一种元素检测装置、标样及元素检测装置校准方法

摘要

本发明提供一种元素检测装置、标样及元素检测装置校准方法，所述元素检测装置的测试台面上设置有检测口，所述测试台面上还设有距离标识，所述距离标识用于标识所述测试台面上的目标点距所述检测口的中心的距离；所述标样的非测试面上设有角度标识，所述角度标识用于标识所述标样上的目标点转动至所述标样上的基准点的角度。这样，通过在元素检测装置上设置距离标识，并在标样上设置角度标识，可以实现将标样上的目标校准点精确对准检测口，从而不仅不易出现校准测试失败的现象，还能保证充分利用标样的测试面，避免造成标样的浪费；且由于元素检测装置得以精确校准，从而能够有效提高使用该元素检测装置进行元素检测时的精确性。

权利要求

1.一种元素检测装置，其特征在于，所述元素检测装置的测试台面上设置有检测口，所述测试台面上还设有距离标识，所述距离标识用于标识所述测试台面上的目标点距所述检测口的中心的距离。

2.根据权利要求1所述的元素检测装置，其特征在于，所述距离标识为沿所述检测口的中心指向所述测试台面的边缘方向的标识。

3.根据权利要求1所述的元素检测装置，其特征在于，所述距离标识采用刻度尺、弧线、直线、圆点或颜色进行标识。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的元素检测装置，其特征在于，所述检测口的直径为2.5mm，所述距离标识上标识有距所述检测口的中心的距离为3jmm的目标点所在位置，其中，j为大于或等于1的整数。

5.一种标样，其特征在于，用于对权利要求1至4中任一项所述的元素检测装置进行校准，所述标样的非测试面上设有角度标识，所述角度标识用于标识所述标样上的目标点转动至所述标样上的基准点的角度。

6.根据权利要求5所述的标样，其特征在于，所述角度标识分布在所述标样的非测试面的边缘。

7.根据权利要求5所述的标样，其特征在于，所述角度标识采用刻度尺、直线、圆点或颜色进行标识。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的标样，其特征在于，所述标样的直径为32mm，所述角度标识上标识有转动至所述基准点的角度分别为15k°和18k°的目标点所在位置，其中，k为大于或等于1的整数，15k°<360°，18k°<360°。

9.根据权利要求5至7中任一项所述的标样，其特征在于，所述标样的非测试面上还设有环线标识，所述环线标识用于标识所述标样上各校准环线所在的位置，其中，相邻校准环线之间的间距大于所述元素检测装置的检测口的直径。

10.一种标样，其特征在于，用于对元素检测装置进行校准，所述标样的非测试面上设有校准点标识，所述校准点标识用于标识所述标样上各目标校准点所在的位置，其中，各目标校准点之间均无重叠。

11.一种元素检测装置校准方法，其特征在于，采用权利要求5至9中任一项所述的标样对权利要求1至4中任一项所述的元素检测装置进行校准，所述方法包括：根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点；

利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，以对所述元素检测装置进行校准测试。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点，包括：根据所述标样的直径D1和所述检测口的直径D2，确定所述标样的测试面上距标样边缘的距离分别为S1、S2、…、Sn的校准环线，得到每个校准环线的直径Rn，其中，Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d，Rn＝D1-2Sn，SnD2，Sedge为标样边缘排除距离，d为校准环线之间的间距；

确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，得到每个校准环线上的目标校准点所在位置。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，包括：按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，其中，INT为向下取整函数。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm。

15.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，包括：利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，并基于计算所得的Sn和An，依次将直径为R1、R2、…、Rn的校准环线上的各目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，其中，每测试完直径为Rn的校准环线上的一个目标校准点，将所述标样转动角度An,每测试完一个校准环线上的所有目标校准点，将所述标样上移距离d。

说明书

一种元素检测装置、标样及元素检测装置校准方法

技术领域

[0001] 本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种元素检测装置、标样及元素检测装置校准方法。

