被安装物作业装置

摘要

该被安装物作业装置(1)具备具有单独的识别信息的推车(4)，该推车(4)包括：具有保持部(51)和使保持部(51)移动的移动机构(52)的被安装物保持单元(5)；及安装被安装物保持单元(5)的推车主体(41)。用于校正相对于推车主体(41)的、移动机构(52)的移动轴的位置偏差的第一校准数据(21)是由作业部主体(10)基于推车(4)的识别信息取得的。

权利要求

1.一种被安装物作业装置，具备：作业部主体(10)，对被安装元件(B)的被安装物进行作业；及推车(4)，以能够装卸的方式安装于上述作业部主体并具有单独的识别信息，上述推车包括：被安装物保持单元(5)，具有保持上述被安装物的保持部(51)和使上述保持部移动的移动机构(52)；及推车主体(41)，安装上述被安装物保持单元，用于校正相对于上述推车主体的、上述移动机构的移动轴的位置偏差的第一校正信息(21)是由上述作业部主体基于上述推车的上述识别信息取得的。

2.根据权利要求1所述的被安装物作业装置，其中，

所述被安装物作业装置构成为，基于上述第一校正信息和第二校正信息(22)来校正利用上述移动机构使上述保持部产生的移动，上述第二校正信息是在上述推车被安装于上述作业部主体的状态下取得的，并用于校正相对于上述作业部主体的、上述推车主体的位置偏差。

3.根据权利要求1所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动机构的移动轴具有沿上下方向延伸的升降轴(J3)、与上述升降轴正交的倾转轴(J1)及与上述倾转轴正交的旋转轴(J2)中的至少一个轴。

4.根据权利要求2所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动机构的移动轴具有沿上下方向延伸的升降轴(J3)、与上述升降轴正交的倾转轴(J1)及与上述倾转轴正交的旋转轴(J2)中的至少一个轴。

5.根据权利要求3所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述倾转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述倾转轴倾斜的倾斜机构部(55)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准面(S2)的、上述倾斜机构部的倾斜角度(θ1)来校正上述倾斜机构部的上述倾转轴的位置偏差的校正信息。

6.根据权利要求4所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述倾转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述倾转轴倾斜的倾斜机构部(55)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准面(S2)的、上述倾斜机构部的倾斜角度(θ1)来校正上述倾斜机构部的上述倾转轴的位置偏差的校正信息。

7.根据权利要求3所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述旋转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述旋转轴旋转的旋转机构部(56)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准线(W1)的、上述旋转机构部的旋转角度(θ2)来校正上述旋转机构部的上述旋转轴的位置偏差的校正信息。

8.根据权利要求4所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述旋转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述旋转轴旋转的旋转机构部(56)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准线(W1)的、上述旋转机构部的旋转角度(θ2)来校正上述旋转机构部的上述旋转轴的位置偏差的校正信息。

9.根据权利要求5所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述旋转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述旋转轴旋转的旋转机构部(56)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准线(W1)的、上述旋转机构部的旋转角度(θ2)来校正上述旋转机构部的上述旋转轴的位置偏差的校正信息。

10.根据权利要求6所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述旋转轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部绕上述旋转轴旋转的旋转机构部(56)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准线(W1)的、上述旋转机构部的旋转角度(θ2)来校正上述旋转机构部的上述旋转轴的位置偏差的校正信息。

11.根据权利要求3所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

12.根据权利要求4所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

13.根据权利要求5所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

14.根据权利要求6所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

15.根据权利要求7所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

16.根据权利要求8所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

17.根据权利要求9所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

18.根据权利要求10所述的被安装物作业装置，其中，

上述移动轴具有上述升降轴，

上述被安装物保持单元具有使上述保持部沿着上述升降轴移动的升降机构部(54)，上述第一校正信息具有用于基于相对于上述推车主体的推车基准轴(A5)的、与上述保持部的上下方向的多个高度位置对应的上述保持部的旋转中心位置(C2)来校正上述升降机构部的上述升降轴的位置偏差的校正信息。

19.根据权利要求1～18中任一项所述的被安装物作业装置，其中，上述推车包括在上述推车被安装于上述作业部主体的状态下调节上述推车的高度位置的高度位置调节机构(45)，上述高度位置调节机构构成为，能够调节相对于上述作业部主体的主体基准面(S1)的、上述推车的在与上述推车的装卸方向正交的方向上的倾斜。

说明书

被安装物作业装置

技术领域

[0001] 本发明涉及被安装物作业装置，特别涉及以能够装卸的方式安装推车的被安装物作业装置。

背景技术

[0002] 以往，作为以能够装卸的方式安装推车型的托盘供料器(推车)的电子元件安装装置(被安装物作业装置)，例如已知日本发明专利第3518410号公报。

[0003] 上述日本发明专利第3518410号公报中公开了电子元件安装装置，其具备供给电子元件的推车型的托盘供料器和将从托盘供料器供给的电子元件向基板安装的移载头。

[0004] 在上述日本发明专利第3518410号公报中，托盘供料器包括储存电子元件的托盘、保持托盘的托板、收纳托板的容器、从容器抽出托板的抽出部。而且，上述日本发明专利第3518410号公报中，抽出部具有二个识别标记和三个标识器。而且，电子元件安装装置具有用于拍摄二个识别标记的相机和用于计测三个标识器的高度位置的高度检测机构。

[0005] 在上述日本发明专利第3518410号公报中，推车型的托盘供料器能够从电子元件安装装置分离地进行移动，所以在开始元件的安装作业时，计测推车型的托盘供料器与电子元件安装装置之间的相对位置而算出校正值。

[0006] 具体而言，在上述日本发明专利第3518410号公报中，基于通过由相机进行拍摄而检测出的水平面内的二个识别标记的相对位置，来算出抽出部的水平面内的第一位置校正值。而且，在上述日本发明专利第3518410号公报中，基于通过计测三个标识器的高度位置而检测出的上下方向的三个标识器的相对位置，算出抽出部的上下方向的第二位置校正值。

[0007] 现有技术文献

[0008] 专利文献

[0009] 专利文献1：日本发明专利第3518410号公报

发明内容

[0010] 在上述日本发明专利第3518410号公报记载的电子元件安装装置中，每当安装推车型的托盘供料器时，算出第一位置校正值及第二位置校正值。由此，存在从推车型的托盘供料器被安装于电子元件安装装置(被安装物作业装置)之后直至开始将由推车型的托盘供料器(推车)供给的电子元件通过移载头安装于基板上的作业为止所耗费的时间长的问题。因此，在具备能够装卸的推车并且在将推车安装于作业部主体时需要取得作业部主体与推车之间的相对位置的校正量的被安装物作业装置中，希望能够缩短直至开始作业为止所耗费的时间。

