺平机构,所述矩形凸台(4)相对的两侧分别设有固定板(5),所述矩形凸台(4)和固定板(5)均固定于所述的工作台(2)端面,所述测厚仪(1)相对的两侧分别设有所述的铺平机构;
所述铺平机构与固定板(5)的侧面滑动连接,并使测厚仪(1)端部的探头(3)位于矩形凸台(4)的上方,且测厚仪(1)始终与矩形凸台(4)的上端面垂直;在所述铺平机构将铺设在矩形凸台(4)的合金薄膜整平后,使测厚仪(1)端部的探头(3)测试合金薄膜的厚度;
所述铺平机构包括滑块(8)、导向杆(9)、压块(10)和第一弹簧(11),所述固定板(5)朝向矩形凸台(4)的侧面设有滑槽(7),所述滑块(8)的一端与滑槽(7)滑动连接,滑块(8)的另一端与测厚仪(1)的侧面固定连接,所述导向杆(9)与滑块(8)滑动连接,导向杆(9)靠近矩形凸台(4)的端部设有压块(10),所述压块(10)与滑块(8)之间的导向杆(9)套有所述的第一弹簧(11),所述第一弹簧(11)的一端与滑块(8)固定连接,第一弹簧(11)的另一端与压块(10)固定连接,所述压块(10)移动到矩形凸台(4)的位置时,其与矩形凸台(4)相对应的侧面接触连接;
包括侧面槽(27)、限位架(28)、锁紧杆(29)、圆弧杆(32)和解锁杆(34),所述滑槽(7)贯穿固定板(5)的上端面,所述侧面槽(27)设与固定板(5)的上端,其与滑槽(7)连通,所述侧面槽(27)的底部设有解锁槽(35),所述解锁杆(34)的端部设有T形端,所述T形端与解锁杆(34)滑动连接,所述解锁杆(34)的底部与第六弹簧(36)的一端固定连接,所述第六弹簧(36)的另一端与解锁槽(35)的侧壁固定连接,所述限位架(28)为L形,其被包括竖架和横架,所述竖架的底部与解锁杆(34)的杆体固定连接,所述锁紧杆(29)的端部与转轴(30)转动连接,所述转轴(30)的两端与固定在竖架的转轴座固定连接,所述锁紧杆(29)在与横架平行时,锁紧杆(29)与横架接触,且锁紧杆(29)的端部延伸至滑槽(7)的内部,所述圆弧杆(32)的一端与竖架固定连接,圆弧杆(32)的另一端与横架固定连接,所述锁紧杆(29)设有圆弧槽(31),所述圆弧杆(32)与圆弧槽(31)滑动连接,所述竖架到锁紧杆(29)之间的圆弧杆(32)上套有第五弹簧(33),所述第一弹簧(11)的一端与竖架固定连接,其另一端与锁紧杆(29)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:所述压块(10)的表面设有橡胶垫(12),所述矩形凸台(4)与压块(10)相对应的侧面设有若干滚轮(13),所述滚轮(13)的端面超出相对应侧面一段距离。
3.根据权利要求1所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:所述压块(10)包括压板(6)、垫块(14)和滑杆(16),所述垫块(14)的上端面与第一弹簧(11)的端部固定连接,垫块(14)的下端与支撑块(15)固定连接,所述压板(6)移动到矩形凸台(4)的位置时,其与矩形凸台(4)相对应的侧面接触连接,压板(6)的上端设有支撑槽(61),所述支撑块(15)与支撑槽(61)滑动连接,所述滑杆(16)的两端与支撑槽(61)的侧壁固定连接,滑杆(16)套有第二弹簧(17),所述支撑块(15)与滑杆(16)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:还包括固定部,所述固定板(5)的板体设有开口(18),所述开口(18)为矩形,两个所述固定板(5)中的开口(18)竖向中心线组成的平面与探头(3)重合,所述开口(18)的竖向侧面设有侧边槽(20),所述侧边槽(20)的竖直方向上设有导向柱(21),所述固定部的两侧设有侧翼,所述侧翼与导向柱(21)滑动连接,所述导向柱(21)的柱体上套有第三弹簧(22),所述第三弹簧(22)的一端与侧边槽(20)的上端固定连接,第三弹簧(22)的另一端与侧翼固定连接,所述侧翼的外侧面还设有拉杆,用于手动驱动固定部在导向柱(21)向上克服第三弹簧(22)运动。
