插入光源转让专利
申请号 : CN201880009848.7
文献号 : CN110249713B
文献日 : 2021-07-02
发明人 : 北村英男 , 水本真作
申请人 : 日立金属株式会社
摘要 :
权利要求 :
1.一种插入光源,其特征在于,具有:
第一磁铁列,多个磁铁列状地配置;
第一磁铁支撑体,安装并支撑该第一磁铁列;
第二磁铁列,多个磁铁列状地配置,并且经由间隙与所述第一磁铁列相对;
第二磁铁支撑体,安装并支撑该第二磁铁列;
间隙驱动机构,用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体,以变更所述间隙的大小;
第一连结梁,与所述第一磁铁支撑体一体地连结;
第二连结梁,与所述第二磁铁支撑体一体地连结;
驱动连动机构,用于将所述第一连结梁和所述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结;
抵消弹簧机构,在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用;以及
弹簧连动机构,用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁,所述弹簧连动机构具有:
第一弹簧支撑框架,经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结;
第二弹簧支撑框架,经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结;
以及
引导机构,用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动,
在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构,当变更了所述间隙的大小时,通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向上的相对移动,从而抵消弹簧机构进行动作。
2.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部,在俯视时,所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合,
所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,
所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为夹在所述一对第一板部之间,所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结,
在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导机构。
3.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部,在俯视时,所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合,
所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,
所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为夹在所述一对第一板部之间,所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结,
在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导机构。
4.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,在俯视时,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有第一板部,所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,
所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为与所述第一板部相对,所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结,
在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧彼此相对的面之间设置有所述引导机构。
5.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,所述第一连结部和所述第二连结部是通过轴和与轴嵌合的嵌合孔的组合而连结的结构。
6.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的一方设置有载置部,该载置部载置所述抵消弹簧机构的抵消弹簧,在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方设置有压缩力作用部,该压缩力作用部能使压缩力作用于所述抵消弹簧。
