在线式激光调阻机及调阻方法

摘要

本发明提出了一种在线式激光调阻机及调阻方法，通过设置工作台和进气组件，对机械式压力传感器进行固定并通入气体，实现在线调阻，能直观反映出出厂时的阻值，防止质量问题流入客户环节；在工件定位台上设置多个穿孔，并设置导向杆和第一气缸，实现多个机械式压力传感器轮流上料、调阻与下料，提高工作效率。

权利要求

1.一种在线式激光调阻机，其包括激光器(1)、电阻检测设备(2)和处理器(3)，其特征在于：还包括工件固定组件(4)、继电器(5)和进气组件(6)，所述工件固定组件(4)包括工作台(41)、直线模组(42)和三根探针(43)，其中，工作台(41)，中间设置有穿孔(4110)，机械式压力传感器壳体(K)嵌入穿孔(4110)内并与工作台(41)电性连接；

进气组件(6)，选择性连通机械式压力传感器壳体(K)上的进气孔，并向进气孔内增加或者降低气压；

三根探针(43)，分别标记为1#探针(43)、2#探针(43)和3#探针(43)；

直线模组(42)，驱动三根探针(43)上升或者下降，当三根探针(43)下降到底部时，1#探针(43)与工作台(41)电性连接，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)电性连接，3#探针(43)与 机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)电性连接；

电阻检测设备(2)，与1#探针(43)电性连接，与2#探针(43)和3#探针(43)分别通过继电器(5)电性连接，检测1#探针(43)与2#探针(43)或3#探针(43)之间的实时电阻值并发送给处理器(3)；

处理器(3)，分别与继电器(5)、进气组件(6)和激光器(1)信号连接，控制进气组件(6)向进气孔内增加或者降低气压，控制激光器(1)运动并发射或者停止发射激光束；

激光器(1)，发射激光束，对厚膜电阻片(S)上的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀；

所述当三根探针(43)下降到底部时，电阻检测设备(2)通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；处理器(3)控制进气组件(6)向进气孔内增加气压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触后，再控制进气组件(6)泄压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)接触；然后控制继电器(5)切换至与3#探针(43)断开电性连接，与2#探针(43)电性连接。

2.如权利要求1所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工作台(41)包括工件定位台(411)、滑板(412)、导向杆(413)、底板(414)和第一气缸(415)，工件定位台(411)中间设置有穿孔(4110)且底部与滑板(412)固定，导向杆(413)两端分别连接底板(414)，第一气缸(415)分别连接导向杆(413)与滑板(412)，所述工件定位台(411)上并排设置有两个以上的穿孔(4110)。

3.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括U形金属弹片(416)，U形金属弹片(416)卡在穿孔(4110)内壁和工件定位台(411)外壁上，并与机械式压力传感器壳体(K)接触。

4.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：进气组件(6)包括第三气缸(61)、进气顶杆(62)和电磁阀(63)，第三气缸(61)固定在底板(414)上并连接进气顶杆(62)，进气顶杆(62)上开设有气流通道并选择性与进气孔连通或者断开，外部气体加压装置通过电磁阀(63)与进气顶杆(62)连通，电磁阀(63)与处理器(3)信号连接。

5.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括底座(417)、滑轨(418)和丝杆电机(419)，滑轨(418)固定在底座(417)上并与底板(414)滑动连接，丝杆电机(419)分别连接底座(417)和底板(414)。

6.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括限位板(410)，与底板(414)固定，且在正对穿孔(4110)处设置有与机械式压力传感器支架(Z)形状相适应的限位槽(4100)。

7.一种在线式激光调阻方法，其特征在于，其采用权利要求1所述的在线式激光调阻机，包括以下步骤，

A1，将机械式压力传感器壳体(K)嵌入穿孔(4110)内，厚膜电阻片(S)表面设置有金属线(S2)的一面朝上；

A2，进气组件(6)连通机械式压力传感器壳体(K)上的进气孔；

A3，直线模组(42)驱动三根探针(43)下降到底部，1#探针(43)与工作台(41)接触，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触，3#探针(43)机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)接触，此时，电阻检测设备(2)通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；

