泄漏检查装置及泄漏检查方法

摘要

泄漏检查装置具有在内部配置填充有示踪气体的检查对象物(30)的检查腔室(5)、以及将配置于检查腔室的吸入口(11)和配置于在检查腔室从吸入口离开的位置的吹出口(12)连接的循环流路(10)。泄漏检查装置具有送风机(15)，该送风机配置于循环流路，通过将检查腔室的内部的气体从吸入口吸入并从吹出口吹出而使气体循环。泄漏检查装置在循环流路的内部具有检测部(25)，该检测部在循环流路的内部的从送风机朝向吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从检查对象物泄漏并包含于在循环流路中流动的气体的示踪气体。

权利要求

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，具有：检查腔室(5)，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物(30)；

循环流路(10)，该循环流路将吸入口(11)和吹出口(12)连接，该吸入口配置于所述检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从所述吸入口离开的位置；

送风机(15)，该送风机配置于所述循环流路的上侧部分，通过将所述检查腔室的内部的气体从所述吸入口吸入并从所述吹出口吹出而使所述检查腔室的内部的气体循环；以及检测部(25)，该检测部在所述循环流路的内部的从所述送风机朝向所述吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从所述检查对象物泄漏并包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体，

所述示踪气体是比所述检查腔室的内部的所述气体轻的气体，所述吸入口和所述送风机配置在所述检查腔室的上部，所述吹出口配置在所述检查腔室的下部。

2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，所述吹出口配置成，吹出方向与在所述检查腔室的内部朝向所述吸入口流动的所述气体的流动方向交叉，

所述检查腔室在与所述吹出口相向的位置具有对从所述吹出口吹出的所述气体的流动方向进行转换的方向转换部(9)。

3.根据权利要求1或2所述的泄漏检查装置，其特征在于，在所述检查腔室的内部配置有载置台(6)，所述载置台具有载置所述检查对象物的平板(7)，

所述平板具有在该平板的厚度方向上贯通的多个贯通孔(8)。

4.一种泄漏检查方法，其特征在于，所述泄漏检查方法是用于泄漏检查装置的泄漏检查方法，所述泄漏检查装置具有：检查腔室(5)，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物(30)；

循环流路(10)，该循环流路将吸入口(11)和吹出口(12)连接，该吸入口配置于所述检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从所述吸入口离开的位置；

送风机(15)，该送风机配置于所述循环流路的上侧部分，通过将所述检查腔室的内部的气体从所述吸入口吸入并从所述吹出口吹出而使所述检查腔室的内部的气体循环；以及检测部(25)，该检测部在所述循环流路的内部的从所述送风机朝向所述吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从所述检查对象物泄漏并包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体，

所述示踪气体是比所述检查腔室的内部的所述气体轻的气体，所述吸入口和所述送风机配置在所述检查腔室的上部，所述吹出口配置在所述检查腔室的下部，

所述泄漏检查方法具有：

配置工序，在所述检查腔室的内部配置所述检查对象物；

气体填充工序，向所述检查对象物的内部填充所述示踪气体；

循环工序，通过所述送风机的工作，使所述检查腔室的内部的气体经由所述循环流路循环；

检测工序，在持续进行所述示踪气体向所述检查对象物的填充和基于所述送风机的工作经由所述循环流路进行的所述气体的循环的状态下，利用所述检测部检测包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体；以及判定工序，在使用由所述检测部检测出的示踪气体满足预先设定的判定条件的情况下，将对所述检查对象物的泄漏检查判定为合格。

5.根据权利要求4所述的泄漏检查方法，其特征在于，在所述气体填充工序开始之后且所述检测工序之前具有待机工序，在该待机工序，在填充到所述检查对象物的内部的所述示踪气体的压力达到预先设定的检查压力(Pe)为止所需的期间以上的期间，持续进行所述示踪气体向所述检查对象物的填充和基于所述送风机的工作经由所述循环流路进行的所述气体的循环。

说明书

泄漏检查装置及泄漏检查方法

[0001] 相关申请的相互参照

[0002] 本申请基于2017年9月21日申请的日本专利申请2017‑180939号，在此引用其记载内容。

技术领域

[0003] 本发明涉及用于使用示踪气体来检查具有气密空间的检查对象物的气密性的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

背景技术

[0004] 以往，对于具有要求规定的气密性的空间的工业产品，为了确保其气密性，使用泄漏检查装置及使用该泄漏检查装置的泄漏检查方法。在专利文献1中记载了这样的泄漏检
查装置及方法。

[0005] 在专利文献1中，在检查腔室内配置检查对象物后，在该检查对象物的内部封入封入气体，进行差压泄漏检查。当随着差压泄漏检查的结束，将封入气体排出到检查对象物的
外部时，使检查腔室内成为大气压状态，在检查对象物的内部以规定压力封入示踪气体
(即，氦气)。在该状态下搅拌检查腔室内的气体后，进行以从该检查腔室内采集的气体为对
象的示踪气体的检测，对检查对象物中的泄漏的有无进行检测。

[0006] 现有技术文献

[0007] 专利文献

[0008] 专利文献1：日本专利第3203528号公报

[0009] 在专利文献1中，由于存在封入气体相对于检查对象物的封入及排出这样的工序，因此直至结束使用示踪气体的泄漏检查，需要大量的操作、时间。

[0010] 另外，在专利文献1所记载的泄漏检查装置的情况下，在检查腔室的内部的规定位置固定有检查对象物。另外，通过检测部，检测从检查腔室内的特定的位置采集的气体中的
示踪气体，使用该检测结果来对检测对象物中的泄漏的有无进行检查。

