一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置

摘要

本发明公开了一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，包括截面为矩形结构的槽体和气泵，所述槽体其中两个相对的内壁上均设有固定板，另外两个相对的内壁上均设有活动板，活动板能够在槽体的内壁上沿着水平面转动，所述固定板的侧壁上均设有若干固定喷嘴，活动板的两侧均设有若干波纹管，波纹管均能够缩回至活动板内，所述波纹管内设有第二空腔，所述第二空腔内设有一端为封闭结构的第一空腔；所述气泵的输出端设有第一输气管和第二输气管，第一输气管中的气体能够通过固定喷嘴和波纹管吹出，第二输气管中的气体能够进入至第一空腔内，波纹管的第一空腔内充气后能够朝着固定喷嘴方向拉伸。

权利要求

1.一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，包括截面为矩形结构的槽体(2)和气泵，其特征在于，所述槽体(2)其中两个相对的内壁上均设有固定板(4)，另外两个相对的内壁上均设有活动板(5)，活动板(5)能够在槽体(2)的内壁上沿着水平面转动，所述固定板(4)的侧壁上均设有若干固定喷嘴(6)，活动板(5)的两侧均设有若干波纹管(1)，波纹管(1)均能够缩回至活动板(5)内，所述波纹管(1)内设有第二空腔(16)，所述第二空腔(16)内设有一端为封闭结构的第一空腔(15)；

所述气泵的输出端设有第一输气管(9)和第二输气管(10)，第一输气管(9)中的气体能够通过固定喷嘴(6)和波纹管(1)吹出，第二输气管(10)中的气体能够进入至第一空腔(15)内，波纹管(1)的第一空腔(15)内充气后能够朝着固定喷嘴(6)方向拉伸。

2.根据权利要求1所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述固定板(4)和活动板(5)均为四个，四个固定板(4)均匀地分布在槽体(2)其中两个相对的内壁上，四个活动板(5)均匀地分布在槽体(2)另外两个相对的内壁上，并且活动板(5)与固定板(4)位于同一水平面上。

3.根据权利要求2所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述槽体(2)的两侧壁均设有两个电机，电机的输出端上均设有蜗杆，所述蜗杆上设有与蜗杆匹配的涡轮，所述涡轮的圆心处设有转动轴(3)，转动轴(3)一端与涡轮连接，另一端与活动板(5)连接。

4.根据权利要求1所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述活动板(5)的内部设有第一腔体(8)，波纹管(1)的第二空腔(16)与第一腔体(8)连通，所述第一腔体(8)内设有连接板(11)，连接板(11)沿活动板(5)的长轴方向设置在第一腔体(8)内，所述活动板(5)的两侧均设有若干弹性件(7)，弹性件(7)一端与活动板(5)连接，另一端伸入至波纹管(1)的第二空腔(16)与波纹管(1)的末端连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述连接板(11)的内部设有第二腔体，第二输气管(10)与第二腔体连通，所述连接板(11)的两侧均设有若干第三输气管(12)，第三输气管(12)一端与第二腔体连通，另一端与第一空腔(15)连通。

6.根据权利要求1所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述波纹管(1)的两侧均设有若干喇叭口形状的气孔(13)，气孔(13)沿着波纹管(1)的轴向方向均匀分布，并且气孔(13)与第二空腔(16)连通。

7.根据权利要求1所述的一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，其特征在于，所述波纹管(1)的端面为封闭结构，并且波纹管(1)的端面上设有喇叭口形状的喷口(14)，喷口(14)与第二空腔(16)连通。

说明书

一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置

技术领域

[0001] 本发明涉及掩膜版清洗设备技术领域，具体涉及一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置。

