运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机

摘要

本发明提供一种运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机，用于控制第一运动模块和第二运动模块同步移动，并使所述第一运动模块和所述第二运动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一运动模块和所述第二运动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，包括第一位置反馈单元、第一轨迹加速度前馈单元、第一框架加速度前馈单元、第一加法运算模块、第二位置反馈单元、第二轨迹加速度前馈单元、第二框架加速度前馈单元、第二加法运算模块。本发明可改善第一运动模块和第二运动模块的运动精度，可减少所述第一运动模块和所述第二运动模块由于运动不同步导致的相互干扰，进而改善运动控制装置的控制精度。

权利要求

1.一种运动控制装置，用于控制第一粗动模块和第二粗动模块同步移动，并使所述第一粗动模块和所述第二粗动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一粗动模块和所述第二粗动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，其特征在于，所述运动控制装置包括：第一位置反馈单元，用于进行使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

第一轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

第一框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；

第一加法运算模块，用于叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元和所述第一框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第一粗动模块运动的信号；

第二位置反馈单元，用于进行使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

第二轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

第二框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；以及第二加法运算模块，用于叠加所述第二位置反馈单元、所述第二轨迹加速度前馈单元和所述第二框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第二粗动模块运动的信号；

其中，所述第一位置反馈单元包括第一减法运算模块和第一反馈控制器，所述第一减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第一粗动模块的位置信息做减运算，并输出第一偏差信息，所述第一反馈控制器用于处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；

所述第一轨迹加速度前馈单元用于处理所述第一粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息；

所述第一框架加速度前馈单元用于处理所述第一安装框架的加速度信息并输出第二修正驱动信息；

所述第一加法运算模块用于将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第一粗动模块运动的信号；

所述第二位置反馈单元包括第二减法运算模块和第二反馈控制器，所述第二减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第二粗动模块的位置信息做减运算，并输出第二偏差信息，所述第二反馈控制器用于处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息；

所述第二轨迹加速度前馈单元用于处理所述第二粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；

所述第二框架加速度前馈单元用于处理所述第二安装框架的加速度信息并输出第四修正驱动信息；

所述第二加法运算模块用于将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第二粗动模块运动的信号。

2.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于，所述第一安装框架和所述第二安装框架上均设置有减震器，所述第一粗动模块设置在所述第一安装框架上的所述减震器上，所述第二粗动模块设置在所述第二安装框架上的所述减震器上。

3.一种如权利要求1或2所述的运动控制装置的运动控制方法，其特征在于，所述运动控制装置用于控制第一粗动模块和第二粗动模块同步移动，并使所述第一粗动模块和所述第二粗动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一粗动模块和所述第二粗动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，所述运动控制方法包括：进行使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

进行补偿对所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；

叠加使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第一粗动模块运动的信号；

进行使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

进行补偿所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；

叠加使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第二粗动模块运动的信号。

4.如权利要求3所述的运动控制方法，其特征在于，

进行使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制包括：

将运动轨迹信号和所述第一粗动模块的位置信息做减运算并输出第一偏差信息，处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；

进行补偿对所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制包括：将运动轨迹信号和所述第一粗动模块的位置信息做减运算，并输出第一偏差信息，以及处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；

进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制包括处理所述第一安装框架的加速度信息并输出第二修正驱动信息；

叠加使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第一粗动模块运动的信号包括：将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第一粗动模块运动的信号；

进行使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制包括：

将运动轨迹信号和所述第二粗动模块的位置信息做减运算，并输出第二偏差信息，处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息；

进行补偿所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制包括：处理所述第二粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；

进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制包括：处理所述第二安装框架的加速度信息并输出第四修正驱动信息；

叠加使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第二粗动模块运动的信号包括：将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第二粗动模块运动的信号。

5.如权利要求3所述的运动控制方法，其特征在于，在所述第一安装框架上设置减震器，在所述第二安装框架上设置减震器，在所述第一安装框架上的减震器上设置第一粗动模块，在所述第二安装框架上的减震器上设置第二粗动模块。

6.一种掩模台系统，其特征在于，包括如权利要求1或2所述的运动控制装置。

7.如权利要求6所述的掩模台系统，其特征在于，所述掩模台系统包括掩模台、第一检测模块、第二检测模块、第一加速度传感器和第二加速度传感器，所述第一粗动模块和所述第二粗动模块用于驱动所述掩模台运动，所述第一检测模块用于检测所述掩模台靠近所述第一粗动模块处的位置信息并作为第一粗动模块的位置信息，所述第二检测模块用于检测所述掩模台靠近所述第二粗动模块处的位置信息并作为第二粗动模块的位置信息，所述第一加速度传感器设置在所述第一安装框架上，所述第一加速度传感器用于检测所述第一安装框架的加速度信息，并将所述第一安装框架的加速度信息传递给运动控制装置，所述第二加速度传感器设置在所述第二安装框架上，所述第二加速度传感器用于检测所述第二安装框架的加速度信息，并将所述第二安装框架的加速度信息传递给运动控制装置。