背景技术

[0002] 辉光放电光谱技术(Glow Discharge-Optical Emission Spectrometer，简称GD-OES)是一种基于辉光放电原理，对固体样品成分(如喷涂、含金镀层、半导体、有机涂层等)进行检测分析的技术，其基本原理是：辉光放电腔室内充满低压氩气，当施加在放电两极的电压达到一定值，超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电，放电气体离解为正电荷离子和自由电子，在电场的作用下，正电荷离子加速轰击到样品表面，产生阴极溅射，在放电区域内，溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光，而不同元素所发射的光的波长不同，从而可通过对光谱的分析，计算得出各元素的浓度。

[0003] 由于GD-OES为破坏性的测试，标样上的每个位置在校准测试一次后便会被正电荷离子刻蚀，因此，若再对该位置进行测试，将导致测试失效，对于透明的标样，测试人员较容易通过肉眼判断出标样上哪些点属于已经测试过的点，因而也较容易避免测试失效的问题。然而，对于非透明的标样(如金属标样)，则很难通过肉眼精准定位标样上可供测试的位置，因此，也易出现因测试位置与之前已测试位置重叠而导致测试失效，例如如图1中所示的无效测试点10。

[0004] 这样，由于现有校准测试方式难以实现精确对准，从而不仅易导致校准测试失败，而且还会导致标样的测试面难以得到充分的利用，进而造成标样的浪费，增加校准测试成本。

发明内容

[0005] 本发明实施例的目的在于提供一种元素检测装置、标样及元素检测装置校准方法，解决了现有校准测试方式难以实现精确对准的问题。

[0006] 为了达到上述目的，本发明实施例提供一种元素检测装置，所述元素检测装置的测试台面上设置有检测口，所述测试台面上还设有距离标识，所述距离标识用于标识所述测试台面上的目标点距所述检测口的中心的距离。

[0007] 可选的，所述距离标识为沿所述检测口的中心指向所述测试台面的边缘方向的标识。

[0008] 可选的，所述距离标识采用刻度尺、弧线、直线、圆点或颜色进行标识。

[0009] 可选的，所述检测口的直径为2.5mm，所述距离标识上标识有距所述检测口的中心的距离为3jmm的目标点所在位置，其中，j为大于或等于1的整数。

[0010] 本发明实施例还提供一种标样，用于对本发明实施例提供的元素检测装置进行校准，所述标样的非测试面上设有角度标识，所述角度标识用于标识所述标样上的目标点转动至所述标样上的基准点的角度。

[0011] 可选的，所述角度标识分布在所述标样的非测试面的边缘。

[0012] 可选的，所述角度标识采用刻度尺、直线、圆点或颜色进行标识。

[0013] 可选的，所述标样的直径为32mm，所述角度标识上标识有转动至所述基准点的角度分别为15k°和18k°的目标点所在位置，其中，k为大于或等于1的整数，15k°<360°，18k°<360°。

[0014] 可选的，所述标样的非测试面上还设有环线标识，所述环线标识用于标识所述标样上各校准环线所在的位置，其中，相邻校准环线之间的间距大于所述元素检测装置的检测口的直径。

[0015] 本发明实施例还提供一种标样，用于对元素检测装置进行校准，所述标样的非测试面上设有校准点标识，所述校准点标识用于标识所述标样上各目标校准点所在的位置，其中，各目标校准点之间均无重叠。

[0016] 本发明实施例还提供一种元素检测装置校准方法，采用本发明实施例提供的标样对本发明实施例提供的元素检测装置进行校准，所述方法包括：

[0017] 根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点；

[0018] 利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，以对所述元素检测装置进行校准测试。

[0019] 可选的，所述根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点，包括：

[0020] 根据所述标样的直径D1和所述检测口的直径D2，确定所述标样的测试面上距标样边缘的距离分别为S1、S2、...、Sn的校准环线，得到每个校准环线的直径Rn，其中，Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d，Rn＝D1-2Sn，Sn＜D1/2-d，d＞D2，Sedge为标样边缘排除距离，d为校准环线之间的间距；

