空调装置

摘要

通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从设置于空调装置的多个管道连接口流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差。本实施方式的空调装置(1)具有：空气流通路(2)；温度调节部(3、4)，其对空气流通路(2)内的空气进行温度调节；加湿器(5)，其能够向空气流通路(2)内提供蒸汽；送风机(6)，其具有与空气流通路(2)的下游侧开口(22A)连接的吸入口(6A)，并且具有吐出从吸入口(6A)吸入的空气的吐出口(6B)；腔室(7)，其具有与吐出口(6B)连接的连通口(7A)，并且具有多个管道连接口(7B)，该多个管道连接口(7B)构成为能够连接管道，并且用于使来自吐出口(6B)的空气经由管道向外部流出；以及阻挡板部(8)，其设置于腔室(7)内，在沿着通过吐出口(6B)的空气的流动方向观察的情况下，该阻挡板部(8)与吐出口(6B)的至少一部分重叠。

权利要求

1.一种空调装置，其特征在于，该空调装置具有：空气流通路，其供空气流通；

温度调节部，其对所述空气流通路内的空气进行温度调节；

加湿器，其能够向所述空气流通路内提供蒸汽；

送风机，其具有与所述空气流通路的下游侧开口连接的吸入口，并且具有吐出从所述吸入口吸入的空气的吐出口；

腔室，其具有与所述吐出口连接的连通口，并且具有多个管道连接口，该多个管道连接口构成为能够连接管道，并且用于使来自所述吐出口的空气经由管道向外部流出；以及阻挡板部，其设置于所述腔室内，在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下，该阻挡板部与所述吐出口的至少一部分重叠。

2.根据权利要求1所述的空调装置，其特征在于，所述阻挡板部沿着与通过所述吐出口的空气的流动方向倾斜交叉的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的空调装置，其特征在于，所述阻挡板部具有沿厚度方向贯通的空气通过口，并且该阻挡板部以其外周缘的整体与所述腔室的内周面之间为气密状态的方式设置于所述腔室内。

4.根据权利要求3所述的空调装置，其特征在于，所述空气通过口设置为，在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下，所述空气通过口的一部分与所述吐出口重叠，其他部分不与所述吐出口重叠。

5.根据权利要求3所述的空调装置，其特征在于，所述空气通过口设置于在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下不与所述吐出口重叠的位置。

6.根据权利要求3所述的空调装置，其特征在于，所述空气通过口设置于所述阻挡板部的与靠近所述吐出口一侧的端部相比更靠近远离所述吐出口一侧的端部的位置。

7.根据权利要求2所述的空调装置，其特征在于，所述送风机是离心送风机，该离心送风机具有：叶轮；

螺旋外壳部，其收纳所述叶轮并且使所述吸入口沿着所述叶轮的轴向贯通；以及管道部，其从所述螺旋外壳部延伸，在该管道部的末端具有所述吐出口，所述管道部与所述螺旋外壳部的螺旋状的内周面的卷绕开始部和卷绕结束部连接，在沿着所述叶轮的轴向观察的情况下，所述阻挡板部以该阻挡板部的所述卷绕开始部侧的端部比该端部的相反侧的端部更靠近所述吐出口的方式倾斜。

8.根据权利要求1所述的空调装置，其特征在于，所述空气流通路、所述温度调节部、所述加湿器以及所述送风机收纳于壳体的内部，所述腔室具有：上游侧半体，其收纳于所述壳体的内部，并且设置有所述连通口；以及下游侧半体，其配置于所述壳体的外部，所述管道连接口设置于所述下游侧半体。

9.根据权利要求1所述的空调装置，其特征在于，所述阻挡板部固定于所述腔室中的所述连通口的周缘部，所述阻挡板部中的至少与所述吐出口重叠的部分沿着与通过所述吐出口的空气的流动方向垂直的方向延伸。