8.如权利要求6所述的掩模台系统，其特征在于，所述第一安装框架和所述第二安装框架上均设置有减震器，所述第一粗动模块设置在所述第一安装框架上的所述减震器上，所述第二粗动模块设置在所述第二安装框架上的所述减震器上，所述减震器的使用范围为10～50Hz。

9.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求6-8中任一项所述的掩模台系统。

说明书

运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机

技术领域

[0001] 本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机。

背景技术

[0002] 大规模半导体集成电路的生产设备要求许多重要部件的振动干扰尽可能小，以使重要部件处于安静环境中，如光刻机要求工件台系统和掩模台系统的振动干扰要尽可能小。光刻机的掩模台一般包括微动台和粗动台，微动台完成掩模版的精密微调，粗动台完成掩模版的大行程扫描曝光运动。

[0003] 随着平板显示行业的飞速发展，基板尺寸在不断增加，已经由原来的G1(基板尺寸300*400)发展到现在的G10(基板尺寸2850*3150)，曝光视场大小的需求也随之增大。在IC领域应用的单镜头光刻机已经难以满足目前曝光视场不断增大的需求，为此业内提出一种拼接镜头的光刻机来解决视场不断增大的问题。对于拼接镜头大视场光刻机，采用的掩模版尺寸也随之增大，比如G6以上采用850*1200mm和850*1400mm的掩模版，甚至更大尺寸的掩模版。因此，支撑掩膜板的框架结构和质量也随之增大，而支撑掩膜板的框架结构和质量的增大必然会带来掩模台系统的振动的增大，与此同时光刻机的框架结构和质量也会增大，也会导致光刻机的振动增大，因此对掩模台系统和光刻机的振动控制的要求也相应提高，以避免振动影响掩模台系统的精度，以及光刻机的精度。另外，随着IC和平板显示行业的不断发展，掩模台系统和光刻机振动控制的要求也在不断提高。

[0004] 因此，急需对掩模台系统和光刻机进行改进，以降低振动对掩模台系统和光刻机的精度的影响。

发明内容

[0005] 本发明的目的在于提供一种运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机，以改善振动影响掩模台系统和光刻机的精度的问题。

[0006] 为解决上述技术问题，本发明提供一种运动控制装置，用于控制第一运动模块和第二运动模块同步移动，并使所述第一运动模块和所述第二运动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一运动模块和所述第二运动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，所述运动控制装置包括：第一位置反馈单元，用于进行使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；第一轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一运动模块的位置控制的延迟的前馈控制；第一框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的位置控制的扰动的前馈控制；第一加法运算模块，用于叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元和所述第一框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第一运动模块运动的信号；第二位置反馈单元，用于进行使所述第二运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；第二轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二运动模块的位置控制的延迟的前馈控制；第二框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗运动模块的位置控制的扰动的前馈控制；以及第二加法运算模块，用于叠加所述第二位置反馈单元、所述第二轨迹加速度前馈单元和所述第二框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第二运动模块运动的信号。

[0007] 可选的，所述第一位置反馈单元包括第一减法运算模块和第一反馈控制器，所述第一减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第一运动模块的位置信息做减运算，并输出第一偏差信息，所述第一反馈控制器用于处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；所述第一轨迹加速度前馈单元用于处理所述第一运动模块的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息；所述第一框架加速度前馈单元用于处理所述第一安装框架的加速度信息并输出第二修正驱动信息；所述第一加法运算模块用于将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第一运动模块运动的信号；所述第二位置反馈单元包括第二减法运算模块和第二反馈控制器，所述第二减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第二运动模块的位置信息做减运算，并输出第二偏差信息，所述第二反馈控制器用于处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息；所述第二轨迹加速度前馈单元用于处理所述第二运动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；所述第二框架加速度前馈单元用于处理所述第二安装框架的加速度信息并输出第四修正驱动信息；所述第二加法运算模块用于将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第二运动模块运动的信号。

[0008] 可选的，所述第一安装框架和所述第二安装框架上均设置有减震器，所述第一运动模块设置在所述减震器上，所述第二运动模块设置在所述减震器上。

[0009] 本发发明还提供一种上述运动控制装置的运动控制方法，所述运动控制装置用于控制第一运动模块和第二运动模块同步移动，并使所述第一运动模块和所述第二运动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一运动模块和所述第二运动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，所述运动控制方法包括：进行使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；进行补偿对所述第一运动模块的位置控制的延迟的前馈控制；进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的位置控制的扰动的前馈控制；叠加使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第一运动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第一运动模块运动的信号；进行使所述第二运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；进行补偿所述第二运动模块的位置控制的延迟的前馈控制；进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗运动模块的位置控制的扰动的前馈控制；叠加使所述第二运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第二运动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第二安装框架的振动对所述第二运动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第二运动模块运动的信号。