[0021] 确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，得到每个校准环线上的目标校准点所在位置。

[0022] 可选的，所述确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，包括：

[0023] 按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，其中，INT为向下取整函数。

[0024] 可选的，D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm。

[0025] 可选的，所述利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，包括：

[0026] 利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，并基于计算所得的Sn和An，依次将直径为R1、R2、…、Rn的校准环线上的各目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，其中，每测试完直径为Rn的校准环线上的一个目标校准点，将所述标样转动角度An，每测试完一个校准环线上的所有目标校准点，将所述标样上移距离d。

[0027] 本发明实施例中，通过在元素检测装置上设置距离标识，并在标样上设置角度标识，可以实现将标样上的目标校准点精确对准检测口，从而不仅不易出现校准测试失败的现象，还能保证充分利用标样的测试面，避免造成标样的浪费；且由于元素检测装置得以精确校准，从而能够有效提高使用该元素检测装置进行元素检测时的精确性。

附图说明

[0028] 图1为本发明实施例提供的标样上的无效测试点的示意图；

[0029] 图2为本发明实施例提供的设有距离标识的测试台面的结构示意图；

[0030] 图3为本发明实施例提供的设有角度标识的标样的结构示意图；

[0031] 图4为本发明实施例提供的设有角度标识和环线标识的标样的结构示意图；

[0032] 图5为本发明实施例提供的设有校准点标识的标样的结构示意图；

[0033] 图6为本发明实施例提供的确定标样上的目标校准点的示意图；

[0034] 图7a为本发明实施例提供的将标样上的目标校准点对准测试台面的检测口的示意图之一；

[0035] 图7b为本发明实施例提供的将标样上的目标校准点对准测试台面的检测口的示意图之二；

[0036] 图7c为本发明实施例提供的将标样上的目标校准点对准测试台面的检测口的示意图之三；

[0037] 图7d为本发明实施例提供的将标样上的目标校准点对准测试台面的检测口的示意图之四。

具体实施方式

[0038] 为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

[0039] 本发明实施例提供一种元素检测装置，如图2所示，所述元素检测装置的测试台面20上设置有检测口21，测试台面20上还设有距离标识22，距离标识22用于标识测试台面20上的目标点距检测口21的中心的距离。

[0040] 本发明实施例中，所述元素检测装置可以是基于辉光放电原理，可对固体样品成分(如喷涂、含金镀层、半导体、有机涂层等)进行检测分析的装置，如辉光放电光谱仪。

[0041] 本实施例中，如图2所示，所述元素检测装置的测试台面20上设置有检测口21，具体可以是在测试台面20的中心设置检测口21；测试台面20上还设有距离标识22，距离标识22用于标识测试台面20上的目标点距检测口21的中心的距离，具体地，可以是以检测口21的中心作为原点，使用刻度、符号或其他形状等标识测试台面20上的目标点距检测口21的中心的距离，测试台面20上的目标点可以是测试台面上距检测口21的中心的距离为预设距离(如1mm、3mm、5mm等)的点。

[0042] 其中，距离标识22可以是采用印刷、刻划或喷涂等方式在测试台面20上进行制作。

[0043] 这样，测试人员可以通过测试台面20上的距离标识22，将标样上位于目标校准环线的目标校准点对准检测口21，以利用标样上目标校准环线的目标校准点对所述元素检测装置进行校准测试，且能有效避免测试失效的问题。

[0044] 可选的，距离标识22为沿检测口21的中心指向测试台面20的边缘方向的标识。

[0045] 该实施方式中，如图2所示，距离标识22可以为沿检测口21的中心指向测试台面20的边缘方向的标识，例如：测试台面20为圆形，且检测口21位于测试台面20的中心时，可以在测试台面20上的一条半径上设置距离标识22。