[0011] 本发明是为了解决上述的课题而作出的，本发明的一个目的是提供能够缩短直至开始作业为止所耗费的时间的被安装物作业装置。

[0012] 用于解决课题的手段

[0013] 为了达成上述目的，基于本发明的一个形态的被安装物作业装置具备：作业部主体，对被安装元件的被安装物进行作业；及推车，以能够装卸的方式安装于上述作业部主体，具有单独的识别信息，推车包括：被安装物保持单元，具有保持被安装物的保持部和使保持部移动的移动机构；及推车主体，安装被安装物保持单元，用于校正相对于推车主体的、移动机构的移动轴的位置偏差的第一校正信息是由作业部主体基于推车的识别信息而取得的。

[0014] 在基于本发明的一个形态的被安装物作业装置中，如上所述，作业部主体构成为，基于推车的识别信息取得用于校正移动机构的移动轴的位置偏差的第一校正信息。由此，当将推车安装于作业部主体时，基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以不会耗费进行取得第一校正信息所需要的计测、摄像、摄影及计算等作业的时间。其结果是，能够缩短直至开始作业为止所耗费的时间。

[0015] 在基于上述一个形态的被安装物作业装置中，优选为，被安装物作业装置构成为，基于第一校正信息和第二校正信息来校正利用移动机构使保持部产生的移动，第二校正信息是在推车被安装于作业部主体的状态下取得的，用于校正相对于作业部主体的、推车主体的位置偏差。如果这样构成，保持部的移动的校正是基于用于校正相对于推车主体的、保持部的位置偏差的第一校正信息和用于校正相对于作业部主体的、推车主体的位置偏差的第二校正信息来进行的，所以能够相对于作业部主体的位置偏差来校正保持部的移动。其结果是，能够确保相对于作业部主体的、保持部所保持的被安装物的位置精度，并基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以能够缩短直至作业部主体开始作业为止所耗费的时间。

[0016] 在具备上述移动机构的被安装物作业装置中，优选为，移动机构的移动轴具有沿上下方向延伸的升降轴、与升降轴正交的倾转轴及与倾转轴正交的旋转轴中的至少一个轴。如果这样构成，能够基于第一校正信息来校正保持部的沿着升降轴延伸的方向的升降、绕倾转轴的倾斜及绕旋转轴的旋转中的至少一种移动。其结果是，由于基于第一校正信息校正保持部的移动，所以能够确保保持部的升降、倾斜及旋转中的至少一种移动的精度，并且，由于基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以能够缩短直至作业部主体开始作业为止所耗费的时间。

[0017] 在这种情况下，被安装物保持单元具有使保持部绕倾转轴倾斜的倾斜机构部，第一校正信息具有用于基于相对于推车主体的推车基准面的、倾斜机构部的倾斜角度来校正倾斜机构部的倾转轴的位置偏差的校正信息。如果这样构成，能够通过第一校正信息来校正由于被安装物保持单元的装配误差、向推车主体的组装误差等而引起的倾斜机构部的相对于推车基准面的倾斜角度的误差。其结果是，由于基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以能够缩短从使保持部相对于推车基准面倾斜之后直至作业部主体开始作业为止所耗费的时间。

[0018] 在上述移动机构的移动轴具有旋转轴的被安装物作业装置中，优选为，被安装物保持单元具有使保持部绕旋转轴旋转的旋转机构部，第一校正信息具有用于基于相对于推车主体的推车基准线的、旋转机构部的旋转角度来校正旋转机构部的旋转轴的位置偏差的校正信息。如果这样构成，能够通过第一校正信息校正由于被安装物保持单元的装配误差、向推车主体的组装误差等引起的旋转机构部的相对于推车基准线的旋转角度的误差。其结果是，由于基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以能够缩短从使保持部相对于推车基准线旋转之后直至作业部主体开始作业为止所耗费的时间。

[0019] 在上述移动机构的移动轴具有升降轴的被安装物作业装置中，优选为，被安装物保持单元具有使保持部沿着升降轴移动的升降机构部，第一校正信息具有用于基于相对于推车主体的推车基准轴的、与保持部的上下方向的多个高度位置对应的保持部的旋转中心位置来校正升降机构部的升降轴的位置偏差的校正信息。如果这样构成，能够通过第一校正信息校正由于被安装物保持单元的装配误差、向推车主体的组装误差等引起的升降机构部的相对于推车基准轴的旋转中心位置的误差。其结果是，由于基于推车的识别信息取得第一校正信息，所以能够缩短从使保持部相对于推车基准轴升降之后直至作业部主体开始作业为止所耗费的时间。

[0020] 在具备上述推车的被安装物作业装置中，优选为，推车包括在推车被安装于作业部主体上的状态下调节推车的高度位置的高度位置调节机构，高度位置调节机构构成为能够调节相对于作业部主体的主体基准面的、推车的在与推车的装卸方向正交的方向上的倾斜。如果这样构成，能够通过高度位置调节机构来校正由于被安装物保持单元的装配误差、向推车主体的组装误差等引起的相对于推车主体的推车基准面的倾斜角度的误差。其结果是，不仅是第一校正信息，还能够通过高度位置调节机构来校正保持部的移动轴的位置偏差，所以能够精确地对被安装物进行作业。

[0021] 发明的效果

[0022] 根据本发明，如上所述，能够缩短直至开始作业为止所耗费的时间。

附图说明

[0023] 图1是沿着图2的100-100线的剖面的示意图。

[0024] 图2是表示基于本发明的一实施方式的被安装物作业装置的整体结构的示意俯视图。

[0025] 图3是表示基于本发明的一实施方式的被安装物作业装置的整体结构的示意侧视图。

[0026] 图4是表示基于本发明的一实施方式的被安装物作业装置的控制结构的框图。

[0027] 图5是表示基于本发明的一实施方式的被安装物作业装置的被安装物保持单元的立体图。

[0028] 图6(a)是表示用于取得第一倾转轴用校准数据的计测的第一阶段的侧视图。图6(b)是表示用于取得第一倾转轴用校准数据的计测的第二阶段的侧视图。

[0029] 图7(a)是表示用于取得第一旋转轴用校准数据的方法的第一阶段的俯视图。图7(b)是表示用于取得第一旋转轴用校准数据的方法的第二阶段的俯视图。

[0030] 图8(a)是表示为了取得第一升降轴用校准数据而求出保持部(0度)的中心位置的方法的俯视图。图8(b)是表示为了取得第一升降轴用校准数据而求出保持部(90度)的中心位置的方法的俯视图。图8(c)是表示为了取得第一升降轴用校准数据而求出保持部(180度)的中心位置的方法的俯视图。图8(d)是表示为了取得第一升降轴用校准数据而求出保持部(270度)的中心位置的方法的俯视图。

[0031] 图9是表示为了取得第一升降轴用校准数据而求出保持部的旋转中心位置的方法的俯视图。

[0032] 图10(a)是为了取得第一升降轴用校准数据而将保持部配置于基准位置时的侧视图。图10(b)是为了取得第一升降轴用校准数据而将保持部配置于基准位置的上方时的侧视图。图10(c)是为了取得第一升降轴用校准数据而将保持部配置于基准位置的下方时的侧视图。