A4，进气组件(6)向进气孔内增加气压，弹性触片(T)从零位金属线(S2)一直滑动到末位金属线(S2)，电阻检测设备(2)检测各金属线(S2)与零位金属线(S2)之间的初始阻值，假设位于零位至末尾的金属线线序依次为K0～Kn，那么第i根金属线(S2)与零位金属线(S2)之间的初始阻值为RSi；

A5，进气组件(6)给进气孔降低气压直至与外界大气压持平，弹性触片(T)从末位金属线(S2)滑动回到零位金属线(S2)，然后，继电器(5)切换至与3#探针(43)断开电性连接，与

2#探针(43)电性连接；

A6，通过处理器(3)输入各金属线(S2)分别与零位金属线(S2)之间的目标阻值，第i根金属线(S2)与零位金属线(S2)之间的目标阻值为RFi；

A7，依次计算从K1金属线(S2)到Kn金属线(S2)与K0金属线(S2)之间的目标阻值RFi与初始阻值RSi之间的目标差值ΔRSi，

A8，找准厚膜电阻片(S)上的定位点，处理器(3)根据该定位点定位厚膜电阻片(S)上各金属线(S2)和厚膜电阻层(S3)的位置，并计算激光器(1)运动路线；

A9，激光器(1)从K1金属线(S2)到Kn金属线(S2)依次对金属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀，在此过程中，电阻检测设备(2)监测2#探针(43)与零位金属线(S2)之间的实时阻值增幅ΔRFi，并在实时阻值增幅ΔRFi达到目标差值ΔRSi时停止该段厚膜电阻层(S3)的烧蚀，开始对下一根金属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀，直至所有金属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)烧蚀完成。

8.如权利要求7所述的在线式激光调阻方法，其特征在于，厚膜电阻片(S) 上设置有定位金属片(S4)，所述定位金属片(S4)和零位金属线(S2)之间涂覆有厚膜电阻层(S3)并通过所述厚膜电阻层(S3)相互电性连接，定位金属片(S4)和零位金属线(S2)之间设置有连接金属线(S24)并通过连接金属线(S24)电性连接，其中，步骤A3，直线模组(42)驱动三根探针(43)下降到底部，1#探针(43)与工作台(41)接触，

2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触，3#探针(43)与 机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的定位金属片(S4)接触，此时，电阻检测设备(2)通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；

步骤A8，先控制激光器(1)开启并在厚膜电阻片(S)表面烧蚀，当连接金属线(S24)被烧断时，电阻检测设备(2)检测到1#探针(43)和2#探针(43)之间的阻值出现明显的上升，处理器(3)以激光器(1)当前位置为定位点定位厚膜电阻片(S)上各金属线(S2)和厚膜电阻层(S3)的位置，并计算激光器(1)运动路线，同时，电阻检测设备(2)以当前2#探针(43)和1#探针(43)之间的阻值作为Kn金属线(S2)与K0金属线(S2)之间的初始阻值。

说明书

在线式激光调阻机及调阻方法

技术领域

[0001] 本发明涉及激光调阻设备领域，尤其涉及一种在线式激光调阻机及调阻方法。

背景技术

[0002] 机械式压力传感器广泛应用于汽车、船体动力管路、水处理工程、工业过程检测与控制、液压气动控制工程等多个领域，产品具有良好的抗振性能，使用寿命长，安装方便，质
量稳定，性能可靠，工作温度范围宽。按照应用领域，其可以细分为机油压力传感器和气压
压力传感器等类型。

[0003] 如图1所示，机械式压力传感器包括壳体K、支架Z、弹性触片T和厚膜电阻片S，支架Z与壳体K和厚膜电阻片S分别固定并与弹性触片T可转动连接，弹性触片T与厚膜电阻片S滑
动连接，壳体K端部设置有进气孔，进气孔连通待测腔体，当待测腔体压力增大或者减小时，
驱动弹性触片T在厚膜电阻片S滑动，通过检查弹性触片T与厚膜电阻片S之间的阻值变化，
即可读取待测腔体压力。其中，弹性触片T和壳体K电性连接。厚膜电阻片S包括陶瓷基片S1，
陶瓷基片S1上并排设置有金属线S2，相邻金属线S2之间连续涂覆厚膜电阻层S3，零位的金
属线S2和弹性触片T分别连接电阻检测设备，当待测腔体压力发生变化，驱动弹性触片T在
并排设置的金属线S2之间滑动，零位的金属线S2和弹性触片T之间的阻值发生变化，从而反
映出待测腔体压力的变化值。

