一种望远镜主镜检测与标定系统转让专利

申请号 : CN201911143434.6

文献号 : CN110779465B

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相似专利:

发明人 : 王文攀王建立王志臣李宏壮李洪文

申请人 : 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要 :

本发明公开了一种望远镜主镜检测与标定系统,包括主镜和计算全息元件;用于配合计算全息元件对主镜进行面型检测的干涉仪;用于配合计算全息元件来获取主镜的面型数据以便对主镜进行面型标定的夏克‑哈特曼标定装置;用于使干涉仪和夏克‑哈特曼标定装置切换工作的反射镜;与反射镜相连且用于驱动反射镜切入或切出的切换驱动装置,当反射镜从计算全息元件和干涉仪之间切出时,干涉仪对准计算全息元件和主镜,以对主镜进行面型检测;当反射镜切入计算全息元件和干涉仪之间时,反射镜遮挡干涉仪,使夏克‑哈特曼标定装置对准计算全息元件和所述主镜,以便对主镜进行面型标定。操作简单,减小了检测的复杂性和难度。

权利要求 :

1.一种望远镜主镜检测与标定系统,包括主镜(1)和计算全息元件(2),其特征在于,还包括:

用于配合所述计算全息元件(2)对所述主镜(1)进行面型检测的干涉仪(3);

用于配合所述计算全息元件(2)来获取所述主镜(1)的面型数据以便对所述主镜(1)进行面型标定的夏克‑哈特曼标定装置(4);

用于使所述干涉仪(3)和所述夏克‑哈特曼标定装置(4)切换工作的反射镜(5);

与所述反射镜(5)相连且用于驱动所述反射镜(5)切入或切出的切换驱动装置,所述切换驱动装置包括:用于设置所述反射镜(5)的支撑组件以及与所述支撑组件相连且用于驱动所述支撑组件直线往复移动的直线驱动机构;当所述反射镜(5)从所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间切出时,所述干涉仪(3)对准所述计算全息元件(2)和所述主镜(1),以对所述主镜(1)进行面型检测;当所述反射镜(5)切入所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间时,所述反射镜(5)遮挡所述干涉仪(3),并使所述主镜(1)的焦点折转至所述夏克‑哈特曼标定装置(4)中,使所述夏克‑哈特曼标定装置(4)对准所述计算全息元件(2)和所述主镜(1),以便于对所述主镜(1)进行面型标定。

2.根据权利要求1所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述反射镜(5)切入所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间时,所述反射镜(5)相对所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)之间的连线方向倾斜45度角,以使所述主镜(1)的焦点位置折转90度。

3.根据权利要求1所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述支撑组件包括:

与所述直线驱动机构的输出端相连的支撑座(61);

与所述支撑座(61)固定连接且用于设置所述反射镜(5)的镜框(62);

嵌设于所述镜框(62)的边缘部以压紧所述反射镜(5)的压圈(63)。

4.根据权利要求1所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述直线驱动机构包括:

电机(641)、与所述电机(641)的输出轴相连的螺杆和与所述螺杆螺纹连接的螺母(642),所述支撑组件与所述螺母(642)相连;

与所述螺杆平行设置且用于对所述支撑组件进行限位和导向的导向杆(65),所述支撑组件通过直线轴承(66)与所述导向杆(65)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述导向杆(65)的顶部设有用于对所述支撑组件进行限位的上限位座(651),所述导向杆(65)的底部与用于承载的底座(67)相连,所述上限位座(651)和所述底座(67)分别设有限位开关(68),所述支撑组件设有用于触发所述限位开关(68)的挡片(611);

还包括分别与所述电机(641)和所述限位开关(68)相连的控制器,以使所述控制器根据所述限位开关(68)的触发信号控制所述电机(641)停止转动。

6.根据权利要求1‑5任一项所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,还包括用于调整所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)的位姿的第一位姿调整装置,以使所述主镜(1)、所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)三者对准。

7.根据权利要求6所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述第一位姿调整装置包括两个位姿调整模组,所述计算全息元件(2)和所述干涉仪(3)分别与两个所述位姿调整模组一一对应相连。

8.根据权利要求7所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,还包括用于调整所述夏克‑哈特曼标定装置(4)的位姿的第二位姿调整装置,以使所述夏克‑哈特曼标定装置(4)与所述主镜(1)对准。