[0046] 这样，只需通过在测试台面20上沿检测口21的中心指向测试台面20的边缘方向设置距离标识22，便可标识测试台面20上距检测口21的中心的距离为目标距离的目标点所在位置，进而可使测试人员通过距离标识22完成标样与检测口21的校准，且距离标识22具备简洁美观的效果。

[0047] 可选的，距离标识22采用刻度尺、弧线、直线、圆点或颜色进行标识。

[0048] 该实施方式中，距离标识22可以采用刻度尺进行标识，例如：图2中所示的距离标识22是采用刻度尺的方式进行标识，使用刻度线标识每个刻度线处距检测口21的中心的距离，具体地，可以每1mm使用细短刻度线标识，每5mm使用细长刻度线标识。这样，通过距离标识上的刻度，可以方便地定位距检测口21的中心的距离为目标距离的目标点。

[0049] 距离标识22也可以采用弧线进行标识，每一根弧线可表示位于该弧线处的环线的半径或直径，这样，当标样为圆形时，通过该弧线距离标识可以更方便和准确地将标样的边缘对准测试台面20上的目标弧线。

[0050] 距离标识22还可以采用直线、圆点或颜色进行标识，例如：在测试台面20上距检测口21的中心的距离为预设距离的目标点处使用直线、圆点或其他形状进行标识，对于不同的目标点，还可以使用不同的颜色进行标识，以使测试人员能够通过不同颜色标识更为清楚直观地区分不同目标点距检测口21的中心的距离。

[0051] 可选的，检测口21的直径为2.5mm，距离标识22上标识有距检测口21的中心的距离为3jmm的目标点所在位置，其中，j为大于或等于1的整数。

[0052] 由于现有元素检测装置的检测口直径一般为2.5mm左右，因此，该实施方式中，检测口21的直径可以为2.5mm，距离标识22上可以标识有距检测口21的中心的距离为3jmm的目标点所在位置，例如：3mm、6mm、9mm和12mm等，这样，可方便测试人员将标样的边缘分别对准测试台面20上距检测口21的中心的距离为3jmm的目标点，以对标样上距边缘分别为3mm、6mm、9mm和12mm等的校准环线上的目标校准点进行测试，且能保证位于不同校准环线上的目标校准点不会彼此重叠。

[0053] 本实施例中的元素检测装置，通过在其测试台面上设置距离标识，可方便测试人员通过该距离标识来将标样上的目标校准点与测试台面上的检测口进行对准，进而避免校准测试失效问题，并提高标样的利用率。

[0054] 如图3所示，本发明实施例提供一种标样30，用于对图2所示的实施例中提供的元素检测装置进行校准，标样30的非测试面上设有角度标识31，角度标识31用于标识标样30上的目标点转动至标样30上的基准点32的角度。

[0055] 本实施例中，所述标样可以是用于对图2所示的实施例中提供的元素检测装置进行校准的标准样品，一般为圆形的表面经过打磨抛光的样品。为了避免元素检测装置由于测试样品的积累和检测口的污染而导致检测偏差，因此，测试人员通常每隔一段时间便要对元素检测装置进行校准，以保证测试的精度，而在每次的校准测试中，便需要使用所述标样。

[0056] 如图3所示，标样30的非测试面上可以设有角度标识31，角度标识31用于标识标样30上的目标点转动至标样30上的基准点32的角度，其中，标样30的非测试面为与标样30的测试面相对的背面，具体地，可以是取标样30上的某一点作为基准点32，即0°所在点，然后使用刻度、符合或颜色等标识标样30上的目标点转动至基准点32的角度，标样30上的目标点可以是标样30上转动至基准点32的角度为预设角度(如15°、18°、30°、45°等)的点。

[0057] 其中，角度标识31可以是采用印刷、刻划或喷涂等方式在标样30上进行制作，角度标识31可以位于标样30的非测试面上与标样30的边缘平行或重合的环线上。

[0058] 这样，测试人员可以结合标样30的非测试面上的角度标识31和测试台面20上的距离标识22，将标样30的测试面上位于各校准环线的目标校准点依次对准检测口21，以利用标样30上的目标校准点对所述元素检测装置进行校准测试，且能有效避免因测试点重叠而导致测试失效的问题。

