微镜驱动臂、微镜阵列芯片和光开关转让专利
申请号 : CN201811333029.6
文献号 : CN111175966B
文献日 : 2021-07-09
发明人 : 张程浩 , 黄兆兴 , 谢会开 , 蒋臣迪 , 姚丹阳
申请人 : 华为技术有限公司 , 无锡微奥科技有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种微镜驱动臂,其特征在于,包括驱动结构层和加热电阻材料层,所述加热电阻材料层用于接通电流产生热量,所述驱动结构层在所述热量作用下发生形变,所述加热电阻材料层包括第一部分、第二部分和第三部分,其中,所述第一部分与第一热隔离连接件的一端连接,所述第一热隔离连接件的另一端与镜面连接,所述第三部分与第二热隔离连接件的一端连接,所述第二热隔离连接件的另一端与外框连接,所述第二部分是所述加热电阻材料层除所述第一部分和所述第三部分以外的部分,所述第一部分的线电阻率和所述第三部分的线电阻率均大于所述第二部分的线电阻率。
2.根据权利要求1所述的微镜驱动臂,其特征在于,所述第一部分的横截面的面积小于所述第二部分的横截面的面积,和/或所述第一部分的材料的电阻率大于所述第二部分的材料的电阻率;
所述第三部分的横截面的面积小于所述第二部分的横截面的面积,和/或所述第三部分的材料的电阻率大于所述第二部分的材料的电阻率。
3.根据权利要求2所述的微镜驱动臂,其特征在于,所述第一部分的横截面的面积小于所述第二部分的横截面的面积,包括:所述第一部分满足下列条件中的任意一个或多个:所述第一部分的宽度小于所述第二部分的宽度,所述第一部分的厚度小于所述第二部分的厚度,所述第一部分包括多个孔或至少一个空条带;
所述第三部分的横截面的面积小于所述第二部分的横截面的面积,包括:所述第三部分满足下列条件中的任意一个或多个:所述第三部分的宽度小于所述第二部分的宽度,所述第三部分的厚度小于所述第二部分的厚度,所述第三部分包括多个孔或至少一个空条带。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的微镜驱动臂,其特征在于,在沿所述加热电阻材料层的长度方向上,距离所述热隔离连接件越近,所述第一部分的线电阻率越大;和/或在沿所述加热电阻材料层的长度方向上,距离所述热隔离连接件越近,所述第三部分的线电阻率越大。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的微镜驱动臂,其特征在于,在沿所述加热电阻材料层的长度方向上,所述第一部分的线电阻率保持不变;和/或在沿所述加热电阻材料层的长度方向上,所述第三部分的线电阻率保持不变。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的微镜驱动臂,其特征在于,还包括位于所述加热电阻材料层外的导热材料层。
7.根据权利要求6所述的微镜驱动臂,其特征在于,所述导热材料层包括导热金属层和/或导热碳材料层。
8.根据权利要求6所述的微镜驱动臂,其特征在于,所述导热材料层位于所述加热电阻材料层的上方和/或下方,或者所述导热材料层包裹在所述加热电阻材料层的外周。
9.根据权利要求6所述的微镜驱动臂,其特征在于,所述第一部分外的所述导热材料层的导热率小于所述第二部分外的所述导热材料层的导热率,所述第三部分外的所述导热材料层的导热率小于所述第二部分外的所述导热材料层的导热率。