9.根据权利要求8所述的望远镜主镜检测与标定系统,其特征在于,所述位姿调整模组和所述第二位姿调整装置中的至少一者为五维调整台,所述五维调整台包括:底板(71)、X向移动板和与所述X向移动板螺纹连接以驱动所述X向移动板沿X轴移动的X向推拉顶丝(721),所述底板(71)与所述X向移动板之间设有X向滑轨导向机构(722);

Y向移动板和与所述Y向移动板螺纹连接以驱动所述Y向移动板沿Y轴移动的Y向推拉顶丝(731),所述Y向移动板与所述X向移动板之间设有Y向滑轨导向机构(732);

Z向移动座(741)和与所述Y向移动板相连的转接板,所述Z向移动座(741)与所述Y向移动板之间设有Z向滑轨导向机构(742),所述转接板设有与之螺纹连接的Z向推拉顶丝(743),以推动所述Z向移动座(741)沿Z轴移动;

与所述Z向移动座(741)转动连接的Z向转动板(751)和与所述Z向移动座(741)相连且用于推动所述Z向转动板(751)绕Z轴转动的Z向转动推拉顶丝(752);

与所述Z向转动板(751)通过偏摆支点(761)相连的偏摆板(762)和与所述Z向转动板(751)相连且用于推动所述偏摆板(762)绕所述偏摆支点(761)摆动的偏摆推拉顶丝(763),所述偏摆板(762)与所述Z向转动板(751)之间设有拉簧(764)。

说明书 :

一种望远镜主镜检测与标定系统

技术领域

[0001] 本发明涉及光学检测技术领域,更具体地说,涉及一种望远镜主镜检测与标定系统。

背景技术

[0002] 在光学检测技术领域,通常采用干涉仪与计算全息元件(CGH)对望远镜的主镜进行面型检测,以判断主镜的面型是否合格。
[0003] 而随着望远镜口径的增大,望远镜的主镜支撑已经由被动支撑转变为主动支撑,因此,在实际应用中,为了保持镜面的良好面型,必须利用力促动器对面型进行校正。
[0004] 为此,现有技术中通常在主镜检测阶段利用夏克‑哈特曼(S‑H)系统对主镜进行面型标定,也即,当采用干涉仪与计算全息元件(CGH)检测到面型不合格时,将干涉仪撤掉,安
装夏克‑哈特曼(S‑H)系统并调好位置后,获取主镜的面型数据,通过对面型数据进行处理,
得到响应函数,进而与力促动器形成闭环,通过力促动器对主镜的面型进行调整校正。
[0005] 然而,在主镜的检测与标定的过程中,需要频繁切换干涉仪和夏克‑哈特曼(S‑H)系统,通过反复测量和响应测试,来保证镜面的良好面型,不仅操作繁琐,而且对切换精度
和重复精度要求很高,另外,由于干涉仪和夏克‑哈特曼(S‑H)系统分别与主镜对准的难度
也较大,因此,进一步增加了检测的复杂性。
[0006] 综上所述,如何提供一种能够减小检测的复杂性及难度的望远镜主镜检测与标定系统,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