5.根据权利要求4所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:所述固定部为限位块(19),所述限位块(19)朝向工作台(2)的端面设有圆弧形槽口,所述圆弧形槽口位于该限位块(19)端部的中间位置。
6.根据权利要求4所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:所述固定部包括固定座(23)和转杆(24),两个所述侧翼的相对端面对称设有所述的固定座(23),所述固定座(23)与侧翼的端面固定连接,所述转杆(24)包括联动杆和压杆,所述联动杆和压杆形成一定的角度,且两者的交叉处与转动杆转动连接,所述转动杆的两端与固定座(23)的槽口侧壁固定连接,所述联动杆靠近开口(18)的顶部,所述压杆靠近工作台(2)。
7.根据权利要求6所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:还包括第四弹簧(26),所述联动杆的杆体固定连接有支杆(25),所述第四弹簧(26)的两端分别与两个支杆(25)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种合金薄膜的测厚装置,其特征在于:还包括锁紧环(37),所述测厚仪(1)的表面一圈设有卡槽(39),所述锁紧环(37)外侧与滑块(8)固定连接,锁紧环(37)的开口处设有螺纹杆(38),所述螺纹杆(38)将锁紧环(37)在卡槽(39)位置锁紧或松开,所卡槽(39)位于靠近探头(3)的位置。
说明书 :
一种合金薄膜的测厚装置
技术领域
背景技术
以节省成本,尤其是铁含量为63‑64%的铁镍合金具有极低的热膨胀系数,广泛用作精密仪
器仪表、光学仪器和电子设备的元器件,在航天航空、军事武器、微波通讯、彩电阴罩以及石
油运输容器也得到广泛应用。
造成测量结果出现大的偏差。
发明内容
加上员工操作时,无法保证测厚仪的探头与合金薄膜垂直接触,容易造成测量结果出现大
的偏差的技术问题。
定于所述的工作台端面,所述测厚仪相对的两侧分别设有所述的铺平机构,所述铺平机构
与固定板的侧面滑动连接,并使测厚仪端部的探头位于矩形凸台的上方,且测厚仪始终与
矩形凸台的上端面垂直,在所述铺平机构将铺设在矩形凸台的合金薄膜整平后,使测厚仪
端部的探头测试合金薄膜的厚度。
固定连接,所述导向杆与滑块滑动连接,导向杆靠近矩形凸台的端部设有压块,所述压块与
滑块之间的导向杆套有所述的第一弹簧,所述第一弹簧的一端与滑块固定连接,第一弹簧
的另一端与压块固定连接,所述压块移动到矩形凸台的位置时,其与矩形凸台相对应的侧
面接触连接。
台相对应的侧面接触连接,压板的上端设有支撑槽,所述支撑块与支撑槽滑动连接,所述滑
杆的两端与支撑槽的侧壁固定连接,滑杆套有第二弹簧,所述支撑块与滑杆滑动连接。
所述侧边槽的竖直方向上设有导向柱,所述固定部的两侧设有侧翼,所述侧翼与导向柱滑
动连接,所述导向柱的柱体上套有第三弹簧,所述第三弹簧的一端与侧边槽的上端固定连
接,第三弹簧的另一端与侧翼固定连接,所述侧翼的外侧面还设有拉杆,用于手动驱动固定
部在导向柱向上克服第三弹簧运动。
和压杆形成一定的角度,且两者的交叉处与转动杆转动连接,所述转动杆的两端与固定座
的槽口侧壁固定连接,所述联动杆靠近开口的顶部,所述压杆靠近工作台。
述解锁杆的端部设有T形端,所述T形端与解锁杆滑动连接,所述解锁杆的底部与第六弹簧