[0011] 因此，检查对象物中的泄漏的位置与检测部的检测位置的位置关系有可能对示踪气体的检测精度造成影响，进而也有可能对泄漏检查的检查精度造成影响。因此，在专利文
献1中，通过利用风扇对检查腔室内的气体进行搅拌，谋求该气体所包含的示踪气体的均匀
化。

[0012] 然而，如专利文献1那样，在利用风扇对检查腔内部进行搅拌的情况下，为了均匀地搅拌示踪气体需要足够长的时间。或者，为了缩短搅拌时间，需要将应该搅拌的容积限制
为较小，检查对象物和检查腔室的尺寸受到限制。

[0013] 例如，在检查腔室相对于检查对象物过大的情况下，必须搅拌的气体容积大，检查腔室内的示踪气体的分布有可能变得不均匀。在该情况下，检测部对示踪气体的检测结果
大幅变动，因此泄漏检查的检查精度大幅变动。

[0014] 即，在专利文献1的情况下，为了确保恒定的检查精度，需要严格限制检查对象物的尺寸，缺乏通用性。

发明内容

[0015] 本发明涉及用于对检查对象物的气密性进行检查的泄漏检查装置及泄漏检查方法，其目的在于提供一种能够应对各种尺寸的检查对象物并且能够以简单的结构实现规定
以上的精度的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

[0016] 在本发明的一个方式中，泄漏检查装置具有：

[0017] 检查腔室，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物；

[0018] 循环流路，该循环流路将吸入口和吹出口连接，该吸入口配置于检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从吸入口离开的位置；

[0019] 送风机，该送风机配置于循环流路，通过将检查腔室的内部的气体从吸入口吸入并从吹出口吹出而使检查腔室的内部的气体循环；以及

[0020] 检测部，该检测部在循环流路的内部的从送风机朝向吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从检查对象物泄漏并包含于在循环流路中流动的气体的示踪气体。

[0021] 根据该泄漏检查装置，利用送风机使从检查对象物泄漏的包含示踪气体的检查腔室的内部的气体经由检查腔室及循环流路循环，因此能够使示踪气体在检测部的周边通
过。

[0022] 由此，只要是能够载置在检查腔室的内部的检查对象物，该泄漏检查装置就能够将检查对象物的尺寸的影响抑制得较低，进行基于检测部的示踪气体的检测，能够进行该
检查对象物的泄漏检查。即，该泄漏检查装置能够应对各种尺寸的检查对象物的泄漏检查。

[0023] 另外，根据该泄漏检查装置，由于在循环流路中配置有送风机，因此能够利用送风机对从吸入口吸入的检查腔室的内部的气体进行搅拌。而且，检测部在从送风机向吹出口
侧离开预先设定的距离以上的位置进行示踪气体的检测，因此能够在进一步进行由送风机
吹送的气体的搅拌的状态下进行示踪气体的检测。

[0024] 即，根据该泄漏检查装置，能够将以示踪气体的分布均匀的方式被搅拌的状态的气体向检测部吹送，因此能够抑制检查对象物的尺寸对检查腔室的影响，将检测部的检测
精度、泄漏检查的检查精度维持在恒定的精度以上。

[0025] 在本发明的一方式中，泄漏检查方法是用于泄漏检查装置的泄漏检查方法，所述泄漏检查装置具有：

[0026] 检查腔室，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物；

[0027] 循环流路，该循环流路将吸入口和吹出口连接，该吸入口配置于检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从吸入口离开的位置；

[0028] 送风机，该送风机配置于循环流路，通过将检查腔室的内部的气体从吸入口吸入并从吹出口吹出而使检查腔室的内部的气体循环；以及

[0029] 检测部，该检测部在循环流路的内部的从送风机朝向吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从检查对象物泄漏并包含于在循环流路中流动的气体的示踪气体，

[0030] 所述泄漏检查方法具有：

[0031] 配置工序，在检查腔室的内部配置检查对象物；

[0032] 气体填充工序，向检查对象物的内部填充示踪气体；

[0033] 循环工序，通过送风机的工作，使检查腔室的内部的气体经由循环流路循环；

[0034] 检测工序，在持续进行示踪气体向检查对象物的填充和基于送风机的工作经由循环流路进行的气体的循环的状态下，利用检测部检测在循环流路中流动的气体中包含的示
踪气体；以及

[0035] 判定工序，在使用由检测部检测出的示踪气体满足预先设定的判定条件的情况下，将对检查对象物的泄漏检查判定为合格。

[0036] 该泄漏检查方法构成为使用上述泄漏检查装置并具有配置工序、气体填充工序、循环工序、检测工序以及判定工序，因此能够抑制检查腔室的内部的检查对象物的尺寸的
影响，进行具有规定以上的精度的泄漏检查。

[0037] 另外，根据该泄漏检查方法，在检测工序中，在持续进行示踪气体向检查对象物的填充和基于送风机的工作经由循环流路进行的气体的循环的状态下，利用检测部进行示踪
气体的检测，因此不需要检查对象物的内部的气体的置换、检查对象物的内部压力的调整
等复杂的工序就能够进行泄漏检查。