[0007] 有鉴于此,本发明的目的是提供一种望远镜主镜检测与标定系统,操作简单,减小了检测的复杂性和难度。
[0008] 为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
[0009] 一种望远镜主镜检测与标定系统,包括主镜和计算全息元件,还包括:
[0010] 用于配合所述计算全息元件对所述主镜进行面型检测的干涉仪;
[0011] 用于配合所述计算全息元件来获取所述主镜的面型数据以便对所述主镜进行面型标定的夏克‑哈特曼标定装置;
[0012] 用于使所述干涉仪和所述夏克‑哈特曼标定装置切换工作的反射镜;
[0013] 与所述反射镜相连且用于驱动所述反射镜切入或切出的切换驱动装置,当所述反射镜从所述计算全息元件和所述干涉仪之间切出时,所述干涉仪对准所述计算全息元件和
所述主镜,以对所述主镜进行面型检测;当所述反射镜切入所述计算全息元件和所述干涉
仪之间时,所述反射镜遮挡所述干涉仪,并使所述主镜的焦点折转至所述夏克‑哈特曼标定
装置中,使所述夏克‑哈特曼标定装置对准所述计算全息元件和所述主镜,以便于对所述主
镜进行面型标定。
[0014] 优选地,所述反射镜切入所述计算全息元件和所述干涉仪之间时,所述反射镜相对所述计算全息元件和所述干涉仪之间的连线方向倾斜45度角,以使所述主镜的焦点位置
折转90度。
[0015] 优选地,所述切换驱动装置包括:
[0016] 用于设置所述反射镜的支撑组件;
[0017] 与所述支撑组件相连且用于驱动所述支撑组件直线往复移动的直线驱动机构。
[0018] 优选地,所述支撑组件包括:
[0019] 与所述直线驱动机构的输出端相连的支撑座;
[0020] 与所述支撑座固定连接且用于设置所述反射镜的镜框;
[0021] 嵌设于所述镜框的边缘部以压紧所述反射镜的压圈。
[0022] 优选地,所述直线驱动机构包括:
[0023] 电机、与所述电机的输出轴相连的螺杆和与所述螺杆螺纹连接的螺母,所述支撑组件与所述螺母相连;
[0024] 与所述螺杆平行设置且用于对所述支撑组件进行限位和导向的导向杆,所述支撑组件通过直线轴承与所述导向杆滑动连接。
[0025] 优选地,所述导向杆的顶部设有用于对所述支撑组件进行限位的上限位座,所述导向杆的底部与用于承载的底座相连,所述上限位座和所述底座分别设有限位开关,所述
支撑组件设有用于触发所述限位开关的挡片;
[0026] 还包括分别与所述电机和所述限位开关相连的控制器,以使所述控制器根据所述限位开关的触发信号控制所述电机停止转动。
[0027] 优选地,还包括用于调整所述计算全息元件和所述干涉仪的位姿的第一位姿调整装置,以使所述主镜、所述计算全息元件和所述干涉仪三者对准。
[0028] 优选地,所述第一位姿调整装置包括两个位姿调整模组,所述计算全息元件和所述干涉仪分别与两个所述位姿调整模组一一对应相连。
[0029] 优选地,还包括用于调整所述夏克‑哈特曼标定装置的位姿的第二位姿调整装置,以使所述夏克‑哈特曼标定装置与所述主镜对准。
[0030] 优选地,所述位姿调整模组和所述第二位姿调整装置中的至少一者为五维调整台,所述五维调整台包括:
[0031] 底板、X向移动板和与所述X向移动板螺纹连接以驱动所述X向移动板沿X轴移动的X向推拉顶丝,所述底板与所述X向移动板之间设有X向滑轨导向机构;
[0032] Y向移动板和与所述Y向移动板螺纹连接以驱动所述Y向移动板沿Y轴移动的Y向推拉顶丝,所述Y向移动板与所述X向移动板之间设有Y向滑轨导向机构;
[0033] Z向移动座和与所述Y向移动板相连的转接板,所述Z向移动座与所述Y向移动板之间设有Z向滑轨导向机构,所述转接板设有与之螺纹连接的Z向推拉顶丝,以推动所述Z向移
动座沿Z轴移动;
[0034] 与所述Z向移动座转动连接的Z向转动板和与所述Z向移动座相连且用于推动所述Z向转动板绕Z轴转动的Z向转动推拉顶丝;
[0035] 与所述Z向转动板通过偏摆支点相连的偏摆板和与所述Z向转动板相连且用于推动所述偏摆板绕所述偏摆支点摆动的偏摆推拉顶丝,所述偏摆板与所述Z向转动板之间设
有拉簧。
[0036] 本发明提供的望远镜主镜检测与标定系统,将干涉仪和夏克‑哈特曼标定装置集成于同一个系统中,通过切换驱动装置驱动反射镜移动,使反射镜切入计算全息元件和干
涉仪之间,或从计算全息元件和干涉仪之间切出。当反射镜从计算全息元件和干涉仪之间
切出时,可利用干涉仪和计算全息元件对主镜进行面型检测;当反射镜切入计算全息元件
和干涉仪之间时,可利用夏克‑哈特曼标定装置和计算全息元件来获取主镜的面型数据,以
便于根据该面型数据实现对主镜面型的标定。
[0037] 也即,通过反射镜的切入或切出,实现干涉仪和夏克‑哈特曼标定装置的切换工作,从而可实现对主镜进行面型检测和面型标定的快速分时工作。相比于现有技术通过频
繁切换干涉仪和夏克‑哈特曼(S‑H)系统来实现对面型的检测和标定,该望远镜主镜检测与
标定系统无需反复拆装干涉仪和夏克‑哈特曼标定装置,操作简单,而且,可以随时进行检
测和标定的切换,对反射镜的切换精度和重复精度要求不高;另外,只需要对干涉仪和夏
克‑哈特曼标定装置的位姿调整一次,使两者分别与主镜对准即可,后续的每次测量或标定
均无需再次调整干涉仪和夏克‑哈特曼标定装置的位姿,因此,进一步降低了操作的复杂性
和难度;进一步地,干涉仪的检测数据与夏克‑哈特曼标定装置获取的面型数据可以相互验
证,提高了系统的可靠性。