[0033] 图11是表示用于取得第二倾转轴用校准数据的方法的侧视图。

[0034] 图12是表示用于取得第二旋转轴用校准数据的方法的侧视图。

[0035] 图13是表示用于取得第二升降轴用校准数据的方法的俯视图。

[0036] 图14(a)是表示用于取得第三倾转轴用校准数据的计测的第一阶段的侧视图。图14(b)是表示用于取得第三倾转轴用校准数据的计测的第二阶段的侧视图。

[0037] 图15是表示基于本发明的一实施方式的被安装物作业装置中的向基板上安装元件的元件安装处理的流程图。

具体实施方式

[0038] 以下，基于附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。

[0039] 如图1所示，被安装物作业装置1构成为，将IC、晶体管、电容器及电阻等电子元件B安装于基板A等。具体而言，具备对被安装电子元件B的基板A进行作业的作业部主体10和以能够装卸的方式安装于作业部主体10的推车4。在这里，在被安装物作业装置1中，将输送基板A的方向设为X方向，将与水平方向上的X方向垂直的方向设为Y方向。而且，在被安装物作业装置1中，将与X方向及Y方向垂直的方向设为Z方向。

[0040] 〈作业部主体〉

[0041] 如图1所示，作业部主体10具有将送入的基板A向X2侧输送并在预定位置向基板A的安装面安装电子元件B的功能。具体而言，作业部主体10具备基台11、被安装物输送部12、带式供料器13(参照图3)、头单元14、支撑部15、一对轨道部16(参照图2)、元件识别相机31(参照图3)、基板识别相机32(参照图2)、激光计测部33(参照图3)、控制装置2(参照图4)、第一收容部111(参照图2)。

[0042] 〈被安装物输送部〉

[0043] 如图2所示，被安装物输送部12构成为，将基板A送入，沿着输送方向(X2方向)进行输送并送出。被安装物输送部12包括上游侧输送部121、中央输送部122、下游侧输送部123。

[0044] 上游侧输送部121具有一对第一传送带121a。一对第一传送带121a从下方对载置基板A的载置部件6的与输送方向垂直的方向(Y方向)上的两端部进行支撑。一对第一传送带121a将送入的基板A输送至中央输送部122。

[0045] 中央输送部122配置在上游侧输送部121与下游侧输送部123之间。中央输送部122具有一对第二传送带122a。一对第二传送带122a从下方对载置基板A的载置部件6的与输送方向垂直的方向(Y方向)上的两端部进行支撑。一对第二传送带122a从上游侧输送部121接收基板A，将接收到的基板A输送至下游侧输送部123。而且，一对第二传送带122a使基板A移动至向被安装物保持单元5的交接位置。

[0046] 下游侧输送部123具有一对第三传送带123a。一对第三传送带123a从下方对载置基板A的载置部件6的与输送方向垂直的方向(Y方向)上的两端部进行支撑。一对第三传送带123a从中央输送部122接收安装有电子元件B的基板A，并将安装有电子元件B的基板A向下游侧的未图示的输送路送出。

[0047] 在这里，如图1所示，基板A在由载置部件6保持的状态下由被安装物输送部12进行输送。载置部件6成为用于由被安装物输送部12输送基板A的部件。载置部件6以能够装卸的方式保持基板A。而且，载置部件6构成为由后述的被安装物保持单元5进行保持。

[0048] 〈带式供料器〉

[0049] 如图2所示，在基台11的Y2侧的端部，设有多处(两处)用于配置多个带式供料器13的供料器配置部11a。而且，在基台11的Y1侧的端部，设有一处供料器配置部11a。

[0050] 如图3所示，带式供料器13保持有卷盘13a，该卷盘13a上缠绕有隔开预定间隔地保持有多个电子元件B的料带。带式供料器13通过使卷盘13a旋转而将保持电子元件B的料带送出，由此从前端供给电子元件B。各带式供料器13经由设置于供料器配置部11a的未图示的连接器而与控制装置2(参照图4)电连接。由此，各带式供料器13基于来自控制装置2的控制信号将料带从卷盘13a送出。

[0051] 〈轨道部〉

[0052] 如图2所示，轨道部16构成为，能够使支撑部15沿着与输送方向垂直的方向(Y方向)移动。具体而言，一对轨道部16分别沿着Y方向延伸地形成。一对轨道部16固定于基台11的X方向的两端部。一对轨道部16分别包括沿着Y方向延伸的滚珠丝杠轴16a、设置于滚珠丝杠轴16a的多个Y轴电动机16b和未图示的导轨。各Y轴电动机16b分别使对应的滚珠丝杠轴16a旋转。通过各Y轴电动机16b使各滚珠丝杠轴16a旋转时，支撑部15沿着一对轨道部16而在与输送方向垂直的方向(Y方向)上移动。

[0053] 〈支撑部〉

[0054] 如图2所示，支撑部15构成为能够使头单元14沿着输送方向(X方向)移动。具体而言，支撑部15包括沿着X方向延伸的滚珠丝杠轴15a、使滚珠丝杠轴15a旋转的X轴电动机15b和沿着X方向延伸的未图示的导轨。头单元14通过由X轴电动机15b使滚珠丝杠轴15a旋转而沿着支撑部15在输送方向(X方向)上移动。

[0055] 根据这样的结构，头单元14构成为能够在基台11的上方沿着水平方向(X方向及Y方向)移动。由此，头单元14例如能够移动到带式供料器13的上方，吸附从带式供料器13供给的电子元件B。而且，头单元14例如能够移动到由被安装物保持单元5保持的状态下的基板A的上方，将吸附的电子元件B向基板A上安装。

[0056] 〈头单元〉

[0057] 如图1所示，头单元14构成为，对由后述的被安装物保持单元5保持的基板A进行作业。头单元14经由支撑部15及一对轨道部16而安装于基台11。而且，头单元14配置于被安装物输送部12、被安装物保持单元5及带式供料器13的上方(Z1方向)。头单元14对由被安装物保持单元5保持的状态下的基板A进行电子元件B的安装作业。安装作业是指头单元14吸附从带式供料器13供给的电子元件B并将所吸附的电子元件B安装于基板A上的作业。

[0058] 如图1所示，头单元14具有点胶头141、安装头142、多个滚珠丝杠轴143、Z轴电动机144、R轴电动机145(参照图4)。点胶头141和安装头142沿着输送方向(X方向)呈直线状排列成一列地配置。在点胶头141及安装头142上分别设置滚珠丝杠轴143及Z轴电动机144。