背景技术

[0002] 随着半导体制造工艺的发展，半导体芯片的面积越来越小，因此半导体工艺的精度也变得更加重要。掩膜版在制作过程中，需要使用将装有掩膜版工件的洗篮放入至清洗槽内浸泡一段时间，以便去除附着在掩膜版工件上的杂质，但是，由于清洗槽内盛放着具有挥发性的化学液体，掩膜版在浸泡的过程中，挥发性溶液容易从清洗槽内挥发出来，通常是在槽体的内壁上设置若干喷气嘴，喷气嘴与气泵连接，高压气泵产生的高压气体从喷气嘴喷出形成气幕，用于对清洗槽内的挥发性溶液进行隔离，避免挥发性至外界，污染环形，但是由于清洗槽为了便于放置清洗篮，池体的截面尺寸较大，这种结构气压随喷气嘴的距离增加而减小，导致槽体中央区域的密封性不足，挥发性溶液容易从该区域挥发出来。

发明内容

[0003] 本发明所要解决的技术问题是克服现有技术中的不足，目的在于提供一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，便于将清洗篮放入至槽体内的同时，能够提高对挥发性溶液的密封效果。

[0004] 本发明通过下述技术方案实现：

[0005] 一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，包括截面为矩形结构的槽体和气泵，所述槽体其中两个相对的内壁上均设有固定板，另外两个相对的内壁上均设有活动板，活动板能够在槽体的内壁上沿着水平面转动，所述固定板的侧壁上均设有若干固定喷嘴，活动板的两侧均设有若干波纹管，波纹管均能够缩回至活动板内，所述波纹管内设有第二空腔，所述第二空腔内设有一端为封闭结构的第一空腔；所述气泵的输出端设有第一输气管和第二输气管，第一输气管中的气体能够通过固定喷嘴和波纹管吹出，第二输气管中的气体能够进入至第一空腔内，波纹管的第一空腔内充气后能够朝着固定喷嘴方向拉伸。

[0006] 本发明在对清洗篮内的掩膜版进行浸泡清洗时，由于设置的两根活动板能够在池体内转动，使其旋转90°，与槽体的内壁接触，从而使得清洗篮能够顺利放入至槽体内，待清洗篮放入至槽体内后，再将两个活动板旋转至初始位置，使得两个活动板位于同一直线上，利用气泵产生的高压气流分别进入至固定板上的固定喷嘴和活动板上的波纹管，高压气流从固定喷嘴和活动喷嘴上喷出，相互之间形成气幕，从而能够隔离下方的挥发性溶液挥发出来；同时气泵产生的气流进入至第一空腔内，高压气体对第二空腔产生作用力，利用波纹管具有伸缩的特性，迫使波纹管能够朝着固定喷嘴方向发生拉伸，再不影响气密性的前提下，能够减小波纹管与固定喷嘴之间的间距，进一步提高波纹管与固定喷嘴对挥发性溶液的密封效果，避免池体的长度较长，导致池体中央位置处的密封性较差，第一输气管和第二输气管内均设有阀门，用于控制喷嘴喷出气流的开启与关闭。

[0007] 进一步地，所述固定板和活动板均为四个，四个固定板均匀地分布在槽体其中两个相对的内壁上，四个活动板均匀地分布在槽体另外两个相对的内壁上，并且活动板与固定板位于同一水平面上。

[0008] 将固定板和活动板设置为四个的目的是使得槽体内能够形成上下两层的气幕，并且同一内壁上的两个固定板的间距大于清洗篮的高度，同一内壁上的两个活动板之间的间距也大于清洗篮的高度，传统的清洗槽只设置了一层的气幕，使得在放置或者取出清洗篮的过程中，一部分的挥发性溶液能够与清洗篮与气幕之间的间隙出挥发出来，而本技术方案由于设置有上下两层的气幕，清洗篮在放入至槽体内时，先将上层的两个活动板旋转，使得清洗篮先进入至槽体内，并且此时清洗篮位于下方气幕的上方，然后再重新将上层的活动板恢复至初始位置，保证清洗篮的上方气幕重新形成，接着再将下层的两个活动板旋转，使得清洗篮能够浸泡至槽体内的溶液内，最后重新将下层的两个活动板恢复至初始位置，保证下层的气幕也重新形成，因此，设置两层气幕既能够提高对挥发性溶液的密封效果，而且还保证了在放置和取出清洗篮的过程中，挥发性溶液不易泄漏。