7.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,所述弹簧连动机构还具有:固定框架,固定于基座;以及多个所述引导机构,所述多个所述引导机构具有:第一引导机构,引导所述第一弹簧支撑框架相对于所述固定框架的磁铁列相对的方向上的移动;以及第二引导机构,引导所述第二弹簧支撑框架相对于所述固定框架的磁铁列相对的方向上的移动,
当变更了所述间隙的大小时,允许所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架相对于所述固定框架的磁铁列相对的方向上的移动。
8.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,在所述第一连结梁的靠近第一磁铁列的一侧设置第二连结部,在所述第二连结梁的靠近第二磁铁列的一侧设置所述第一连结部。
9.根据权利要求1所述的插入光源,其特征在于,在侧视时,所述弹簧连动机构配置于磁铁列的后方侧。
10.一种补偿模块,用于插入光源,所述插入光源具有:
第一磁铁列,多个磁铁列状地配置;
第一磁铁支撑体,安装并支撑该第一磁铁列;
第二磁铁列,多个磁铁列状地配置,并且经由间隙与所述第一磁铁列相对;
第二磁铁支撑体,安装并支撑该第二磁铁列;
间隙驱动机构,用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体,以变更所述间隙的大小;
第一连结梁,与所述第一磁铁支撑体一体地连结;
第二连结梁,与所述第二磁铁支撑体一体地连结;以及驱动连动机构,用于将所述第一连结梁与所述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结,所述补偿模块的特征在于,所述补偿模块具有:
抵消弹簧机构,在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用;以及
弹簧连动机构,用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁,所述弹簧连动机构具有:
第一弹簧支撑框架,经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结;
第二弹簧支撑框架,经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结;
以及
引导机构,用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动,
在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构,当变更了所述间隙的大小时,通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向的相对移动,从而抵消弹簧机构进行动作。
11.根据权利要求10所述的补偿模块,其特征在于,具有:
一对第一板部以及板结合部,设置于所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方,在俯视时,所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合;
第二板部,设置在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为夹在所述一对第一板部之间;以及所述引导机构,设置在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间。
12.根据权利要求10所述的补偿模块,其特征在于,具有:
一对第一板部以及板结合部,设置于所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方,在俯视时,所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合;
第二板部,设置于所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为夹在所述一对第一板部之间;以及所述引导机构,设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间。
13.根据权利要求10所述的补偿模块,其特征在于,具有:
第一板部,设置于所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方;
第二板部,设置于所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为与所述第一板部相对;以及所述引导机构,设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧的彼此相对的面之间。
说明书 :
插入光源
技术领域
由间隙与所述第一磁铁列相对;第二磁铁支撑体,安装并支撑该第二磁铁列;间隙驱动机
构,用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体,以变
更所述间隙的大小;以及驱动连动机构,用于连结该间隙驱动机构与所述磁铁支撑体。
背景技术
源设置于电子储存环(电子束积蓄环)的直线部,进行用于利用了高指向性、高强度、高偏光
性等特性的各种技术的实用化的研究。在当前的电子储存环中,设置有多个插入光源(波荡