[0004] 由于厚膜电阻片2在制备过程中无法预判并精准控制相邻金属线S2之间的阻值，因此，在使用前，需要根据事情情况，将相邻金属线S2之间的阻值调节到预设值，这就是调
阻的过程。

[0005] 现有的激光调阻设备，一般采用离线调阻的方式，即将厚膜电阻片S先调阻后再安装到机械式压力传感器上。以上调阻方式存在以下问题：(1)对厚膜电阻片S调阻完成后，再
到安装到机械式压力传感器中，在此过程中厚膜电阻片S受到外界刮擦可能会发生阻值变
化，导致产品质量问题；(2)厚膜电阻片S尺寸很小，不同型号的机械式压力传感器所采用的
厚膜电阻片S主要是阻值不同，外观尺寸基本相同，导致厚膜电阻片S安装时容易出现装错
的情况，进而产生产品质量问题。因此，采用在线调阻的方式，即将厚膜电阻片S先安装在机
械式压力传感器上，能直观反映出出厂时的阻值，防止质量问题流入客户环节。

[0006] 此外，现有的激光调阻方式，自动化程度不够，且速度调阻较慢，有必要加以改进。

发明内容

[0007] 有鉴于此，本发明提出了一种在线式激光调阻机及调阻方法，能直观反映出出厂时的阻值，防止质量问题流入客户环节。

[0008] 本发明的技术方案是这样实现的：

[0009] 一方面，本发明提供了一种在线式激光调阻机，其包括激光器(1)、电阻检测设备(2)和处理器(3)，还包括工件固定组件(4)、继电器(5)和进气组件(6)，所述工件固定组件
(4)包括工作台(41)、直线模组(42)和三根探针(43)，其中，

[0010] 工作台(41)，中间设置有穿孔(4110)，机械式压力传感器壳体(K)嵌入穿孔(4110)内并与工作台(41)电性连接；

[0011] 进气组件(6)，选择性连通机械式压力传感器壳体(K)上的进气孔，并向进气孔内增加或者降低气压；

[0012] 三根探针(43)，分别标记为1#探针(43)、2#探针(43)和3#探针(43)；

[0013] 直线模组(42)，驱动三根探针(43)上升或者下降，当三根探针(43)下降到底部时，1#探针(43)与工作台(41)电性连接，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的
末位金属线(S2)电性连接，3#探针(43)机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的零位金属线
(S2)电性连接；

[0014] 电阻检测设备(2)，与1#探针(43)电性连接，与2#探针(43)和3#探针(43)分别通过继电器(5)电性连接，检测1#探针(43)与2#探针(43)或3#探针(43)之间的实时电阻值并发
送给处理器(3)；

[0015] 处理器(3)，分别与继电器(5)、进气组件(6)和激光器(1)信号连接，控制进气组件(6)向进气孔内增加或者降低气压，控制激光器(1)运动并发射或者停止发射激光束；

[0016] 激光器(1)，发射激光束，对厚膜电阻片(S)上的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀。

[0017] 在以上技术方案的基础上，优选的，所述工作台(41)包括工件定位台(411)、滑板(412)、导向杆(413)、底板(414)和第一气缸(415)，工件定位台(411)中间设置有穿孔
(4110)且底部与滑板(412)固定，导向杆(413)两端分别连接底板(414)，第一气缸(415)分
别连接导向杆(413)与滑板(412)，所述工件定位台(411)上并排设置有两个以上的穿孔
(4110)。

[0018] 进一步优选的，所述工件固定组件(4)还包括U形金属弹片(416)，U形金属弹片(416)卡在穿孔(4110)内壁和工件定位台(411)外壁上，并与机械式压力传感器壳体(K)接
触。

[0019] 进一步优选的，进气组件(6)包括第三气缸(61)、进气顶杆(62)和电磁阀(63)，第三气缸(61)固定在底板(414)上并连接进气顶杆(62)，进气顶杆(62)上开设有气流通道并
选择性与进气孔连通或者断开，外部气体加压装置通过电磁阀(63)与进气顶杆(62)连通，
电磁阀(63)与处理器(3)信号连接。