10.一种微镜阵列芯片,其特征在于,所述微镜阵列芯片包括外框、以阵列方式排列的多个镜面、多个热隔离连接件和多个根据权利要求1至9中任一项所述的微镜驱动臂,在任一个所述镜面处,具有多个所述微镜驱动臂位于所述外框和所述镜面之间,所述多个所述微镜驱动臂用于驱动所述镜面运动,所述微镜驱动臂的一端通过所述热隔离连接件与所述镜面连接,所述微镜驱动臂的另一端通过所述热隔离连接件与所述外框连接。
11.一种光开关,其特征在于,所述光开关包括输入端口阵列、输出端口阵列和至少一个根据权利要求10所述的微镜阵列芯片,所述输入端口阵列用于接收光信号,所述光信号经所述至少一个微镜阵列芯片反射后,经所述输出端口阵列输出。
说明书 :
微镜驱动臂、微镜阵列芯片和光开关
技术领域
背景技术
系统、驱动部件和电控系统集成为一个整体单元,不仅能够实现采集、处理与发送信息或指
令,还能够实现按照信息采取行动。与传统机械系统相比,采用MEMS技术的系统具有微型
化、集成化、低能耗、低成本、高精度、长寿命,以及动态性好等优势。
信领域,通过热电MEMS驱动技术,将MEMS微镜制作成微镜阵列芯片,采用两块微镜阵列芯片
组建光路,通过驱动微镜阵列上的MEMS微镜偏转至合适的位置,可以实现将通信光由输入
端口切换至任意输出端口的光交叉连接(optical cross‑connect,OXC)功能。由于基于热
电MEMS驱动技术的MEMS微镜具备大转角的优势,其可以支持大端口的OXC模块(例如,光开
关)的组装,这将极大的扩展OXC模块的交换容量,以应对高速增长的通信数据的传输需求。
微镜驱动臂上的局部高温会恶化微镜驱动臂的性能,对微镜的响应度和稳定性有很大的影
响。
发明内容
热电阻材料层包括第一部分、第二部分和第三部分,其中,所述第一部分与第一热隔离连接
件的一端连接,所述第一热隔离连接件的另一端与镜面连接,所述第三部分与第二热隔离
连接件的一端连接,所述第二热隔离连接件的另一端与外框连接,所述第二部分是所述加
热电阻材料层除所述第一部分和所述第三部分以外的部分,所述第一部分的线电阻率和所
述第三部分的线电阻率均大于所述第二部分的线电阻率。
第一部分和第三部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率,使得第一部分和第三部分产生
更多的热量,可以补偿热隔离连接件处连接外部部件导致的热量散失,从而均衡微镜驱动
臂上的温度分布,进而能够改善微镜的响应度和稳定性。
电阻率;所述第三部分的横截面的面积小于所述第二部分的横截面的面积,和/或所述第三
部分的材料的电阻率大于所述第二部分的材料的电阻率。
部分的宽度小于所述第二部分的宽度,所述第一部分的厚度小于所述第二部分的厚度,所
述第一部分包括多个孔或至少一个空条带;所述第三部分的横截面的面积小于所述第二部
分的横截面的面积,包括:所述第三部分满足下列条件中的任意一个或多个:所述第三部分
的宽度小于所述第二部分的宽度,所述第三部分的厚度小于所述第二部分的厚度,所述第
三部分包括多个孔或至少一个空条带。
面积,使得第一部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率。
第一部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率。
第一部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率。
二部分的线电阻率。
第一部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率。
热电阻材料层的厚度方向或宽度方向上,第二部分形成比第一部分更多的层,第二部分并
联形成的线电阻率比第一部分的线电阻率小。
一材料中,所述第二材料的电阻率大于所述第一材料。该实现方式通过在第一部分中掺杂