[0059] 如图1所示，点胶头141具有安装于前端的嘴146。点胶头141能够将由未图示的筒体供给的膏状焊料从前端的嘴146喷出，向基板A涂敷膏状焊料。

[0060] 如图1所示，安装头142具有安装于前端(下端)的嘴146。安装头142构成为，能够利用由未图示的负压发生器在嘴146的前端部产生的负压来吸附并保持由带式供料器13供给的电子元件B。而且，安装头142构成为，能够利用由未图示的正压发生器在嘴146的前端部产生的正压将保持的电子元件B安装于基板A的安装面。R轴电动机145构成为使安装头142绕嘴146的中心轴(绕Z轴)旋转。

[0061] 如图1所示，各滚珠丝杠轴143分别沿上下方向延伸。各Z轴电动机144分别使对应的滚珠丝杠轴143旋转。通过Z轴电动机144使滚珠丝杠轴143旋转时，安装头142及点胶头141能够沿着滚珠丝杠轴143在上下方向上移动。由此，安装头142能够在能够进行电子元件B的吸附及安装(装配)等的第一高度位置与能够使头单元14沿水平方向移动的第二高度位置之间沿着上下方向移动。点胶头141能够在能够进行膏状焊料的涂敷等的第三高度位置与能够使头单元14沿水平方向移动的第四高度位置之间沿着上下方向移动。

[0062] 〈元件识别相机〉

[0063] 如图3所示，元件识别相机31构成为，在安装电子元件B之前，从下方(Z2方向)拍摄由安装头142的嘴146吸附的电子元件B。具体而言，元件识别相机31设置于基台11的带式供料器13的附近。

[0064] 〈基板识别相机〉

[0065] 如图3所示，基板识别相机32构成为，在安装电子元件B之前从上方(Z1方向)拍摄附于基板A上的位置识别标记。位置识别标记是用于识别基板A的位置的标记。具体而言，基板识别相机32设置于头单元14的背面(Y1方向)的下端部(Z2方向)。基板识别相机32能够与头单元14一起在基台11的上方沿水平方向(X方向及Y方向)移动。

[0066] 〈激光计测部〉

[0067] 如图1所示，激光计测部33构成为，在安装电子元件B之前计测基板A的高度位置。具体而言，激光计测部33通过向基板A照射激光并接收从基板A反射的反射光，计测从激光计测部33的下端位置到基板A的上表面的计测位置的距离。在这里，高度位置是基于由激光计测部33计测出的、从激光计测部33的下端位置到基板A的上表面的计测位置的距离而算出的。

[0068] 如图3所示，激光计测部33安装于头单元14的背面侧(Y1方向)。激光计测部33能够与头单元14一起在基台11的上方沿着水平方向(X方向及Y方向)移动。而且，激光计测部33在基台11的上方沿着水平方向移动，从元件安装位置的上方向基板A照射激光。

[0069] 〈控制装置〉

[0070] 如图4所示，控制装置2包括CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)及RAM(Random Access Memory：随机存储器)20等，构成为对被安装物作业装置1的动作进行控制。具体而言，控制装置2基于预先存储的程序对被安装物输送部12、推车4、被安装物保持单元5、头单元14、支撑部15、一对轨道部16、元件识别相机31、基板识别相机32、激光计测部33及带式供料器13等进行控制。而且，控制装置2的RAM20中存储有后述的第一校准数据21及第二校准数据22。

[0071] 〈第一收容部〉

[0072] 如图2所示，第一收容部111构成为能够在内侧收容推车4。具体而言，第一收容部111成为推车4的装卸方向(Y方向)的一侧(Y1侧)的端部的凹陷部分，在推车4的装卸方向(Y方向)的一侧(Y1侧)具有开口112a。第一收容部111具有与正交于推车4的装卸方向(Y方向)的方向(X方向)相对的一对内表面部。一对内表面部分别将一侧(X1侧)设为第一内表面部
112b，并将另一侧(X2侧)设为第二内表面部112c。而且，第一收容部111具有将一对内表面部各自的推车4的装卸方向(Y方向)的另一侧(Y2侧)的端部彼此连接的第三内表面部112d。
另外，第一收容部111为技术方案的“收容部”的一例。

[0073] 在第一收容部111的第三内表面部112d，设有用于对进入到第一收容部111内的推车4的前端位置进行定位的定位部113。而且，如图1所示，作为从下方对收容于第一收容部111内的推车4进行支撑的部件，在第一内表面部112b设有第一支撑部114，在第二内表面部
112c设有第二支撑部115。

[0074] 〈推车〉

[0075] 推车4在安装于作业部主体10时与控制装置2电连接，能够由控制装置2进行控制。如图2所示，推车4包括被安装物保持单元5和用于安装被安装物保持单元5的推车主体41。
在这里，将推车4被收容于作业部主体10的第一收容部111中的状态(图1～图3所示的状态)作为推车4被安装于作业部主体10的状态。如图1～图3所示，推车主体41具有一对载置部
411、多个(三个)标识器部42、标识43(例如QR代码(注册商标))和多个(四个)转轮部412。如图1所示，一对载置部411具有支撑于第一支撑部114的第一载置部411a、支撑于第二支撑部
115的第二载置部411b。而且，第一载置部411a及第二载置部411b各自具有在推车4进入到第一收容部111中的状态下在第一支撑部114及第二支撑部115上滚动的滚轮413。如图1及图2所示，多个标识器部42为圆柱状，具有大径部42a和设置于大径部42a的上端部(Z1侧端部)的小径部42b。大径部42a的上下方向(Z方向)的长度形成得比小径部42b大。标识43包括用于分别识别推车4的单独的识别信息。

[0076] 如图2所示，在推车主体41的中央部形成有俯视呈矩形形状的开口部41a。在推车主体41的开口部41a安装有第二收容部44。如图1所示，第二收容部44形成为从推车主体41的上表面(Z1侧的面)向下方(Z2方向)凹陷的凹形形状。被安装物保持单元5配置成一部分被收容于第二收容部44内。

[0077] 如图1所示，推车主体41包括在推车4被安装于作业部主体10上的状态下调节推车4的高度位置的高度位置调节机构45。高度位置调节机构45构成为，能够调节相对于作业部主体10的主体基准面S1(后述的机械原点的XY平面S4)的、推车4的在与推车4的装卸方向(Y方向)正交的方向(X方向)上的倾斜。具体而言，高度位置调节机构45具有第一调节部451和第二调节部452。

[0078] 第一调节部451具有绕推车4的装卸方向(Y方向)的轴进行旋转的第一手柄451a和通过第一手柄451a的旋转而上下移动的第一轴451b。在这里，第一轴451b和第一载置部411a以第一载置部411a与第一轴451b的动作连动地进行动作的方式连结。

[0079] 第二调节部452具有绕推车4的装卸方向(Y方向)进行旋转的第二手柄452a和通过第二手柄452a的旋转而上下移动的第二轴452b。在这里，第二轴452b和第二载置部411b以第二载置部411b与第二轴452b的动作连动地进行动作的方式连结。