10.根据权利要求9所述的空调装置，其特征在于，在所述腔室中的所述连通口的周缘部隔开间隔地设置有用于安装所述阻挡板部的多个安装部。

11.根据权利要求9所述的空调装置，其特征在于，所述阻挡板部由冲孔板构成，该冲孔板以覆盖所述连通口的周缘部的整周的方式固定。

说明书

空调装置

技术领域

[0001] 本发明涉及空调装置，尤其涉及用于抑制向多个部位提供的空气的温度和湿度的偏差的技术。

背景技术

[0002] 在半导体制造时的图案形成工序中，有时利用光刻法。在光刻法中，首先，向晶片涂敷感光性的抗蚀剂，然后，使与期望的图案对应的光对抗蚀剂进行曝光。接下来，例如，在抗蚀剂是光硬化型的感光材料的情况下，通过溶剂等去除抗蚀剂的没有被光曝光的区域。由此，能够在抗蚀剂上形成期望的图案。

[0003] 在上述那样的光刻法中，要求抗蚀剂的温度和湿度均匀并且调整为期望的值。这是为了使晶片上的抗蚀剂的厚度恒定而要求的条件，在半导体制造设备中，空调装置承担了应对该要求的作用。这样的空调装置通过向执行抗蚀剂的涂敷的装置(以下，称为抗蚀剂涂敷装置。)提供调节了温度和湿度后的空气而进行抗蚀剂的调温和调湿。在这种空调装置的领域中，以往，提出了大量用于提高温度和湿度的控制精度的技术(例如，JP2009-63242A)。

发明内容

[0004] 发明要解决的课题

[0005] 但是，在半导体制造设备中，为了增加晶片的处理片数，有时会导入集成了多个抗蚀剂涂敷装置的大型的制造单元。此时，有时在一个空调装置设置多个管道连接口，通过与这些管道连接口连接的管道将调温调湿后的空气向上述制造单元内的多个抗蚀剂涂敷装置同时提供。

[0006] 但是，在从多个管道连接口流出的空气中产生温度差或湿度差的情况下，即使在同一制造单元内，在每个抗蚀剂涂敷装置中抗蚀剂的厚度也会变化。其结果为，会出现已完成的半导体部件的成品产生偏差的问题。

[0007] 上述问题能够通过以不产生分布的方式对调温调湿后的空气进行搅拌而得到缓和。因此，如果采取使调温调湿后的空气到达管道连接口的路径的长度或与管道连接口连接的管道的长度变长的对策，能够抑制上述那样的分布的产生。但是，该对策在要求小型化的情况和在管道的设置空间存在约束的情况下难以利用。尤其是，在半导体制造设备中，空调装置设置在顶棚较低的场所的情况较多，在这样的条件下，难以利用上述对策，即使假如利用该对策，有时也不能充分地消除分布的问题。

[0008] 本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从多个管道连接口流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差的空调装置。

[0009] 用于解决课题的手段

[0010] 本发明是空调装置，其特征在于，该空调装置具有：空气流通路，其供空气流通；温度调节部，其对所述空气流通路内的空气进行温度调节；加湿器，其能够向所述空气流通路内提供蒸汽；送风机，其具有与所述空气流通路的下游侧开口连接的吸入口，并且具有吐出从所述吸入口吸入的空气的吐出口；腔室，其具有与所述吐出口连接的连通口，并且具有多个管道连接口，该多个管道连接口构成为能够连接管道，并且用于使来自所述吐出口的空气经由管道向外部流出；以及阻挡板部，其设置于所述腔室内，在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下，该阻挡板部与所述吐出口的至少一部分重叠。

[0011] 根据本发明，通过使通过送风机的吐出口或正要通过送风机的吐出口的空气与阻挡板部碰撞而使空气的流动发生变化，另外，能够在腔室内产生紊流。通过这样的空气的转向或紊流，能够在腔室内对空气自身及空气与该空气所包含的蒸汽进行搅拌。由此，能够通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从多个管道连接口流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差。