电阻率大的第二材料,使得第一部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率。
一材料中,所述第二材料的电阻率大于所述第一材料。
线电阻率越大。该实现方式通过使得第一部分的线电阻率均匀变化或跳变,有可能使得微
镜驱动臂具有更均衡的温度分布效果。
具有较高导热系数的导热材料层,可以改善微镜驱动臂的热量分布,从而均衡微镜驱动臂
上的温度。
中,导热材料层贴近加热电阻材料层,导热效果良好。
的第一部分的导热率小于远离热隔离连接件的第二部分,使得第二部分的热量更易散失,
从而均衡微镜驱动臂上的温度。
单,成本更低。
能够改善微镜的响应度和稳定性。
造过程中促进导热碳材料层的生长。
接件的另一端与镜面连接,所述第三部分与第二热隔离连接件的一端连接,所述第二热隔
离连接件的另一端与外框连接,所述第二部分是所述加热电阻材料层除所述第一部分和所
述第三部分以外的部分,所述第一部分和所述第三部分外的所述导热材料层的导热率小于
所述第二部分外的所述导热材料层的导热。该实现方式中,与热隔离连接件连接的第一部
分和第三部分的导热率小于远离热隔离连接件的第二部分,使得第二部分的热量更易散
失,从而均衡微镜驱动臂上的温度。
接件的另一端与镜面连接,所述第三部分与第二热隔离连接件的一端连接,所述第二热隔
离连接件的另一端与外框连接,所述第二部分是所述加热电阻材料层除所述第一部分和所
述第三部分以外的部分,所述第一部分和所述第三部分外的所述导热材料层的成分与所述
第二部分外的所述导热材料层的成分相同。该实现方式使得制备导热材料层更简单,成本
更低。
个所述镜面处,具有多个所述微镜驱动臂位于所述外框和所述镜面之间,所述多个所述微
镜驱动臂用于驱动所述镜面运动,所述微镜驱动臂的一端通过所述热隔离连接件与所述镜
面连接,所述微镜驱动臂的另一端通过所述热隔离连接件与所述外框连接。
所述至少一个微镜阵列芯片反射后,经所述输出端口阵列输出。
附图说明
具体实施方式
一体化集成的大规模集成电路,最终形成尺寸为毫米级的系统。
局部结构中包括镜面110、微镜驱动臂122、微镜驱动臂124、微镜驱动臂126、微镜驱动臂128
和外框(图1中未示出)。为便于说明,图1中示出了坐标系,即图1中的x轴、y轴和z轴。其中,
本文中以沿z轴的正方向为上方,相对应地以沿z轴的负方向为下方。如图1所示,微镜驱动
臂的主体可以由环状带形成的可动臂构成。在本文中,环状带在沿z轴方向的尺寸称为厚
度;微镜驱动臂122和微镜驱动臂126的环状带在沿x轴方向的尺寸称为宽度,微镜驱动臂
124和微镜驱动臂128的环状带在沿y轴方向的尺寸称为宽度;微镜驱动臂122和微镜驱动臂
126的环状带在沿y轴方向的尺寸称为长度,微镜驱动臂124和微镜驱动臂128的环状带在沿
x轴方向的尺寸称为长度。
的过程,当微镜驱动臂122和微镜驱动臂126驱动镜面110沿y轴转动时,微镜驱动臂124和微
镜驱动臂128充当转动轴;当微镜驱动臂124和微镜驱动臂128驱动镜面110沿x轴转动时,微
镜驱动臂122和微镜驱动臂126充当转动轴。
同的材料层称为驱动结构层。当微镜驱动臂上层叠两种热膨胀系数不同的材料层时,这种
结构也可以称作双压电晶片(bimorph)结构。
构层的结构,例如可以是沿x轴的负方向观察微镜驱动臂122的局部视图。驱动结构层用于
变形产生驱动力。微镜驱动臂还包括加热电阻材料层,用于接通电流产生热量,使得驱动结
构层产生变形。图2所示的驱动结构层是由两种热膨胀系数不同的材料层(例如,材料层A和
材料层B)构成的。其中,材料层A可以是Al层,材料层B可以是SiO2层。材料层A和材料层B在