附图说明

[0038] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本
发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据
提供的附图获得其它的附图。
[0039] 图1为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统处于主镜标定状态的示意图;
[0040] 图2为图1所示望远镜主镜检测与标定系统处于主镜检测状态的示意图;
[0041] 图3为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统中切换驱动装置的结构示意图;
[0042] 图4为图3的半剖视图;
[0043] 图5为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统中五维调整台的结构示意图;
[0044] 图6为图5的剖视图。
[0045] 图1至图6中的附图标记如下:
[0046] 1为主镜、2为计算全息元件、3为干涉仪、4为夏克‑哈特曼标定装置、41为准直镜及分色镜组、42为光源、43为哈特曼相机、5为反射镜、61为支撑座、611为挡片、62为镜框、63为
压圈、641为电机、642为螺母、65为导向杆、651为上限位座、66为直线轴承、661为卡环、67为
底座、68为限位开关、69为压簧、71为底板、721为X向推拉顶丝、722为X向滑轨导向机构、731
为Y向推拉顶丝、732为Y向滑轨导向机构、741为Z向移动座、742为Z向滑轨导向机构、743为Z
向推拉顶丝、751为Z向转动板、752为Z向转动推拉顶丝、761为偏摆支点、762为偏摆板、763
为偏摆推拉顶丝、764为拉簧。