[0012] 在本发明的空调装置中，也可以为，所述阻挡板部沿着与通过所述吐出口的空气的流动方向倾斜交叉的方向延伸。

[0013] 在该情况下，能够抑制因空气与阻挡板部碰撞而产生的压力损失，从而能够确保搅拌作用并且能够高效地使空气从管道连接口流出。

[0014] 在本发明的空调装置中，也可以为，所述阻挡板部具有沿厚度方向贯通的空气通过口，并且该阻挡板部以其外周缘的整体与所述腔室的内周面之间为气密状态的方式设置于所述腔室内。

[0015] 在该情况下，阻挡板部的保持状态稳定，并且空气通过了空气通过口后在阻挡板部的下游侧膨胀，从而能够促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0016] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述空气通过口设置为，在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下，所述空气通过口的一部分与所述吐出口重叠，其他部分不与所述吐出口重叠。

[0017] 在该情况下，通过使被阻挡板部转向之后与空气通过口的边缘部分发生碰撞而在下游侧产生紊流的空气与不碰撞阻挡板部便通过空气通过口的空气进行混合，能够有效地促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0018] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述空气通过口设置于在沿着通过所述吐出口的空气的流动方向观察的情况下不与所述吐出口重叠的位置。

[0019] 在该情况下，首先，能够使来自吐出口的空气的朝向被阻挡板部转向，之后与空气通过口的边缘部分发生碰撞而在下游侧产生紊流，因此能够有效地促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0020] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述空气通过口设置于所述阻挡板部的与靠近所述吐出口一侧的端部相比更靠近远离所述吐出口一侧的端部的位置。

[0021] 在该情况下，抑制了出现空气在阻挡板部的上游侧停滞的状态，通过使空气从吐出口流畅地向空气通过口流动，能够抑制压力损失，从而能够使送风机高效地运转。

[0022] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述送风机是离心送风机，该离心送风机具有：叶轮；螺旋外壳部，其收纳所述叶轮并且使所述吸入口沿着所述叶轮的轴向贯通；以及管道部，其从所述螺旋外壳部延伸，在该管道部的末端具有所述吐出口，所述管道部与所述螺旋外壳部的螺旋状的内周面的卷绕开始部和卷绕结束部连接，在沿所述叶轮的轴向观察的情况下，所述阻挡板部以该阻挡板部的所述卷绕开始部侧的端部比该端部的相反侧的端部更靠近所述吐出口的方式倾斜。

[0023] 在该情况下，由于能够抑制在空气与阻挡板部发生碰撞时空气的过度的方向转换，因此能够抑制压力损失的过度增大，从而能够适当地确保搅拌作用和空气的高效的流通。

[0024] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述空气流通路、所述温度调节部、所述加湿器以及所述送风机收纳于壳体的内部，所述腔室具有：上游侧半体，其收纳于所述壳体的内部，并且设置有所述连通口；以及下游侧半体，其配置于所述壳体的外部，所述管道连接口设置于所述下游侧半体。

[0025] 在该情况下，由上游侧半体和下游侧半体构成腔室，从而容易确保腔室的内部空间较大，另外，提高了管道连接口的位置、开口方向以及个数的自由度，因此也能够提高空气提供的自由度。

[0026] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述阻挡板部固定于所述腔室中的所述连通口的周缘部，所述阻挡板部中的至少与所述吐出口重叠的部分沿着与通过所述吐出口的空气的流动方向垂直的方向延伸。

[0027] 在该情况下，通过非常简单的构造来产生空气的转向或紊流，由此，能够在腔室内对空气自身及空气与该空气所包含的蒸汽进行搅拌。

[0028] 此时，也可以为，在所述腔室中的所述连通口的周缘部隔开间隔地设置有用于安装所述阻挡板部的多个安装部。

[0029] 在该情况下，能够利用多个安装部沿各种朝向设置阻挡板部，从而能够灵活地对搅拌作用和空气的高效的流通进行调节，从而能够提高使用性。

[0030] 另外，在本发明的空调装置中，也可以为，所述阻挡板部由冲孔板构成，该冲孔板以覆盖所述连通口的周缘部的整周的方式固定。

[0031] 在该情况下，能够将正要通过吐出口的空气的朝向在较大的范围内进行转向，并且能够在较大的范围内产生紊流。

[0032] 发明效果

[0033] 根据本发明，能够通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从多个管道连接口流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差。

