一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备

摘要

本发明涉及一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备，支架上部设置主动轮，主动轮上的第一齿轮啮合从动轮的第二齿轮，从动轮的第三齿轮两侧分别啮合第一传动轴的第四齿轮，从动轮驱动八寸炉管；第一传动轴的第五齿轮啮合第二传动轴的第六齿轮，第五齿轮和第六齿轮的侧面分别设置传动轮，第一传动轴的第七齿轮啮合第三传动轴的第八齿轮，第三传动轴的第九齿轮啮合第四传动轴的第十齿轮，第四传动轴的第十一齿轮啮合第五传动轴的第十二齿轮，传动轮驱动十二寸炉管，第十齿轮，第十一齿轮和第十二齿轮的侧面分别设置传动轮。本发明兼容多种规格、提高效率、降低成本。

权利要求

1.一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)上部设置主动轮(2)，所述主动轮(2)上的第一齿轮(13)啮合从动轮(5)的第二齿轮(14)，所述从动轮(5)的第三齿轮(15)两侧分别啮合第一传动轴(6)的第四齿轮(16)，所述从动轮(5)驱动八寸炉管(3)；

所述第一传动轴(6)的第五齿轮(17)啮合第二传动轴(7)的第六齿轮(18)，所述第五齿轮(17)和第六齿轮(18)的侧面分别设置传动轮(11)，所述第一传动轴(6)的第七齿轮(19)啮合第三传动轴(8)的第八齿轮(20)，所述第三传动轴(8)的第九齿轮(21)啮合第四传动轴(9)的第十齿轮(22)，所述第四传动轴(9)的第十一齿轮(23)啮合第五传动轴(10)的第十二齿轮(24)，所述传动轮(11)驱动十二寸炉管(4)，所述第十齿轮(22)，第十一齿轮(23)和第十二齿轮(24)的侧面分别设置传动轮(11)；

所述主动轮(2)，第一传动轴(6)，第二传动轴(7)，第三传动轴(8)，第四传动轴(9)和第五传动轴(10)分别通过轴承固定在支架(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述从动轮(5)的第二齿轮和第三齿轮同心设置。

3.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述从动轮(5)的第二齿轮的外径大于第三齿轮的外径。

4.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述传动轮(11)为圆形轮。

5.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述支架(1)为L形。

6.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述十二寸炉管(4)的侧面设置一个以上的挂钩(12)，所述挂钩(12)的下部为包裹十二寸炉管(4)的钩体，上部为安装块。

7.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述主动轮(2)，第一传动轴(6)，第二传动轴(7)，第三传动轴(8)，第四传动轴(9)和第五传动轴(10)相互平行。

8.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述第二传动轴(7)位于第一传动轴(6)和第三传动轴(8)上方径向中部，所述第一传动轴(6)，第二传动轴(7)，第三传动轴(8)通过两块支撑板固定。

9.根据权利要求1所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，所述第五传动轴(10)位于第三传动轴(8)和第四传动轴(9)上方径向中部，所述第三传动轴(8)，第四传动轴(9)和第五传动轴(10)通过两块支撑板固定。

10.一种炉管清洗槽设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构。

说明书

一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体设备技术领域，特别是一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备。

背景技术

[0002] 晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

[0003] 传统的半导体晶片湿法清洗机为单列槽式清洗机，即上片区(Loader)与下片区(Unloader)之间有一或多于一个槽，每个槽按设计规格或需求可使用所需的酸液，碱液，纯水等进行清洗或漂洗，一般下片前会经过干燥槽干燥。一般的清洗机会配置搬送机构在不同槽间自动搬送晶片或装载晶片的晶片盒。

[0004] 现有技术中，炉管清洗槽设备，不同规格的晶圆不能实现兼容，一套设备只能实现对一种规格晶圆的清洗，不利于提高效率，降低成本。需要一种兼容多种规格、提高效率、降低成本的十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构。

发明内容

[0005] 本发明的目的是提供一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备，以实现兼容多种规格、提高效率、降低成本等效果。

[0006] 根据本发明的第一方面，提供一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，其特征在于，包括：

[0007] 支架，所述支架上部设置主动轮，所述主动轮上的第一齿轮啮合从动轮的第二齿轮，所述从动轮的第三齿轮两侧分别啮合第一传动轴的第四齿轮，所述从动轮驱动八寸炉管；

[0008] 所述第一传动轴的第五齿轮啮合第二传动轴的第六齿轮，所述第五齿轮和第六齿轮的侧面分别设置传动轮，所述第一传动轴的第七齿轮啮合第三传动轴的第八齿轮，所述第三传动轴的第九齿轮啮合第四传动轴的第十齿轮，所述第四传动轴的第十一齿轮啮合第五传动轴的第十二齿轮，所述传动轮驱动十二寸炉管，所述第十齿轮，第十一齿轮和第十二齿轮的侧面分别设置传动轮；

[0009] 所述主动轮，第一传动轴，第二传动轴，第三传动轴，第四传动轴和第五传动轴分别通过轴承固定在支架上。

[0010] 所述从动轮的第二齿轮和第三齿轮同心设置。

[0011] 所述从动轮的第二齿轮的外径大于第三齿轮的外径。

[0012] 所述传动轮为圆形轮。

[0013] 所述支架为L形。

[0014] 所述十二寸炉管的侧面设置一个以上的挂钩，所述挂钩的下部为包裹十二寸炉管的钩体，上部为安装块。

[0015] 所述主动轮，第一传动轴，第二传动轴，第三传动轴，第四传动轴和第五传动轴相互平行。

[0016] 所述第二传动轴位于第一传动轴和第三传动轴上方径向中部，所述第一传动轴，第二传动轴，第三传动轴通过两块支撑板固定。

[0017] 所述第五传动轴位于第三传动轴和第四传动轴上方径向中部，所述第三传动轴，第四传动轴和第五传动轴通过两块支撑板固定。

[0018] 根据本发明的第二方面，提供一种炉管清洗槽设备，包括如上所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构。