的一端固定连接,所述第六弹簧的另一端与解锁槽的侧壁固定连接,所述限位架为L形,其
被包括竖架和横架,所述竖架的底部与解锁杆的杆体固定连接,所述锁紧杆的端部与转轴
转动连接,所述转轴的两端与固定在竖架的转轴座固定连接,所述锁紧杆在与横架平行时,
锁紧杆与横架接触,且锁紧杆的端部延伸至滑槽的内部,所述圆弧杆的一端与竖架固定连
接,圆弧杆的另一端与横架固定连接,所述锁紧杆设有圆弧槽,所述圆弧杆与圆弧槽滑动连
接,所述竖架到锁紧杆之间的圆弧杆上套有第五弹簧,所述第一弹簧的一端与竖架固定连
接,其另一端与锁紧杆固定连接。
卡槽位于靠近探头的位置。
矩形凸台的合金薄膜整平后,使测厚仪端部的探头测试合金薄膜的厚度,通过该装置,可将
褶皱的合金薄膜通过铺平机构正平后再由测厚仪测量,同时可保证测厚仪的探头与合金薄
膜垂直接触,提高测量的精确度。
附图说明
17‑第二弹簧、18‑开口、19‑限位块、20‑侧边槽、21‑导向柱、22‑第三弹簧、23‑固定座、24‑转
杆、25‑支杆、26‑第四弹簧、27‑侧面槽、28‑限位架、29‑锁紧杆、30‑转轴、31‑圆弧槽、32‑圆
弧杆、33‑第五弹簧、34‑解锁杆、35‑解锁槽、36‑第六弹簧、37‑锁紧环、38‑螺纹杆、39‑卡槽、
61‑支撑槽。
具体实施方式
两侧分别设有固定板5,所述矩形凸台4和固定板5均固定于所述的工作台2端面,所述测厚
仪1相对的两侧分别设有所述的铺平机构,所述铺平机构与固定板5的侧面滑动连接,并使
测厚仪1端部的探头3位于矩形凸台4的上方,且测厚仪1始终与矩形凸台4的上端面垂直,在
所述铺平机构将铺设在矩形凸台4的合金薄膜整平后,使测厚仪1端部的探头3测试合金薄
膜的厚度。
的探头3测试合金薄膜的厚度,通过该装置,可将褶皱的合金薄膜通过铺平机构正平后再由
测厚仪1测量,同时可通过固定板5保证测厚仪1的探头3与合金薄膜垂直接触,提高测量的
精确度。
滑块8的一端与滑槽7滑动连接,滑块8的另一端与测厚仪1的侧面固定连接,所述导向杆9与
滑块8滑动连接,导向杆9靠近矩形凸台4的端部设有压块10,所述压块10与滑块8之间的导
向杆9套有所述的第一弹簧11,所述第一弹簧11的一端与滑块8固定连接,第一弹簧11的另
一端与压块10固定连接,所述压块10移动到矩形凸台4的位置时,其与矩形凸台4相对应的
侧面接触连接。
台4方向移动,在压块10运动到矩形凸台4的位置后,压块10的一面与合金薄膜接触,通过两
者之间的摩擦力,在压块10继续运动时,两侧的压块10会拉动合金薄膜,使合金薄膜对称的
两侧有相互分离的趋势,并最终迫使合金薄膜整平,在压块10与工作台1接触后,继续推动
测厚仪1,使测厚仪1克服第一弹簧11的弹力,并最终使探头3与合金薄膜接触,完成测量过
程,通过该铺平机构的工作方式,可保证将褶皱的合金薄膜铺平,并使探头3始终与矩形凸
台垂直。
超出相对应侧面一段距离。
开的现象,因此,在本实施例中,通过橡胶垫12增加压块10与合金薄膜的摩擦力,同时通过
滚轮13减小合金薄膜与矩形凸台4的摩擦力,从而使压块10可正常使合金薄膜整平。
括压板6、垫块14和滑杆16,所述垫块14的上端面与第一弹簧11的端部固定连接,垫块14的
下端与支撑块15固定连接,所述压板6移动到矩形凸台4的位置时,其与矩形凸台4相对应的
侧面接触连接,压板6的上端设有支撑槽61,所述支撑块15与支撑槽61滑动连接,所述滑杆
16的两端与支撑槽61的侧壁固定连接,滑杆16套有第二弹簧17,所述支撑块15与滑杆16滑
动连接。
与合金薄膜的摩擦力太大,造成合金薄膜被撕拉开的现象。
组成的平面与探头3重合,所述开口18的竖向侧面设有侧边槽20,所述侧边槽20的竖直方向
上设有导向柱21,所述固定部的两侧设有侧翼,所述侧翼与导向柱21滑动连接,所述导向柱
21的柱体上套有第三弹簧22,所述第三弹簧22的一端与侧边槽20的上端固定连接,第三弹