[0020] 进一步优选的，所述工件固定组件(4)还包括底座(417)、滑轨(418)和丝杆电机(419)，滑轨(418)固定在底座(417)上并与底板(414)滑动连接，丝杆电机(419)分别连接底
座(417)和底板(414)。

[0021] 进一步优选的，所述工件固定组件(4)还包括限位板(410)，与底板(414)固定，且在正对穿孔(4110)处设置有与机械式压力传感器支架(Z)形状相适应的限位槽(4100)。

[0022] 在以上技术方案的基础上，优选的，所述当三根探针(43)下降到底部时，电阻检测设备(2)通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电
阻检测设备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；处理器(3)
控制进气组件(6)向进气孔内增加气压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的末位金属
线(S2)接触后，再控制进气组件(6)泄压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的零位金属
线(S2)接触；然后控制继电器(5)切换至与3#探针(43)断开电性连接，与2#探针(43)电性连
接。

[0023] 第二方面，本发明提供了一种在线式激光调阻方法，其采用本发明第一方面所述的在线式激光调阻机，包括以下步骤，

[0024] A1，将机械式压力传感器壳体(K)嵌入穿孔(4110)内，厚膜电阻片(S)表面设置有金属线(S2)的一面朝上；

[0025] A2，进气组件(6)连通机械式压力传感器壳体(K)上的进气孔；

[0026] A3，直线模组(42)驱动三根探针(43)下降到底部，1#探针(43)与工作台(41)接触，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触，3#探针(43)机
械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)接触，此时，电阻检测设备(2)通过继
电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设备(2)
与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；

[0027] A4，进气组件(6)向进气孔内增加气压，弹性触片(T)从零位金属线(S2)一直滑动到末位金属线(S2)，电阻检测设备(2)检测各金属线(S2)与零位金属线(S2)之间的初始阻
值，假设位于零位至末尾的金属线线序依次为K0～Kn，那么第i根金属线(S2)与零位金属线
(S2)之间的初始阻值为RSi；

[0028] A5，进气组件(6)给进气孔降低气压直至与外界大气压持平，弹性触片(T)从末位金属线(S2)滑动回到零位金属线(S2)，然后，继电器(5)切换至与3#探针(43)断开电性连
接，与2#探针(43)电性连接；

[0029] A6，通过处理器(3)输入各金属线(S2)分别与零位金属线(S2)之间的目标阻值，第i根金属线(S2)与零位金属线(S2)之间的目标阻值为RFi；

[0030] A7，依次计算从K1金属线(S2)到Kn根金属线(S2)与K0金属线(S2)之间的目标阻值RFi与初始阻值RSi之间的目标差值ΔRSi，

[0031] A8，找准厚膜电阻片(S)上的定位点，处理器(3)根据该定位点定位厚膜电阻片(S)上各金属线(S2)和厚膜电阻层(S3)的位置，并计算激光器(1)运动路线；

[0032] A9，激光器(1)从K1金属线(S2)到Kn根金属线(S2)依次对金属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀，在此过程中，电阻检测设备(2)监测2#探针(43)与零位金属线(S2)之
间的实时阻值增幅ΔRFi，并在实时阻值增幅ΔRFi达到目标差值ΔRSi时停止该段厚膜电
阻层(S3)的烧蚀，开始对下一根金属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀，直至所有金
属线(S2)对应的厚膜电阻层(S3)烧蚀完成。

[0033] 进一步优选的，厚膜电阻片(S)上设置有定位金属片(S4)，所述定位金属片(S4)和零位金属线(S2)之间涂覆有厚膜电阻层(S3)并通过所述厚膜电阻层(S3)相互电性连接，定
位金属片(S4)和零位金属线(S2)之间设置有连接金属线(S24)并通过连接金属线(S24)电
性连接，其中，

[0034] 步骤A3，直线模组(42)驱动三根探针(43)下降到底部，1#探针(43)与工作台(41)接触，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触，3#探针
(43)机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的定位金属片(S4)接触，此时，电阻检测设备(2)
通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设
备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；