附图说明

[0034] 图1是本发明的第1实施方式的空调装置的立体图。

[0035] 图2是图1所示的空调装置的侧视图。

[0036] 图3是图1所示的空调装置的送风机和腔室的立体图。

[0037] 图4是图1所示的空调装置的送风机和腔室的示意图。

[0038] 图5是图1所示的空调装置的腔室的立体图。

[0039] 图6是示出沿着图5的箭头VI方向观察时的腔室的图。

[0040] 图7是本发明的第1实施方式的一个变形例的空调装置的腔室的立体图。

[0041] 图8是示出沿着图7的箭头VIII方向观察时的腔室的图。

[0042] 图9是本发明的第2实施方式的空调装置的立体图。

[0043] 图10是图9所示的空调装置的腔室的立体图。

[0044] 图11是图9所示的空调装置的送风机和腔室的示意图。

[0045] 图12是示出本发明的第2实施方式的一个变形例的空调装置的腔室的图。

[0046] 图13是示出本发明的第2实施方式的其他变形例的空调装置的腔室的图。

[0047] 图14是本发明的第3方式的空调装置的立体图。

具体实施方式

[0048] 以下，参照附图，对本发明的一个实施方式进行详细说明。

[0049] (第1实施方式)

[0050] 图1是本发明的第1实施方式的空调装置1的立体图，图2是空调装置1的侧视图。空调装置1具有在内部收纳多个部件的立方体状的壳体1A，在图2中，示出了拆下壳体1A的状态的空调装置1的侧视图。

[0051] 如图2所示，本实施方式的空调装置1具有：空气流通路2，其供空气流通；冷却器3和加热器4，它们与设置于空气流通路2的温度调节部对应；加湿器5，其设置于空气流通路2；送风机6，其赋予用于使空气在空气流通路2中流通的驱动力；以及腔室7，其用于在接受从送风机6吐出的空气后使空气向外部流出。其中，空气流通路2、冷却器3、加热器4、加湿器
5以及送风机6收纳于壳体1A内，腔室7设置于壳体1A的上部，该腔室7的下部收纳于壳体1A内，该腔室7的上部向壳体1A外部露出。

[0052] 空气流通路2具有：管状的纵流路部21，其沿上下方向延伸；以及管状的水平流路部22，其与纵流路部21的上部连通，从该上部沿水平方向延伸。在以下的说明中，将沿水平方向在图1的纸面左右方向上延伸的方向称为第1方向D1，将沿水平方向在与第1方向D1垂直并且水平流路部22沿其轴向或其延伸方向延伸的方向称为第2方向D2。

[0053] 纵流路部21在其下部设置沿水平方向开口的上游侧开口21A，在本实施方式中，上游侧开口21A从纵流路部21的内部朝向第2方向D2的一侧(图2的左方向)开口。在纵流路部21的内部设置用于取入空气的上游侧开口21A，在本实施方式中，设置于上游侧开口21A的外侧的过滤装置23覆盖上游侧开口21A。由此，通过过滤装置23去除了颗粒的空气从上游侧开口21A被取入到纵流路部21的内部。另外，水平流路部22在纵流路部21侧的相反侧的端部(即，第2方向D2的另一侧的端部)设置下游侧开口22A，该水平流路部22经由下游侧开口22A而与送风机6连通。

[0054] 在本实施方式中，冷却器3设置在纵流路部21的下部内，加热器4设置在纵流路部21的上部内。冷却器3也可以是通过配管将压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器按照该顺序连接起来以使热介质进行循环的冷却回路中的蒸发器。另外，加热器4可以是电加热器等，也可以是利用了在上述冷却回路中温度变高的热介质的一部分的结构。冷却器3能够以可变的制冷能力对空气流通路2的内部的空气进行冷却，加热器4能够以可变的加热能力对空气流通路2的内部空气进行加热。通过这些冷却器3和加热器4对空气流通路2内的空气进行温度调节。