器:undulator),该插入光源是具有更高的束电流、更小的束横截面积的高亮度光源。
彼此相对的结构。这样,由于多个磁铁列相对,因此,较大的吸引力作用于两者之间。通过该
吸引力的作用,不仅在间隙驱动机构中产生较大的负载而损坏精密的间隙驱动,而且使支
撑磁铁列的磁铁支撑体发生变形,会扰乱了初始设定在磁场产生空间(间隙)中的电子束方
向的磁场强度分布。其结果,存在不能获得具有所期望的特性的同步加速器辐射光的问题。
frame)的间隙驱动机构,在垂直上下方向上驱动支撑磁铁列的梁。该间隙驱动机构是用于
变更间隙的大小的机构。另外,支撑磁铁列的梁经由弹簧组件被第二C型框架(secondary
C‑frame)结构支撑。第二C型框架结构在主框架结构的左右两侧连结。通过该弹簧组件,想
要减小对间隙驱动机构的负载,并且想要抑制作为磁铁支撑体的梁的变形。
1981,Volume 34,Issue 5,pp.50‑63
发明内容
簧机构产生的力矩使间隙驱动机构变形,通过使该间隙驱动机构的变形,有可能损坏精密
的间隙控制。因此,尽管设置有抵消弹簧,但也是不能使其性能充分发挥的结构。另外,将抵
消弹簧配置在支撑磁铁列的梁的正上方和正下方,而且,在这些抵消弹簧的进一步的正上
方和正下方设置有第二C型框架结构。这种结构也存在上下方向上的尺寸大型化的问题。
置,并且经由间隙与所述第一磁铁列相对;第二磁铁支撑体,安装并支撑该第二磁铁列;间
隙驱动机构,用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支
撑体,以变更所述间隙的大小;第一连结梁,与所述第一磁铁支撑体一体地连结;第二连结
梁,与所述第二磁铁支撑体一体地连结;驱动连动机构,用于将所述第一连结梁和所述第二
连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结;抵消弹簧机构,在抵消在第一磁铁列与第
二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用;以及弹簧连动机构,用于连结抵消弹簧机
构与所述连结梁,所述弹簧连动机构具有:第一弹簧支撑框架,经由第一连结部与所述第一
连结梁、第二连结梁中的任意一方连结;第二弹簧支撑框架,经由第二连结部与所述第一连
结梁、第二连结梁中的另一方连结;以及引导机构,用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二
弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动,在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧
支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构,当变更了所述间隙的大小时,通过所述第一弹
簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向上的相对移动,从而抵消弹簧机构进
行动作。
梁中的至少一方,来变更间隙的大小。另一方面,弹簧连动机构具有第一弹簧支撑框架和第
二弹簧支撑框架,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架分别经由第一连结部和第二
连结部与第一连结梁、第二连结梁中的任意一方和另一方连结。另外,使第一弹簧支撑框架
和第二弹簧支撑框架能够通过引导机构在磁铁列相对的方向上相对移动。通过这样的结
构,使因抵消弹簧机构的动作而产生的力矩能够由引导机构接住,并且能够抑制对经由第
一/第二连结部的间隙驱动机构的影响。由此,能够使抵消弹簧的动作不会对精密的间隙驱
动造成影响。
离的情况两种。
他部位安装于第二弹簧支撑框架。
铁列的一侧,将第一板部彼此结合,所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结
部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧
支撑框架中的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为夹在所述一对板部之间,
所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中
的另一方连结,在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导
机构。
第二板部之间,并且位于远离磁铁列的一侧。因此,虽然由抵消弹簧机构产生的力矩试图作
用于第一/第二连结部,但也能够通过引导机构来吸收该力矩,从而能够抑制由抵消弹簧产
生的力矩作用于第一/第二连结部。由此,能够更有效地使抵消弹簧的动作不会对精密的间
隙驱动造成影响。
铁列的一侧,将第一板部彼此结合,所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结
部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧
支撑框架中的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为夹在所述一对板部之间,