[0059] 可选的，角度标识31分布在标样30的非测试面的边缘。

[0060] 该实施方式中，如图3所示，角度标识31分布在标样30的非测试面的边缘，具体地，角度标识31可以平均分布在标样30的非测试面的边缘，例如均匀的刻度尺标识，也可以是只标识转动至基准点32的角度为目标角度(如15°、30°等)的目标点，该目标角度可以是测试中所需用到的角度。

[0061] 这样，由于角度标识31分布在标样30的非测试面的边缘，因而更方便测试人员通过角度标识31和距离标识22来实现标样30上的目标校准点与检测口21的对准，避免因角度标识31远离标样30的边缘，而导致难以对准标样30上靠近边缘的校准环线上的目标校准点。

[0062] 可选的，角度标识31采用刻度尺、直线、圆点或颜色进行标识。

[0063] 该实施方式中，角度标识31可以采用刻度尺进行标识，例如：如图3中所示的角度标识31是采用刻度尺的方式进行标识，使用刻度线标识由每个刻度线处转动至基准点32的角度，具体地，可以每1°使用细短线标识，每5°使用细长线标识，每90°使用粗长线标识，而基准点32(即0°)所在位置使用加粗加长线条标识。这样，通过角度标识31上的刻度，可以方便地定位转动至基准点32的角度为目标角度的目标点。

[0064] 角度标识31也可以采用直线、圆点或颜色进行标识，例如：在标样30上转动至基准点32的角度为预设角度的目标点处使用直线、圆点或其他形状进行标识，对于不同的目标点，还可以使用不同的颜色进行标识，以使测试人员能够通过不同颜色标识更为清楚直观地区分不同目标点转动至基准点32的角度。

[0065] 可选的，标样30的直径为32mm，角度标识31上标识有转动至基准点32的角度分别为15k°和18k°的目标点所在位置，其中，k为大于或等于1的整数，15k°<360°，18k°<360°。

[0066] 由于现有标样的直径一般为32mm左右，因此，该实施方式中，标样30的直径可以为32mm，角度标识31上标识有转动至基准点32的角度分别为15k°和18k°的目标点所在位置，其中，k为大于或等于1的整数，15k°<360，18k°<360°。这样，对于标样30的测试面上距边缘的距离分别为3mm、6mm、9mm和12mm的校准环线，各校准环线上的目标校准点之间的旋转角度分别为15°、18°、30°和45°，通过角度标识31可方便地将标样30的测试面上各校准环线的目标校准点依次对准检测口21，而不会出现测试点重叠的现象。

[0067] 可选的，如图4所示，标样30的非测试面上还设有环线标识33，环线标识33用于标识标样30上各校准环线所在的位置，其中，相邻校准环线之间的间距大于所述元素检测装置的检测口21的直径。

[0068] 该实施方式中，如图4所示，标样30的非测试面上还可以设有环线标识33，用于标识标样30上各校准环线所在的位置，各校准环线用于标识标样30上的各目标校准点所在的位置，即标样30上的各目标校准点分别分布于各校准环线上，其中，相邻校准环线之间的间距大于所述元素检测装置的检测口21的直径，以保证各相邻校准环线上的目标校准点不会出现重叠，进而避免校准测试失败。

[0069] 具体地，可以根据标样30的直径和所述元素检测装置的检测口21的直径，来确定标样30的测试面上各校准环线所在的位置，以保证各校准环线的直径尽可能大，进而能够保证标样30上尽可能多的目标校准点，以对标样30进行充分利用，且可以依据所确定的各校准环线所在的位置，确定环线标识33在标样30上的位置。

[0070] 该实施方式中，由于标样30的非测试面上还设有环线标识33，从而在利用标样30对所述元素检测装置进行校准时，可以结合所述元素检测装置的测试台面上的距离标识22，以及标样30的非测试面上的角度标识31和环线标识33，更为方便地对所述元素检测装置进行校准，具体地，可以依次将环线标识33所标识的各校准环线上的目标校准点对准所述元素检测装置的检测口21，完成对所述元素检测装置的校准。