相同的温度下的变形量不同,结合图2所示的驱动结构层的结构,使得微镜驱动臂产生沿上
下方向的力,从而驱动微镜。本申请各实施例中,材料层A可以是Cu层,材料层B可以是SiO2
层,或者材料层A和材料层B也可以是其他具有不同的热膨胀系数的材料层,本申请对此不
作限定。本申请各实施例中,驱动结构层还可以有更多层,本申请对此不作限定。相比静电
式或压电式的MEMS微镜,热电式的MEMS微镜具有更强的驱动能力,可以实现更大的偏转范
围。
框等外部部件连接起来。
外框330之间。微镜驱动臂320通过热隔离连接件340A与外框330连接。微镜驱动臂320通过
热隔离连接件340B与镜面310连接。微镜驱动臂320的其余部分为可动臂。微镜驱动臂320上
靠近热隔离连接件340A和热隔离连接件340B的两个部位由于与热隔离连接件和外部部件
连接,导致该两个部位散失热量的速度较快,这会导致微镜驱动臂的温度分布不均匀。微镜
驱动臂320上的局部高温会恶化微镜驱动臂的性能,对微镜的响应度和稳定性有很大的影
响。
接件与其他外部部件连接,本申请对此不作限定。
的,即只有一级环状带,但本申请并不限于此,微镜驱动臂还可以有更多级,例如二级或三
级等,其中,多级微镜驱动臂可以在宽度方向上平行设置。本申请的微镜驱动臂不限于是否
增加阻尼孔。
大图,其中为了清楚起见,局部放大图未示出外框。图4是沿着z轴的负方向观察微镜驱动臂
的视图,即图4是俯视图。应注意,图4所示的是三级微镜驱动臂结构。如图4所示,微镜驱动
臂400可以包括驱动结构层410和加热电阻材料层420。加热电阻材料层420用于接通电流产
生热量,驱动结构层410在热量作用下发生形变。加热电阻材料层420包括第一部分422A、第
二部分424和第三部分422B。其中,第一部分422A与第一热隔离连接件340A的一端连接,第
一热隔离连接件340A的另一端与镜面40A连接,第三部分422B与第二热隔离连接件340B的
一端连接,第二热隔离连接件340B的另一端与外框40B连接,第二部分424是加热电阻材料
层420除第一部分422A和第三部分422B以外的部分,第一部分422A的线电阻率和第三部分
422B的线电阻率大于第二部分424的线电阻率。镜面40A或外框40B在本文中可以统一称为
外部部件40。
使得第一部分和第三部分的线电阻率大于第二部分的线电阻率,使得第一部分和第三部分
产生更多的热量,可以补偿热隔离连接件处连接外部部件导致的热量散失,从而均衡微镜
驱动臂上的温度分布,进而能够改善微镜的响应度和稳定性。
地,第三部分422B通过热隔离连接件340B与外框40B连接。微镜驱动臂的加热电阻材料层的
电流输入端和电流输出端可以均固定在外框40B中。电流输入端用于输入电流Iin,电流输出
端用于输出电流Iout,由此在微镜驱动臂上形成电回路并产生焦耳热。微镜驱动臂的加热电
阻材料层还可以具有与其他外部部件连接的第一部分,本申请对此不作限定。
构层的外周。加热电阻材料层和驱动结构层也可以不是包裹关系,而是一者位于另一者的
上方、下方,前方、后方、左方或右方等,本申请对此不作限定。图4以驱动结构层包裹在加热
电阻材料层的外周进行示例。
分的线电阻率,可以使第三部分的横截面的面积小于第二部分的横截面的面积。应理解,本
文中的横截面可以是沿垂直于微镜驱动臂的长度方向对微镜驱动臂进行切割得到的截面。
变。第一部分的宽度和/或第三部分的宽度变化可以是均匀渐变或非均匀跳变的,或者说可
以是连续变化或分段变化的。相对于第二部分,降低第一部分的宽度和/或第三部分的宽
度,可以提高第一部分和/或第三部分的局部电阻,从而实现第一部分和/或第三部分的局