[0009] 进一步地，所述槽体的两侧壁均设有两个电机，电机的输出端上均设有蜗杆，所述蜗杆上设有与蜗杆匹配的涡轮，所述涡轮的圆心处设有转动轴，转动轴一端与涡轮连接，另一端与活动板连接。

[0010] 设置的四个电机分别与四个活动板一一对应，即每个电机上的涡轮与每个活动板上的转动轴连接，各个电机能够独立控制活动板的旋转，从而使得槽体内上的上下两侧气幕能够独立开启，相互之间没有干扰，从而保证清洗篮能够顺利放入至槽体内。

[0011] 进一步地，所述活动板的内部设有第一腔体，波纹管的第二空腔与第一腔体连通，所述第一腔体内设有连接板，连接板沿活动板的长轴方向设置在第一腔体内，所述活动板的两侧均设有若干弹性件，弹性件一端与活动板连接，另一端伸入至波纹管的第二空腔与波纹管的末端连接。

[0012] 当通入至第一腔体内的气体通过排出之后，弹性件产生的弹力能够拉动波纹管缩回至活动板的第一腔体内，避免波纹管伸出在活动板一侧，导致活动板无法有效旋转至与槽体的内壁平行，从而使得清洗篮能够有效通过两个活动板之间的间隙放入至槽体内，同时，设置的弹性件能够对波纹管水平方向进行支撑，保证波纹管在伸缩的过程中，始终保证在同一水平方向上，从而使得从波纹管吹出的气流能够沿着水平方向散发出去。

[0013] 进一步地，所述连接板的内部设有第二腔体，第二输气管与第二腔体连通，所述连接板的两侧均设有若干第三输气管，第三输气管一端与第二腔体连通，另一端与第一空腔连通。

[0014] 设置的连接板既用于对弹性件的支撑，又能够为第三输气管输送气体，气泵产生的高压气体通过第二输气管进入至连接板的第二腔体内，然后第二腔体内的气体分别通过第三输气管进入至第一空腔内，为第一空腔输送高压气体，由于波纹管具有伸缩的特性，使得波纹管内的第一空腔通气之后发生拉伸，从而使得波纹管能够朝着固定喷嘴方向发生拉伸，改变波纹管的长度，减小波纹管与固定喷嘴之间的间距，从而提高了波纹管与固定喷嘴之间形成气幕的强度，提高了气幕对挥发性溶液的密封性能。

[0015] 进一步地，所述波纹管的两侧均设有若干喇叭口形状的气孔，气孔沿着波纹管的轴向方向均匀分布，并且气孔与第二空腔连通。

[0016] 由于波纹管处于拉伸状态，为了避免波纹管之间的区域气幕效果不佳，因此在波纹管上开设若干气孔，使得波纹管处于拉伸状态时，波纹管之间从气孔处吹出的气流形成气幕，从而提高了波纹管之间的气幕密封性，同时，由于气孔采用喇叭口结构，使得气流通过喇叭口形状的气孔能够朝四周发散处于，使得同一波纹管上的气孔吹出的气流相互之间能够形成干涉，从而形成气幕，进一步提高了波纹管之间的气幕密封性。

[0017] 进一步地，所述波纹管的端面为封闭结构，并且波纹管的端面上设有喇叭口形状的喷口，喷口与第二空腔连通。

[0018] 设置的喷嘴与波纹管的第二空腔连通，气泵产生的高压气体通过第一输气管进入至活动板的第一腔体内，第一腔体内的气流再进入至波纹管的第二空腔内，第一部分的高压气体通过波纹管中的气孔吹出，一部分的气体通过喷口吹出，与固定喷嘴吹出的气体形成气幕，同时，将喷口也设置成喇叭口形成，使得从喷口吹出的气流能够向四周发生，从而使得相邻的两个波纹管上的喷口吹出的气流之间能够发生干扰，形成气幕，从而提高对槽体内挥发性溶液的密封效果。