所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中
的另一方连结,在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧
之间设置有所述引导机构。
连结部,但能够通过引导机构来吸收该力矩,从而能够抑制由抵消弹簧产生的力矩作用于
第一/第二连结部。
一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结,所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中
的另一方具有第二板部,在俯视时,该第二板部配置为与所述第一板部相对,所述第二板部
的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连
结,在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧彼此相对的
面之间设置有所述引导机构。
的力矩试图作用于第一/第二连结部,但能够通过引导机构来吸收该力矩,从而能够抑制由
抵消弹簧产生的力矩作用于第一/第二连结部。
簧支撑框架中的另一方设置有压缩力作用部,该压缩力作用部能使压缩力作用于所述抵消
弹簧。
于所述固定框架的磁铁列相对的方向上的移动;以及第二引导机构,引导所述第二弹簧支
撑框架相对于所述固定框架的磁铁列相对的方向上的移动,当变更了所述间隙的大小时,
允许所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架相对于所述固定框架的磁铁列相对的方
向上的移动。
框架能够分别相对于该固定框架移动。由于这种结构设置有固定框架,因此,能够在稳定的
状态下保持弹簧连动机构。
配置,并且经由间隙与所述第一磁铁列相对;第二磁铁支撑体,安装并支撑该第二磁铁列;
间隙驱动机构,用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁
支撑体,以变更所述间隙的大小;第一连结梁,与所述第一磁铁支撑体一体地连结;第二连
结梁,与所述第二磁铁支撑体一体地连结;以及驱动连动机构,用于将所述第一连结梁与所
述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结,所述补偿模块的特征在于,所述补
偿模块具有:抵消弹簧机构,在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向
上进行作用;以及弹簧连动机构,用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁,所述弹簧连动机构
具有:第一弹簧支撑框架,经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连
结;第二弹簧支撑框架,经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结;
以及引导机构,用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的
方向的相对移动,在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹
簧机构,当变更了所述间隙的大小时,通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的
磁铁列相对的方向的相对移动,从而抵消弹簧机构进行动作。
密的间隙驱动或电子束方向的磁场强度分布带来不好的影响的插入光源,从而能够实现精
密的间隙驱动和所期望的磁场强度分布。即,对于具有上述结构的插入光源,将本发明的补
偿模块中的第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架分别经由第一连结部和第二连结部与
具有上述结构的插入光源的第一连结梁、第二连结梁中的任意一方和另一方连结。其中,能
够通过引导机构使第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架在磁铁列相对的方向上相对移
动。通过这样的结构,能够利用引导机构接住由抵消弹簧机构的动作而产生的力矩,从而能
够抑制对经由第一/第二连结部的间隙驱动机构的影响。由此,能够使抵消弹簧的动作不对
精密的间隙驱动造成影响,从而能够实现具有上述结构的插入光源的精密的间隙驱动和所
期望的磁场强度分布。
分布。
述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合;第二板部,设置在所述第一弹簧支
撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为夹在所述一对板部之间;以及所
述引导机构,设置在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间。
述第一板部的远离磁铁列的一侧,将第一板部彼此结合;第二板部,设置于所述第一弹簧支
撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为夹在所述一对板部之间;以及所
述引导机构,设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一