[0019] 本发明支架上部设置主动轮，主动轮上的第一齿轮啮合从动轮的第二齿轮，从动轮的第三齿轮两侧分别啮合第一传动轴的第四齿轮，从动轮驱动八寸炉管；第一传动轴的第五齿轮啮合第二传动轴的第六齿轮，第五齿轮和第六齿轮的侧面分别设置传动轮，第一传动轴的第七齿轮啮合第三传动轴的第八齿轮，第三传动轴的第九齿轮啮合第四传动轴的第十齿轮，第四传动轴的第十一齿轮啮合第五传动轴的第十二齿轮，传动轮驱动十二寸炉管，第十齿轮，第十一齿轮和第十二齿轮的侧面分别设置传动轮；主动轮，第一传动轴，第二传动轴，第三传动轴，第四传动轴和第五传动轴分别通过轴承固定在支架上。

[0020] 本发明兼容多种规格、提高效率、降低成本。

附图说明

[0021] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0022] 图1为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的结构示意图；

[0023] 图2为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的主视示意图；

[0024] 图3为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的侧视示意图。

[0025] 图中：1、支架，2、主动轮，3、八寸炉管，4、十二寸炉管，5、从动轮，6、第一传动轴，7、第二传动轴，8、第三传动轴，9、第四传动轴，10、第五传动轴，11、传动轮，12、挂钩，13、第一齿轮，14、第二齿轮，15、第三齿轮，16、第四齿轮，17、第五齿轮，18、第六齿轮，19、第七齿轮，20、第八齿轮，21、第九齿轮，22、第十齿轮，23、第十一齿轮，24、第十二齿轮。

具体实施方式

[0026] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0027] 本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

[0028] 图1为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的结构示意图；图2为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的主视示意图；图3为本发明一实施例中一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构的侧视示意图。

[0029] 请参考图1-图3，本发明提供一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构，包括：支架1，支架1上部设置主动轮2，主动轮2上的第一齿轮13啮合从动轮5的第二齿轮14，从动轮5的第三齿轮15两侧分别啮合第一传动轴6的第四齿轮16，从动轮5驱动八寸炉管3；第一传动轴
6的第五齿轮17啮合第二传动轴7的第六齿轮18，第五齿轮17和第六齿轮18的侧面分别设置传动轮11，第一传动轴6的第七齿轮19啮合第三传动轴8的第八齿轮20，第三传动轴8的第九齿轮21啮合第四传动轴9的第十齿轮22，第四传动轴9的第十一齿轮23啮合第五传动轴10的第十二齿轮24，传动轮11驱动十二寸炉管4，第十齿轮22，第十一齿轮23和第十二齿轮24的侧面分别设置传动轮11；主动轮2，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10分别通过轴承固定在支架1上。

[0030] 从动轮5的第二齿轮和第三齿轮同心设置。从动轮5的第二齿轮的外径大于第三齿轮的外径。传动轮11为圆形轮。支架1为L形。十二寸炉管4的侧面设置一个以上的挂钩12，挂钩12的下部为包裹十二寸炉管4的钩体，上部为安装块。主动轮2，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10相互平行。第二传动轴7位于第一传动轴6和第三传动轴8上方径向中部，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8通过两块支撑板固定。第五传动轴10位于第三传动轴8和第四传动轴9上方径向中部，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10通过两块支撑板固定。

[0031] 支架1上部设置主动轮2，主动轮2在电机的带动下驱动第一齿轮13转动，带动从动轮5的第二齿轮14，从动轮5驱动八寸炉管3。从动轮5转动，通过第三齿轮15两侧分别啮合第一传动轴6的第四齿轮16，将动能向下传递，第一传动轴6的第五齿轮17啮合第二传动轴7的第六齿轮18，第一传动轴6的第七齿轮19啮合第三传动轴8的第八齿轮20，第三传动轴8的第九齿轮21啮合第四传动轴9的第十齿轮22，第四传动轴9的第十一齿轮23啮合第五传动轴10的第十二齿轮24，依次传递动能。主动轮2，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10分别通过轴承固定在支架1上，方便固定。

[0032] 第十齿轮22，第十一齿轮23和第十二齿轮24的侧面分别设置传动轮11，第五齿轮17和第六齿轮18侧面分别设置传动轮11，传动轮11驱动并支撑十二寸炉管4。一套设备驱动两种规格的炉管，兼容多种规格、提高效率、降低成本。

[0033] 从动轮5的第二齿轮和第三齿轮同心设置，方便生成和传动比的控制。从动轮5的第二齿轮的外径大于第三齿轮的外径，实现传动比的调节。传动轮11为圆形轮，方便与十二寸炉管4贴合支撑。支架1为L形，有效的利用空间。

[0034] 十二寸炉管4的侧面设置一个以上的挂钩12，挂钩12的下部为包裹十二寸炉管4的钩体，上部为安装块，方便吊装。主动轮2，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10相互平行，提高能量传输效率。第二传动轴7位于第一传动轴6和第三传动轴8上方径向中部，第一传动轴6，第二传动轴7，第三传动轴8通过两块支撑板固定，第五传动轴10位于第三传动轴8和第四传动轴9上方径向中部，第三传动轴8，第四传动轴9和第五传动轴10通过两块支撑板固定，合理配置传动轮11的位置，使传动轮11转动方向一致。便于支撑，并提高空间利用率。

[0035] 本发明实施例中还提供一种炉管清洗槽设备，包括如上所述的一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构。

[0036] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。