[0019] 本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

[0020] 1、本发明一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，利用设置的活动板便于将清洗篮放入至池体内，同时又能够提高对槽体内挥发性溶液的密封性能；

[0021] 2、本发明一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，槽体内能够形成上下两层气幕，使得清洗篮在放入或取出的过程中，分别将两层气幕打开，能够有效避免槽体内的挥发性溶液的泄漏，从而提高了对槽体的密封性；

[0022] 3、本发明一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，设置的波纹管内充气之后能够被拉伸，从而改变波纹管与固定喷嘴之间的间距，满足对不同长度的槽体应用，同时设置的波纹管在弹性件的作用下能够缩回至活动板内，从而保证活动板能够顺利旋转至与槽体内壁平行。

附图说明

[0023] 此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

[0024] 图1为本发明结构的俯视图；

[0025] 图2为本发明结构另一种状态时的俯视图；

[0026] 图3为本发明结构的主视图；

[0027] 图4为本发明活动板的内部结构示意图；

[0028] 图5为本发明波纹管的结构示意图；

[0029] 图6为本发明波纹管的内部结构示意图。

[0030] 附图中标记及对应的零部件名称：

[0031] 1-波纹管，2-槽体，3-转动轴，4-固定板，5-活动板，6-固定喷嘴，7-弹性件，8-第一腔体，9-第一输气管，10-第二输气管，11-连接板，12-第三输气管，14-喷口，15-第一空腔，16-第二空腔，17-清洗篮。

具体实施方式

[0032] 为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

[0033] 实施例1

[0034] 如图1至图6所示，本发明一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置，包括截面为矩形结构的槽体2和气泵，所述槽体2其中两个相对的内壁上均设有固定板4，另外两个相对的内壁上均设有活动板5，活动板5能够在槽体2的内壁上沿着水平面转动，所述固定板4的侧壁上均设有若干固定喷嘴6，活动板5的两侧均设有若干波纹管1，波纹管1均能够缩回至活动板5内，所述波纹管1内设有第二空腔16，所述第二空腔16内设有一端为封闭结构的第一空腔15；所述气泵的输出端设有第一输气管9和第二输气管10，第一输气管9中的气体能够通过固定喷嘴6和波纹管1吹出，第二输气管10中的气体能够进入至第一空腔15内，波纹管1的第一空腔15内充气后能够朝着固定喷嘴6方向拉伸。

[0035] 实施例2

[0036] 在实施例1的基础上，所述固定板4和活动板5均为四个，四个固定板4均匀地分布在槽体2其中两个相对的内壁上，四个活动板5均匀地分布在槽体2另外两个相对的内壁上，并且活动板5与固定板4位于同一水平面上。

[0037] 实施例3

[0038] 在实施例2的基础上，所述槽体2的两侧壁均设有两个电机，电机的输出端上均设有蜗杆，所述蜗杆上设有与蜗杆匹配的涡轮，所述涡轮的圆心处设有转动轴3，转动轴3一端与涡轮连接，另一端与活动板5连接。

[0039] 实施例4

[0040] 在实施例1的基础上，所述活动板5的内部设有第一腔体8，波纹管1的第二空腔16与第一腔体8连通，所述第一腔体8内设有连接板11，连接板11沿活动板5的长轴方向设置在第一腔体8内，所述活动板5的两侧均设有若干弹性件7，弹性件7一端与活动板5连接，另一端伸入至波纹管1的第二空腔16与波纹管1的末端连接。所述连接板11的内部设有第二腔体，第二输气管10与第二腔体连通，所述连接板11的两侧均设有若干第三输气管12，第三输气管12一端与第二腔体连通，另一端与第一空腔15连通。所述波纹管1的两侧均设有若干喇叭口形状的气孔13，气孔13沿着波纹管1的轴向方向均匀分布，并且气孔13与第二空腔16连通。所述波纹管1的端面为封闭结构，并且波纹管1的端面上设有喇叭口形状的喷口14，喷口14与第二空腔16连通。

[0041] 以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。