[0038] 而且，根据该泄漏检查方法，由于不需要复杂的工序就能够执行泄漏检查，因此能够缩短针对一个检查对象物的泄漏检查的所需时间。

附图说明

[0039] 图1是一实施方式的泄漏检查装置的整体结构图。

[0040] 图2是示出一实施方式的泄漏检查装置的泄漏检查方法、检查腔室及检查对象物的状态的说明图。

[0041] 图3是示出泄漏检查装置中的循环运转时的气流的说明图。

[0042] 图4是示出检查装置中的清洁时的气体的流动的说明图。

[0043] 图5是关于一实施方式的泄漏检查方法中的待机时间的说明图。

具体实施方式

[0044] 以下，基于附图对实施方式进行说明。在以下的实施方式中，对于相互相同或等同的部分，在图中标注相同的符号。

[0045] 本实施方式的泄漏检查装置1是用于检查作为要求气密性的产品的检查对象物30的气密性的泄漏检查的装置，如图1所示，具有检查腔室5、循环流路10、送风机15以及检测
器25。检测器25与检测器用进气口26连接。在检测器25与检测器用进气口26之间配置有开
闭阀。在检测器25与泄漏检查装置1之间也配置有开闭阀。

[0046] 在本实施方式中，使用热交换器作为检查对象物30。在热交换器中存在其用途及性能等不同的多个尺寸。该泄漏检查装置1构成为能够将多个尺寸的热交换器作为检查对
象物30来检查各检查对象物30的气密性。

[0047] 在该泄漏检查装置1中，在检查腔室5内配置检查对象物30，在检查对象物30的内部加压封入示踪气体。在本实施方式中，作为示踪气体，使用比空气轻的氦气。通过在作为
大气压的检查腔室5的内部，利用检测器25检测从检查对象物30泄漏的示踪气体，从而评价
检查对象物30的气密性，进行气密性的合格与否判定。

[0048] 首先，参照图1详细说明本实施方式的泄漏检查装置1的结构。此外，图1中的上下方向表示设置有该泄漏检查装置1的状态的上下方向。

[0049] 如图1所示，在泄漏检查装置1中配置有箱体状的检查腔室5。该检查腔室5形成为纵向长的大致长方体状，在其一侧面具有未图示的门。通过打开该门，能够在检查腔室5的
内部收容检查对象物30。

[0050] 此外，检查腔室5构成为能够收容作为检查对象物30的热交换器中的最大尺寸的热交换器。即，在检查腔室5的内部，有时载置多个尺寸中的某一个热交换器。

[0051] 在检查腔室5的内部配置有载置台6。在载置台6的上部配置有从下方支承检查对象物30的平板7。该平板7在将检查对象物30载置于其上部的状态下，从门配置于检查腔室5
的内部。

[0052] 如图1所示，在载置台6的平板7配置有多个贯通孔8，各贯通孔8沿平板7的厚度方向贯通。因此，在检查腔室5的内部，经由多个贯通孔8容许向上下方向的气流F。平板7能够
由形成为网眼状的板状部件、板状的冲孔金属等构成。

[0053] 在检查腔室5的一侧面配置有方向转换部9。该方向转换部9配置在与后述的吹出口12相向的位置，构成为对从吹出口12向检查腔室5的内部吹出的气流F的方向进行转换。

[0054] 如图3等所示，该方向转换部9的端缘部分形成为曲面状，通过以曲面引导气流F而将气流F的方向转换为与到达方向转换部9的状态相反的方向。

[0055] 如图1所示，该泄漏检查装置1具有循环流路10。该循环流路10构成为将配置于检查腔室5的上表面的吸入口11与配置于该检查腔室5的下部的一个侧面的吹出口12连接。

[0056] 循环流路10沿着呈纵向较长的长方形状的检查腔室5在纵向上形成得较长，例如由管道等构成。

[0057] 在该循环流路10的上侧部分，在内部配置有送风机15。该送风机15是利用电动马达驱动离心多叶片风扇的电动送风机，经由检查腔室5及循环流路10使检查腔室5的内部的
气体循环。该送风机15在吹送气体时使离心多叶片风扇旋转，因此能够搅拌所吹送的气体。

[0058] 送风机15从吸入口11吸入检查腔室5的内部的气体，在循环流路10的内部朝向吹出口12吹送，并向检查腔室5的内部吹出。在检查腔室5的内部，从配置于检查腔室5的下部
的吹出口12吹出的气体朝向配置在检查腔室5的上表面的吸入口11流动。

[0059] 如上所述，由于吸入口11配置在检查腔室5的上表面，因此从位于下方的吹出口12吹出并在检查腔室5内向上方流动的气体随着送风机15的工作被吸入到循环流路10内部。

[0060] 另一方面，吹出口12配置于检查腔室5的下部的一侧面，因此通过送风机15的工作而在循环流路10流下的气体以具有水平方向的流动成分的状态向检查腔室5内部吹出。

[0061] 如图1所示，在循环流路10中的比送风机15靠下方侧(即，送风机15的送风方向下游侧)的位置配置有流路切换部20。流路切换部20构成为具有能够封闭循环流路10的内部
流路的板状部件。流路切换部20的板状部件配置成能够变更为开放循环流路10的内部流路
的开放状态(参照图3)和封闭循环流路10的内部流路的封闭状态(参照图4)。

[0062] 在比封闭状态下的流路切换部20的板状部件靠送风方向下游侧的位置，进气口21经由进气流路22与循环流路10连接。该进气口21与泄漏检查装置1的外部连通。因此，该泄
漏检查装置1能够经由进气口21、进气流路22将外部空气吸入到检查腔室5及循环流路10。

[0063] 另外，在比封闭状态下的流路切换部20的板状部件靠送风方向上游侧的位置，排气口23经由排气流路24与循环流路10连接。该排气口23在从进气口21离开的位置与泄漏检
查装置1的外部连通。因此，该泄漏检查装置1能够经由排气口23、排气流路24将检查腔室5
及循环流路10的内部的气体排出到外部。