具体实施方式

[0047] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它
实施例,都属于本发明保护的范围。
[0048] 本发明的核心是提供一种望远镜主镜检测与标定系统,操作简单,减小了检测的复杂性和难度。
[0049] 请参考图1和图2,图1为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统处于主镜1标定状态的示意图;图2为图1所示望远镜主镜检测与标定系统处于主镜1检测状
态的示意图。
[0050] 本发明提供一种望远镜主镜检测与标定系统,包括主镜1、计算全息元件2、干涉仪3、夏克‑哈特曼标定装置4、反射镜5和切换驱动装置。
[0051] 需要说明的是,本发明中的主镜1主要指本领域中大口径望远镜对应的主镜1;本发明中的计算全息元件2的主体结构及其功能原理分别与现有技术中常规的计算全息元件
2的结构及功能原理相同,本文不再赘述。
[0052] 另外,干涉仪3用于配合计算全息元件2对主镜1进行面型检测,其检测方法与现有技术中的检测方法相同,本文不再赘述。
[0053] 优选地,干涉仪3为4D干涉仪3。
[0054] 夏克‑哈特曼标定装置4用于配合计算全息元件2来获取主镜1的面型数据,以便对主镜1进行面型标定,夏克‑哈特曼标定装置4的结构及其工作原理也可以参见现有技术,本
文不做具体限定。
[0055] 本发明的重点在于,将干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4集成于一个系统中,并通过增设反射镜5,利用切换驱动装置驱动反射镜5切入或切出计算全息元件2和干涉仪3之
间,来实现干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4的切换工作,从而可实现对主镜1进行面型检
测和面型标定的分时工作。
[0056] 具体地,反射镜5与切换驱动装置相连,切换驱动装置用于驱动反射镜5运动,以使反射镜5切入计算全息元件2和干涉仪3之间,或使反射镜5从计算全息元件2和干涉仪3之间
切出。
[0057] 当反射镜5从计算全息元件2和干涉仪3之间切出时,干涉仪3对准计算全息元件2和主镜1,此时,该望远镜主镜检测与标定系统处于主镜1检测状态,通过干涉仪3和计算全
息元件2可对主镜1进行面型检测。
[0058] 当反射镜5切入计算全息元件2和干涉仪3之间时,反射镜5遮挡干涉仪3,并使夏克‑哈特曼标定装置4对准计算全息元件2和主镜1,此时,该望远镜主镜检测与标定系统处
于主镜1标定状态,通过夏克‑哈特曼标定装置4和计算全息元件2可获取主镜1的面型数据,
通过对夏克‑哈特曼标定装置4获取的面型数据进行处理,可得到响应函数,以便于根据该
响应函数通过力促器来对主镜1的面型进行校正,以实现对主镜1面型的标定。
[0059] 考虑到夏克‑哈特曼标定装置4制作的方便性,作为一种优选方案,夏克‑哈特曼标定装置4包括准直镜及分色镜组41、光源42和哈特曼相机43。工作时,光源42发射可见红光,
通过准直镜及分色镜组41、反射镜5及计算全息元件2后到达主镜1,并沿原路返回至哈特曼
相机43,从而可获取主镜1的面型数据。
[0060] 由此可以看出,本发明提供的望远镜主镜检测与标定系统,将干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4集成于同一个系统中,通过切换驱动装置驱动反射镜5移动,使反射镜5切入
计算全息元件2和干涉仪3之间,或从计算全息元件2和干涉仪3之间切出。当反射镜5从计算
全息元件2和干涉仪3之间切出时,可利用干涉仪3和计算全息元件2对主镜1进行面型检测;
当反射镜5切入计算全息元件2和干涉仪3之间时,可利用夏克‑哈特曼标定装置4和计算全
息元件2来获取主镜1的面型数据,以便于根据该面型数据实现对主镜1面型的标定。
[0061] 也即,通过反射镜5的切入或切出,实现干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4的切换工作,从而可实现对主镜1进行面型检测和面型标定的快速分时工作。相比于现有技术通过
频繁切换干涉仪3和夏克‑哈特曼(S‑H)系统来实现对面型的检测和标定,该望远镜主镜检
测与标定系统无需反复拆装干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4,操作简单,而且,可以随时
进行检测和标定的切换,对反射镜5的切换精度和重复精度要求不高;另外,只需要对干涉
仪3和夏克‑哈特曼标定装置4的位姿调整一次,使两者分别与主镜1对准即可,后续的每次
测量或标定均无需再次调整干涉仪3和夏克‑哈特曼标定装置4的位姿,因此,进一步降低了
操作的复杂性和难度;进一步地,干涉仪3的检测数据与夏克‑哈特曼标定装置4获取的面型
数据可以相互验证,提高了系统的可靠性。