[0071] 本实施例中的标样，通过在所述标样的非测试面上设置角度标识，可方便测试人员通过该角度标识来将标样各校准环线上的目标校准点通过旋转特定角度对准所述测试台面上的检测口，进而避免校准测试失效问题，并提高标样的利用率。

[0072] 如图5所示，本发明实施例还提供一种标样50，用于对元素检测装置进行校准，标样50的非测试面上设有校准点标识51，校准点标识51用于标识标样50上各目标校准点所在的位置，其中，各目标校准点之间均无重叠。

[0073] 本实施例中，如图5所示，标样50的非测试面上设有校准点标识51，用于标识标样50上各目标校准点所在的位置，其中，各目标校准点之间均无重叠，以避免因对校准点重叠而导致校准测试失败。

[0074] 具体地，可以根据标样30的直径和元素检测装置的检测口的直径，先确定标样30的测试面上各校准环线所在的位置，再确定各校准环线上的目标校准点的位置，以保证各校准环线的直径尽可能大，且保证各校准环线上的目标校准点尽可能多，从而确保对标样30的充分利用。

[0075] 该实施方式中，由于标样50的非测试面上设有校准点标识51，从而在利用标样50对元素检测装置进行校准时，只需按照校准点标识51，依次将标样50上的各目标校准点对准元素检测装置的检测口，即可方便快速且准确地完成对该元素检测装置的校准。需说明的是，本实施例中，元素检测装置的测试台面上可以不必设有距离标识，只需利用标样50的非测试面上的校准点标识51即可完成对元素检测装置的校准。

[0076] 本发明实施例还提供一种元素检测装置校准方法，采用图3所示的实施例中提供的标样对图2所示的实施例中提供的元素检测装置进行校准，所述方法包括：

[0077] 根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点；

[0078] 利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，以对所述元素检测装置进行校准测试。

[0079] 本实施例中，在进行校准测试前，可以先根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样上的目标校准点，其中，所述目标校准点的大小可与所述检测口的大小一致，具体地，可以先确定所述标样的测试面上的校准环线所在位置，例如：可以设定各校准环线之间的间距稍大于所述目标校准点的直径，以避免相邻校准环线上的目标校准点出现重叠，还可以为了避免所述标样的测试面上的边缘因打磨抛光不匀因素引起测试无效，排除所述标样的测试面上一定的边缘距离，并依此确定最靠近边缘的校准环线距边缘的距离，然后按照从外至内的顺序依次确定各校准环线距边缘的距离，进而得到各校准环线在所述标样的测试面上的位置。

[0080] 然后，可以依次确定各校准环线上的目标校准点的位置，例如：设定各校准环线上的目标校准点之间的间距稍大于所述目标校准点的直径，将各校准环线的周长除以所设定的目标校准点之间的间距，得到各校准环线上所允许的目标校准点的个数，最后使用目标角度(如90°、180°、360°等)除以所述目标校准点的个数，便可确定各校准环线上的目标校准点之间的相对转动角度。

[0081] 这样，通过在各校准环线上设定一个目标校准点作为基准校准点，再依据各校准环线上的目标校准点之间的相对转动角度，便可确定各校准环线上的所有目标校准点的位置。

[0082] 接着，可以利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，以对所述元素检测装置进行校准测试，具体地，可以是先将其中一个校准环线上的目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置，例如：先将一个校准环线上的一个目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，然后将所述标样旋转对应的角度，以将相邻的下一个目标校准点对准所述检测口，直至该校准环线上的所有目标校准点均校准测试完毕；然后再将下一个校准环线上的目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置，直至每个校准环线上的目标校准点均校准测试完毕。