部焦耳热较第二部分的局部焦耳热多,可以补偿微镜驱动臂与热隔离连接件连接处的热量
散失,由此可以提高微镜驱动臂的温度均匀性。这些例子的第一部分和/或第三部分的形状
可以通过光刻或刻蚀工艺实现,也可以通过其他工艺实现,本申请对此不作限定。
422A的平均宽度小于第二部分的宽度。由此均匀地改变加热电阻材料层的线电阻率梯度分
布。这使得越靠近热隔离连接件处的第一部分和第三部分的线电阻率越大,以补偿由于第
一部分和第三部分通过热隔离连接件连接外部部件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂
的温度均匀性。
部分422B和第一部分422A的宽度小于第二部分的宽度。这使得第一部分和第三部分的线电
阻率大于第二部分的线电阻率,以补偿由于第一部分和第三部分通过热隔离连接件连接外
部部件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂的温度均匀性。
在宽度上可以采用一对相对的阶梯形状。第三部分422B和第一部分422A的平均宽度小于第
二部分的宽度,由此改变加热电阻材料层的线电阻率梯度分布。这使得越靠近热隔离连接
件处的第一部分和第三部分的线电阻率越大,以补偿由于第一部分和第三部分通过热隔离
连接件连接外部部件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂的温度均匀性。
变。第一部分的厚度和/或第三部分的厚度变化可以是均匀渐变或非均匀跳变的,或者说可
以是连续变化或分段变化的。相对于第二部分,降低第一部分和/或第三部分的厚度,可以
提高第一部分和/或第三部分的局部电阻,从而实现第一部分和/或第三部分的局部焦耳热
较第二部分的局部焦耳热多,可以补偿微镜驱动臂与热隔离连接件处的热量散失,由此可
以提高微镜驱动臂的温度均匀性。这些例子的第一部分和/或第三部分的形状可以通过采
用多次沉积、多次光刻或刻蚀工艺实现,也可以通过其他工艺实现,本申请对此不作限定。
动臂的视图,即是俯视图。图7中下部分是沿着x轴或沿着y轴方向观察微镜驱动臂的沿点划
线C‑C的剖面图的局部放大图,即是侧视图。图7中下部分体现微镜驱动臂的厚度。在图7所
示的例子中,加热电阻材料层的第三部分422B和第一部分422A在厚度上可以采用矩形形
状。第三部分422B和第一部分422A的厚度小于第二部分的厚度。这使得第一部分和第三部
分的线电阻率大于第二部分的线电阻率,以补偿由于第一部分和第三部分通过热隔离连接
件连接外部部件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂的温度均匀性。
一对相对的阶梯形状。第三部分422B和第一部分422A的平均厚度小于第二部分的厚度。由
此改变加热电阻材料层的线电阻率梯度分布。这使得越靠近热隔离连接件处的第一部分和
第三部分的线电阻率越大,以补偿由于第一部分和第三部分通过热隔离连接件连接外部部
件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂的温度均匀性。
二部分的厚度。由此均匀地改变加热电阻材料层的线电阻率梯度分布。这使得越靠近热隔
离连接件处的第一部分和第三部分的线电阻率越大,以补偿由于第一部分和第三部分通过
热隔离连接件连接外部部件造成的热量散失,以此提高微镜驱动臂的温度均匀性。为了简
洁,该例子不再以附图示出。
中设置孔或空条带,可以提高第一部分和/或第三部分的局部电阻,从而实现第一部分和/
或第三部分的局部焦耳热较第二部分的局部焦耳热多,可以补偿热隔离连接件处的热量散
