用于引线键合的衬底金属层结构及功率半导体器件

摘要

本申请提供了一种用于引线键合的衬底金属层结构以及功率半导体器件，衬底金属层结构自下而上依次包括：衬底；金属层，其设置在该衬底的上表面；以及引线，其设置在该金属层的远离该衬底的表面上并与该金属层形成引线键合；其中，该金属层包括叠置而成的多个子金属层，并且该多个子金属层的表面积自下而上逐渐减小。通过该衬底金属层结构及功率半导体器件，可以成功实现降低引线键合失效率，且金属层应力较小，工艺实现简单，成本较低，提高了器件的可靠性。

权利要求

1.一种用于引线键合的衬底金属层结构，其特征在于，所述衬底金属层结构自下而上依次包括：

衬底；

金属层，其设置在所述衬底的上表面；以及引线，其设置在所述金属层的远离所述衬底的表面上并与所述金属层形成引线键合；

其中，所述金属层包括叠置而成的多个子金属层，并且所述多个子金属层的表面积自下而上逐渐减小；

所述多个子金属层为至少三个子金属层，该多个子金属层中除了最下层子金属层之外，其余的子金属层的厚度自下而上逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述多个子金属层中，与所述衬底连接的最下层子金属层的厚度最小。

3.根据权利要求2所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述最下层子金属层通过物理气相沉积工艺设置于所述衬底上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述多个子金属层的相邻子金属层之间采用物理气相沉积或电镀工艺进行连接。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述多个子金属层中的每个子金属层均为由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb的一种或多种制成的单层结构。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述多个子金属层中的每个子金属层均为由多个单层结构叠置而成的多层结构，所述单层结构由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb的一种或多种制成。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述引线通过热、压力或超声波能量与所述金属层形成引线键合。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述衬底为芯片或衬板。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底金属层结构，其特征在于，所述金属层包括3个子金属层。

10.一种功率半导体器件，其包括权利要求1‑9中任一项所述的衬底金属层结构。

说明书

用于引线键合的衬底金属层结构及功率半导体器件

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体技术领域，并且更具体地，涉及一种用于引线键合的衬底金属层结构及功率半导体器件。

背景技术

[0002] 当前功率半导体器件逐步朝高功率密度、高散热能力发展，这就要求器件内部使用的金属层及引线具有高热导率、高载流能力的特点，在实践中将铝质材料改成铜质材料
同时将引线加粗，能够器件电流密度增加，从而延长器件的使用寿命。但同时也存在一些问
题，铜相对于铝较硬，引线键合时需要更大的键合力才能成功实现键合，同样使用较粗的引
线进行键合也需要更大的键合力，而较大的键合力容易造成衬底(通常为芯片或衬板)损
坏，使器件性能退化甚至失效，通常需要在衬底表面加入较厚的金属层，而较厚的金属层将
导致较大的应力，尤其是在高温环境中，容易引起衬底弯曲、金属层起皮甚至键合点脱落，
导致器件失效，这严重影响了器件的可靠性，缩短了产品的使用寿命。

[0003] 目前国内外已有的发明专利中，铝、铜、金等多种金属已被广泛应用于半导体引线键合，也有部分专利中提及使用引线键合垫、焊盘、金属球等方法实现引线键合，然而其中
大部分均应用于封装结构中的引线框架中，并未对金属层作出改进。

[0004] 因此，需要设计一种新型的衬底金属层结构及功率半导体器件，既能成功实现引线键合，又能保持较小的金属层应力从而防止金属层脱落。

发明内容

[0005] 针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种适用于引线键合的衬底金属层结构及包含该衬底金属层结构的功率半导体器件，通过将金属层设置为多层结构，可以成功
实现降低引线键合失效率，且金属层应力较小，工艺实现简单，成本较低，提高了器件的可
靠性。该衬底金属层结构适用于所有使用引线键合工艺的功率半导体器件，应用范围广且
成品率高。

[0006] 第一方面，本申请提供的用于引线键合的衬底金属层结构，自下而上依次包括：衬底；金属层，其设置在所述衬底的上表面；引线，其设置在所述金属层的远离所述衬底的表
面上并与所述金属层形成引线键合；其中，所述金属层包括叠置而成的多个子金属层，并且
所述多个子金属层的表面积自下而上逐渐减小。通过该衬底金属层结构，能够在进行引线
键合的同时降低键合失效率。

[0007] 在一个实施方式中，多个子金属层中的每个子金属层均为Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb中的一种或多种制成的单层结构。

[0008] 在一个实施方式中，多个子金属层中的每个子金属层均为由多个单层结构叠置而成的多层结构，所述单层结构由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb中的一种或多种制成。