[0064] 此外，在进气流路22及排气流路24分别配置有开闭阀。通过关闭各开闭阀，能够禁止经由进气流路22的外部空气的吸入和经由排气流路24的向泄漏检查装置1的外部排出的
排气。即，本实施方式的流路切换部20、进气口21、进气流路22、排气口23、排气流路24作为
流路切换部发挥功能。

[0065] 在循环流路10中的送风机15及流路切换部20的送风方向下游侧配置有检测器25。该检测器25能够测定包含于在循环流路10中循环的气体的示踪气体(即，氦气)的浓度，例
如由氦气检漏器构成。该检测器25作为检测部发挥功能。

[0066] 检测器25配置成，在从送风机15向送风方向下游侧离开预先设定的距离(例如，80cm左右)以上的位置，从在循环流路10中循环的气体取样来测定氦气的浓度。

[0067] 此外，上述的预先设定的距离例如根据检查对象物30中的最小尺寸和最大尺寸的范围、送风机15的结构及送风能力等，设定为利用送风机15中的叶轮的旋转进行的搅拌能
充分进行的距离。

[0068] 如图1所示，本实施方式的检测器25在循环流路10的吹出口12周边(即，紧挨着吹出口12的位置)对在循环流路10中循环的气体进行采样，进行氦气的浓度测定。

[0069] 通过这样配置，在由检测器25进行采样之前的期间，能够充分地进行伴随送风机15中的离心多叶片风扇的旋转而带来的气体的搅拌。即，该泄漏检查装置1能够在氦气的分
布变得均匀的状态下进行基于检测器25的氦气的浓度测定。

[0070] 检查对象物30是具有内部空间并且要求气密性的产品，在本实施方式中使用热交换器。热交换器是如下设备：具有由多个管及翅片形成为面板状的芯部，通过使在芯部的内
部空间流动的流体与在其外部流动的流体之间进行热交换来进行流体的加热或冷却。在该
热交换器中，根据所要求的使用用途、性能存在各种尺寸的热交换器。

[0071] 如图1所示，真空泵32、示踪气体供给部33、空气供给部34经由连接配管31与配置于检查腔室5的内部的检查对象物30连接。

[0072] 真空泵32能够使检查对象物30中的内部空间的气体排出，使该内部空间成为真空状态。在与该真空泵连接的连接配管31上配置有开闭阀。

[0073] 示踪气体供给部33为了向检查对象物30的内部空间供给作为示踪气体的氦气、或回收该内部空间内的氦气而经由连接配管31连接。在与示踪气体供给部33连接的连接配管
31上配置有开闭阀。

[0074] 空气供给部34为了对检查对象物30的内部空间供给空气而恢复到大气压状态而与连接配管31连接。在与空气供给部34连接的连接配管31上配置有开闭阀。

[0075] 根据泄漏检查装置1，通过控制真空泵32、这些开闭阀等，能够将检查对象物30的内部空间的状态调整为与泄漏检查的工序相应的适当的状态。

[0076] 接着，参照图2说明使用本实施方式的泄漏检查装置1的泄漏检查方法。此外，作为初始状态，泄漏检查装置1中的流路切换部20为开放状态，进气流路22、排气流路24中的开
闭阀均为关闭状态。

[0077] 在本实施方式的泄漏检查方法中，首先，在泄漏检查开始之前，进行准备工序。准备工序中也包括配置工序。具体而言，在准备工序中，首先开始送风机15的工作。由此，检查
腔室5内部的气体经由吸入口11被吸入到循环流路10，到达送风机15。

[0078] 在送风机15中，通过离心多翼风扇的旋转而被搅拌的气体在循环流路10的内部朝向下方流动。此时，由于流路切换部20为打开状态，所以一边进行气体的搅拌一边流向吹出
口12。

[0079] 从吹出口12向检查腔室5的内部吹送的气体通过送风机15的工作，朝向吸入口11，在检查腔室5的内部从下向上流动。由此，该泄漏检查装置1能够进行产生气体经由检查腔
室5及循环流路10循环的气流F的循环运转。

[0080] 并且，载置在平板7上的检查对象物30从门配置于检查腔室5的内部。该工序相当于配置工序。当关闭检查腔室5的门并在检查腔室5的内部收容检查对象物30时，在检查对
象物30连接有连接配管31。

[0081] 然后，在连接配管31与检查对象物30连接的状态下开始真空泵32的工作。由此，如图2所示，检查对象物30的内部空间被从大气压Po减压。

[0082] 在持续规定时间由送风机15进行的循环运转后，通过检测器25测定当前时刻的氦气的背景(BG)浓度Co。在确认到所测定的背景浓度Co之后，结束包括配置工序的准备工序。

[0083] 此外，在本实施方式中，通过送风机15的循环运转的开始，循环工序开始，以循环运转的结束来结束循环工序。即，在本实施方式中，在准备工序结束时刻，继续进行循环工
序。

[0084] 在本实施方式的泄漏检查方法中，在准备工序之后，进行气体填充工序。具体而言，停止真空泵32的工作，关闭与真空泵32连接的连接配管31的开闭阀之后，打开与示踪气
体供给部33连接的连接配管31的开闭阀。

[0085] 由此，在检查对象物30的内部空间中填充作为示踪气体的氦气。如图2所示，通过氦气向内部空间的填充，检查对象物30的内部空间的压力从负压上升到大气压Po，成为表
示氦气填充到内部空间内的状态的规定的检查压力Pe。

[0086] 在本实施方式的泄漏检查方法中，接着，进行待机工序。在待机工序中，进行待机直至在气体填充工序中开始氦气的填充的检查对象物30的内部空间的压力达到规定的检
查压力Pe。