侧之间。
支撑框架中的另一方,在俯视时,配置为与所述第一板部相对;以及所述引导机构,设置在
所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧的彼此相对的面
之间。
由此,能够更有效地使抵消弹簧的动作不会对精密的间隙驱动造成影响。
附图说明
具体实施方式
从上方观察的俯视图。图5A是从右侧观察的侧视图。图5B是沿图3的E‑E线的剖视图(省略真
空槽周边部分)。图6是沿图3的A‑A线的向视图。
为磁铁列,例如,除了在非专利文献1中列举的磁铁列之外,还能考虑在日本特开2001‑
143899号公报、日本特开2014‑13658号公报中公开的磁铁列等各种结构例。因此,并不限定
于特定的磁铁的配置。
同样。
束的行进方向)的细长的形状。此外,间隙δ的大小能够通过后述的间隙驱动机构而变更。基
座10通过多个台座4载置在载置面上。能够在前侧和后侧配置适当个数的台座4。
机械的手段(例如,螺栓螺母)结合。另外,支撑体600也通过适当的机械的手段(例如,螺栓
螺母)与基座10结合。
示,从正面侧观察,连结轴100沿着前后方向配置有2个,该2个连结轴100通过一个连结板
101而连结。即,在图3和图5A所示的例子中,总计配置有16个连结轴100,该16个连结轴100
通过8个连结板101两两连结。
因热膨胀而长度沿水平方向发生变化时,为了吸收其变化而设置的。因此,使热膨胀的影响
不会波及间隙驱动机构、驱动连动机构。如上所述,第一磁铁支撑体1和第一连结梁103一体
地连结。如果第一连结梁103沿着垂直方向(磁铁列相对的方向的一例:以下也同样)移动,
则第一磁铁支撑体1与其连动地也一体地沿着垂直方向移动。垂直方向的移动量相同。此
外,使第一连结梁103和第一磁铁支撑体1一体地连结的机构并不限定于上述,能够应用各
种变形例。
的说明也是同样的。
正面侧观察,沿着前后方向延伸。
矩形的长方体形状,并且设置有2根。在框架500的上部设置有载置板501,在该载置板501之
上载置有间隙驱动机构50。
对设置,并将水平方向的驱动转换为垂直方向。具体的结构是通过伞齿轮等公知的机械构
件来进行。
轴部70的上下支撑于轴承70a,该轴承70a安装于框架500。螺母部71安装于支撑框架103b。
此外,在图5B中,省略了真空槽3及其周边部分。
支撑框架103b(参照图1)。从正面侧观察,支撑框架103b的后方侧通过两个框架引导机构
103c,安装于从正面侧观察的框架500的前方侧。从正面侧观察,支撑框架103b的前方侧安
装于第一连结梁103。
结梁103在垂直方向上移动,并且能够使第一磁铁支撑体1以及第一磁铁列M1在垂直方向上
移动。即,能够变更间隙δ的大小。
略说明。在如上所述的结构中,通过使第一连结梁103和第二连结梁203在垂直方向上移动,
从而能够变更间隙δ的大小。若使第一连结梁103和第二连结梁203向彼此靠近的方向移动,
则间隙δ变小,通过使它们向彼此远离的方向移动,间隙δ变大。
明。图7A是简化地表示弹簧连动机构30的结构的示意图,并且是从正面侧观察的立体图。图
7B是同样地从背面侧观察的立体图。图7C是主视图。图7D是俯视时(俯视)的中央部分的水
平剖视图(在弹簧连动机构30中,形成有凹部310c的中央部分的水平剖视图)。
垂直方向竖立的方式而设置。第一板部310具有:上部凸出部310a、下部凸出部310b以及形
成于他们中央的凹部310c。如图5A所示,凹部310c是用于确保配置真空槽3的空间的形状。
在图7A~C的例子中,虽然下部凸出部310b具有比上部凸出部310a更向前方侧(靠近磁铁列
的一侧)凸出的形状,但上部凸出部310a和下部凸出部310b也可以具有凸出相同量的形状。
一对第一板部310的下部凸出部310b之间通过连结块33而连结(参考图7A、图7B)。连结块33
的一部分比下部凸出部310b更靠前方侧,并且凸出到与后述的第二板部的上部凸出部320a
相同的位置。此外,连结块33是优选的例子,即使是其他的结构例,也能获得本发明的效果。
例如,也可以使相当于连结块33的部分与第一板部310一体成型。
320a比上部凸出部310a更向前方侧凸出。从图7C可知,第二板部320配置为夹在一对第一板
部310之间,并且它们以具有规定的间隙的状态而配置。
机构区分并便于理解,将该引导机构36称为垂直引导机构36。但是并不意味着限定引导机
构36沿垂直方向设置(参照图7D)。垂直引导机构36例如能够使用直线导轨,该导轨配置于
连结板34,引导块配置于第二板部320。此外,也可以使导轨与引导块的配置相反。垂直引导
机构36可以使用直线导轨以外的引导机构。垂直引导机构36相当于用于引导第一弹簧支撑
框架31与第二弹簧支撑框架32的垂直(磁铁列相对的方向)方向的相对移动的引导机构。
310d与压缩力作用部320b之间配置有抵消弹簧。因此,压缩力作用部320b也作为弹簧载置
部发挥功能。此外,在图7中并没有示出抵消弹簧机构。
弹簧设置板41之上设置有多个抵消弹簧42。从正面侧观察,抵消弹簧42在前后方向上配置
有6个。此外,该配置个数能够适当地设定。如从上方观察的图4的俯视图所示,补偿模块8
(弹簧连动机构30和抵消弹簧机构40)在左右方向(电子束的行进方向)上配置在四个部位。
此外,根据插入光源的左右方向的长度能够适当地设定该配置个数。就一个部位的抵消弹