[0035] 步骤A8，先控制激光器(1)开启并在厚膜电阻片(S)表面烧蚀，当连接金属线(S24)被烧断时，电阻检测设备(2)检测到1#探针(43)和2#探针(43)之间的阻值出现明显的上升，
处理器(3)以激光器(1)当前位置为定位点定位厚膜电阻片(S)上各金属线(S2)和厚膜电阻
层(S3)的位置，并计算激光器(1)运动路线，同时，电阻检测设备(2)以当前1#探针(43)和2#
探针(43)之间的阻值作为Kn金属线(S2)与K0金属线(S2)之间的初始阻值。

[0036] 本发明的在线式激光调阻机及调阻方法相对于现有技术具有以下有益效果：

[0037] (1)通过设置工作台和进气组件，对机械式压力传感器进行固定并通入气体，实现在线调阻，能直观反映出出厂时的阻值，防止质量问题流入客户环节；

[0038] (2)在工件定位台上设置多个穿孔，并设置导向杆和第一气缸，实现多个机械式压力传感器轮流上料、调阻与下料，提高工作效率。

附图说明

[0039] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以
根据这些附图获得其他的附图。

[0040] 图1为本发明的机械式压力传感器的立体图；

[0041] 图2为本发明的机械式压力传感器的立体图；

[0042] 图3为现有技术及本发明实施例1的厚膜电阻片的俯视图；

[0043] 图4为本发明实施例2的厚膜电阻片的俯视图；

[0044] 图5为本发明的在线式激光调阻机的立体结构示意图；

[0045] 图6为本发明的工件固定组件的立体图；

[0046] 图7为本发明的工件固定组件的立体图；

[0047] 图8为本发明的工件固定组件的部分接头的立体图；

[0048] 图9为本发明的在线式激光调阻机的连接关系图。

具体实施方式

[0049] 下面将结合本发明实施方式，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基
于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有
其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

[0050] 如图1所示，结合图2和图4，本发明的在线式激光调阻机，其包括激光器1、电阻检测设备2、处理器3、工件固定组件4、继电器5和进气组件6。

[0051] 工件固定组件4，固定机械式压力传感器并与之电连接。其包括工作台41、直线模组42和三根探针43，其中，

[0052] 工作台41，用于固定机械式压力传感器并与弹性触片T电性连接，一般采用金属材质。其中间设置有穿孔4110，机械式压力传感器壳体K嵌入穿孔4110内并与工作台41电性连
接，考虑到机械式压力传感器壳体K本身与弹性触片T电性连接，工作台41通过与机械式压
力传感器壳体K接触，即可实现与弹性触片T电性连接。

[0053] 在执行调阻作业时，机械式压力传感器的上料、调阻与下料都需要耗费时间，为了提高工作效率，可采用多个机械式压力传感器轮流上下料的方式。具体的，所述工作台41包
括工件定位台411、滑板412、导向杆413、底板414和第一气缸415，工件定位台411中间设置
有穿孔4110且底部与滑板412固定，导向杆413两端分别连接底板414，第一气缸415分别连
接导向杆413与滑板412，所述工件定位台411上并排设置有两个以上的穿孔4110。如此，可
通过第一气缸415驱动工件定位台411前后移动，在一穿孔4110中固定机械式压力传感器
时，另一穿孔4110卸料，轮流操作。

[0054] 为了便于快速将机械式压力传感器卡入穿孔4110内并保持工件定位台411与机械式压力传感器壳体K保持良好的电接触，所述工件固定组件4还包括U形金属弹片416，U形金
属弹片416卡在穿孔4110内壁和工件定位台411外壁上，并与机械式压力传感器壳体K接触。

[0055] 具体的，所述工件固定组件4还包括底座417、滑轨418和丝杆电机419，滑轨418固定在底座417上并与底板414滑动连接，丝杆电机419分别连接底座417和底板414。

[0056] 考虑到机械式压力传感器为一回转体结构，其在穿孔4110内不便于定位，为了保证厚膜电阻片S表面设置有金属线S2的一面朝上，便于接下来的调阻操作，所述工件固定组
件4还包括限位板410，与底板414固定，且在正对穿孔4110处设置有与机械式压力传感器支
架Z形状相适应的限位槽4100。如此，当机械式压力传感器从背面塞入穿孔4110内时，机械
式压力传感器支架Z嵌入限位槽4100内，防止其转动。

