在添加剂层制造期间的带电粒子束控制

摘要

提供了一种生成扫描指令的计算机实现的方法，所述扫描指令用于使用添加剂层制造装置而将使形成产品作为一系列层来形成。该方法包括确定将在形成产品时使用的束加速电压；针对产品的层的每个阴影区域，确定将在形成阴影区域时使用的相应束电流，并将相应的束电流值提供给扫描图案指令文件中的阴影区域描述；并且针对每个阴影区域的每个行，确定将在沿着行扫描束时使用的相应束斑大小，并且将相应的束斑大小值提供给扫描图案指令文件中的行描述，并确定将在沿着行扫描束时使用的相应的一系列束步长大小和电子束步长驻留时间，并且将相应的一系列束位置值和束步长驻留时间提供给扫描图案指令文件中的行描述，从而定义如何沿着行扫描电子束。还提供了扫描指令的文件、添加剂层制造装置、和使用添加剂层制造装置形成产品的方法。