[0062] 可以理解的是,在上述实施例中,夏克‑哈特曼标定装置4的具体设置位置与反射镜5的倾斜角度有关,本发明对反射镜5的具体倾斜角度不做限定,只要能够保证反射镜5可
遮挡干涉仪3的光路,并能够使夏克‑哈特曼标定装置4与主镜1之间的光路导通即可。
[0063] 作为一种优选方案,在上述实施例的基础之上,反射镜5切入计算全息元件2和干涉仪3之间时,反射镜5相对计算全息元件2和干涉仪3之间的连线方向倾斜45度角,以使主
镜1的焦点位置折转90度。
[0064] 本发明对切换驱动装置的具体结构不做限定,只要能够驱动反射镜5运动,以实现反射镜5切入或切出计算全息元件2和干涉仪3之间即可。
[0065] 请参考图3和图4,图3为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统中切换驱动装置的结构示意图;图4为图3的半剖视图。
[0066] 考虑到反射镜5运动的简单及便于实现性,在上述各个实施例的基础之上,切换驱动装置包括用于设置反射镜5的支撑组件和与支撑组件相连的直线驱动机构。
[0067] 也即,本实施例通过直线驱动机构驱动支撑组件进行直线往复移动,来实现反射镜5的切入和切出运动,运动简单,方便控制。
[0068] 考虑到支撑组件的具体结构,在上述实施例的基础之上,支撑组件包括支撑座61、镜框62和压圈63。
[0069] 支撑座61主要起到承载和传递运动的作用,支撑座61与直线驱动机构的输出端相连。
[0070] 镜框62固定安装在支撑座61上,优选地,支撑座61设有用于安装镜框62的安装槽,镜框62固设于该安装槽内,以避免反射镜5的镜面凸出于支撑座61的端面,从而可保护反射
镜5。
[0071] 压圈63嵌设于镜框62的边缘部,以压紧反射镜5,确保反射镜5安装的牢固性。
[0072] 考虑到直线驱动机构具体结构的实现,在上述各个实施例的基础之上,直线驱动机构包括电机641、与电机641的输出轴相连的螺杆、与螺杆螺纹连接的螺母642和与螺杆平
行设置的导向杆65,支撑组件与螺母642相连,同时,支撑组件与导向杆65滑动连接,导向杆
65用于对支撑组件进行限位和导向。
[0073] 也就是说,本实施例通过电机641的正反转,来带动螺杆转动,从而在导向杆65的限位作用下,使螺母642带动支撑组件沿螺杆的长度方向往复移动,以此实现反射镜5的切
入或切出。
[0074] 考虑到反射镜5运动的平稳性,优选地,支撑组件通过直线轴承66与导向杆65滑动连接。
[0075] 优选地,导向杆65的数量为两个,支撑组件分别通过直线轴承66与两个导向杆65滑动连接,以进一步确保反射镜5运动的平稳性。
[0076] 优选地,还包括用于对直线轴承66进行轴向限位的卡环661。
[0077] 另外,为了消除螺母642与螺杆之间的间隙,避免支撑组件在运动过程中卡顿等,优选地,支撑组件设有凸缘,凸缘设有用于供螺杆穿过的让位孔,螺母642与凸缘之间设有
压簧69。
[0078] 为了对反射镜5切入或切出的极限位置进行限定,在上述实施例的基础之上,导向杆65的顶部设有用于对支撑组件进行限位的上限位座651,导向杆65的底部与用于承载的
底座67相连,上限位座651和底座67分别设有限位开关68,支撑组件设有用于触发限位开关
68的挡片611,该望远镜主镜检测与标定系统还包括分别与电机641和限位开关68相连的控
制器,以使控制器根据限位开关68的触发信号控制电机641停止转动。
[0079] 考虑到结构的限制,优选地,支撑组件设有两个挡片611,分别用于对应触发上限位座651和底座67上的限位开关68。
[0080] 也就是说,当挡片611触发上限位座651上的限位开关68时,表明支撑组件移动至最高位置,此时,上限位座651上的限位开关68将这一触发信号发送至控制器,控制器根据
其接收到的触发信号控制电机641停止转动,从而使反射镜5停止移动,使反射镜5停留在切
入或切出的极限位置处。
[0081] 当挡片611触发底座67上的限位开关68时,表明支撑组件移动至最低位置,此时,底座67上的限位开关68将这一触发信号发送至控制器,控制器根据其接收到的触发信号控
制电机641停止转动,从而使反射镜5停止移动,使反射镜5停留在切出或切入的极限位置
处。
[0082] 可以理解的是,在利用干涉仪3和计算全息元件2对主镜1进行面型检测之前,需要首先使干涉仪3和计算全息元件2均与主镜1对准,因此,在上述任意一项实施例的基础之
上,还包括用于调整计算全息元件2和干涉仪3的位姿的第一位姿调整装置,以使主镜1、计
算全息元件2和干涉仪3三者对准。
[0083] 需要说明的是,本实施例对第一位姿调整装置的具体结构及其位姿调整方式不做限定,只要能够调整干涉仪3和计算全息元件2的位姿,使两者均与主镜1对准即可。例如,第
一位姿调整装置可以调整干涉仪3与计算全息元件2的相对位置,以使干涉仪3与计算全息
元件2对准,并且,