[0057] 三根探针43，分别标记为1#探针43、2#探针43和3#探针43。其中，1#探针43用于与弹性触片T电性连接，2#探针43用于与厚膜电阻片S末位金属线S2电性连接3#探针43用于与
零位金属线S2或者定位金属片S4接触。由于设置了三根探针43，所以在完成各金属线S2初
始阻值测量后，需要将电阻检测设备2切断与3#探针43的电性连接，与2#探针43建立电性连
接。因此，本发明设置了继电器5，电阻检测设备2，与1#探针43电性连接，与2#探针43和3#探
针43分别通过继电器5电性连接，检测1#探针43与2#探针43或3#探针43之间的实时电阻值
并发送给处理器3。具体的，所述当三根探针43下降到底部时，电阻检测设备2通过继电器5
与1#探针43和机械式压力传感器上的弹性触片T电性连接，电阻检测设备2与3#探针43电性
连接，继电器5与2#探针43断开电性连接；处理器3控制进气组件6向进气孔内增加气压，直
至弹性触片T与厚膜电阻片S上的末位金属线S2接触后，再控制进气组件6泄压，直至弹性触
片T与厚膜电阻片S上的零位金属线S2接触；然后控制继电器5切换至与3#探针43断开电性
连接，与2#探针43电性连接。

[0058] 直线模组42，驱动三根探针43上升或者下降，当三根探针43下降到底部时，1#探针43与工作台41电性连接，2#探针43与机械式压力传感器厚膜电阻片S上的末位金属线S2电
性连接，3#探针43机械式压力传感器厚膜电阻片S上的零位金属线S2电性连接。

[0059] 进气组件6，选择性连通机械式压力传感器壳体K上的进气孔，并向进气孔内增加或者降低气压。具体的，进气组件6包括第三气缸61、进气顶杆62和电磁阀63，第三气缸61固
定在底板414上并连接进气顶杆62，进气顶杆62上开设有气流通道并选择性与进气孔连通
或者断开，外部气体加压装置通过电磁阀63与进气顶杆62连通，电磁阀63与处理器3信号连
接。如此，处理器3通过控制电磁阀63的通断，即可控制向进气孔内增压或者减压。

[0060] 处理器3，分别与继电器5、进气组件6和激光器1信号连接，控制进气组件6向进气孔内增加或者降低气压，控制激光器1运动并发射或者停止发射激光束。具体的，处理器3内
预先存储厚膜电阻片S表面各金属线S2和厚膜电阻层S3的位置，在实际烧蚀前，先在厚膜电
阻片S表面找到一个定位点，然后根据预设程序依次找到各金属线S2之间的厚膜电阻层S3
并引导激光器1运动到指定位置对厚膜电阻层S3分段进行烧蚀。

[0061] 激光器1，发射激光束，对厚膜电阻片S上的厚膜电阻层S3进行烧蚀。具体的，所述激光器1可采用市售激光打标机。

[0062] 以下结合具体实施方式，介绍本发明的在线式激光调阻方法。

[0063] 实施例1——手动定位

[0064] A1，将机械式压力传感器壳体K嵌入穿孔4110内，厚膜电阻片S表面设置有金属线S2的一面朝上；在本实施例中，所述厚膜电阻片S没有设置定位金属片S4和连接金属线S24；

[0065] A2，进气组件6连通机械式压力传感器壳体K上的进气孔；

[0066] A3，直线模组42驱动三根探针43下降到底部，1#探针43与工作台41接触，2#探针43与机械式压力传感器厚膜电阻片S上的末位金属线S2接触，3#探针43机械式压力传感器厚
膜电阻片S上的零位金属线S2接触，此时，电阻检测设备2通过继电器5与1#探针43和机械式
压力传感器上的弹性触片T电性连接，电阻检测设备2与3#探针43电性连接，继电器5与2#探
针43断开电性连接；此时，电阻检测设备2实际上检测的是弹性触片T与零位金属线S2之间
的电阻；

[0067] A4，进气组件6向进气孔内增加气压，弹性触片T从零位金属线S2一直滑动到末位金属线S2，电阻检测设备2检测各金属线S2与末位金属线S2之间的初始阻值，假设位于零位
至末尾的金属线线序依次为K0～Kn，那么第i根金属线S2与末位金属线S2之间的初始阻值
为RSi；在本实施例中，所述厚膜电阻片S表面排布有49根金属线，依次线序为K0～K48，其
中，K1金属线与K0金属线之间的初始阻值RS1＝5Ω，K2金属线与K0金属线之间的初始阻值
RS46＝10Ω，K0金属线与K48金属线之间的初始阻值RS48＝500Ω；