失,由此可以提高微镜驱动臂的温度均匀性。这些例子的第一部分和/或第三部分的形状可
以通过光刻和刻蚀工艺实现,也可以通过其他工艺实现,本申请对此不作限定。
方向也可以贯通厚度方向。图9可以是沿z轴方向观察加热电阻材料层的第一部分及和/或
第三部分附近处的仰视图或俯视图,也可以是沿x轴或y轴方向观察加热电阻材料层的第一
部分和/或第三部分及附近处的侧视图。应理解,第一部分和/或第三部分中的孔也可以是
其他形状的,或按照其他方式排布,本申请对此不作限定。相对于第二部分,在第一部分和/
或第三部分中设置孔,可以提高第一部分和/或第三部分的局部电阻,从而实现第一部分
和/或第三部分的局部焦耳热较第二部分的局部焦耳热多,可以补偿热隔离连接件处的热
量散失,由此可以提高微镜驱动臂的温度均匀性。
可以贯通厚度方向,也可以不贯通宽度方向或厚度方向。图10可以是沿z轴方向观察加热电
阻材料层的第一部分和/或第三部分及附近处的仰视图或俯视图,也可以是沿x轴或y轴方
向观察加热电阻材料层的第一部分和/或第三部分及附近处的侧视图。应理解,第一部分
和/或第三部分中的空条带也可以是其他形状的,或按照其他方式排布,本申请对此不作限
定。相对于第二部分,在第一部分和/或第三部分中设置空条带,可以提高第一部分和/或第
三部分的局部电阻,从而实现第一部分和/或第三部分的局部焦耳热较第二部分的局部焦
耳热多,可以补偿热隔离连接件处的热量散失,由此可以提高微镜驱动臂的温度均匀性。
第一部分和第二部分选取不同的材料,以使得二者的电阻率不同;和/或可以对第三部分和
第二部分选取不同的材料,以使得二者的电阻率不同。在另一种具体实现中,可以通过相对
于第二部分,在第一部分中掺杂高电阻率的材料实现;和/或可以通过相对于第二部分,在
第三部分中掺杂高电阻率的材料实现。具体而言,第二部分和第一部分可以均包括第一材
料,第一部分还可以包括第二材料,第二材料的电阻率与第一材料的电阻率不同。加热电阻
材料层可以使用任何导电材料制作,包括但不限于金属、金属化合物、合金、单晶硅,多晶硅
或其他半导体材料。第一材料和第二材料可以选自这些材料。类似地,第二部分和第三部分
可以均包括第一材料,第三部分还可以包括第二材料,第二材料的电阻率与第一材料的电
阻率不同。
于第二部分的线电阻率,使得第一部分和第三部分产生更多的热量,补偿热隔离连接件处
连接外部部件导致的热量散失,从而均衡微镜驱动臂上的温度分布,改善微镜的响应度和
稳定性。同理,第三部分的横截面的面积小于第二部分的横截面的面积,第一部分的材料的
电阻率大于第二部分的材料的电阻率;第一部分的横截面的面积小于第二部分的横截面的
面积,且第一部分的材料的电阻率大于第二部分的材料的电阻率,第三部分的横截面的面
积小于第二部分的横截面的面积,且第一三分的材料的电阻率大于第二部分的材料的电阻
率等等实现方式,都在本申请的保护范围之内。
一材料形成的层,第二部分包括由第一材料形成的层还包括由第二材料形成的层。图11是
本申请的又一个实施例提供的加热电阻材料层的示意图。图11所示的加热电阻材料层中包
括第一材料形成的第一层、第二材料形成的第二层,还可以包括第三材料形成的第三层。这
些层沿着长度方向,其可以垂直于宽度方向也可以垂直于厚度方向。图11可以是沿z轴方向
观察加热电阻材料层的第一部分及附近处的仰视图或俯视图,也可以是沿x轴或y轴方向观
察加热电阻材料层的第一部分及附近处的侧视图。应理解,第一部分中的各层也可以是其
他形状的,或按照其他方式排布,本申请对此不作限定。如图11所示的加热电阻材料层420,
其包括并联的第一层、第二层和第三层。左侧的第二部分包括并联的第一层、第二层至第三