[0083] 这样，通过根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点，并利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点与所述检测口对准。这样，在利用所述标样对所述元素检测装置进行校准测试时，不仅不易出现校准测试失败的现象，而且还能充分利用标样的测试面，避免标样的浪费。

[0084] 可选的，所述根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点，包括：

[0085] 根据所述标样的直径D1和所述检测口的直径D2，确定所述标样的测试面上距标样边缘的距离分别为S1、S2、...、Sn的校准环线，得到每个校准环线的直径Rn，其中，Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d，Rn＝D1-2Sn，Sn＜D1/2-d，d＞D2，Sedge为标样边缘排除距离，d为校准环线之间的间距；

[0086] 确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，得到每个校准环线上的目标校准点所在位置。

[0087] 该实施方式中，可以根据所述标样的直径D1和所述检测口的直径D2，确定所述标样的测试面上距标样边缘的距离分别为S1、S2、...、Sn的校准环线，具体地，可以按照公式Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d计算各校准环线距标样边缘的距离，其中，Sn＜D1/2-d，即Sn的大小不能超过D1/2-d，Sedge为标样边缘排除距离，是为了排除所述标样的测试面的边缘上可能导致测试失效的点，d为校准环线之间的间距，d＞D2，以保证相邻校准环线上的目标校准点不会出现重叠。

[0088] 在确定所述标样的测试面上距标样边缘的距离分别为S1、S2、...、Sn的校准环线后，便可计算出各校准环线的直径Rn，具体地，Rn＝D1-2Sn，从而可以确定所述标样的测试面上各校准环线的具体位置。

[0089] 然后可以确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，具体地，可以按照公式An＝θ/INT(不Rn/4d)计算得到，其中，INT为向下取整函数，θ可以是90°、180°、360°等，以计算校准环线的四分之一圆弧、半圆弧和完整圆弧上的目标校准点之间的角度间隔，进而得到每个校准环线上的目标校准点所在位置。

[0090] 这样，该实施方式中，可以按照上述公式方便快速地确定所述标样的测试面上的目标校准点，并且可以通过设定合适的参数(如d和0)，确定所述标样的测试面上尽可能多的目标校准点，以充分利用所述标样。

[0091] 可选的，所述确定每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，包括：

[0092] 按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，其中，INT为向下取整函数。

[0093] 该实施方式中，可以按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，例如：如图6所示，以半圆弧为单位，按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)，分别计算直径为Rn的校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，其中，INT为向下取整函数，如INT(6.8)＝6，INT(5.2)＝5。

[0094] 这样，该实施方式中，可以按照公式An＝90°/INT(πRn/4d)方便快速地计算出每个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔An，进而可快速确定所述标样的测试面上的目标校准点。

[0095] 可选的，D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm。

[0096] 该实施方式中，D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm，即所述标样的直径为32mm，所述检测口的直径为2.5mm时，校准环线之间的间距可以选为3mm，标样边缘排除距离可以选为1.75mm。

[0097] 根据公式Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d，可计算出所述标样的测试面上由外向内的四个校准环线距标样边缘的距离分别为3mm、6mm、9mm和12mm，且根据公式Rn＝D1-2Sn，可得到这四个校准环线的直径分别为26mm、20mm、14mm和8mm；根据公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算出这四个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔分别为15°、18°、30°和45°。

[0098] 这样，该实施方式中，当D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm时，根据公式可计算出所述标样的测试面上各校准环线的直径分别为3mm、6mm、9mm和12mm，以及各校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔分别为15°、18°、30°和45°，从而测试人员可根据上述数据，利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，对所述标样的测试面上的目标校准点进行快速准确对准。

[0099] 可选的，所述利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，包括：

[0100] 利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，并基于计算所得的Sn和An，依次将直径为R1、R2、…、Rn的校准环线上的各目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，其中，每测试完直径为Rn的校准环线上的一个目标校准点，将所述标样转动角度An，每测试完一个校准环线上的所有目标校准点，将所述标样上移距离d。