[0010] 可选的，进行使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制包括：将运动轨迹信号和所述第一运动模块的位置信息做减运算并输出第一偏差信息，处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；进行补偿对所述第一运动模块的位置控制的延迟的前馈控制包括：将运动轨迹信号和所述第一运动模块的位置信息做减运算，并输出第一偏差信息，以及处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的位置控制的扰动的前馈控制包括处理所述第一安装框架的加速度信息并输出第二修正驱动信息；叠加使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第一运动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第一运动模块运动的信号包括：将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第一运动模块运动的信号；进行使所述第二运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制包括：将运动轨迹信号和所述第二运动模块的位置信息做减运算，并输出第二偏差信息，处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息；进行补偿所述第二运动模块的位置控制的延迟的前馈控制包括：处理所述第二运动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗运动模块的位置控制的扰动的前馈控制包括：处理所述第二安装框架的加速度信息并输出第四修正驱动信息；叠加使所述第二运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制，补偿对所述第二运动模块的位置控制的延迟的前馈控制以及补偿所述第二安装框架的振动对所述第二运动模块的位置控制的扰动的前馈控制输出的信息，并输出用于控制所述第二运动模块运动的信号包括：
将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第二运动模块运动的信号。

[0011] 可选的，在所述第一安装框架上设置减震器，在所述第二安装框架上设置减震器，在所述第一安装框架上的减震器上设置第一运动模块，在所述第二安装框架上的减震器上设置第二运动模块。

[0012] 本发明还提供一种掩模台系统，包括上述的运动控制装置。

[0013] 可选的，所述掩模台系统包括掩模台、第一检测模块、第二检测模块、第一加速度传感器和第二加速度传感器，所述第一运动模块和所述第二运动模块用于驱动所述掩模台运动，所述第一检测模块用于检测所述掩模台靠近所述第一运动模块处的位置信息并作为第一运动模块的位置信息，所述第二检测模块用于检测所述掩模台靠近所述第二运动模块处的位置信息并作为第二运动模块的位置信息，所述第一加速度传感器设置在所述第一安装框架上，所述第一加速度传感器用于检测所述第一安装框架的加速度信息，并将所述第一安装框架的加速度信息传递给运动控制装置，所述第二加速度传感器设置在所述第二安装框架上，所述第二加速度传感器用于检测所述第二安装框架的加速度信息，并将所述第二安装框架的加速度信息传递给运动控制装置。

[0014] 可选的，所述减震器的使用范围为10～50Hz。

[0015] 本发明还提供一种光刻机，包括上述的掩模台系统。

[0016] 本发明提供的一种运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机，具有以下有益效果：

[0017] 运动控制装置通过采用第一位置反馈单元使所述第一运动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求，采用所述第一轨迹加速度前馈单元补偿所述第一运动模块的位置控制的延迟，以及采用所述第一框架加速度前馈单元补偿所述第一安装框架的振动对所述第一运动台的位置控制的扰动，并采用第一加法运算模块叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元和所述第一框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第一运动模块运动的信号，因此，所述运动控制装置在对所述第一运动模块的运动进行反馈控制以及进行位置前馈补偿的同时，还可减少所述第一安装框架的振动对所述第一运动模块的运动的干扰，从而可进一步提高所述第一运动模块的运动精度。

[0018] 所述运动控制装置通过第二位置反馈单元、第二轨迹加速度前馈单元、第二框架加速度前馈单元以及第二加法运算模块控制第二运动模块运动，同理所述运动控制装置在对所述第二运动模块的运动进行反馈控制以及进行位置前馈补偿的同时，还可减少所述第二安装框架的振动对所述第二运动模块的运动的干扰，从而可进一步改善所述第二运动模块的运动精度。

[0019] 同时，由于所述第一运动模块和所述第二运动模块的运动精度均可改善，且均采用相同的运动轨迹信号、第一运动模块的运动轨迹加速度信号和第二运动模块的运动轨迹加速度信号控制所述第一运动模块和所述第二运动模块运动，因此所述运动控制装置可控制所述第一运动模块和所述第二运动模块同步运动，且所述第一运动模块和所述第二运动模块的运动精度改善，因此可进一步减少所述第一运动模块和所述第二运动模块由于运动不同步导致的相互干扰，进而改善所述第一运动模块和所述第二运动模块整体的运动精度，即可改善所述运动控制装置的控制精度。

附图说明

[0020] 图1是一种掩模台系统的主视图；

[0021] 图2是一种掩模台系统的左视图；

[0022] 图3是一种掩模台系统的控制框图；

[0023] 图4是本发明实施例一中的掩模台系统的主视图；

[0024] 图5是本发明实施例一中的掩模台系统的左视图；

[0025] 图6是本发明实施例一中应用于掩模台系统中的运动控制装置的控制框图；

[0026] 图7是本发明实施例二中的掩模台系统的主视图；

[0027] 图8是图1-2所示的掩模台系统的地基激励数据示意图；

[0028] 图9是图1-2所示的掩模台系统中的掩模台关注点处的响应曲；

[0029] 图10是本发明实施例二中的掩模台系统中的掩模台关注点处的响应曲线。

[0030] 图1-图3中的掩模台系统的附图标记说明：

[0031] 100-第一粗动模块；101-粗动导轨；102-粗动台；

[0032] 200-第二粗动模块；201-粗动导轨；202-粗动台；

[0033] 300-微动模块；

[0034] 401-第一安装框架；402-第二安装框架；403-地基；

[0035] 500-掩模台；

[0036] 601-第一前馈控制器；602-第一反馈控制器；603-第二前馈控制器；604-第二反馈控制器；605-第一运算单元；606-第二运算单元；607-第三运算单元；608-第四运算单元；609-第五运算单元；610-第六运算单元；611-第七运算单元；612-第八运算单元；613-第一电流环；614-第二电流环；