层,其电阻值最小;中间的包括并联的第一层至第二层的第一部分的电阻值大于第二部分
的电阻值;最右侧仅包括第一层的第一部分的电阻值最大,其也最靠近热隔离连接件。应理
解,可以采用堆栈工艺制作上述具有并联结构的加热电阻材料层。类似地,第三部分可以与
第一部分类似的设置,此处不再赘述。
是本申请的又一个实施例提供的加热电阻材料层的示意图。图12所示的加热电阻材料层主
要由第一材料构成,通过在第一部分中沿着长度方向掺杂不同量的第二材料,可以调整第
一部分的线电阻率。图12可以是沿z轴方向观察加热电阻材料层的第一部分及附近处的仰
视图或俯视图,也可以是沿x轴或y轴方向观察加热电阻材料层的第一部分及附近处的侧视
图。如图12所示的加热电阻材料层420,其左侧远离热隔离连接件,因此其中不掺杂第二材
料,电阻值最小;中间段逐渐靠近热隔离连接件,其中掺杂较少量的第二材料,电阻值较左
侧大;右侧最靠近热隔离连接件,其中掺杂较多量的第二材料,电阻值最大。应理解,第二材
料的掺杂量可以沿着长度方向突变的(如图12所示),也可以是逐渐均匀变化的,整个第一
部分中第二材料的掺杂量还可以是保持不变的,本申请对此不作限定。应理解,可以采用掺
杂制作上述具有类似串联结构的加热电阻材料层。类似地,第三部分可以与第一部分类似
的设置,此处不再赘述。
请的保护范围之内。
的。
结构层510、加热电阻材料层520和位于所述加热电阻材料层520外的导热材料层530。
进而能够改善微镜的响应度和稳定性。
镜驱动臂的响应性能影响不大。
下方,或者导热材料层包裹在加热电阻材料层的外周,或者导热材料层位于加热电阻材料
层外的任意方向上。能够使得改善加热电阻材料层上热量分布的导热材料层的方案,均应
涵盖在本申请的保护范围之内。
属可以包括金、银、铜和铝中的一种,或者包括多种构成的合金。导热碳材料可以包括石墨
烯、碳纳米管、石墨和金刚石中的至少一种。
中,导热金属层的成分可以包括金、银、铜和铝中的一种,或者包括多种构成的合金。导热金
属层可以通过溅射工艺得到。导热碳材料层的成分可以包括石墨烯、碳纳米管、石墨和金刚
石中的至少一种。导热碳材料层可以通过化学气相沉积(chemical vapor deposition,
CVD)工艺或等离子体增强的化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor
deposition,PECVD)工艺得到。在通过CVD工艺或PECVD工艺制备导热碳材料层之前,通常需
要制备种子层,以便于导热碳材料层在其上生长。因此,导热材料层还可以包括种子层。种
子层的成分可以包括镍、钴、钼、铂、铅、钌和铱中的至少一种。
端连接,第一热隔离连接件的另一端与镜面连接,第三部分与第二热隔离连接件的一端连
接,第二热隔离连接件的另一端与外框连接,第二部分是加热电阻材料层除第一部分和第
三部分以外的部分,第一部分和第三部分外的导热材料层的导热率小于第二部分外的导热
材料层的导热率。其中,热隔离连接件与镜面或外框连接。这使得第一部分和第三部分处的
热量散失量小于第二部分处的热量散失量,从而更好地均衡微镜驱动臂上的温度分布。在
一些具体的实现方式中,使得导热率不同,可以通过不同成分的导热材料层实现。在另一些
具体的实现方式中,使得导热率不同,可以通过不同厚度的导热材料层实现。在又一些具体
的实现方式中,使得导热率不同,可以通过不同成分的不同层数的导热材料层实现,本申请
对此不作限定。
接,第三部分与第二热隔离连接件的一端连接,第二热隔离连接件的另一端与外框连接,第
二部分是加热电阻材料层除第一部分和第三部分以外的部分,第一部分和第三部分外的导