[0101] 该实施方式中，可以利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，并基于计算所得的Sn和An，依次将直径为R1、R2、…、Rn的校准环线上的各目标校准点移动至与所述检测口对准的位置，例如：当n＝3时，可以先将直径为R1的校准环线上的各目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置，再将直径为R2的校准环线上的各目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置，最后将直径为R3的校准环线上的各目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置。

[0102] 其中，在将直径为Rn的校准环线上的各目标校准点依次移动至与所述检测口对准的位置的过程中，可以是每测试完所述直径为Rn的校准环线上的一个目标校准点，便将所述标样转动角度An，直至将所述直径为Rn的校准环线上的每个目标校准点均校准测试完毕；以及在每测试完一个校准环线上的所有目标校准点后，便可以将所述标样上移距离d，直至所有校准环线上的目标校准点均校准测试完毕。

[0103] 下面结合图7a、图7b、图7c和图7d，对本发明实施例提供的元素检测装置校准方法进行举例说明：

[0104] 设D1＝32mm，D2＝2.5mm，d＝3mm，Sedge＝1.75mm，根据公式Sn＝Sedge+D2/2+(n-1)d，计算得出所述标样的测试面上由外向内的四个校准环线距标样边缘的距离S1、S2、S3、S4分别为3mm、6mm、9mm和12mm，根据公式An＝90°/INT(πRn/4d)，计算得出所述标样的测试面上由外向内的四个校准环线上的各目标校准点之间的角度间隔A1、A2、A3、A4分别为15°、18°、30°和45°。

[0105] 如图7a、图7b、图7c和图7d所示，所述元素检测装置的测试台面70上设有刻度尺距离标识，标样71的非测试面上设有角度标识，如图7a所示，可以先将标样71的边缘对准测试台面70上标识为距检测口72的中心为3mm的刻度处，再将标样71上的基准点(粗长线所示位置)对准测试台面70上的刻度尺距离标识，以对标样71的测试面上距标样边缘的距离为3mm的校准环线上的第一个目标校准点进行校准测试。

[0106] 对标样71的测试面上距标样边缘的距离为3mm的校准环线上的第一个目标校准点测试完后，便可以如图7b所示，将标样71逆时针旋转15°，以对同一校准环线上的下一个目标校准点进行测试，这样，每测试完一个目标校准点，便可以将标样71逆时针旋转15°，直至将标样71的测试面上距标样边缘的距离为3mm的校准环线上的目标校准点均测试完毕。

[0107] 然后，可以如图7c所示，将所述基准点对准测试台面70上的刻度尺距离标识，并将标样71上移3mm，以对标样71的测试面上距标样边缘的距离为6mm的校准环线上的第一个目标校准点进行校准测试。

[0108] 对标样71的测试面上距标样边缘的距离为6mm的校准环线上的第一个目标校准点测试完后，便可以如图7d所示，将标样71逆时针旋转18°，以对同一校准环线上的下一个目标校准点进行测试，这样，每测试完一个目标校准点，便可以将标样71逆时针旋转18°，直至将标样71的测试面上距标样边缘的距离为6mm的校准环线上的目标校准点均测试完毕。

[0109] 依照类似的方法，可以对标样71的测试面上距标样边缘的距离分别为9mm和12mm的校准环线上的第一个目标校准点进行校准测试，并在测试完后，将标样71分别逆时针旋转30°和45°，以将标样71的测试面上距标样边缘的距离为9mm和12mm的校准环线上的目标校准点均测试完毕。

[0110] 本发明实施例中的元素检测装置校准方法，可以根据所述标样的尺寸和所述检测口的大小，确定所述标样的测试面上的目标校准点，且由于元素检测装置的测试台面上设有距离标识，标样的非测试面上设有角度标识，从而可以利用所述测试台面上的距离标识和所述标样的非测试面上的角度标识，依次将所述目标校准点与所述检测口对准。这样，在利用所述标样对所述元素检测装置进行校准测试时，不仅不易出现校准测试失败的现象，而且还能充分利用标样的测试面，避免标样的浪费。

[0111] 以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。