[0037] 701-第一检测模块；702-第二检测模块。

[0038] 图4-图7、图10中的掩模台系统的附图标记说明：

[0039] 810-第一粗动模块；811-粗动导轨；812-粗动台；

[0040] 820-第二粗动模块；821-粗动导轨；822-粗动台；

[0041] 831-第一安装框架、832-第二安装框架；834-地基

[0042] 840-掩模台；

[0043] 851-第一检测模块；852-第二检测模块；

[0044] 861-第一加速度传感器；862-第二加速度传感器；

[0045] 871-第一减法运算模块；872-第一反馈控制器；873-第一轨迹加速度前馈单元；874-第一加法运算模块；875-第一框架加速度前馈单元；876-第一电流环；

[0046] 881-第二减法运算模块；882-第二反馈控制器；883-第二轨迹加速度前馈单元；884-第二加法运算模块；885-第二框架加速度前馈单元；886-第二电流环；

[0047] 890-减震器；

[0048] A1-第一曲线；A2-第二曲线。

具体实施方式

[0049] 如背景技术所述，现有的掩模台系统的精度容易受到振动的影响，基于此申请人对现有的掩模台系统的结构和控制方式进行了详细的分析。

[0050] 图1是一种掩模台系统的主视图，图2是一种掩模台系统的左视图，参考图1和图2，所述掩模台系统包括第一粗动模块100、第二粗动模块200、微动模块300、掩模台安装框架、掩模台500、运动控制装置和位置检测装置。所述第一粗动模块100、第二粗动模块200、微动模块300、掩模台安装框架、掩模台500、运动控制装置和位置检测装置形成了一个对所述掩模台500的位置进行控制的闭环控制系统。

[0051] 如图1所示，所述掩模台安装框架包括第一安装框架401和第二安装框架402。所述第一安装框架401和第二安装框架402分别设置在地基403上。

[0052] 所述第一粗动模块100和所述第二粗动模块200分别设置在所述第一安装框架401和第二安装框架402上。所述微动模块300设置在所述第一粗动模块100和所述第二粗动模块200上。所述掩模台500设置在所述微动模块300上。所述第一粗动模块100和所述第二粗动模块200用于驱动所述微动模块300以及设置在微动模块300上的掩模台500运动。所述微动模块300用于驱动所述掩模台500运动。

[0053] 所述第一粗动模块100和第二粗动模块200均包括设置在所述掩模台安装框架上的粗动导轨101，201，沿着所述粗动导轨101，201移动的粗动台102，202以及用于驱动所述粗动台102，202沿着所述粗动导轨101，201移动的驱动器。所述微动模块300包括分别设置在两个所述粗动台102上的微动导轨，以及沿着两个所述微动导轨移动的掩模台500。

[0054] 参考图2，所述第一粗动模块100、第二粗动模块200和微动模块300驱动所述掩模台500沿着Y轴移动。以下为叙述方便，将第一粗动模块100的粗动台102称之为第一粗动台102，将第一粗动模块100的驱动器称之为第一驱动器，将第二粗动模块200的粗动台102称之为第二粗动台102，将第二粗动模块200的驱动器称之为第二驱动器。

[0055] 所述位置检测装置用于检测所述第一粗动模块100和所述第二粗动模块200的位移信息并将所述位移信息反馈给运动控制装置。具体的，所述位置检测装置包括第一检测模块701和第二检测模块702，所述第一检测模块701用于检测第一粗动台102的第一位置信息，所述第二检测模块702用于检测第二粗动台102的第二位置信息。

[0056] 图3是一种掩模台系统的控制框图，参考图3，所述运动控制装置包括第一前馈控制器601、第一反馈控制器602、第二前馈控制器603、第二反馈控制器604、第一运算单元605、第二运算单元606、第三运算单元607、第四运算单元608、第五运算单元609、第六运算单元610、第七运算单元611、第八运算单元612、第一电流环613和第二电流环614。所述运动控制装置根据上级控制系统下发的控制指令控制第一粗动台102和第二粗动台102移动。具体的，上级控制系统发送给运动控制装置的信息主要包括运动轨迹信号、第一粗动模块100和第二粗动模块200的相对转角信号、第一粗动模块100运动轨迹的加速度信号以及第二粗动模块200的运动轨迹加速度信号。

[0057] 所述第一运算单元605用于将第一位置信息和第二位置信息做交叉运算，并将第一位置信息和第二位置信息的减运算结果减半，并输出第一位置处理信息。

[0058] 所述第二运算单元606用于将第一位置信息和第二位置信息做交叉运算，并将第一位置信息和第二位置信息的减运算结果减半，并输出第二位置处理信息。

[0059] 所述第三运算单元607用于将所述运动轨迹信号和第一位置处理信息做减运算并输出第一偏差信息。

[0060] 所述第四运算单元608用于将所述第一粗动模块100和第二粗动模块200的相对转角信号和第二位置处理信息做减运算并输出第二偏差信息。

[0061] 所述第一反馈控制器602用于处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息。

[0062] 所述第二反馈控制器604用于处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息。

[0063] 所述第一前馈控制器601用于处理所述第一粗动模块100运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息。