热材料层的成分与第二部分外的导热材料层的成分相同。这种方案可以均衡微镜驱动臂上
的温度分布,并且能够降低加工微镜驱动臂的复杂度,同时降低制造微镜驱动臂的成本。
中也将步骤省略),导热材料层为导热金属层。导热金属层位于驱动结构层和加热电阻材料
层的上方。整个微镜驱动臂的导热金属层成分相同。
臂整体的温度分布,提升系统的性能。
程中也将步骤省略),导热材料层为导热碳材料层。导热碳材料层位于驱动结构层和加热电
阻材料层的上方。整个微镜驱动臂的导热碳材料层成分相同。
去除微镜驱动臂以外的部分上的导热碳材料层。
动臂整体的温度分布,提升系统的性能。
程中也将步骤省略),导热材料层为导热金属层和导热碳材料层。导热金属层和导热碳材料
层位于驱动结构层和加热电阻材料层的上方。整个微镜驱动臂的导热金属层成分相同。整
个微镜驱动臂的导热碳材料层成分相同。
以均衡微镜驱动臂整体的温度分布,提升系统的性能。
程中也将步骤省略),导热材料层为导热金属层。导热金属层位于驱动结构层和加热电阻材
料层的下方。整个微镜驱动臂的导热金属层成分相同。
臂整体的温度分布,提升系统的性能。
程中也将步骤省略),导热材料层为导热金属层和导热碳材料层。导热金属层和导热碳材料
层位于驱动结构层和加热电阻材料层的下方。整个微镜驱动臂的导热金属层成分相同。整
个微镜驱动臂的导热碳材料层成分相同。
以均衡微镜驱动臂整体的温度分布,提升系统的性能。
程中也将步骤省略),导热材料层为导热碳材料层。导热碳材料层位于驱动结构层和加热电
阻材料层的下方。整个微镜驱动臂的导热碳材料层成分相同。
动臂整体的温度分布,提升系统的性能。
图14至图19所示的各结构要素可以相互组合形成其他的微镜驱动臂结构,上述内容均应涵
盖在本申请的保护范围之内。
示例性的示出)、多个热隔离连接件(省略未示出)和结构如前文所描述的多个微镜驱动臂
630(示例性的示出)。在任一个镜面处,具有多个(例如四个)微镜驱动臂位于外框和该镜面
之间,多个微镜驱动臂用于驱动该镜面运动。微镜驱动臂的一端通过热隔离连接件与该镜
面连接,微镜驱动臂的另一端通过热隔离连接件与外框连接。
现光路通断和交换的功能。本申请实施例的微镜阵列芯片的开关时间在毫秒数量级,可以
使用集成电路(integrated circuit,IC)技术制造,体积小、集成度高。本申请实施例的微
镜阵列芯片的工作方式与光信号的格式、协议、波长、传输方向、偏振方向、调制方式均无
关,可以处理任意波长的光信号。同时,本申请实施例的微镜阵列芯片具备机械式光开关的
低插损、低串扰、低偏振敏感性、高消光比和波导开关的高开关速度、小体积、易于大规模集
成的优点。
之内。
容量上的瓶颈限制,可以大量节省建网成本,可以大大提高网络的灵活性和可靠性。光交换
是指不经过任何光/电转换,将输入端口的光信号直接交换到任意的输出端口。
列芯片反射后,经输出端口阵列输出。图22是本申请的一个实施例提供的光开关700的结构
示意图。如图22所示,该光开关为MXM的光开关。光开关700具有输入端口阵列710(具有M个
输入端口),输出端口阵列720(具有M个输出端口),以及两个微镜阵列芯片730来实现M路光
信号的交换。本申请实施例还可以应用于1XM光开关、MX1的光开关或NXM的光开关等,N和M
为大于2的整数。
部分和第二部分的界限,本申请对此不作限定。
另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
成任何限定。
盖在本申请的保护范围之内。因此,本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。