[0055] 另外，加湿器5设置于水平流路部22，能够向空气流通路2内提供蒸汽。即，在本实施方式中，加湿器5在水平方向上配置于加热器4与送风机6之间。加湿器5例如具有：贮存槽，其朝向上方对水平流路部22的内部开放，在该贮存槽内贮存水；以及加热器，其对该贮存槽内的水进行加热，通过利用加热器对蒸汽的量进行调节，能够对空气流通路2内的空气的湿度进行调节。

[0056] 图3是送风机6和腔室7的立体图，图4是沿着送风机6的旋转轴观察时的送风机6和腔室7的示意图。如图2至图4所示，本实施方式的送风机6具有与空气流通路2的下游侧开口22A连接的吸入口6A(参照图2)，并且具有吐出从吸入口6A吸入的空气的吐出口6B。详细而言，本实施方式的送风机6是离心送风机，具有：叶轮61；螺旋外壳部62，其收纳叶轮61并且使上述吸入口6A沿着叶轮61的轴向L1贯通；以及管道部63，其从螺旋外壳部62延伸，在该管道部63的末端具有上述吐出口6B。如图3所示，管道部63呈管状，作为一例，在本实施方式中形成为角管状，但这样的形状没有特别限定。

[0057] 如图4所示，螺旋外壳部62具有：周板部621，其具有形成从吸入口6A朝向吐出口6B的空气的流路的螺旋状的内周面62A，并且内周面62A构成为在该螺旋外壳部62的卷绕开始部62S至卷绕结束部62E的整个范围内包围叶轮61；以及一对侧板部622，它们固定于周板部621的轴向L1的两侧，沿轴向L1覆盖叶轮61，上述管道部63与卷绕开始部62S、卷绕结束部
62E以及位于它们之间的侧板部622的缘部连接，从螺旋外壳部62开始延伸。另外，上述吸入口6A形成于一对侧板部622中的一方，在一对侧板部622中的另一方设置有用于对叶轮61进行旋转驱动的电动机64。另外，在本实施方式中，通过使管道部63朝向上方延伸而使吐出口
6B朝向上方开口。由此，在本实施方式中，吐出口6B与腔室7在上下方向上连接。

[0058] 这样的送风机6通过使叶轮61旋转而将空气流通路2的内部的空气取入到该送风机的内部，并从朝向上方开口的吐出口6B将空气向腔室7内吐出。这里，通过使送风机6取入空气流通路2的内部的空气，外部的空气被从上游侧开口21A取入至空气流通路2的内部。由此，使空气在空气流通路2中流通。

[0059] 如图1至图4所示，腔室7具有与送风机6的吐出口6B连接的连通口7A，并且具有多个管道连接口7B，该多个管道连接口7B构成为能够连结管道(省略图示)，并且用于使来自吐出口6B的空气经由管道向外部流出。详细而言，本实施方式的腔室7具有：上游侧半体71，其被收纳于壳体1A的内部并且设置有连通口7A；以及下游侧半体72，其以从壳体1A的上部外表面突出的方式配置于壳体1A的外部，管道连接口7B设置于其中的下游侧半体72。在图示的例子中，结合起来后的上游侧半体71和下游侧半体72构成为呈立方体状，它们通过螺栓等紧固手段可分离地结合。另外，在本例中，连通口7A采用与吐出口6B同样的形状，连通口7A和吐出口6B以相互匹配的状态连接。另外，连通口7A可以比吐出口6B大，也可以以包围吐出口6B的方式与吐出口6B连接。