[0087] 在该待机工序中，检查对象物30从气体填充工序开始时起继续与示踪气体供给部33连接，处于进行氦气的填充的状态。在检查对象物30存在泄漏部分的情况下，处于氦气持
续泄漏到检查腔室5的内部的状态。

[0088] 因此，换言之，待机工序可以称为，在检查对象物30有泄漏的情况下，不论是何种尺寸的检查对象物30，直到氦气的每单位时间的泄漏量稳定都进行待机的工序。

[0089] 具体而言，在待机工序中，在从氦气的填充开始的时刻起到经过预先设定的待机时间Tw为止，使之后的工序待机。该待机时间Tw被设定为，在多个尺寸的任一个热交换器配
置在检查腔室5内部的情况下，都能够以稳定的精度执行泄漏检查。关于这一点，在后面参
照附图进行说明。

[0090] 若结束待机工序，则进行检测工序，首先，进行第一次的氦气的浓度测定。在此，在该检测工序时，作为检查腔室5的内部的氦浓度测定的前(PRE)阶段，进行大泄漏确认。在检
查对象物30的泄漏量过大的情况下，高浓度的氦气会流入检测器25，在到下次测定为止的
期间检测器25内部的氦气浓度不会充分降低，有时会对下次的测定值产生影响。大泄漏确
认是出于防止高浓度的氦气对下次测定值产生影响的目的而进行的。具体而言，打开与外
部连通的检测器用进气口26与检测器25之间的开闭阀，将外部空气和从检查腔室5流入的
氦气混合而使浓度降低，由此防止高浓度的氦气残留于检测器25。即使在浓度降低的情况
下，在氦气浓度超过为了确认大泄漏而预先设定的值的情况下，也不实施第一次测定，中途
结束检测工序。在氦气浓度为设定值以下的情况下，关闭检测器用进气口26与检测器25之
间的开闭阀，实施第一次测定。在此，在该检测工序期间，送风机15继续循环运转。另外，经
由连接配管31与检查对象物30连接的示踪气体供给部33的阀在检查对象物30的内部空间
的压力达到检查压力Pe之后关闭。

[0091] 因此，在检查对象物30存在泄漏部分的情况下，由于填充完成而成为规定的检查压力Pe的检查对象物30的内部空间的压力与作为其外部空间的检查腔室5的大气压的压力
差，氦气持续泄漏到检查腔室5的内部，与检查腔室5内部的气体混合，在检查腔室5及循环
流路10中循环。

[0092] 从检查对象物30的内部泄漏的氦气比空气轻，因此在检查腔室5的内部朝向上方流动。如图4所示，通过送风机15的工作，从吹出口12吹出的气流F也朝向配置于检查腔室5
的上表面的吸入口11。因此，根据该泄漏检查装置1，包含氦气的检查腔室5内部的气体被高
效地引导至吸入口11及送风机15。

[0093] 并且，在送风机15中，通过使离心多叶片风扇旋转，从吸入口11吸入检查腔室5内部的气体，并向吹出口12送风。通过该送风机15中的离心多叶片风扇的旋转，检查腔室5内
部的气体和氦气被搅拌，朝向吹出口12流动。

[0094] 在循环流路10中，越从送风机15朝向送风方向下游侧，检查腔室5内部的气体和氦气的搅拌越进行。如上所述，检测器25在离开预先设定的距离以上的位置测定包含于在循
环流路10中循环的气体的氦气的浓度，因此该检查装置1能够通过充分的搅拌使该气体中
的氦气的浓度均匀化。

[0095] 由此，根据该泄漏检查装置1及泄漏检查方法，与检查对象物30的尺寸、检查对象物30中的泄漏部分的位置、方向及大小无关，只要是相同的氦气的泄漏量，就能够以相同的
测定值来测定氦气的浓度。由此，根据该泄漏检查装置1及泄漏检查方法，与以往的大气压
式的泄漏检查装置等相比，能够减小示踪气体的测定误差，能够提高检查精度。

[0096] 然后，在循环流路10中流下的气体从吹出口12向检查腔室5的内部吹出。该吹出口12配置于检查腔室5的下部的一侧面，因此从吹出口12吹出的气流具有沿水平方向的流动
成分。

[0097] 如图3所示，在该泄漏检查装置1的检查腔室5中，方向转换部9以与吹出口12相向的方式配置，对从吹出口12吹出的气流F的方向进行转换。

[0098] 具体而言，关于气流F中的水平成分，方向转换部9将从吹出口12朝向方向转换部9的方向转换为从方向转换部9朝向吹出口12侧的方向。此外，关于该情况下的气流F的铅垂
成分，基本上是从下方朝向上方的方向。

[0099] 这样，通过在与吹出口12相向的位置配置方向转换部9，能够在配置于检查腔室5内部的检查对象物30的周围产生具有各种方向性的气流F作为水平成分。

[0100] 由此，即使在检查对象物30的泄漏部分位于任何位置的情况下，也能够不使氦气滞留在检查腔室5的内部，而通过气流F向吸入口11引导。即，该泄漏检查装置1通过配置方
向转换部9，不论泄漏部分位于检查对象物30的哪个部分，均能够适当地测定氦气。

[0101] 另外，由于在载置台6的平板7上配置有多个贯通孔8，因此在检查腔室5内部从下向上流动的气流F不会被载置台6的平板7妨碍。因此，该气流F不会滞留在检查腔室5的下
部。

[0102] 如图3所示，根据该泄漏检查装置1，在检查腔室5及循环流路10的内部，由一个送风机15形成一方向的循环流动，因此不论从检查对象物30的哪个位置泄漏的氦气均必定从
吸入口11流入循环流路10，并由送风机15搅拌。被充分搅拌的气体在氦气的浓度被均匀化
的状态下朝向下方在循环流路10中流动，由检测器25进行测定。

