一种晶圆多工位边缘抛光设备

摘要

本发明公开了一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆、抛光系统、液压缸、机体，机体顶端面设有两个抛光系统，抛光系统正上方设有液压缸，液压缸和抛光系统机械连接，机体最顶端设有固定杆，抛光系统包含进风口、主杆、折叠筒、固定盘、操作平台，操作平台固定在机体正上方，操作平台正上方设有固定盘，本发明通过液压缸、主杆和固定盘之间的相互配合，利用液压缸下压后对晶圆进行固定，避免晶圆在固定时发生相对滑动，本发明通过固定盘和进风口等相互配合，利用抽气的方式，对晶圆实现吸附，并且采用吸气内环和吸气外环对晶圆的内部和外部同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半。

权利要求

1.一种晶圆多工位边缘抛光设备，其特征在于：其结构包括固定杆(1)、抛光系统(2)、液压缸(3)、机体(4)，所述机体(4)顶端面设有两个抛光系统(2)，所述抛光系统(2)正上方设有液压缸(3)，所述液压缸(3)和抛光系统(2)机械连接，所述机体(4)最顶端设有固定杆(1)，所述抛光系统(2)包含进风口(21)、主杆(23)、折叠筒(24)、固定盘(25)、操作平台(27)，所述操作平台(27)固定在机体(4)正上方，所述操作平台(27)正上方设有固定盘(25)，所述固定盘(25)顶端面设有折叠筒(24)，所述折叠筒(24)为空心结构，所述折叠筒(24)顶端安装主杆(23)，所述主杆(23)上开有进风口(21)，所述进风口(21)和机体(4)机械连接；

所述折叠筒(24)为上窄下宽的结构；

所述固定盘(25)由吸气内环(251)、细道(252)、圆形板(253)、吸气外环(254)构成，所述圆形板(253)正中间设有吸气内环(251)，所述吸气外环(254)的内直径大于吸气内环(251)的外直径，所述吸气外环(254)位于圆形板(253)外表面，所述吸气外环(254)和吸气内环(251)通过两条以上的细道(252)连通，所述吸气内环(251)和折叠筒(24)连通；

所述圆形板(253)靠近折叠筒(24)的顶部外弧面设有三个移动架(26)，所述移动架(26)和圆形板(253)采用滑动配合，所述移动架(26)由槽口(261)、滑槽(262)、扇形架(264)组成，所述槽口(261)开在圆形板(253)中，所述槽口(261)的内部地面正中间设有滑槽(262)，所述扇形架(264)和槽口(261)采用滑动配合；

所述扇形架(264)靠近外侧的那端设有一个指凹口(263)；

所述扇形架(264)为镂空的扇形结构；

所述折叠筒(24)和进风口(21)之间设有风量调节环(22)，所述风量调节环(22)和主杆(23)机械连接，所述风量调节环(22)由转动环(221)、风口(222)、挡板(223)、壳体(224)组成，所述壳体(224)和转动环(221)转动配合，所述壳体(224)内壁上固定设有挡板(223)，所述挡板(223)为三角扇形结构，所述挡板(223)和转动环(221)相互配合，和挡板(223)水平空间内未封闭的空间为风口(222)；

所述圆形板(253)和折叠筒(24)相对地底面设有海绵块(36)，所述海绵块(36)和圆形板(253)底面的形状相贴合；

所述海绵块(36)外表面光滑。

说明书

一种晶圆多工位边缘抛光设备

技术领域

[0001] 本发明涉及晶圆切割设备领域，尤其是涉及到一种晶圆多工位边缘抛光设备。

背景技术

[0002] 晶圆由整个晶棒切片后形成，随着电子器件的零件缩小，晶圆在电子器件上的应用逐渐增加，对晶圆的表面颗粒度、几何参数、边缘及表面的粗糙度，提出了更加严格的要
求，需要对晶圆的边缘进行打磨抛光，在加压固定的时候晶圆硬度过高，容易脆化，导致正
在抛光的晶圆从中间分开折成两半，抛光的成品率低。

发明内容

[0003] 针对现有技术的不足，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆、抛光系统、液压缸、机体，所述机体顶端面设有两个抛光系
统，所述抛光系统正上方设有液压缸，所述液压缸和抛光系统机械连接，所述机体最顶端设
有固定杆，所述抛光系统包含进风口、主杆、折叠筒、固定盘、操作平台，所述操作平台固定
在机体正上方，所述操作平台正上方设有固定盘，所述固定盘顶端面设有折叠筒，所述折叠
筒为空心结构，所述折叠筒和固定盘固定连接，所述折叠筒顶端安装主杆，所述主杆上开有
进风口，所述进风口和机体机械连接。

[0004] 作为本技术方案的进一步优化，所述折叠筒为上窄下宽的结构。

[0005] 作为本技术方案的进一步优化，所述固定盘由吸气内环、细道、圆形板、吸气外环构成，所述圆形板正中间设有吸气内环，所述吸气内环和圆形板为一体化结构，所述吸气外
环的内直径大于吸气内环的外直径，所述吸气外环位于圆形板外表面，所述吸气外环和吸
气内环通过两条以上的细道连通，这些细道呈均匀等距分布，所述吸气内环和折叠筒连通。