[0080] 这样，高度位置调节机构45能够通过对第一手柄451a进行操作来调节推车4的X1侧的上下方向的高度位置。而且，高度位置调节机构45能够通过对第二手柄452a进行操作来调节推车4的X2侧的上下方向的高度位置。另外，在安装状态下，推车4成为从地面F上浮的状态。即，推车4成为由第一支撑部114及第二支撑部115支撑的状态。

[0081] 〈被安装物保持单元〉

[0082] 如图1所示，被安装物保持单元5在交接位置从被安装物输送部12被交接，并保持被安装电子元件B的基板A。被安装物保持单元5包括保持基板A的保持部51和通过使保持部51移动而使由保持部51保持的基板A移动的移动机构52。

[0083] 被安装物保持单元5能够通过移动机构52使保持的被安装物沿上下方向(Z方向)移动。被安装物保持单元5能够通过移动机构52使保持的被安装物倾斜。被安装物保持单元5能够通过移动机构52使保持的被安装物旋转。这样，被安装物保持单元5通过由移动机构
52进行使保持部51沿上下方向移动、倾斜、旋转的动作中的至少一种动作，能够调整被安装物的姿势。

[0084] 如图5所示，被安装物保持单元5包括移动机构52、保持部51、固定部53。而且，移动机构52具有升降机构部54、倾斜机构部55、旋转机构部56。作为用于使保持部51移动的移动轴，移动机构52包括沿上下方向延伸的升降轴J3、与升降轴J3正交的倾转轴J1及与倾转轴J1正交的旋转轴J2。

[0085] 升降机构部54构成为，使保持部51沿着升降轴J3的轴线A1(如单点划线所示)在上下方向上移动。具体而言，升降机构部54具有驱动电动机54a、带轮机构部54b、滚珠丝杠轴54c、安装部54d。

[0086] 驱动电动机54a经由带轮机构部54b使滚珠丝杠轴54c旋转。滚珠丝杠轴54c通过经由带轮机构部54b传递的驱动电动机54a的驱动力而绕轴线A1旋转。

[0087] 安装部54d是用于将倾斜机构部55、旋转机构部56及保持部51安装于升降机构部54的部件。在安装部54d的Y1侧安装有倾斜机构部55。在倾斜机构部55的X2侧安装有旋转机构部56及保持部51。

[0088] 安装部54d通过由驱动电动机54a使滚珠丝杠轴54c旋转而能够沿着滚珠丝杠轴54c在上下方向上移动。由此，升降机构部54能够使倾斜机构部55、旋转机构部56、保持部51与安装部54d一起在上下方向(Z方向)上移动。另外，轴线A1是通过滚珠丝杠轴54c的中心的轴线。

[0089] 倾斜机构部55构成为，通过使保持部51绕倾转轴J1的轴线A2(如单点划线所示)旋转，使保持部51倾斜。具体而言，倾斜机构部55具有驱动电动机55a、带轮机构部55b、旋转轴部55c。

[0090] 驱动电动机55a经由带轮机构部55b使旋转轴部55c旋转。而且，驱动电动机55a能够正转(顺时针旋转)及反转(逆时针旋转)。旋转轴部55c通过经由带轮机构部55b传递的驱动电动机55a的驱动力绕轴线A2旋转。另外，轴线A2是通过旋转轴部55c的中心的轴线。

[0091] 在旋转轴部55c的X2侧的端部安装有旋转机构部56。旋转机构部56通过由驱动电动机56a使旋转轴部55c旋转而能够与旋转轴部55c一起绕轴线A2旋转。由此，倾斜机构部55使旋转机构部56与保持部51一起绕轴线A2旋转，在YZ平面内倾斜。在这里，倾斜机构部55能够使旋转机构部56从基准状态向与输送方向垂直的Y1方向侧或Y2方向侧分别在0度以上且90度以下的角度范围内倾斜。

[0092] 如图5所示，旋转机构部56构成为，使保持部51绕着旋转轴J2的轴线A3(如单点划线所示)旋转。具体而言，旋转机构部56具有驱动电动机56a和带轮机构部56b。

[0093] 驱动电动机56a经由带轮机构部56b使保持部51旋转。而且，驱动电动机56a能够正转(顺时针旋转)及反转(逆时针旋转)。保持部51通过经由带轮机构部56b传递的驱动电动机56a的驱动力而绕轴线A3旋转。

[0094] 如图3所示，保持部51构成为，经由载置部件6保持基板A。具体而言，如图5所示，保持部51具有形成圆柱状的主体部510和多个(三个)爪部511。主体部510安装于旋转机构部56。多个(三个)爪部511等角度间隔(120度间隔)地配置于主体部510。而且，多个爪部511能够分别沿着主体部510的径向进行移动。多个爪部511分别向主体部510的径向的中心移动，从而能够把持载置部件6的被保持部62。多个爪部511分别向主体部510的径向的中心的相反侧移动，从而能够解除对载置部件6的被保持部62的把持。

[0095] 如图1所示，载置部件6具有形成为板状的载置部61和设置于载置部61的下表面的被保持部62。在载置部61中，在上表面(Z1侧的面)形成有具有微粘着性的粘接层。在载置部61中，在上表面(Z1侧的面)形成有多个(四个)标识器63(参照图8)。多个标识器63以通过直线将各个标识器63连成的形状为矩形形状(参照图8)的方式配置。载置部61通过将基板A粘接于粘接层而将基板A以能够装卸的方式保持于上表面。而且，在载置部61的下表面(Z2侧的面)，设有被安装物保持单元5用于保持载置部件6的被保持部62。被保持部62设置于在载置部61上保持有被安装物的状态下的载置部件6的X方向的中央附近。被保持部62从载置部
61的下表面向下方(Z2方向)突出。被安装物保持单元5通过夹持载置部件6的被保持部62来保持载置部件6。由此，基板A经由载置部件6由被安装物保持单元5保持。

[0096] 如图1所示，固定部53是用于将被安装物保持单元5安装并固定于推车主体41的部件。被安装物保持单元5经由固定部53例如通过将螺钉等插通于收容部的上缘部而固定于推车主体41。

[0097] (校准数据的取得)

[0098] 在被安装物作业装置1中，在通过移动机构52使保持部51移动时，使用第一校准数据21及第二校准数据22来校正升降轴J3、倾转轴J1及旋转轴J2各自的位置偏差。

[0099] 第一校准数据21为被安装物保持单元5相对于推车主体41的校准数据。第一校准数据21为用于校正将被安装物保持单元5组装于推车主体41时产生的组装误差的校准数据。

[0100] 而且，第二校准数据22为推车4相对于作业部主体10的校准数据。第二校准数据22为用于校正将推车4安装于作业部主体10时产生的安装误差的校准数据。另外，第一校准数据21为技术方案的“第一校正信息”的一例。而且，第二校准数据22为技术方案的“第二校正信息”的一例。