[0103] 由此，根据该泄漏检查装置1，不论在检查对象物30的哪个位置发生泄漏，均能够在利用送风机15的搅拌使其均匀化的状态下测定氦气的浓度。

[0104] 即，该泄漏检查装置1不论检查对象物30的尺寸的大小、泄漏部分的位置、泄漏部分的朝向如何，只要氦气的泄漏量相同，均能够作为相同的测定值进行测定。

[0105] 这样，在第一次测定氦气的浓度(以下称为第一测定浓度Ca)之后，在经过固定期间期间进行待机，第二次测定氦气的浓度(以下称为第二测定浓度Cb)。通过以两次测定氦
气的浓度，能够评价因时间的经过而产生的氦气的浓度变化，能够提高气密性的评价精度。

[0106] 第二次氦气的浓度测定，除了在执行的时机为第一次的测定后，在经过固定时间的期间待机后进行这一点以外，与上述的第一次氦气浓度测定同样地进行。在氦气浓度测
定之前，与第一次同样地，作为前(PRE)阶段，进行大泄漏确认。因此，省略关于第二次氦气
的浓度测定的说明。根据第一次及第二次氦气的浓度测定的完成，结束检测工序。

[0107] 当检测工序结束时，进行判定工序。具体而言，在本实施方式中，从第二测定浓度Cb减去第一测定浓度Ca，算出每一定时间的氦气的泄漏量。通过对算出的氦气的泄漏量与
作为判定有无气密性的基准的基准泄漏量进行比较，判定泄漏检查的合格与否。

[0108] 具体而言，在算出的氦气的泄漏量小于基准泄漏量的情况下，判定为泄漏检查合格，在为基准泄漏量以上的情况下，判定为泄漏检查不合格。即，“算出的氦气的泄漏量小于
基准泄漏量”这一条件是判定条件的一例。

[0109] 这样，根据判定工序的结束，本实施方式的泄漏检查结束，但在判定工序之后，作为后处理进行清洁工序。在清洁工序中，填充于检查对象物30的内部的氦气由示踪气体供
给部33的吸引回收。之后，经由连接配管31及空气供给部34对检查对象物30的内部空间供
给空气，使检查对象物30的内部空间恢复至大气压状态。

[0110] 并且，在检查腔室5及循环流路10中，如图4所示，在继续送风机15的工作的状态下，使流路切换部20的板状部件成为封闭状态，并且打开进气流路22及排气流路24中的开
闭阀。

[0111] 由此，循环流路10内的气流F由流路切换部20的板状部件切断。同时，排气口23经由排气流路24与循环流路10的上侧部分连接，进气口21经由进气流路22与循环流路10的下
侧部分连接。

[0112] 在该情况下，随着送风机15的工作，检查腔室5内的气体从吸入口11被吸入到循环流路10，并朝向流路切换部20送风。由送风机15吹送的气流F在流路切换部20的上游侧经由
排气流路24朝向排气口23。因此，在该泄漏检查装置1中，能够将检查腔室5内的气体从排气
口23向泄漏检查装置1的外部排出。

[0113] 另外，随着送风机15的工作，检查腔室5内的气体被吸入到吸入口11，由此循环流路10中的下部的气体从吹出口12移动到检查腔室5内部。而且，与此联动，泄漏检查装置1的
外部的空气经由进气口21及进气流路22被吸入到循环流路10的下部。

[0114] 由此，如图4所示，在清洁工序中，能够使泄漏检查装置1的外部的空气经由进气口21及进气流路22流入循环流路10的下部，经由检查腔室5内部、循环流路10的上部、排气流
路24从排气口23向外部排气。

[0115] 其结果是，该泄漏检查装置1通过执行清洁工序，能够将氦气的浓度高的检查腔室5内的气体排出到泄漏检查装置1的外部并更换为外部空气，能够迅速地清洁为泄漏检查的
执行前的状态。

[0116] 并且，在继续送风机15的工作的状态下，将已泄漏检查的检查对象物30经由检查腔室5的门与平板7一起取出。通过取出检查对象物30，清洁工序结束。

[0117] 此外，在该清洁工序结束后，既可以单纯地使送风机15的运转停止，也可以在使送风机15的运转继续的状态下，等待对下一个检查对象物30的泄漏检查的开始。

[0118] 接着，参照图5说明本实施方式的待机工序中的待机时间Tw。如上所述，在本实施方式中，作为检查对象物30，能够使用多个尺寸的热交换器。因此，在图5中，以使用最大尺
寸的热交换器和最小尺寸的热交换器作为检查对象物的情况为例进行说明。

[0119] 图5是如下图表：用虚线表示使用该多个尺寸中的最大尺寸的热交换器的情况下的检查腔室5内的氦气的浓度变化，用单点划线表示使用最小尺寸的热交换器的情况下的
检查腔室5内的氦气的浓度变化。该情况下的各热交换器分别具有相同泄漏量的泄漏部分。

[0120] 如图5中虚线所示，在完成背景浓度Co的检测的时间To之后，若开始气体填充工序，则向最小尺寸的热交换器的内部空间填充氦气。

[0121] 在最小尺寸的热交换器的情况下，其内部空间也最小，因此氦气在较早的阶段从内部空间泄漏，由检测器25进行检测。在使用最小尺寸的热交换器的情况下，将由检测器25
检测到氦气的时间设为时间Tsx。