[0064] 所述第二前馈控制器603用于处理所述第二粗动模块200运动轨迹加速度信号并输出第二修正驱动信息。

[0065] 所述第五运算单元609用于将所述第一驱动信息和第一修正驱动信息做加运算，并输出第一运动控制信号。

[0066] 所述第六运算单元610用于将所述第二驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出第二运动控制信号。

[0067] 所述第七运算单元611用于将所述第一运动控制信号和第二运动控制信号做交叉运算，并输出第一交叉驱动信号。

[0068] 所述第八运算单元612用于将所述第一运动控制信号和第二运动控制信号做交叉运算，并输出第二交叉驱动信号。

[0069] 所述第一交叉驱动信号经过第一电流环613处理后输出给第一驱动器，所述第一驱动器控制第一粗动台102移动。所述第二交叉驱动信号经过第二电流环614处理后输出给第二驱动器，所述第二驱动器控制第二粗动台102移动。

[0070] 参考图3，图1和图2所示的一种掩模台系统采用的是双交叉同步控制策略。所述掩模台系统中以第一粗动台102为主动轴，第二粗动台102跟随第一粗动台102运动，第二粗动台102为随动轴。所述掩模台系统通过交叉处理后的第一位置信息和第二位置信息的分别对第一粗动模块100和第二粗动模块200进行偏差控制，实现了第一粗动台102和第二粗动台102的位置交叉控制。通过交叉处理后第一运动控制信号和第二运动控制信号分别对第一粗动模块100和第二粗动模块200进行实施补偿，使得第一粗动台102和第二粗动台102出力相对均匀，实现了第一粗动台102和第二粗动台102的力的交叉控制。其中，第一粗动台102和第二粗动台102的相对转角信号越小同步控制精度越高，因此在可将所述第一粗动模块100和第二粗动模块200的相对转角信号为零，即期望第一粗动模块100和第二粗动模块
200完全同步。

[0071] 申请人研究后发现，影响上述掩模台系统的精度主要是低频振动。根据低频振动的来源，一为地基403间接传递过来的低频振动；二为上述掩模台系统的第一粗动模块100和第二粗动模块200之间的相互干扰。

[0072] 具体的，在光刻机的运行过程中，会存在地基403振动及工件台和掩模台500等分系统具有较高的运动加速度和运动速度，运动部件在运动过程中产生的反作用力，以及倾覆力矩将引起光刻机核心部分振动。掩模台500中的第一粗动模块100和第二粗动模块200通过掩模台安装框架与地基403连接，光刻机中的各种扰动将通过掩模台安装框架直接传递给掩模台500。

[0073] 第一粗动模块100和第二粗动模块200之间的相互干扰主要体现在：

[0074] 1)、运动控制装置接收运动轨迹信号并控制第一粗动模块100运动后，运动控制装置需要计算第二粗动模块200的位置与第一粗动模块100的位置的偏差，并将所述偏差作为第二粗动模块200的控制输入，第二粗动模块200的控制输入总是滞后于运动轨迹信号，第一粗动模块100和第二粗动模块200之间存在延时，从而导致第一粗动模块100和第二粗动模块200之间的运动相互干扰。

[0075] 2)、检测结果表明第二粗动模块200无法及时跟随第一粗动模块100运动，第一粗动模块100和第二粗动模块200同步误差较大，因此第一粗动模块100和第二粗动模块200之间存在相互干扰。

[0076] 3)、第一粗动模块100和第二粗动模块200的第一位置信息和第二位置信息通过交叉的方式传递到对方的控制回路中，产生了直接的扰动，导致同步误差较大，因此第一粗动模块100和第二粗动模块200之间存在相互干扰。

[0077] 基于上述分析申请人提出了一种运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机，所述掩模台系统的第一粗动模块和第二粗动模块分别以自身与掩模台的位移误差为控制对象，保证这三者之间的同步性能，并规避现有交叉同步策略中第一粗动模块和第二粗动模块之间的直接串扰。

[0078] 以下结合附图和具体实施例对本发明实施例提出的运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

[0079] 实施例一

[0080] 本实施例提供一种掩模台系统，应用于掩模台系统中的运动控制装置和光刻机。

[0081] 参考图4和图5，图4是本发明实施例一中的掩模台系统的主视图，图5是本发明实施例一中的掩模台系统的左视图，所述掩模台系统包括第一粗动模块810、第二粗动模块820、掩模台安装框架、掩模台840、运动控制装置、位置检测装置、第一加速度传感器和第二加速度传感器。

[0082] 所述掩模台安装框架包括第一安装框架831和第二安装框架832。所述第一安装框架831和第二安装框架832分别设置在地基834上。

[0083] 所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820分别设置在所述第一安装框架831和第二安装框架832上。所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820用于驱动所述掩模台840运动。所述第一粗动模块810和第二粗动模块820均包括设置在所述掩模台安装框架上的粗动导轨811，821，沿着所述粗动导轨811，821移动的粗动台812，822，以及用于驱动所述粗动台812，822沿着所述粗动导轨811，821移动的驱动器。参考图5，所述第一粗动模块810和第二粗动模块820沿着Y轴移动。以下为叙述方便，将第一粗动模块810的粗动台812称之为第一粗动台，将第一粗动模块810的驱动器称之为第一驱动器，将第二粗动模块820的粗动台822称之为第二粗动台，将第二粗动模块820的驱动器称之为第二驱动器。