[0084] 第一位姿调整装置可整体调整干涉仪3和计算全息元件2的位姿,使两者再与主镜1对准,对准的标准请参见现有技术,例如,可以使干涉仪3检测的主镜1面型数据的均方值
最小,并与设计分析的结果相一致,本文不做具体详述。
[0085] 作为一种优选方案,在上述实施例的基础之上,第一位姿调整装置包括两个位姿调整模组,计算全息元件2和干涉仪3分别与两个位姿调整模组一一对应相连。
[0086] 也即,本实施例通过两个位姿调整模组来分别调整干涉仪3和计算全息元件2的位姿,使得调整灵活方便。
[0087] 另外,为了使夏克‑哈特曼标定装置4与主镜1对准,在上述各个实施例的基础之上,还包括用于调整夏克‑哈特曼标定装置4的位姿的第二位姿调整装置,以使夏克‑哈特曼
标定装置4与主镜1对准。
[0088] 需要说明的是,本实施例对第二位姿调整装置的具体结构及其位姿调整方式不做限定,只要能够调整夏克‑哈特曼标定装置4的位姿,使夏克‑哈特曼标定装置4与主镜1对准
即可。
[0089] 第二位姿调整装置可以与位姿调整模组的结构相同,也可以与位姿调整模组的结构不同,优选地,第二位姿调整装置与单个位姿调整模组的结构相同。
[0090] 考虑到第二位姿调整装置和/或单个位姿调整模组的具体结构,在上述实施例的基础之上,位姿调整模组和第二位姿调整装置中的至少一者为五维调整台,请参考图4和图
5,图4为本发明具体实施例所提供的望远镜主镜检测与标定系统中五维调整台的结构示意
图;图5为图4的剖视图。
[0091] 五维调整台包括底板71、X向移动板、X向推拉顶丝721、X向滑轨导向机构722、Y向移动板、Y向推拉顶丝731、Y向滑轨导向机构732、Z向移动座741、转接板、Z向推拉顶丝743、Z
向滑轨导向机构742、Z向转动板751、Z向转动推拉顶丝752、偏摆板762和偏摆推拉顶丝763
等。
[0092] 具体地,底板71与X向移动板之间设有X向滑轨导向机构722,X向推拉顶丝721与X向移动板之间螺纹连接,以通过旋拧X向推拉顶丝721,使X向移动板沿空间直角坐标系的X
轴移动,通过改变X向推拉顶丝721的旋拧方向,可改变X向移动板的移动方向。
[0093] 优选地,X向移动板设有用于与X向推拉顶丝721螺纹连接的固定块,底板71设有用于顶推X向推拉顶丝721以避免X向推拉顶丝721轴向移动的顶推块。
[0094] Y向移动板与X向移动板之间设有Y向滑轨导向机构732,Y向推拉顶丝731与Y向移动板之间螺纹连接,以通过旋拧Y向推拉顶丝731,使Y向移动板沿空间直角坐标系的Y轴移
动,通过改变Y向推拉顶丝731的旋拧方向,可改变Y向移动板的移动方向。
[0095] 优选地,Y向移动板设有用于与Y向推拉顶丝731螺纹连接的固定块,X向移动板设有用于顶推Y向推拉顶丝731以避免Y向推拉顶丝731轴向移动的顶推块。
[0096] Z向移动座741与Y向移动板之间设有Z向滑轨导向机构742,转接板与Z向移动座741相连,Z向推拉顶丝743与转接板之间螺纹连接,以通过旋拧Z向推拉顶丝743,使Z向推拉
顶丝743推动Z向移动座741沿空间坐标系的Z轴移动,通过改变Z向推拉顶丝743的旋拧方
向,可改变Z向移动座741的移动方向。
[0097] Z向转动板751与Z向移动座741转动连接,Z向转动推拉顶丝752与Z向移动座741螺纹连接,以通过旋拧Z向转动推拉顶丝752,使Z向转动推拉顶丝752推动Z向转动板751绕空
间直角坐标系的Z轴转动。
[0098] 优选地,Z向转动板751设有用于与Z向转动推拉顶丝752的末端相抵的顶推块,以使Z向转动推拉顶丝752通过推动该顶推块,来推动Z向转动板751转动。
[0099] 偏摆板762通过偏摆支点761与Z向转动板751相连,偏摆推拉顶丝763与Z向转动板751螺纹连接,以通过旋拧偏摆推拉顶丝763,使偏摆推拉顶丝763推动偏摆板762绕偏摆支
点761摆动;偏摆板762与Z向转动板751之间设有拉簧764。
[0100] 可以理解的是,干涉仪3、计算全息元件2或夏克‑哈特曼标定装置4设置在偏摆板762上。
[0101] 还需要说明的是,在本说明书中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作
之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
[0102] 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0103] 以上对本发明所提供的望远镜主镜检测与标定系统进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解
本发明的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本
发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明
权利要求的保护范围内。