[0006] 作为本技术方案的进一步优化，所述圆形板靠近折叠筒的顶部外弧面设有三个移动架，所述移动架和圆形板采用滑动配合，所述移动架由槽口、滑槽、扇形架组成，所述槽口
开在圆形板中，所述槽口的内部地面正中间设有滑槽，所述滑槽和圆形板为一体化结构，所
述扇形架和槽口采用滑动配合。

[0007] 作为本技术方案的进一步优化，所述扇形架靠近外侧的那端设有一个指凹口，所述指凹口和扇形架为一体化结构。

[0008] 作为本技术方案的进一步优化，所述扇形架为镂空的扇形结构。

[0009] 作为本技术方案的进一步优化，所述折叠筒和进风口之间设有风量调节环，所述风量调节环和主杆机械连接，所述风量调节环由转动环、风口、挡板、壳体组成，所述壳体和
转动环转动配合，所述壳体内壁上固定设有挡板，所述挡板和壳体内壁水平固定，所述挡板
为三角扇形结构，所述挡板的圆心夹角小于90度，所述挡板和转动环相互配合，和挡板水平
空间内未封闭的空间为风口。

[0010] 作为本技术方案的进一步优化，所述圆形板和折叠筒相对地底面设有海绵块，所述海绵块和圆形板底面的形状相贴合，所述圆形板和海绵块活动固定。

[0011] 有益效果

[0012] 本发明一种晶圆多工位边缘抛光设备与现有技术相比具有以下优点：

[0013] 1.本发明通过液压缸、主杆和固定盘之间的相互配合，利用液压缸下压后对晶圆进行固定，避免晶圆在固定时发生相对滑动。

[0014] 2.本发明通过固定盘和进风口等相互配合，利用抽气的方式，对晶圆实现吸附，并且采用吸气内环和吸气外环对晶圆的内部和外部同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均
匀不会从中间开始断裂成两半。

[0015] 3.本发明通过折叠筒、固定盘的相互配合，调节固定盘距离操作平台之间的高度，适用任意不同厚度的晶圆，提高实用性。

[0016] 4.本发明扇形架和固定盘之间的相互配合，可活动移动扇形架，将其扇形架向外延伸，扩展圆形板固定的直径，让固定的范围更加广，在液压系统下压固定晶圆时受力也更
加均匀。

[0017] 5.本发明通过海绵块的设计，在液压缸下压的时候，减少液压缸直接对晶圆的压力，避免其冲击过大，晶圆直接破裂，且海绵块外表面光滑，和晶圆接触后不会对其造成刮
痕。

附图说明

[0018] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

[0019] 图1为本发明一种晶圆多工位边缘抛光设备的立体结构示意图。

[0020] 图2为本发明抛光系统的立体结构示意图。

[0021] 图3为本发明抛光系统的地面示意图。

[0022] 图4为本发明安装有风量调节环的抛光系统结构示意图。

[0023] 图5为本发明安装有移动架的固定盘平面示意图。

[0024] 图6为本发明安装有移动架的固定盘使用平面示意图。

[0025] 图7为本发明风量调节环使用时的平面示意图。

[0026] 图8为本发明风量调节环的平面示示意图。

[0027] 图中：固定杆1、抛光系统2、液压缸3、机体4、进风口21、主杆23、折叠筒24、固定盘25、移动架26、操作平台27、吸气内环251、细道252、圆形板253、吸气外环254、槽口261、滑槽
262、扇形架264、指凹口263、风量调节环22、转动环221、风口222、挡板223、壳体224。

具体实施方式

[0028] 为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式以及附图说明，进一步阐述本发明的优选实施方案。

[0029] 实施例一

[0030] 请参阅图1‑图4，一种晶圆多工位边缘抛光设备，本发明提供一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆1、抛光系统2、液压缸3、机体4，所述机体4顶端面设有两个抛
光系统2，所述抛光系统2正上方设有液压缸3，所述液压缸3和抛光系统2机械连接，所述机
体4最顶端设有固定杆1，所述抛光系统2包含进风口21、主杆23、折叠筒24、固定盘25、操作
平台27，所述操作平台27固定在机体4正上方，所述操作平台27正上方设有固定盘25，所述
固定盘25顶端面设有折叠筒24，所述折叠筒24为空心结构，所述折叠筒24和固定盘25固定
连接，所述折叠筒24顶端安装主杆23，所述主杆23上开有进风口21，所述进风口21和机体4
机械连接。

[0031] 所述折叠筒24为上窄下宽的结构，在抽取空气的时候，更加集中，不会因为空间荡漾，产生空鸣的声响。

[0032] 所述固定盘25由吸气内环251、细道252、圆形板253、吸气外环254构成，所述圆形板253正中间设有吸气内环251，所述吸气内环251和圆形板253为一体化结构，所述吸气外
环254的内直径大于吸气内环251的外直径，所述吸气外环254位于圆形板253外表面，所述
吸气外环254和吸气内环251通过两条以上的细道252连通，这些细道252呈均匀等距分布，
所述吸气内环251和折叠筒24连通，采用吸气内环251和吸气外环254对晶圆的内部和外部
同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半。