[0084] 所述位置检测装置用于检测所述掩模台840的位移信息并将所述位移信息反馈给运动控制装置。具体的，所述位置检测装置包括第一检测模块和第二检测模块，所述第一检测模块用于检测所述掩模台840靠近所述第一粗动台处的位置信息，所述第二检测模块用于检测所述掩模台840靠近所述第二粗动台的位置信息，所述第一检测模块检测的位置信息为第一位置信息，所述第二检测模块检测的位置信息为第二位置信息。本实施例中所述第一检测模块和第二检测模块可为干涉仪。

[0085] 第一加速度传感器和第二加速度传感器。所述第一加速度传感器设置在所述第一安装框架831上，所述第二加速度传感器设置在所述第二安装框架832上。所述第一加速度传感器用于检测所述第一安装框架831的加速度信息，并将第一安装框架831的加速度信息传递给第一运动控制单元。所述第二加速度传感器用于检测所述第二安装框架832的加速度信息，并将第二安装框架832的加速度信息传递给第二运动控制单元。

[0086] 图6是本发明实施例一中应用于掩模台系统中的运动控制装置的控制框图，所述运动控制装置包括对所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820进行独立控制的第一运动控制单元和第二运动控制单元。所述运动控制装置根据上级控制系统下发的控制指令，所述位置检测装置检测的第一位置信息和第二位置信息，以及所述第一安装框架831的加速度信息和所述第二安装框架832的加速度信息控制第一粗动台和第二粗动台移动。具体的，上级控制系统发送给运动控制装置的信息主要包括运动轨迹信号、第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号以及第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号。所述运动轨迹信号同时发送给所述第一运动控制单元和所述第二运动控制单元。所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号发送给所述第一运动控制单元，所述第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号发送给所述第二运动控制单元，其中，所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号和所述第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号相同。所述第一位置信息发送给第一运动控制单元。所述第二位置信息发送给第二运动控制单元。所述第一安装框架831的加速度信息发送给第一运动控制单元，所述第二安装框架832的加速度信息发送给第二运动控制单元。

[0087] 参考图6，所述第一运动控制单元包括第一位置反馈单元、第一轨迹加速度前馈单元873、第一加法运算模块874和第一框架加速度前馈单元875。

[0088] 所述第一位置反馈单元用于进行使所述第一粗动模块810的第一粗动台的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制。例如尽可能使得第一粗动台的位置与所述运动轨迹信号相一致。具体的，所述第一位置反馈单元包括第一减法运算模块871和第一反馈控制器872。所述第一减法运算模块871用于将第一位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第一偏差信息。所述第一反馈控制器872用于处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息。所述第一反馈控制器872优选为PID控制模块。

[0089] 所述第一轨迹加速度前馈单元873用于进行补偿所述第一粗动台的位置控制的延迟的前馈控制。具体的，所述第一轨迹加速度前馈单元873用于处理所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息。

[0090] 所述第一框架加速度前馈单元875用于进行补偿所述第一安装框架831的振动对所述第一粗动台的位置控制的扰动的前馈控制。具体的，所述第一框架加速度前馈单元875用于处理所述第一安装框架831的加速度信息并输出第二修正驱动信息。

[0091] 所述第一加法运算模块874用于叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元873和所述第一框架加速度前馈单元875输出的信息，并输出用于控制所述第一粗动模块810运动的第一运动控制信号。具体的，所述第一加法运算模块874用于将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出第一运动控制信号。所述第一运动控制信号用于控制所述第一粗动模块810运动。

[0092] 所述第二运动控制单元包括第二位置反馈单元、第二轨迹加速度前馈单元883、第二加法运算模块884和第二框架加速度前馈单元885。

[0093] 所述第二位置反馈单元用于进行使所述第二粗动模块820的第二粗动台的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制。例如尽可能使得第二粗动台的位置与所述运动轨迹信号相一致。具体的，所述第二位置反馈单元包括第二减法运算模块881和第二反馈控制器882。所述第二减法运算模块881用于将第二位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第二偏差信息。所述第二反馈控制器882用于处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息。所述第二反馈控制器882优选为PID控制模块。

[0094] 所述第二轨迹加速度前馈单元883用于进行补偿所述第二位置反馈单元对所述第二粗动台812，822的位置控制的延迟的前馈控制。具体的，所述第二轨迹加速度前馈单元883用于处理所述第三粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息。

[0095] 所述第二框架加速度前馈单元885用于进行补偿所述第二安装框架832的振动对所述第二粗动台的位置控制的扰动的前馈控制。具体的，所述第二框架加速度前馈单元885用于处理所述第二安装框架832的加速度信息并输出第四修正驱动信息。