簧机构40而言,抵消弹簧42排列成2列(由于第一板部310具有一对),总计配置有12个。
形成。按压部43a构成为按压抵消弹簧42的上端部。通过螺栓部43b,能够使推杆43与压缩力
作用部320b紧固连结。通过螺母44,能够对推杆43进行定位固定。通过推杆43,能够调整每
个抵消弹簧42的初始压缩量。
连结梁103的下表面侧安装有连结板104,并且通过连结轴105与第二板部320连结。上部凸
出部320a的顶端上部、连结板104以及连结轴105相当于第二连结部。第二板部320(第二弹
簧支撑框架32)并不完全固定于第一连结梁103,允许旋转移动。
连结。下部凸出部310b的顶端下部、连结块33、连结板204以及连结轴205相当于第一连结
部。第一板部310(第一弹簧支撑框架31)并不完全固定于第二连结梁203,允许旋转移动。如
上所述,抵消弹簧机构40、第一磁铁支撑体1以及第二磁铁支撑体2经由连结梁103、203等各
种构件,由弹簧连动机构30连结。此外,在图1~图6、图8中,虽然补偿模块8均设置在磁铁列
的后方侧(相对于真空槽3的框架500侧),但根据设置有补偿模块的插入光源的结构或所需
的弹簧力的大小,也可以设置在前方侧(相对于真空槽3的框架500的相反侧),也可以设置
在真空槽3的两侧。
列M1向下方移动,并且第二磁铁支撑体2和第二磁铁列M2向上方移动。由此,第一磁铁列M1
和第二磁铁列M2接近并且间隙δ变小。与此同时,磁铁的吸引力也变大。
簧42被压缩。若间隙δ变小,则磁铁的吸引力也变大,但抵消弹簧机构40的弹簧力也与其连
动地变大。若吸引力变大,则作用与支撑磁铁列的磁铁支撑体一体地连结的连结梁想要变
形的力。若连结梁变形,则磁铁支撑体也变形,由于间隙δ的大小在电子束方向即左右方向
上变得不恒定,因此,不能保持初始设定的电子束方向的磁场强度分布。因此,为了抑制因
吸引力而导致的连结梁的变形,从而设置有抵消弹簧机构40。
此,在第一/第二连结部并没有作用那么大的力矩。另外,在本实施方式中,第一/第二连结
部由于是轴与嵌合孔的连结结构,因此,即使作用了因抵消误差而产生的残留力矩,也能通
过多个轴与嵌合孔的相对转动来吸收力矩。因此,能够抑制抵消弹簧机构40产生的力矩对
间隙驱动机构50造成不好的影响,并且能够不对精密的间隙驱动造成影响。
架31和第二弹簧支撑框架32在上下方向上大型化。而且,从正面侧观察,抵消弹簧机构40相
比真空槽3更靠后方侧设置,并且从正面侧观察真空槽3的前方侧是开放的。因此,从正面侧
观察,不妨碍从前方侧接近真空槽3或磁铁列的作业。
形状并不限定于完全的板状(平板)。
上侧观察的立体图,图9C是从背面侧观察的立体图,图9D是俯视时(俯视)的中央部分的水
平剖视图(在弹簧连动机构30中,形成有凹部310c的中央部分的水平剖视图)。此外,在以下
的实施方式中,对于具有与第一实施方式相同的功能的构件,赋予与第一实施方式相同的
附图标记,并省略说明。
有垂直引导机构36。配置垂直引导机构36的位置是远离磁铁列的一侧。与第一实施方式同
样地,设置有弹簧载置部310d和压缩力作用部320b,在它们之间配置有抵消弹簧机构40(未
图示)。位于靠近磁铁列一侧的上部凸出部320a的顶端上部、连结板104以及连结轴105相当
于第二连结部。位于靠近磁铁列一侧的下部凸出部310b的顶端下部、连结板204以及连结轴
205相当于第一连结部。
视图(沿B‑B线向视)。第三实施方式与第一实施方式同样地,板部是三层结构。垂直引导机
构36的配置方式与第一实施方式不同。如图10B所示,垂直引导机构36配置在远离磁铁列一
侧的第一板部310与第二板部320的相对面之间。
图(沿C‑C线向视)。
无关不移动。在垂直方向的上侧配置有第二板部320,在下侧配置有第一板部310。第一板部
310和第二板部320也都成对地配置为夹着固定框架60。并且,在第一板部310与固定框架60
相对的面之间、第二板部320与固定框架60相对的面之间分别设置有垂直引导机构36。两个
垂直引导机构36分别作为第一垂直引导机构、第二垂直引导机构发挥功能。
第一板部310与第二板部320之间。
地板等载置面,这些相当于基座)。在相对的一对固定框架62之间的上部空间设置有第二板
部320,在下部空间设置有第一板部310。在第一板部310中,在靠近磁铁列的一侧设置有凸
出部310e,在第二板部320中,在靠近磁铁列的一侧设置有凸出部320e。
有垂直引导机构36(相当于第一垂直引导机构)。在远离磁铁列一侧即第二板部320的后方
侧,也设置有载置板35,在该载置板35与连结板63之间设置有垂直引导机构36(相当于第二
垂直引导机构)。第一/第二连结部的结构相同。
动,但也可以构成为仅使任意一方移动。间隙驱动机构既可以设置于真空槽(磁铁列)的上
部和下部的双方,也可以仅设置于任意一方。
情况下,通过调整油压、气压,能够控制弹簧应力。
用本实施方式以外的结构。对于第一/第二连结部中的轴和嵌合孔的关系,可以在连结梁侧
和弹簧连动机构侧中的任意一侧一体地设置轴,在另一侧设置嵌合孔的结构,也可以是将
轴作为独立的构件并在双方设置嵌合孔的结构。此外,对于在弹簧连动机构侧设置嵌合孔
的情况,嵌合孔由附图标记310f、320f、33a表示(图7A等)。
连结梁103的上端部,也可以设置于中央部的高度位置。对于第二连结梁203也同样。
于新制作插入光源的情况的一部分,还能够应用于具有同样的结构的现有的插入光源。