[0033] 在使用时，首先，通过液压缸3下压，晶圆进行固定，避免晶圆在固定时发生相对滑动，还可通过利用抽气的方式，气体从和晶圆接触的固定盘25处吸附空气，再流通固定盘25
和主杆23，对晶圆实现吸附，并且采用吸气内环251和吸气外环254对晶圆的内部和外部同
时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半，折叠筒24的设计，调
节固定盘25距离操作平台27之间的高度，适用任意不同厚度的晶圆，提高实用性，且折叠筒
24为上窄下宽的结构，在抽取空气的时候，更加集中，不会因为空间荡漾，产生空鸣的声响。

[0034] 实施例二

[0035] 请参阅图1‑图8，一种晶圆多工位边缘抛光设备，本发明提供一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆1、抛光系统2、液压缸3、机体4，所述机体4顶端面设有两个抛
光系统2，所述抛光系统2正上方设有液压缸3，所述液压缸3和抛光系统2机械连接，所述机
体4最顶端设有固定杆1，所述抛光系统2包含进风口21、主杆23、折叠筒24、固定盘25、操作
平台27，所述操作平台27固定在机体4正上方，所述操作平台27正上方设有固定盘25，所述
固定盘25顶端面设有折叠筒24，所述折叠筒24为空心结构，所述折叠筒24和固定盘25固定
连接，所述折叠筒24顶端安装主杆23，所述主杆23上开有进风口21，所述进风口21和机体4
机械连接。

[0036] 所述折叠筒24为上窄下宽的结构，在抽取空气的时候，更加集中，不会因为空间荡漾，产生空鸣的声响。

[0037] 所述固定盘25由吸气内环251、细道252、圆形板253、吸气外环254构成，所述圆形板253正中间设有吸气内环251，所述吸气内环251和圆形板253为一体化结构，所述吸气外
环254的内直径大于吸气内环251的外直径，所述吸气外环254位于圆形板253外表面，所述
吸气外环254和吸气内环251通过两条以上的细道252连通，这些细道252呈均匀等距分布，
所述吸气内环251和折叠筒24连通，采用吸气内环251和吸气外环254对晶圆的内部和外部
同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半。

[0038] 所述圆形板253靠近折叠筒24的顶部外弧面设有三个移动架26，所述移动架26和圆形板253采用滑动配合，所述移动架26由槽口261、滑槽262、扇形架264组成，所述槽口261
开在圆形板253中，所述槽口261的内部地面正中间设有滑槽262，所述滑槽262和圆形板253
为一体化结构，所述扇形架264和槽口261采用滑动配合，可活动移动扇形架264，将其扇形
架264向外延伸，扩展圆形板253固定的直径，让固定的范围更加广，在液压系统下压固定晶
圆时受力也更加均匀。

[0039] 所述扇形架264靠近外侧的那端设有一个指凹口263，所述指凹口263和扇形架264为一体化结构，便于扇形架264的向内和向外移动。

[0040] 所述扇形架264为镂空的扇形结构，与晶圆的边缘接触面积大，受力也更加均匀。

[0041] 所述折叠筒24和进风口21之间设有风量调节环22，所述风量调节环22和主杆23机械连接，所述风量调节环22由转动环221、风口222、挡板223、壳体224组成，所述壳体224和
转动环221转动配合，所述壳体224内壁上固定设有挡板223，所述挡板223和壳体224内壁水
平固定，所述挡板223为三角扇形结构，所述挡板223的圆心夹角小于90度，所述挡板223和
转动环221相互配合，和挡板223水平空间内未封闭的空间为风口222，利用转动环221和挡
板223的重叠程度来调节通过的分量，转动环221和挡板223重叠地越少，风口222就越小，则
风口的吸附能来也就越强。

[0042] 所述圆形板253和折叠筒24相对地底面设有海绵块36，所述海绵块36和圆形板253底面的形状相贴合，所述圆形板253和海绵块36活动固定，在液压缸3下压的时候，减少液压
缸3直接对晶圆的压力，避免其冲击过大，晶圆直接破裂。

[0043] 在实施例一的基础上，可活动移动扇形架264，将其扇形架264向外延伸，扩展圆形板253固定的直径，让固定的范围更加广，在液压系统下压固定晶圆时受力也更加均匀，还
可通过海绵块36的设计，在液压缸3下压的时候，减少液压缸3直接对晶圆的压力，避免其冲
击过大，晶圆直接破裂，且海绵块36外表面光滑，和晶圆接触后不会对其造成刮痕。

[0044] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本
发明的原理，在不脱离本发明精神或基本特征的前提下，不仅能够以其他的具体形式实现
本发明，还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围，因此本发
明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定，而不是上述说明限定。

[0045] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当
将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。