簧22的另一端与侧翼固定连接,所述侧翼的外侧面还设有拉杆,用于手动驱动固定部在导
向柱21向上克服第三弹簧22运动。
杆使固定部在第三弹簧22的作用下,将圆筒固定,然后再通过测厚仪1测量合金薄膜的厚
度。在本实施例中,如图4所示,固定部可为限位块19,限位块19朝向工作台2的端面设有圆
弧形槽口,所述圆弧形槽口位于该限位块19端部的中间位置,这样设置一个位于该限位块
19端部的中间位置的圆弧形槽口,使圆弧形槽口的底部位置与限位块19的竖向中心线重
合,可使圆筒在被固定过程中,使圆筒向探头3的正下方运动,保证测量时,探头3与合金薄
膜的的接触面垂直;同时,在本实施例中,如图5所示,固定部还可以为包括固定座23和转杆
24,两个所述侧翼的相对端面对称设有所述的固定座23,所述固定座23与侧翼的端面固定
连接,所述转杆24包括联动杆和压杆,所述联动杆和压杆形成一定的角度,且两者的交叉处
与转动杆转动连接,所述转动杆的两端与固定座23的槽口侧壁固定连接,所述联动杆靠近
开口18的顶部,所述压杆靠近工作台2,在这里,当圆筒置于联动杆中间时,松开拉杆后,固
定座带动转杆24向下运动,当转杆24中的压杆与圆筒接触时,转杆24带动联动杆向靠近圆
筒的方向转动,在联动杆与圆筒接触将圆筒的位置调节到探头3的正下方,这时也可保证测
量时,探头3与合金薄膜的的接触面垂直,在这个实施方式中还包括第四弹簧26,联动杆的
杆体固定连接有支杆25,第四弹簧26的两端分别与两个支杆25固定连接,通过第四弹簧26
可在松开圆筒时,联动杆在第四弹簧26的作用下与圆筒分开。
述侧面槽27设与固定板5的上端,其与滑槽7连通,所述侧面槽27的底部设有解锁槽35,所述
解锁杆34的端部设有T形端,所述T形端与解锁杆34滑动连接,所述解锁杆34的底部与第六
弹簧36的一端固定连接,所述第六弹簧36的另一端与解锁槽35的侧壁固定连接,所述限位
架28为L形,其被包括竖架和横架,所述竖架的底部与解锁杆34的杆体固定连接,所述锁紧
杆29的端部与转轴30转动连接,所述转轴30的两端与固定在竖架的转轴座固定连接,所述
锁紧杆29在与横架平行时,锁紧杆29与横架接触,且锁紧杆29的端部延伸至滑槽7的内部,
所述圆弧杆32的一端与竖架固定连接,圆弧杆32的另一端与横架固定连接,所述锁紧杆29
设有圆弧槽31,所述圆弧杆32与圆弧槽31滑动连接,所述竖架到锁紧杆29之间的圆弧杆32
上套有第五弹簧33,所述第一弹簧11的一端与竖架固定连接,其另一端与锁紧杆29固定连
接。
块8首先触碰到锁紧杆29,并带动锁紧杆29克服第五弹簧33的弹力沿着圆弧杆32滑动,并逐
渐收缩到侧面槽27中,在锁紧杆29完全收缩到侧面槽27中后,滑块8会沿着滑槽7滑动,当滑
块8完全滑进滑槽7中后,其锁紧杆29会在第五弹簧33的作用下重新恢复到与限位架28的横
架接触的位置,此时,如果没有外力作用,滑块8将无法再次滑出滑槽7,实现了滑块8快速滑
进滑槽7的要求,同时还保证在工作时,滑块8无法脱离滑槽7。当需要滑块8快速脱离滑槽7
时,拉动解锁杆34,使其克服第六弹簧36的弹力带动锁紧杆29完全收到侧面槽27中,此时即
可使滑块8快速脱离滑槽7。
紧环37的开口处设有螺纹杆38,所述螺纹杆38将锁紧环37在卡槽39位置锁紧或松开,所卡
槽39位于靠近探头3的位置。
中,再通过螺纹杆38将锁紧环37锁紧。
或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合,并存在如上所述的本发明的不同方面
的许多其它变化,为了简明它们没有在细节中提供。因此,凡在本发明的精神和原则之内,
所做的任何省略、修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。