[0060] 图5是腔室7中的上游侧半体71的立体图，图6是示出沿着图5的箭头VI方向观察时的腔室7的图，在图5和图6中，为了便于说明，以虚线图示了吐出口6B。这里，如图3至6所示，在本实施方式中，阻挡板部8设置于腔室7中的上游侧半体71内，该阻挡板部8是板状的部件，在沿通过吐出口6B的空气的流动方向观察的情况下，与吐出口6B的至少一部分(在本例中为局部)重叠。这里，“通过吐出口6B的空气的流动方向”是指在轴线F1上延伸的方向，其中，该轴线F1通过吐出口6B的中心和与吐出口6B相同或相似形状的管道部63的连续的各截面的中心。

[0061] 详细而言，在本实施方式中，如图4所示，管道部63中的从包含连接点P1和点P2的部分起至吐出口6B为止的部分63A具有与吐出口6B相同或相似形状的连续的截面，其中，该连接点P1与卷绕开始部62S连接，该点P2与该连接点P1在与包含吐出口6B的整个周缘部在内的平面平行的方向上对置。轴线F1通过这样的连续的截面的中心和吐出口6B的中心，在本实施方式中，在图4和图6等所示的该轴线F1上延伸的方向与“通过吐出口6B的空气的流动方向”对应，。

[0062] 对阻挡板部8进行详细叙述，如图4和图5所示，本实施方式的阻挡板部8沿着与通过吐出口6B的空气的流动方向(即，轴线F1)倾斜交叉的方向延伸，尤其是如图4所示，在沿着叶轮61的轴向L1观察的情况下，以该阻挡板部8的所述卷绕开始部62S侧的端部8A比该阻挡板部8的相反侧的端部8B更靠近吐出口6B的方式倾斜。另外，阻挡板部8具有沿厚度方向贯通的空气通过口81，并且该阻挡板部8以其外周缘整体与腔室7(详细而言为上游侧半体71的内周面)之间为气密状态的方式设置在上游侧半体71内。在本实施方式中，在上游侧半体71的内周面设置有向内侧突出的阶梯部，通过在该阶梯部载置阻挡板部8，将阻挡板部8支承为倾斜状态。当然，这样的阻挡板部8的支承方式也可以采用其他的方式。

[0063] 另外，如图6所示，空气通过口81设置为，在沿通过吐出口6B的空气的流动的方向观察的情况下，该空气通过口81的一部分与吐出口6B重叠，其他的部分不与吐出口6B重叠。另外，如图4所示，空气通过口81设置于阻挡板部8的与靠近吐出口6B侧的端部8A相比更靠近远离吐出口6B侧的端部8B的位置。

[0064] 在本实施方式中，通过设置上述那样的阻挡板部8，使从送风机6的吐出口6B向上游侧半体71吐出的空气经由阻挡板部8的空气通过口81而流入下游侧半体72。然后，使流入下游侧半体72的空气从管道连接口7B流出。如图1所示，在本例中，设置有8个管道连接口7B，在下游侧半体72的上壁部、朝向第1方向D1的一侧的壁部以及朝向第2方向D2的另一侧的壁部分别设置有多个管道连接口7B。另外，这样的管道连接口7B的数量和开口方向没有特别限定。各管道连接口7B能够连接管道，通过将各管道与多个温度控制对象区域连接，能够从空调装置1向多个温度控制对象区域提供调节了温度和湿度的空气。

[0065] 接下来，对本实施方式的作用进行说明。

[0066] 在本实施方式的空调装置1中，送风机6使叶轮61旋转，从而使外部的空气从空气流通路2的上游侧开口21A被取入到空气流通路2的内部。由此，空气在空气流通路2中流通。被取入至空气流通路2内的空气首先被冷却器3冷却，接下来被加热器4加热，从而被调节至期望的温度。然后，使空气通过加湿器5的上方而对该空气的湿度进行调节。