[0096] 所述第二加法运算模块884用于叠加所述第二位置反馈单元、所述第二轨迹加速度前馈单元883和所述第二框架加速度前馈单元885输出的信息，并输出用于控制所述第二粗动模块820运动的第二运动控制信号。具体的，所述第二加法运算模块884用于将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出第二运动控制信号。所述第二运动控制信号用于控制所述第二粗动模块820运动。

[0097] 所述第一运动控制单元优选包括第一电流环876，所述第一电流环876用于处理第一驱动信息，并采用处理后的第一驱动信息控制所述第一粗动模块810运动。

[0098] 所述第二运动控制单元优选包括第二电流环886，所述第二电流环886用于处理第一驱动信息，并采用处理后的第二驱动信息控制所述第二粗动模块820运动。

[0099] 本实施例中，所述掩模台系统的工作过程如下：

[0100] 首先，上级控制系统发送运动轨迹信号、第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号以及第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号给运动控制装置，位置检测装置发送第一位置信息和第二位置信息给运动控制装置，第一加速度传感器861和第二加速度传感器862发送第一安装框架831和第二安装框架832的加速度信息给运动控制装置。

[0101] 其次，运动控制装置中的第一位置反馈单元中的第一减法运算模块871将第一位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第一偏差信息，之后通过第一反馈控制器872处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；运动控制装置中的第二位置反馈单元中的第二减法运算模块881将第二位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第二偏差信息，之后通过第二反馈控制器882处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息。

[0102] 同时，运动控制装置中的第一轨迹加速度前馈单元873处理所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息；运动控制装置中的第二轨迹加速度前馈单元883处理所述第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息。

[0103] 同时，运动控制装置中的第一框架加速度前馈单元875处理第一安装框架831的加速度信息并输出第二修正驱动信息；运动控制装置中的第二框架加速度前馈单元885处理第二安装框架832的加速度信息并输出第四修正驱动信息。

[0104] 之后，第一加法运算模块874将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出第一运动控制信号；第二加法运算模块884将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出第二运动控制信号。

[0105] 接着，通过第一运动控制信号控制所述第一粗动模块810运动，通过第二运动控制信号控制所述第二粗动模块820运动。

[0106] 本实施例中，所述掩模台系统的运动控制装置通过所述第一运动控制单元控制第一粗动模块810运动，并采用第一位置反馈单元使所述第一粗动模块810的第一粗动台的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求，采用所述第一轨迹加速度前馈单元873补偿所述第一位置反馈单元对所述第一粗动台的位置控制的延迟，以及采用所述第一框架加速度前馈单元875补偿所述第一安装框架831的振动对所述第一粗动台的位置控制的扰动，并采用第一加法运算模块874叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元873和所述第一框架加速度前馈单元875输出的信息，并输出用于控制所述第一运动模块运动的信号，因此，所述掩模台系统的运动控制装置在对所述第一粗动模块810的运动进行反馈控制以及进行位置前馈补偿的同时，还可减少所述第一安装框架831的振动对所述第一粗动模块810的运动的干扰，从而可进一步改善所述第一粗动模块810的运动精度；所述掩模台系统的运动控制装置通过所述第二运动控制单元控制第二粗动模块820运动，并采用第二位置反馈单元使所述第二粗动模块820的第二粗动台的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求，采用所述第二轨迹加速度前馈单元883补偿所述第二位置反馈单元对所述第二粗动台的位置控制的延迟，以及采用所述第二框架加速度前馈单元885补偿所述第二安装框架832的振动对所述第二粗动台的位置控制的扰动，并采用第二加法运算模块884叠加所述第二位置反馈单元、所述第二轨迹加速度前馈单元883和所述第二框架加速度前馈单元885输出的信息，并输出用于控制所述第二运动模块运动的信号，因此，所述掩模台系统的运动控制装置在对所述第二粗动模块820的运动进行反馈控制以及进行位置前馈补偿的同时，还可减少所述第二安装框架832的振动对所述第二粗动模块820的运动的干扰，从而可进一步改善所述第二粗动模块820的运动精度；由于所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820的运动精度均可改善，且所述第一运动控制单元和所述第二运动控制单元均采用相同的运动轨迹信号，所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号和所述第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号相同，所述第一位置信息和所述第二位置信息为所述掩模台840上的不同位置处的位置信息，即所述第一运动控制单元和所述第二运动控制单元有相同的运动控制指令和运动轨迹加速度前馈补偿信息，相接近的位置反馈信息，因此所述运动控制装置可控制所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820同步运动，由于所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820的运动精度改善，因此可进一步减少所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820由于运动不同步导致的相互干扰，进而改善所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820整体的运动精度，即可改善所述运动控制装置的控制精度，以及可提高掩模台系统的运动精度。

[0107] 相较于一种掩模台系统的运动控制装置的双交叉同步控制策略，本实施例中的掩模台系统的运动控制装置，通过采用第一运动控制单元和第二运动控制单元分别控制第一粗动模块810和第二粗动模块820，可避免第一粗动模块810和第二粗动模块820控制指令输入不同步，控制信息相互干扰以及同步误差较大的问题，并通过设置第一框架加速度前馈单元875和第二框架加速度前馈单元885，有效补偿了所述第一安装框架831和所述第二安装框架832振动对所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820的运动的干扰，从而可改善所述运动控制装置的控制精度，以及可提高掩模台系统的运动精度。