[0101] 在本实施方式的被安装物作业装置1中，在将推车4安装于作业部主体10之前，预先取得第一校准数据21。第一校准数据21与配置于推车主体41的标识43的推车4的识别信息关联地存储于控制装置2的RAM20。在被安装物作业装置1中，通过由基板识别相机32拍摄标识43，控制装置2读取推车4的识别信息。在被安装物作业装置1中，在将推车4安装于作业主体时，基板识别相机32拍摄多个标识器部42，激光计测部33进行多个标识器部42的高度位置的计测，从而求出第二校准数据22。

[0102] 在被安装物作业装置1中，在将推车4安装于作业部主体10时，仅求出第二校准数据即可，第一校准数据21是事先求出的，所以不必求算。因此，能够减少直至作业部主体10开始作业为止的时间。以下，对求算第一校准数据21及第二校准数据22的方法进行说明。

[0103] 〈第一倾转轴用校准数据的取得〉

[0104] 如图6所示，第一校准数据21具有用于基于相对于推车主体41的推车基准面S2的、倾斜机构部55的倾斜角度θ1对倾斜机构部55的倾转轴J1的位置偏差进行校正的第一倾转轴用校准数据。在被安装物作业装置1中，基于激光计测部33对多个标识器部42及载置部件6的测定结果，取得第一倾转轴用校准数据。如图6(a)所示，控制装置2通过使用激光计测部
33测定多个标识器部42与激光计测部33之间的距离，来取得推车主体41的推车基准面S2。
而且，如图6(b)所示，控制装置2在使倾斜机构部55向机械原点进行原点复位后，使用激光计测部33测定载置部61的上表面的多个位置与激光计测部33之间的距离，从而取得载置部
61的倾斜面S3。这时，控制装置2取得推车基准面S2与倾斜面S3之间的位置偏差即倾斜角度θ1，作为第一倾转轴用校准数据。

[0105] 〈第一旋转轴用校准数据的取得〉

[0106] 如图7所示，第一校准数据21具有用于基于相对于推车主体41的推车基准面S2的、旋转机构部56的旋转角度θ2来校正旋转机构部56的旋转轴J2的位置偏差的第一旋转轴用校准数据。在被安装物作业装置1中，控制装置2基于基板识别相机32对推车主体41上的多个标识器部42及载置部件6上的多个标识器63的拍摄结果来取得第一旋转轴用校准数据。具体而言，如图7(a)所示，控制装置2通过对多个标识器部42进行拍摄，取得通过配置于Y2侧的二个标识器部42的推车主体41的推车基准线W1。而且，如图7(b)所示，控制装置2在使旋转机构部56向机械原点进行原点复位后，通过对载置部件6的多个标识器63进行拍摄，取得通过多个标识器63中的二个标识器63的比较直线W2。取得第一旋转轴用校准数据，作为推车基准线W1与比较直线W2之间的位置偏差即旋转角度θ2。

[0107] 〈第一升降轴用校准数据的取得〉

[0108] 如图8～图10所示，第一校准数据21具有第一升降轴用校准数据，该第一升降轴用校准数据用于基于相对于推车主体41的推车基准轴A5(参照图1)的、与保持部51的上下方向的多个高度位置对应的保持部51的旋转中心位置C2来校正升降机后部的升降轴J3的位置偏差。在这里，推车基准轴A5为垂直于推车主体41的上表面地延伸的直线。在被安装物作业装置1中，控制装置2基于基板识别相机32对推车主体41上的多个标识器部42及载置部件6上的多个标识器63的拍摄结果来取得第一升降轴用校准数据。

[0109] 如图8(a)所示，控制装置2使旋转机构部56向机械原点进行原点复位，通过旋转机构部56使保持部51转动到基准旋转角度位置(0度)。基板识别相机32对载置部件6的上表面的多个标识器63进行拍摄。而且，控制装置2通过对多个(四个)标识器63引对角线，取得基准旋转角度位置(0度)处的保持部51的中心位置C1。

[0110] 如图8(b)所示，控制装置2通过旋转机构部56使保持部51转动到基准旋转角度位置+90度。基板识别相机32对载置部件6的上表面的多个标识器63进行拍摄。而且，控制装置2通过对多个(四个)标识器63引对角线，取得基准旋转角度位置+90度处的保持部51的中心位置C1。

[0111] 如图8(c)所示，控制装置2通过旋转机构部56使保持部51转动到基准旋转角度位置+180度。基板识别相机32对载置部件6的上表面的多个标识器63进行拍摄。而且，控制装置2通过对多个(四个)标识器63引对角线，取得基准旋转角度位置+180度处的保持部51的中心位置C1。

[0112] 如图8(d)所示，控制装置2通过旋转机构部56使保持部51转动到基准旋转角度位置+270度。基板识别相机32对载置部件6的上表面的多个标识器63进行拍摄。而且，控制装置2通过对多个(四个)标识器63引对角线，取得基准旋转角度位置+270度处的保持部51的中心位置C1。

[0113] 如图9所示，控制装置2基于四个角度位置(0度、90度、180度、270度)处的保持部51的中心位置C1来取得保持部51的旋转中心位置C2。如图10(a)、图10(b)及图10(c)所示，控制装置2在多个高度位置算出保持部51的旋转中心位置C2。由此，例如，如表1所示，控制装置2取得基于保持部51的高度位置(Z方向的位置)的水平方向(XY方向)的位置偏差。

[0114] [表1]

[0115]

[0116] 第一升降轴用校准数据为基于保持部51的高度位置(Z方向的位置)的水平方向(XY方向)的位置偏差。

[0117] 〈第二倾转轴用校准数据的取得〉

[0118] 如图11所示，第二校准数据22具有用于基于相对于机械原点的XY平面S4的、推车主体41的推车基准面S2的倾斜角度θ3来校正推车主体41的倾斜角度θ3的位置偏差的第二倾转轴用校准数据。控制装置2取得机械原点的XY平面S4与推车主体41的推车基准面S2之间的位置偏差即ZY平面上的倾斜角度θ3，作为第二倾转轴用校准数据。

[0119] 〈第二旋转轴用校准数据的取得〉

[0120] 如图12所示，第二校准数据22具有用于基于机械原点的X轴A4与推车主体41的推车基准线W1之间的倾斜角度θ4来校正推车主体41的倾斜角度θ4的位置偏差的第二旋转轴用校准数据。控制装置2取得机械原点的X轴A4与推车主体41的推车基准线W1之间的位置偏差即倾斜角度θ4，作为第二旋转轴用校准数据。

[0121] 〈第二升降轴用校准数据的取得〉

[0122] 如图13所示，第二校准数据22具有用于校正中央输送部122的一对第二传送带122a的底面S5与推车主体41的推车基准面S2之间的距离的位置偏差的第二升降轴用校准数据。控制装置2取得一对第二传送带122a的底面S5与推车主体41的推车基准面S2之间的位置偏差，作为第二升降轴用校准数据。