[0068] A5，进气组件6给进气孔降低气压直至与外界大气压持平，弹性触片T从末位金属线S2滑动回到零位金属线S2，然后，继电器5切换至与3#探针43断开电性连接，与2#探针43
电性连接；此时，电阻检测设备2实际上检测的是零位金属线S2与末位金属线S2之间的电
阻；

[0069] A6，通过处理器3输入各金属线S2分别与零位金属线S2之间的目标阻值，第i根金属线S2与零位金属线S2之间的目标阻值为RFi；在本实施例中，K1金属线与K0金属线之间的
目标阻值RF1＝10Ω，K2金属线与K0金属线之间的目标阻值RS2＝17Ω；

[0070] A7，依次计算从K1金属线S2到Kn金属线S2与零位金属线S2之间的目标阻值RFi与初始阻值RSi之间的目标差值ΔRSi，在本实施例中，K1金属线与K0金属线之间的目标差值
ΔRS1＝5Ω，K2金属线与K0金属线之间的目标差值ΔRS2＝7Ω；

[0071] A8，手动引导激光器1运动到厚膜电阻片S上的定位点，处理器3根据该定位点定位厚膜电阻片S上各金属线S2和厚膜电阻层S3的位置，并计算激光器1运动路线；

[0072] A9，激光器1从K1金属线S2到Kn金属线S2依次对金属线S2对应的厚膜电阻层S3进行烧蚀，在此过程中，电阻检测设备2监测2#探针43与末位金属线S2之间的实时阻值增幅Δ
RFi，并在实时阻值增幅ΔRFi达到目标差值ΔRSi时停止该段厚膜电阻层S3的烧蚀，开始对
下一根金属线S2对应的厚膜电阻层S3进行烧蚀，直至所有金属线S2对应的厚膜电阻层S3烧
蚀完成。具体的，处理器3控制激光器1先对K1金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3进行
烧蚀，电阻检测设备2监测K0金属线与K48金属线之间的实时阻值增幅ΔRF48，即K0金属线
与K48金属线的实时阻值与RS48＝500Ω之间的差值ΔRF48，当ΔRF48＝ΔRS1＝5Ω时，即
证明K1金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3电阻已经达到目标阻值10Ω，此时，K48金属
线与K0金属线之间的电阻为500Ω+10Ω＝510Ω；接着处理器3控制激光器1对K2金属线与
K1金属线之间的厚膜电阻层S3进行烧蚀，电阻检测设备2监测1#探针43与K48金属线之间的
实时阻值增幅ΔRF48，即K0金属线与K48金属线的实时阻值与RS48＝500Ω之间的差值Δ
RF48，当ΔRF48＝ΔRS2＝7Ω时，即证明K2金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3电阻已
经达到目标阻值17Ω，此时，K48金属线与K0金属线之间的电阻为500Ω+17Ω＝517Ω；依照
以上次序依次完成各段厚膜电阻层S3的烧蚀。

[0073] 实施例2——自动定位

[0074] A1，将机械式压力传感器壳体K嵌入穿孔4110内，厚膜电阻片S表面设置有金属线S2的一面朝上；在本实施例中，厚膜电阻片S上设置有定位金属片S4，所述定位金属片S4和
零位金属线S2之间涂覆有厚膜电阻层S3并通过所述厚膜电阻层S3相互电性连接，定位金属
片S4和零位金属线S2之间设置有连接金属线S24并通过连接金属线S24电性连接；

[0075] A2，进气组件6连通机械式压力传感器壳体K上的进气孔；

[0076] A3，直线模组42驱动三根探针43下降到底部，1#探针43与工作台41接触，2#探针43与机械式压力传感器厚膜电阻片S上的末位金属线S2接触，3#探针43机械式压力传感器厚
膜电阻片S上的定位金属片S4接触，此时，电阻检测设备2通过继电器5与1#探针43和机械式
压力传感器上的弹性触片T电性连接，电阻检测设备2与3#探针43电性连接，继电器5与2#探
针43断开电性连接；此时，电阻检测设备2实际上检测的是弹性触片T与零位金属线S2之间
的电阻；