[0108] 本实施例还提供一种光刻机，所述光刻机包括上述实施例中的掩模台系统。

[0109] 实施例二

[0110] 本实施例提供一种掩模台系统。参考图7，图7是本发明实施例二中的掩模台系统的主视图，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，所述掩模台系统还可包括减震器890。本实施例中，所述粗动模块并不直接设置在所述掩模台安装框架上，而是所述减震器
890设置在所述掩模台安装框架上，所述粗动模块设置在所述减震器890上。从地基834传来的振动经过掩模台安装框架之后，经过减震器890，再传递给第一粗动模块810和第二粗动模块820。通过在掩模台安装框架与第一粗动模块810和第二粗动模块820之间设置减震器
890可有效减少光刻机传递给掩模台840的振动。

[0111] 申请人对图1-2所示的一种掩模台系统进行了地基834激励下的PSD仿真，参考图8，图8是图1-2所示的的掩模台系统的地基激励数据示意图，申请人研究后发现，一种掩模台系统由于结构刚度的影响，掩模台840存在15～35Hz之间的多阶低频率模态，15～35Hz低频率振动会使掩模台840的动力学性能降低，影响掩模台840的位置稳定性。在掩模台840取一关注点，其响应结果如图9所示，图9是图1-2所示的掩模台系统中的掩模台关注点处的响应曲，从响应曲线可得，关注点位移响应值主要受10～20Hz频率(Frequency)、30Hz左右频率及66Hz左右频率影响，最大位移响应值(Cum die)约为3.6um。

[0112] 为消除低频振动对掩模台840的影响，申请人按18Hz配制减震器890参数，阻尼比0.2，掩模台系统总质量约3.48吨，刚度和阻尼的计算公式如下所示：

[0113] K＝(2πf)2M

[0114] C＝2ξ(2πfn)M

[0115] 其中，K为刚度，M为质量，C为阻尼，ξ为阻尼率，f和fn分别为减震器的频率，则减震器890总刚度为44448.75N/mm，总阻尼为157.2N/(mm/s)。

[0116] 加减震器890后关注位置的响应值如图10所示，图10是本发明实施例二中的掩模台系统中的掩模台840关注点处的响应曲线，关注点处加减震器后的响应曲线为第一曲线A1，关注点处未加减震器后的响应曲线为第二曲线A2，对比第一曲线A1和第二曲线A2可知，加减震器890后，30Hz左右的振动已完全消除，10～20Hz左右的振动也部分消除，且总体响应值已降为未加减震器890时的1/3以下。

[0117] 本实施例中，所述减震器的使用范围优选为10～50Hz。

[0118] 本实施例中，所述加速度传感器优选设置在所述第一安装框架831和所述第二安装框架832靠近所述减震器处，以使所述第一加速度传感器861和所述第二加速度传感器862检测到的振动更接近于所述第一安装框架831和所述第二安装框架832传递给所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820的振动，以改善所述第一框架加速度前馈单元875和所述第二框架加速度前馈单元885对所述第一粗动模块810和所述第二粗动模块820的运动的补偿，进而提高所述掩模台840控制系统的运动控制装置的控制精度，同时提高掩模台系统的运动精度。

[0119] 实施例三

[0120] 本实施例提供一种上述实施例中的掩模台系统中的运动控制装置的运动控制方法。所述的运动控制装置在工作前，发送运动轨迹信号、第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号以及第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号给运动控制装置，发送第一位置信息和第二位置信息给运动控制装置，发送第一安装框架831和第二安装框架832的加速度信息给运动控制装置。

[0121] 所述运动控制方法包括如下步骤：

[0122] 步骤S10，第一位置反馈单元将所述第一位置信息和运动轨迹信号转换为第一驱动信息；第二位置反馈单元将所述第二位置信息和运动轨迹信号转换为第二驱动信息；第一轨迹加速度前馈单元873处理所述第一粗动模块810的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息；第二轨迹加速度前馈单元883处理所述第二粗动模块820的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；第一框架加速度前馈单元875处理第一安装框架831的加速度信息并输出第二修正驱动信息；第二框架加速度前馈单元885处理第二安装框架832的加速度信息并输出第四修正驱动信息。

[0123] 其中，步骤S10中第一位置反馈单元将所述第一位置信息和运动轨迹信号转换为第一驱动信息以及第二位置反馈单元将所述第二位置信息和运动轨迹信号转换为第二驱动信息具体包括：

[0124] 首先，第一减法运算模块871将第一位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第一偏差信息，第二减法运算模块881将第二位置信息和运动轨迹信号做减运算，并输出第二偏差信息。

[0125] 其次，第一反馈控制器872处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息，第二反馈控制器882处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息。

[0126] 步骤S20，第一加法运算模块874将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出第一运动控制信号；第二加法运算模块884将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出第二运动控制信号。

[0127] 步骤S30，通过第一运动控制信号控制所述第一粗动模块810运动，通过第二运动控制信号控制所述第二粗动模块820运动。

[0128] 上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。