[0009] 在一个实施方式中，多个子金属层中，与所述衬底连接的最下层子金属层的厚度最小。

[0010] 在一个实施方式中，引线通过热、压力或超声波能量与所述金属层形成引线键合。

[0011] 在一个实施方式中，多个子金属层的相邻子金属层之间采用物理气相沉积或电镀工艺进行连接。

[0012] 在一个实施方式中，多个子金属层的最下层子金属层通过物理气相沉积工艺设置在所述衬底上。

[0013] 在一个实施方式中，衬底为芯片或衬板。

[0014] 在一个实施方式中，金属层包括3个子金属层。

[0015] 第二方面，本申请还提供了一种功率半导体器件，其包括第一方面及其可能的实施方式中所述的衬底金属层结构。

[0016] 通过本申请提供的用于引线键合的衬底金属层结构及功率半导体器件，能够实现金属层与下层衬底的有效粘结，防止器件表面金属层脱落；可以实现较粗线径的引线的键
合，适用于更大电流密度的器件制作；工艺实现简单，与传统金属层结构相比更节约材料，
成本较低。

[0017] 上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。

附图说明

[0018] 在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

[0019] 图1显示了根据本发明实施例的衬底金属层结构的结构示意图。

[0020] 在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

[0021] 下面将结合附图对本发明作进一步说明。

[0022] 图1为本申请提供的用于引线键合的衬底金属层结构100的结构示意图。如图1所示，该衬底金属层结构100自下而上包括：

[0023] 衬底110；

[0024] 金属层120，其设置在衬底110的上表面；以及

[0025] 引线，其设置在金属层的原理衬底110的表面上并与金属层120形成引线键合；

[0026] 其中，金属层120包括堆叠而成的多个子金属层，并且这多个子金属层的表面积自下而上逐渐减小。

[0027] 目前采用引线键合工艺的半导体器件中，衬底表面存在较厚的金属层，器件运行过程中，特别是在高温环境中，金属层易发生翘曲，引起衬底弯曲、金属层起皮甚至键合点
脱落，导致器件失效，这严重影响了器件的可靠性，缩短了产品的使用寿命。本申请的衬底
金属层结构100能够在实现引线130与金属层120成功键合的同时，减小金属层120的应力，
防止金属层120在高温环境中发生翘曲，提高器件可靠性。

[0028] 该金属层120用于保护该衬底110，同时用于实现导电以及引线键合功能。另外，可选地，衬底110可以为多种平板结构，例如芯片或衬板。

[0029] 本领域技术人员应当理解，本文的“多个子金属层”意指子金属层数大于或等于2层。为了清楚地描述本发明，在图1所示的实施例中，该金属层120包括3个子金属层，即自下
而上依次堆叠设置的第一子金属层121、第二子金属层122以及第三子金属层123，其中，第
一子金属层121与衬底110连接，第三子金属层123与引线130在键合点处形成引线键合，第
二子金属层122设置于第一子金属层121和第三子金属层123之间。第一子金属层121、第二
子金属层122以及第三子金属层124的表面积依次逐渐减小。

[0030] 在这种构造下，尤其在高温环境中，上层子金属层由于表面积较小，其发生的热膨胀或热收缩所产生的内应力对于下层子金属层的作用力得以减小，即下层子金属层对于上
层子金属层的应力的抵抗作用增大；同时通过设置多个子金属层并使其表面积逐渐减小，
能够分散引线键合的力，减小第一子金属层121和衬底所承受的压力，放置了金属层的翘
曲，起到更好地保护衬底的效果。

[0031] 优选地，该多个子金属层的与衬底接触的最下层子金属层的表面积与衬底的表面积相等。通过该构造，能够更好地保护该衬底免受外界因素损害。

[0032] 优选地，在3个子金属层中，与衬底直接接触的第一子金属层121的厚度最小。通过该方式，能够进一步减小在高温环境下第一子金属层发生膨胀或收缩而产生的内应力的大
小，防止其发生翘曲。

[0033] 更优选地，该第一子金属层121的厚度为1μm。

[0034] 可选地，该多个子金属层中除了最下层子金属层之外，其余的子金属层的厚度自下而上逐渐减小。通过使靠近衬底的子金属层厚度最大，能够增强其承受压应力的能力，即
抵抗上层子金属层由于膨胀或收缩而产生的应力。在图1所示的实施例中，第二子金属层
122的厚度大于第三子金属层123的厚度。

[0035] 当然，为保证最大程度地降低该金属层在高温环境下的应力，可以根据实际情况对该金属层的各子金属层的厚度进行适当地调整。例如，将最上层子金属层(在图1中即第
三子金属层123)的厚度制成最小。