[0077] A4，进气组件6向进气孔内增加气压，弹性触片T从零位金属线S2一直滑动到末位金属线S2，电阻检测设备2检测各金属线S2与零位金属线S2之间的初始阻值，假设位于零位
至末尾的金属线线序依次为K0～Kn，那么第i根金属线S2与零位金属线S2之间的初始阻值
为RSi；在本实施例中，所述厚膜电阻片S表面排布有49根金属线，依次线序为K0～K48，其
中，K1金属线与K0金属线之间的初始阻值RS1＝5Ω，K2金属线与K0金属线之间的初始阻值
RS2＝10Ω；

[0078] A5，进气组件6给进气孔降低气压直至与外界大气压持平，弹性触片T从末位金属线S2滑动回到零位金属线S2，然后，继电器5切换至与3#探针43断开电性连接，与2#探针43
电性连接；此时，电阻检测设备2实际上检测的是末位金属线S2与定位金属片S4之间的电
阻；

[0079] A6，通过处理器3输入各金属线S2分别与零位金属线S2之间的目标阻值，第i根金属线S2与零位金属线S2之间的目标阻值为RFi；在本实施例中，K1金属线与K0金属线之间的
目标阻值RF1＝10Ω，K2金属线与K0金属线之间的目标阻值RS2＝17Ω；

[0080] A7，依次计算从K1金属线S2到Kn金属线S2与零位金属线S2之间的目标阻值RFi与初始阻值RSi之间的目标差值ΔRSi，在本实施例中，K1金属线与K0金属线之间的目标差值
ΔRS1＝5Ω，K2金属线与K0金属线之间的目标差值ΔRS2＝7Ω；

[0081] A8，先控制激光器1开启并在厚膜电阻片S表面烧蚀，当连接金属线S24被烧断时，电阻检测设备2检测到1#探针43和2#探针43之间的阻值出现明显的上升，处理器3以激光器
1当前位置为定位点定位厚膜电阻片S上各金属线S2和厚膜电阻层S3的位置，并计算激光器
1运动路线，同时，电阻检测设备2以当前1#探针43和2#探针43之间的阻值作为1#探针43与
末位金属线S2之间的初始阻值；在本实施例中，电阻检测设备2检测得到1#探针43与K48金
属线之间的初始阻值RS48＝505Ω

[0082] A9，激光器1从K1金属线S2到Kn金属线S2依次对金属线S2对应的厚膜电阻层S3进行烧蚀，在此过程中，电阻检测设备2监测1#探针43与末位金属线S2之间的实时阻值增幅Δ
RFi，并在实时阻值增幅ΔRFi达到目标差值ΔRSi时停止该段厚膜电阻层S3的烧蚀，开始对
下一根金属线S2对应的厚膜电阻层S3进行烧蚀，直至所有金属线S2对应的厚膜电阻层S3烧
蚀完成。具体的，处理器3控制激光器1先对K1金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3进行
烧蚀，电阻检测设备2监测1#探针43与K48金属线之间的实时阻值增幅ΔRF，即定位金属片
S4与K48金属线的实时阻值与RS48＝505Ω之间的差值ΔRF，当ΔRF＝ΔRS1＝5Ω时，即证
明K1金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3电阻已经达到目标阻值10Ω，此时，K48金属线
与1#探针43之间的电阻为505Ω+10Ω＝515Ω；接着处理器3控制激光器1对K2金属线与K1
金属线之间的厚膜电阻层S3进行烧蚀，电阻检测设备2监测1#探针43与K48金属线之间的实
时阻值增幅ΔRF，即定位金属片S4与K48金属线的实时阻值与RS＝505Ω之间的差值ΔRF，
当ΔRF＝ΔRS2＝7Ω时，即证明K2金属线与K0金属线之间的厚膜电阻层S3电阻已经达到目
标阻值17Ω，此时，K48金属线与1#探针43之间的电阻为505Ω+17Ω＝522Ω；依照以上次序
依次完成各段厚膜电阻层S3的烧蚀。

[0083] 以上所述仅为本发明的较佳实施方式而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。