[0122] 在时间Tsx之后，由于氦气从示踪气体供给部33持续填充到最小尺寸的热交换器的内部空间，因此该内部空间的压力逐渐上升，达到规定的检查压力Pe。将该内部压力成为
检查压力Pe的时间设为时间Tsy。

[0123] 在时间Tsy中，与时间Tsx的情况相比，热交换器中的内部空间的压力上升，因此，从最小尺寸的热交换器的内部空间，每单位时间泄漏比时间Tsx的时刻多的氦气。因此，时
间Tsy中的检查腔室5内的氦气的浓度显示比时间Tsx的情况高的值。

[0124] 另一方面，在最大尺寸的热交换器的情况下，其内部空间也是最大的，因此在时间Tsx的时刻，氦气不会从内部空间泄漏，在进一步经过时间的时刻，由检测器25检测。在使用
最大尺寸的热交换器的情况下，将由检测器25检测到氦气的时间设为时间Tlx。

[0125] 在时间Tlx之后，氦气从示踪气体供给部33持续填充到最大尺寸的热交换器的内部空间，该内部空间的压力逐渐上升，达到规定的检查压力Pe。将最大尺寸的热交换器的内
部压力成为检查压力Pe的时间设为时间Tly。由于最大尺寸的热交换器的内部空间比最小
尺寸的热交换器的内部空间大，因此时间Tly比时间Tsy慢。

[0126] 并且，在时间Tly中，与时间Tlx的情况相比热交换器中的内部空间的压力上升，因此，从最大尺寸的热交换器的内部空间，每单位时间泄漏比时间Tlx的时刻多的氦气。因此，
时间Tly中的检查腔室5内的氦气的浓度显示比时间Tlx的情况高的值。

[0127] 在此，对本实施方式的泄漏检查方法中的检测工序的精度与评价指标的关系性进行说明。首先，对使用在时间To检测出的背景浓度Co和检测工序中的第一次测定时(即，图5
中的时间Ta)的情况进行研究。

[0128] 在该情况下，在最大尺寸的热交换器和最小尺寸的热交换器中，其内部空间的大小不同，因此在时间Ta内的第一次氦气的浓度产生差。另一方面，时间To中的背景浓度Co是
与热交换器的尺寸无关地测定的，因此显示基本上共通的值。

[0129] 因此，作为检查对象物30的热交换器的尺寸的差表现为第一次测定的氦浓度的差，氦气的浓度的测定结果中包含由检查对象物30的尺寸差引起的误差。因此，在对多个尺
寸的检查对象物30进行泄漏检查的情况下，有时使用背景浓度Co作为评价指标是不合适
的。

[0130] 在此，在最小尺寸的热交换器的情况下，在经过时间Tsy之前，每单位时间的氦气的浓度上升不稳定。如图5所示，在内部空间的压力成为检查压力Pe之后，每单位时间的氦
气的浓度显示出稳定的举动。即，在时间Tsy以后，氦气的浓度的时间变化包含第一次的浓
度测定时(即，时间Ta)及第二次的浓度测定时，表现出线性。

[0131] 同样地，在最大尺寸的热交换器的情况下，在经过时间Tly之前，每单位时间的氦气的浓度上升也不稳定。如图5所示，在内部空间的压力成为检查压力Pe之后，每单位时间
的氦气的浓度显示出稳定的举动。即，在时间Tly以后，氦气的浓度的时间变化包含第一次
的浓度测定时(即，时间Ta)及第二次的浓度测定时，表现出线性。

[0132] 如图5所示，即使是尺寸不同的热交换器，在内部空间的压力成为检查压力Pe之后，每单位时间的氦气的浓度的增加量也有显示相同值的倾向。即，即使是尺寸不同的热交
换器，也能够以相同的评价指标来评价其气密性，能够进行高精度的泄漏检查。

[0133] 因此，在本实施方式中，从开始氦气的填充的时间Tf到开始检测工序为止的待机时间Tw被设定成，关于最大尺寸的热交换器，内部空间的压力成为检查压力Pe的时间Tly以
上。

[0134] 在比最大尺寸小的热交换器的情况下，在成为时间Tly之前，该内部空间的压力达到检查压力Pe，因此通过如上述那样设定待机时间Tw，在任一尺寸的热交换器中，成为其内
部空间的压力达到检查压力Pe为止所需的期间以上的待机时间Tw。即，如果使该待机时间
Tw待机，则能够在浓度变化稳定的状态下测定氦气的浓度。

[0135] 其结果是，根据该泄漏检查方法，通过在待机工序中等待待机时间Tw的经过，在多个尺寸的热交换器的任一个中均能够进行保持充分的精度的泄漏检查。

[0136] 如以上说明的那样，根据本实施方式的泄漏检查装置1，通过送风机15使从检查对象物30泄漏的包含氦气的检查腔室5的内部的气体经由检查腔室5及循环流路10循环，因此
如图3所示，能够使氦气在检测器25的周边通过。

[0137] 由此，该泄漏检查装置1只要是能够收容于检查腔室5的内部的检查对象物30，就能够将检查对象物30的尺寸的影响抑制得较低，进行基于检测器25的氦气的检测，能够进
行该检查对象物30的泄漏检查。即，该泄漏检查装置1能够应对各种尺寸的检查对象物30的
泄漏检查。

[0138] 另外，根据该泄漏检查装置1，由于在循环流路10中配置有送风机15，因此能够利用送风机15对从吸入口11吸入的检查腔室5的内部的气体进行搅拌。而且，由于检测器25在
从送风机15向吹出口12侧离开预先设定的距离以上的位置进行氦气的测定，因此，根据该
泄漏检查装置1，能够在进一步进行由送风机15吹送的气体的搅拌的状态下进行基于检测
器25的测定。