[0036] 为了更好地实现键合以及提高器件的可靠性，在图1的实施例中，可以通过物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)工艺将第一子金属层121设置于衬底110上。

[0037] 另外，可以通过PVD工艺或电镀工艺将第一子金属层121、第二子金属层122和第三子金属层123彼此连接，以提高器件的可靠性。

[0038] 关于该多个子金属层的材质，在一个实施例中，多个子金属层中的每个子金属层均为由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb的一种或多种制成的单层结构。

[0039] 一方面，该多个子金属层的每个子金属层均由单一金属制成，例如Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti或Pb等。具体地，如图1所示，第一子金属层121、第二子金属层122和第三子金属层
123可以分别为同一种金属制成的单层结构，例如这三个子金属层均由单一金属镍制成；可
选地，这三个子金属层可以为由不同金属制成，例如第一子金属层121为由金属镍制成的单
层结构，第二子金属层122为由金属铜制成的单层结构，第三子金属层123为由金属铅制成
的单层结构。应理解，每个子金属层的材质可以根据需求进行调整，本发明在此不作限定。

[0040] 另一方面，该多个子金属层的每个子金属层均为由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti或Pb中的至少两种组成的合金制成的单层结构。具体地，例如，第一子金属层121为由金属铜和镍
组成的合金的单层结构，第二子金属层122为由金属钯和金组成的合金的单层结构，第三子
金属层123为由金属银和锡组成的合金的单层结构。应理解，每个子金属层的材质可以根据
需求进行调整，本发明在此不作限定。

[0041] 在一个实施例中，该多个子金属层中的部分子金属层为由单一金属制成的单层结构，而其它的子金属层为由合金制成的单层结构。

[0042] 在一个实施例中，多个子金属层中的每个子金属层均为由多个单层结构叠置而成的多层结构，所述单层结构由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti和Pb的一种或多种制成。具体地，以第
一子金属层121为例，该第一子金属层121为多个单层结构堆叠而成的多层结构，该单层结
构可以由Cu、Ni、Pd、Au、Ag、Sn、Ti或Pb的单一金属制成，也可以由上述金属的合金制成。可
选地，可以通过PVD工艺形成该第一子金属层121，第二子金属层122和第三子金属层123也
可以通过相同或相似的工艺形成。

[0043] 在一个实施例中，针对多个子金属层，例如图1中的第一子金属层121、第二子金属层122和第三子金属层123，优选地，可以使第一子金属层121为单层结构、第二子金属层122
和第三子金属层123为多层结构，这样可以使得该金属层120可以具有更小的应力，避免了
金属层120与衬底110的脱落，提高了器件可靠性。

[0044] 当然，多个子金属层中的每个子金属层的结构可以根据需求进行调整，本发明在此不作限定。

[0045] 在形成该衬底金属层100时，可以通过如下的几个步骤进行：

[0046] 步骤1、通过PVD工艺将第一子金属层121设置在衬底110的上表面；

[0047] 步骤2、通过PVD工艺或电镀工艺将第二子金属层122设置在第一子金属层121的远离衬底110的表面上；

[0048] 步骤3、通过PVD工艺或电镀工艺将第三子金属层123设置在第二子金属层122的远离第一子金属层121的表面上，第一子金属层121、第二子金属层122和第三子金属层123由
此共同构成金属层120；

[0049] 步骤4、将引线130通过热、压力或超声波能量与第三子金属层123在键合点处形成引线键合。

[0050] 优选地，引线130由铜制成，并且引线130的直径较粗，以满足较大的电流密度的器件的制作。

[0051] 本申请还公开了一种功率半导体器件，其包括上文所描述的衬底金属层结构100。通过该衬底金属层结构100，该功率半导体器件具有更好的可靠性以及更大的电流密度，同
时由于该结构工艺简单，可以降低制造成本。

[0052] 通过本申请提供的衬底金属层结构以及包括该结构的功率半导体器件，将金属层设置为多层结构并且使该多个子金属层表面积逐渐减小，能够在实现引线键合的同时减小
金属层的应力，防止金属层在高温环境下发生翘曲，从而避免了金属层的脱落，提高了器件
的可靠性；同时，由于可以实现较粗现金的引线键合，该衬底金属层结构适用于更大电流密
度的制作，应用范围广。最后，该衬底金属层结构的制作工艺简单，与传统金属层结构相比
更节约材料，降低了制造成本。

[0053] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便
于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以
特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0054] 虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行
许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神
和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权
利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在
其他所述实施例中。