[0067] 之后，空气在送风机6内通过叶轮61进行旋转而从吐出口6B吐出。然后，从送风机6的吐出口6B向上游侧半体71吐出的空气经由阻挡板部8的空气通过口81流入下游侧半体72。然后，流入下游侧半体72的空气从管道连接口7B流出。这里，在像上述那样使空气从送风机6的吐出口6B向上游侧半体71吐出时，在本实施方式中，如图4的箭头所示，通过使空气与阻挡板部8碰撞，使空气的流动发生变化，从而能够在腔室7内产生紊流。通过这样的空气的转向或紊流，能够在腔室7内对空气自身及空气与空气所包含的蒸汽进行搅拌。由此，能够通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从多个管道连接口7B流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差。

[0068] 如以上说明的那样，本实施方式的空调装置1具有：空气流通路2；冷却器3和加热器4，它们与对空气流通路2内的空气进行温度调节的温度调节部对应；加湿器5，其能够向空气流通路2内提供蒸汽；送风机6，其具有与空气流通路2的下游侧开口22A连接的吸入口6A，并且具有吐出从吸入口6A吸入的空气的吐出口6B；腔室7，其具有与吐出口6B连接的连通口7A，并且具有多个管道连接口7B，该多个管道连接口7B构成为能够连接管道，并且用于使来自吐出口6B的空气经由管道向外部流出；以及阻挡板部8，其设置于腔室7内，在沿着通过吐出口6B的空气的流动方向观察的情况下，该阻挡板部8与吐出口6B的至少一部分重叠。
由此，能够通过不要求大型化的简单的结构来抑制可能在从多个管道连接口7B流出的空气之间产生的温度和湿度的偏差。

[0069] 另外，在本实施方式中，阻挡板部8沿着与通过吐出口6B的空气的流动方向倾斜交叉的方向延伸。由此，能够抑制因空气与阻挡板部8碰撞而产生的压力损失，从而能够确保搅拌作用，并且高效地使空气从管道连接口7B流出。

[0070] 尤其是，在本实施方式中，送风机6是离心送风机，在沿着叶轮61的轴向L1观察的情况下，阻挡板部8以该阻挡板部8的所述卷绕开始部62S侧的端部8A比该阻挡板部8的相反侧的端部8B更靠近吐出口6B的方式倾斜，由此，在空气与阻挡板部8碰撞时，能够抑制空气的过度的方向转换，能够抑制压力损失过大，从而能够适当地确保搅拌作用和空气的高效流通。即，从离心送风机吐出的空气倾向于包含向卷绕结束部62E侧前进的成分，但在本实施方式的结构中，在这样的倾向下流动的空气的方向接近阻挡板部8的倾斜方向，能够抑制空气的过度的方向转换，从而能够抑制压力损失过大。

[0071] 另外，本实施方式的阻挡板部8具有沿厚度方向贯通的空气通过口81，并且该阻挡板部8以其外周缘整体与腔室7(上游侧半体71)的内周面之间为气密状态的方式设置于腔室7内。由此，阻挡板部8的保持状态稳定，并且空气通过了空气通过口81而在阻挡板部8的下游侧膨胀。其结果为，能够促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0072] 另外，空气通过口81被设置为，在沿着通过吐出口6B的空气的流动方向观察的情况下，该空气通过口81的一部分与吐出口6B重叠，其他部分不与吐出口6B重叠。由此，被阻挡板部8转向之后与空气通过口81的边缘部分碰撞而在下游侧产生紊流的空气与不碰撞阻挡板部8便通过空气通过口81的空气混合在一起。由此，能够有效地促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0073] 另外，空气通过口81设置于阻挡板部8的比靠近吐出口6B侧的端部8A更靠近远离吐出口6B侧的端部8B的位置，因此抑制了出现空气在阻挡板部8的上游侧停滞的状态，通过使空气流畅地从吐出口6B向空气通过口81流动，能够抑制压力损失，从而能够有效地使送风机6运转。

[0074] 以下，参照图7和图8，对第1实施方式的一个变形例进行说明。图7是本变形例的空调装置的腔室7的立体图，图8是示出沿图7的箭头VIII方向观察时的腔室7的图。另外，针对本变形例的与上述第1实施方式相同的结构部分，标注相同的标号并省略说明。