[0123] 〈第三倾转轴用校准数据〉

[0124] 如图14所示，控制装置2基于相对于与推车4的装卸方向正交的方向(X方向)上的推车主体41的推车基准面S2的、倾斜机构部55的XZ平面上的倾斜角度θ5，取得用于校正倾斜机构部55的倾转轴J1的位置偏差的第三倾转轴用校准数据。在被安装物作业装置1中，基于激光计测部33对多个标识器部42及载置部件6的测定结果取得第三倾转轴用校准数据。

[0125] 如图14(a)所示，控制装置2使用激光计测部33测定多个标识器部42与激光计测部33之间的距离，从而取得推车主体41的推车基准面S2。而且，如图14(b)所示，控制装置2使用激光计测部33测定载置部61的上表面的多个位置与激光计测部33之间的距离，从而取得载置部61的倾斜面S3。这时，控制装置2取得推车基准面S2与倾斜面S3之间的位置偏差即倾斜角度θ5，作为第三倾转轴用校准数据。第三倾转轴用校准数据与配置于推车主体41的标识43的推车4的识别信息关联地存储于控制装置2的RAM20中。另外，第三倾转轴用校准数据包含于第一校准数据21，与标识43关联。

[0126] (元件安装处理)

[0127] 接着，参照图15说明对于基板A的元件的安装处理。安装处理通过控制装置2来进行。

[0128] 在步骤S1中，将推车4安装于作业部主体10。在步骤S2中，通过基板识别相机32拍摄标识43。这时，控制装置2基于标识43的推车4的识别信息取得第一校准数据21中的第一倾转轴用校准数据、第一旋转轴用校准数据及第一升降轴用校准数据。而且，控制装置2取得第三倾转轴用校准数据。

[0129] 在步骤S3中，在推车4被安装于作业主体的状态下，通过头单元14的基板识别相机32拍摄多个标识器部42。而且，在步骤S4中，通过激光计测部33对多个标识器部42的高度位置进行计测。这时，控制装置2取得第二校准数据22中的第二倾转轴用校准数据、第二旋转轴用校准数据及第二升降轴用校准数据。

[0130] 在步骤S5中，用户通过对高度位置调节机构45的第一手柄451a及第二手柄452a进行操作，消除基于第三倾转轴用校准数据而确定的相对于推车主体41的推车基准面S2的、倾斜机构部55的倾斜角度θ5的位置偏差。

[0131] 在步骤S6中，粘贴有基板A的载置部件6由保持部51进行把持。在步骤S7中，通过头单元14的安装头142吸附从带式供料器13供给的电子元件B。

[0132] 在步骤S8中，驱动被安装物保持单元5，使被进行安装作业的基板A的安装面与水平面(XY平面S4)大致平行。具体而言，保持于被安装物保持单元5的保持部51的基板A基于第一倾转轴用校准数据及第二倾转轴用校准数据通过倾斜机构部55进行倾斜。而且，保持于被安装物保持单元5的保持部51的基板A基于第一旋转轴用校准数据及第二旋转轴用校准数据通过旋转机构部56进行旋转。保持于被安装物保持单元5的保持部51的基板A基于第一升降轴用校准数据及第二升降轴用校准数据通过升降机构部54进行升降。由此，使被进行安装作业的基板A的安装面与水平面大致平行。

[0133] 在步骤S9中，使吸附元件的安装头142上升至能够水平移动的上升后的状态的高度位置。在步骤S10中，使高度计测部水平移动(XY移动)至高度计测位置。在步骤S11中，通过高度计测部计测元件安装高度。具体而言，高度计测部对被进行安装作业的基板A的安装面的元件安装位置的高度位置进行计测。

[0134] 在步骤S12中，将安装头142水平移动到元件安装位置的上方位置。在步骤S13中，使安装头142下降并在元件安装位置向基板A安装元件。之后，适当地进行步骤S7～S13的处理，直至向基板A安装完预定的全部元件。之后，结束元件安装处理。

[0135] (本实施方式的效果)

[0136] 在本实施方式中，能够获得以下的效果。

[0137] 在本实施方式中，作业部主体10构成为，基于与推车4的标识43关联的识别信息取得第一校准数据21。由此，在推车4安装于作业部主体10时，基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以不会耗费进行取得第一校准数据21所需要的计测、摄像、摄影及计算等作业的时间。结果是，在被安装物作业装置1中，能够缩短直至开始作业为止所耗费的时间。

[0138] 而且，在本实施方式中，如上所述，保持部51的移动的校正是基于用于校正相对于推车主体41的、保持部51的位置偏差的第一校准数据21和用于校正相对于作业部主体10的、推车主体41的位置偏差的第二校准数据22来进行的。由此，对于保持部51的移动，能够基于第一校准数据21及第二校准数据22对作业部主体10的位置偏差进行校正。结果是，可确保相对于安装于推车主体41的保持部51所保持的被安装物的、作业部主体10的位置精度，并基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以能够缩短直至作业部主体10开始作业为止所耗费的时间。

[0139] 而且，在本实施方式中，保持部51能够进行沿着升降轴J3延伸的方向的升降、绕倾转轴J1的倾斜及绕旋转轴J2的旋转中的至少一种移动。能够基于第一校准数据21来校正保持部51的沿着升降轴J3延伸的方向的升降、绕倾转轴J1的倾斜及绕旋转轴J2的旋转中的至少一种移动。由此，基于第一校准数据21来校正保持部51的移动，所以能够确保保持部51的升降、倾斜及旋转中的至少一种移动的精度，并且，基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以能够缩短直至作业部主体10开始作业为止所耗费的时间。

[0140] 而且，在本实施方式中，第一校准数据21具有第一倾转轴用校准数据。由此，能够通过第一倾转轴用校准数据来校正由于被安装物保持单元5的装配误差、向推车主体41的组装误差等引起的倾斜机构部55的相对于推车基准面S2的倾斜角度θ1。结果是，基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以能够缩短从使保持部51倾斜之后直至作业部主体10开始作业为止所耗费的时间。

[0141] 而且，在本实施方式中，第一校准数据21具有第一旋转轴用校准数据。由此，能够通过第一旋转轴用校准数据来校正由于被安装物保持单元5的装配误差、向推车主体41的组装误差等引起的旋转机构部56的相对于推车基准线W1的旋转角度θ2。结果是，基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以能够缩短从使保持部51旋转之后直至作业部主体10开始作业为止所耗费的时间。

[0142] 而且，在本实施方式中，第一校准数据21具有第一升降轴用校准数据。由此，能够通过第一升降轴用校准数据来校正由于被安装物保持单元5的装配误差、向推车主体41的组装误差等引起的升降机构部54的相对于推车基准轴A5的旋转中心位置C2的误差。结果是，基于推车4的识别信息取得第一校准数据21，所以能够缩短从使保持部51升降之后直至作业部主体10开始作业为止所耗费的时间。