[0139] 即，根据该泄漏检查装置1，能够将以氦气的分布成为均匀的方式被搅拌的状态下的气体向检测器25吹送，因此能够抑制检查对象物30的尺寸对检查腔室5的影响，将检测器
25的检测精度、泄漏检查的检查精度维持在恒定精度以上。

[0140] 如图1所示，在该泄漏检查装置1中，作为示踪气体，使用比空气轻的氦气，吸入口11配置在检查腔室5的上表面，吹出口12配置在检查腔室5的下部的一侧面。

[0141] 由此，在检查腔室5内部，能够利用氦气与检查腔室5内部的气体的比重差，使氦气向吸入口11侧流动。即，能够抑制氦气在检查腔室5内的滞留。

[0142] 另外，在循环流路10中，由于检测器25配置在与送风机15相比离开预先设定的距离以上的位置，因此能够使氦气到达检测器25为止的期间长期化。由此，能够较长地进行基
于送风机15的搅拌，因此能够在充分均匀化的状态下进行氦气的浓度测定，能够提高泄漏
检查的检查精度。

[0143] 如图3等所示，在检查腔室5的下部，在与吹出口12相向的位置配置有方向转换部9。该方向转换部9关于气流F中的水平成分，从从吹出口12朝向方向转换部9的方向转换为
从方向转换部9朝向吹出口12侧的方向。

[0144] 即，该泄漏检查装置1通过配置方向转换部9，能够在配置于检查腔室5内部的检查对象物30的周围产生具有各种方向性的气流F作为水平成分，不论泄漏部分位于检查对象
物30的哪个部分，均能够适当地测定氦气。

[0145] 另外，在检查腔室5的内部，在载置检查对象物30的载置台6的平板7上配置有多个贯通孔8。因此，在检查腔室5内部从下向上流动的气流F经由多个贯通孔8顺畅地流动，能够
防止氦气滞留在检查腔室5的下部。

[0146] 并且，本实施方式的泄漏检查方法是使用上述的泄漏检查装置1的泄漏检查方法，如图2所示，构成为具有配置工序、气体填充工序、循环工序、检测工序以及判定工序。

[0147] 在该泄漏检查方法中的检测工序中，在持续进行氦气向检查对象物30的填充和基于送风机15的工作的经由循环流路10的气体的循环的状态下，进行基于检测器25的氦气的
检测。

[0148] 即，在该泄漏检查方法中，不需要检查对象物30的内部的气体的置换、检查对象物30的内部压力的调整等复杂的工序就能够进行泄漏检查。而且，根据该泄漏检查方法，不需
要复杂的工序就能够执行泄漏检查，由此能够缩短针对一个检查对象物30的泄漏检查的所
需时间。

[0149] 并且，在该泄漏检查方法中，在气体填充工序及循环工序开始之后且检测工序之前，进行待机工序。在该待机工序中，在设定为检查对象物30的内部空间的压力成为检查压
力Pe之前的期间长的待机时间Tw的期间，继续气体填充工序及循环工序。

[0150] 由此，即使是尺寸不同的检查对象物30，也能够使从该检查对象物30泄漏的氦气的泄漏量稳定。其结果是，即使在使用不同尺寸的检查对象物30的情况下，也能够适当地判
断泄漏的有无，能够维持泄漏检查的检查精度。

[0151] (其他实施方式)

[0152] 以上，对实施方式进行了说明，但本发明不受上述实施方式的任何限定。即，能够在不脱离主旨的范围内进行各种改良变更。例如，可以适当组合上述各实施方式，也可以对
上述实施方式进行各种变形。

[0153] (1)在上述实施方式中，作为检查对象物30列举了热交换器，但并不限定于该方式。只要是具有内部空间并要求气密性的产品，就能够适当地用作检查对象物30。另外，该
检查对象物30并不限定于具有多个尺寸的产品，也能够应用单一尺寸的产品。

[0154] (2)另外，在上述实施方式的泄漏检查装置1中，检查腔室5是纵向较长的长方体状，但并不限定于该方式。检查腔室5构成为能够收容检查对象物30即可，能够适当地采用
各种形状。例如，也可以将检查腔室5构成为在水平方向上较长的长方体状。

[0155] (3)并且，在上述实施方式中，在检查腔室5的下部的一侧面配置有吹出口12，但并不限定于该方式。吹出口12只要在检查腔室5中配置在与吸入口11不同的位置，就能够配置
在各种位置。

[0156] 例如，也可以构成为将吹出口12配置在检查腔室5的下表面。通过这样构成，能够使从吹出口12吹出的气体的流动方向与在检查腔室5内部朝向吸入口11的气体的流动方向
一致，因此能够使检查腔室5内的气体的流动顺畅。

[0157] (4)另外，在上述实施方式中，利用送风机15搅拌在循环流路10中流动的气体，但也可以追加用于进一步促进该气体的搅拌的结构。

[0158] 例如，也可以在循环流路10中的送风机15的送风方向下游侧配置搅拌部件。作为搅拌部件，既可以是以横穿循环流路10的流路的方式配置的多个棒状部件，也可以是通过
来自送风机15的送风而旋转的风车状的部件。

[0159] 另外，也可以在循环流路10中的送风机15的送风方向下游侧配置搅拌装置。作为该搅拌装置，可以列举小型送风机等。在该情况下，小型送风机以在与送风机15的送风方向
交叉的方向吹送的方式配置于循环流路10。

[0160] 根据这些结构，包含氦气的气体以被更均匀地搅拌的状态到达检测器25，因此能够降低由浓度分布引起的检测器25的检测误差，提高泄漏检查的检查精度。