[0075] 在图示的变形例中，阻挡板部8的空气通过口81设置于在沿着通过吐出口6B的空气的流动方向观察的情况下不与吐出口6B重叠的位置。其他的结构与上述第1实施方式相同。根据这样的结构，首先，能够通过阻挡板部8来改变来自吐出口6B的空气的朝向，之后，该空气与空气通过口81的边缘部分碰撞而在下游侧产生紊流。由此，存在如下优点：能够有效促进空气自身及空气与蒸汽的搅拌。

[0076] (第2实施方式)

[0077] 接下来，参照图9至图11，对本发明的第2实施方式的空调装置进行说明。图9是第2实施方式的空调装置的立体图，图10是第2实施方式的腔室的立体图，图11是第2实施方式的送风机和腔室的示意图。另外，针对本实施方式的与上述第1实施方式相同的结构部分，标注相同的标号并省略说明。

[0078] 如图9至图11所示，在第2实施方式中，以腔室7的上壁部与壳体1A的上部外表面成为一个面的方式将腔室7配置于壳体1A的内部。另外，在腔室7的上壁部设置有多个管道连接口7B。另外，设置在腔室7内的阻挡板部8固定于腔室7的连通口7A的周缘部，在通过吐出口6B的空气的流动方向上，阻挡板部8中的至少与吐出口6B重叠的部分沿着与通过该吐出口6B的空气的流动方向(轴线F1)垂直的方向延伸。

[0079] 另外，在腔室7的连通口7A的周缘部隔开间隔地设置有用于安装阻挡板部8的多个安装部91。安装部91例如可以是螺栓孔。

[0080] 根据以上说明的第2实施方式，如图11所示，通过使正要通过送风机6的吐出口6B的空气与阻挡板部8碰撞而使空气的流动变化，从而能够在腔室7内产生紊流。由此，能够通过非常简单的构造来产生空气的转向和紊流，由此，能够在腔室7内对空气自身及空气与该空气所包含的蒸汽进行搅拌。

[0081] 另外，在腔室7的连通口7A的周缘部设置有用于安装阻挡板部8的多个安装部91。由此，能够利用多个安装部91朝各种方向设置阻挡板部8，能够灵活地对搅拌作用和空气的高效的流通进行调节，从而能够提高可用性。

[0082] 以下，参照图12和图13，对第2实施方式的变形例进行说明。图12是示出第2实施方式的一个变形例的腔室7的图。图13是示出第2实施方式的其他变形例的腔室7的图。

[0083] 在图12所示的变形例中，在腔室7的连通口7A的周缘部设置有两个阻挡板部8。这样，阻挡板部8的数量没有特别限定。

[0084] 在图13所示的变形例中，阻挡板部8由冲孔板(punching plate)构成，该冲孔板以覆盖连通口7A的周缘部的整周的方式固定。即，阻挡板部8具有多个冲孔而构成。在该情况下，能够使正要通过吐出口6B的空气的朝向在较大的范围内转向，并且能够在较大的范围内产生紊流。

[0085] (第3实施方式)

[0086] 接下来，参照图14，对本发明的第3实施方式的空调装置进行说明。如图14所示，在本实施方式中，以腔室7的设置有管道连接口7B的壁部与壳体1A的侧部外表面成为一个面的方式将腔室7配置于壳体1A的内部。如该实施方式所示的那样，腔室7的位置没有特别限定。

[0087] 以上，对本发明的多个实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式，在各实施方式中，能够实施与上述变形例不同的各种变更。

[0088] 标号说明

[0089] 1：空调装置；2：空气流通路；3：冷却器；4：加热器；5：加湿器；6：送风机；6A：吸入口；6B：吐出口；61：叶轮；62：螺旋外壳部；62S：卷绕开始部；62E：卷绕结束部；621：周板部；63：管道部；7：腔室；7A：连通口；7B：管道连接口；71：上游侧半体；72：下游侧半体；8：阻挡板部；8A、8B：端部；81：空气通过口；91：安装部。