[0143] 而且，在本实施方式中，高度位置调节机构45构成为，能够调整相对于推车基准面S2的、推车4的在与推车4的装卸方向正交的方向(X方向)上的倾斜。由此，能够通过高度位置调节机构45来校正由于被安装物保持单元5的装配误差、向推车主体41的组装误差等引起的推车主体41的相对于推车基准面S2的倾斜角度θ5的误差。由此，不仅是第一校准数据21，还能够通过高度位置调节机构45来校正保持部51的升降轴J3的位置偏差。此外，倾斜机构部55基于第一倾转轴用校准数据无法校正的保持部51的倾斜角度θ5由高度位置调节机构45进行校正。结果是，能够精确地对被安装物进行作业。

[0144] (变形例)

[0145] 另外，此次公开的实施方式应理解为在所有的方面都仅是示例而非限制性的。本发明的范围不是由上述的实施方式的说明而是由权利要求书表示，而且包括与权利要求书均等的意思及范围内的所有变更(变形例)。

[0146] 例如，在上述实施方式中，第一校准数据21是对移动机构52的倾斜机构部55、旋转机构部56及升降机构部54进行校正的校准数据，但本发明不限于此。在本发明中，第一校准数据也可以是对除倾斜机构部、旋转机构部及升降机构部以外的移动机构进行校正的校准数据。

[0147] 而且，在上述实施方式中，示出了将进行向基板A安装电子元件B的作业的元件安装装置适用于本发明的被安装物作业装置1的例子，但本发明不限于此。本发明也可以适用于除元件安装装置以外的被安装物作业装置。

[0148] 而且，本发明也可以适用于进行向基板A涂敷焊料等粘性材料的作业的作为粘性材料涂敷装置的被安装物作业装置1。在这种情况下，取代上述实施方式的头单元，在粘性材料涂敷装置中设置用于向被安装物涂敷粘性材料的粘性材料涂敷单元。

[0149] 而且，本发明也可以适用于使用可见光、红外光、X射线等对被安装物进行检查作业的作为被安装物检查装置的被安装物作业装置1。在这种情况下，取代上述实施方式的头单元，在被安装物检查装置设置向被安装物照射可见光、红外光、X射线等并进行拍摄的检查单元。

[0150] 而且，在上述实施方式中，在推车主体41设置标识43，控制装置2使用基板识别相机32从标识43取得推车4的识别信息，由此控制装置2取得第一校准数据21，但本发明不限于此。在本发明中，也可以具有存储与推车的识别信息关联的第一校准数据的控制装置。在这种情况下，构成为，推车安装于作业部主体，并且，推车的控制装置和作业部主体的控制装置电连接，作业部主体的控制装置取得第一校准数据。

[0151] 而且，在本发明中，在被安装物作业装置的外部存储第一校准数据21的控制装置和设置于被安装物作业装置的控制装置可以经由网络进行连接。在这种情况下，构成为，通过由控制装置从标识取得推车的识别信息，被安装物作业装置的控制装置从外部的控制装置取得第一校准数据。

[0152] 而且，在上述实施方式中，移动机构52具有倾斜机构部55、旋转机构部56及升降机构部54，但本发明不限于此。在本发明中，移动机构具有倾斜机构部、旋转机构部及升降机构部中的至少一个机构部即可。而且，在本发明中，移动机构也可以具有除倾斜机构部、旋转机构部及升降机构部以外的移动机构。

[0153] 而且，在上述实施方式中，标识器63设置于载置部件6上，但本发明不限于此。例如，也可以在保持部上设置标识器。

[0154] 而且，在上述实施方式中，在载置部件6上设有四个标识器63，但本发明不限于此。例如，也可以设置五个以上标识器。

[0155] 而且，在上述实施方式中，在推车主体41上设有三个标识器部42，但本发明不限于此。也可以在推车主体上设置四个以上标识器部。

[0156] 而且，在上述实施方式中，头单元14具有激光计测部33，但本发明不限于此。头单元也可以具有接触式传感器。

[0157] 而且，在上述实施方式中，头单元14具有一个安装头142，但本发明不限于此。头单元也可以具有多个安装头。

[0158] 而且，在上述实施方式中，示出了基板A具有平坦的被作业面的例子，但本发明不限于此。在本发明中，基板也可以具有不平坦的被作业面(作为曲面的被作业面)。而且，也可以同时具有平坦的被作业面和不平坦的被作业面。

[0159] 而且，在上述实施方式中，示出了基板A经由载置部件6由被安装物输送部12输送并由被安装物保持单元5保持的例子，但本发明不限于此。在本发明中，只要能够进行保持，载置于载置部件的基板也可以由被安装物保持单元直接进行保持。

[0160] 而且，在上述实施方式中，示出了将被安装物保持单元5构成为通过把持来保持基板A的例子，但本发明不限于此。例如，也可以将被安装物保持单元构成为通过利用负压吸附被安装物来保持被安装物。

[0161] 而且，在上述实施方式中，示出了沿着一个通道输送基板A(被安装物)来进行作业的构成例，但本发明不限于此。在本发明中，也可以构成为沿着两个以上的通道输送被安装物来进行作业。

[0162] 而且，在上述实施方式中，示出了在取得第一升降轴用校准数据时在三个高度位置算出保持部51的旋转中心的例子，但本发明不限于此。例如，在取得第一升降轴用校准数据时，也可以在两个或四个以上的高度位置算出保持部的旋转中心。

[0163] 而且，在上述实施方式中，示出了在取得第一升降轴用校准数据时基于保持部51的四个旋转位置算出保持部51的中心位置的例子，但本发明不限于此。例如，也可以基于保持部的两个、三个或五个以上的旋转位置算出保持部的中心位置。

[0164] 在上述实施方式中，为了便于说明，使用沿着处理流程按顺序进行处理的流程驱动型的流程对控制装置2的处理动作进行了说明，但本发明不限于此。在本发明中，控制装置2的处理动作也可以通过以事件为单位执行处理的事件驱动型(event driven型)的处理来进行。在这种情况下，可以是完全的事件驱动型，也可以对事件驱动及流程驱动进行组合。

[0165] 附图标记说明

[0166] 1 被安装物作业装置

[0167] 4 推车

[0168] 5 被安装物保持单元

[0169] 10 作业部主体

[0170] 21 第一校准数据(第一校正信息)

[0171] 22 第二校准数据(第二校正信息)

[0172] 41 推车主体

[0173] 45 高度位置调节机构

[0174] 51 保持部

[0175] 52 移动机构

[0176] 54 升降机构部

[0177] 55 倾斜机构部

[0178] 56 旋转机构部

[0179] A5 推车基准轴

[0180] C2 旋转中心位置

[0181] J1 倾转轴

[0182] J2 旋转轴

[0183] J3 升降轴

[0184] S1 主体基准面

[0185] S2 推车基准面

[0186] S3 倾斜面

[0187] W1 推车基准线

[0188] θ1 倾斜角度

[0189] θ2 旋转角度