本发明公开一种高压线路传输装置，包括旋转接头定子(1)、旋转接头转子(2)、高压线路(3)、密封体转子(4)、密封体定子(5)、静电卡盘支座(6)、高压插针座(9)、高压插针(10)、高压线引线槽(11)和密封槽(12)，密封体转子(4)为中空结构，高压线路(3)通过旋转接头的转子(2)，从密封体转子(4)和密封体定子(5)中穿过引入静电卡盘支座(6)后，经由高压引线槽(11)连接固定在高压插针(10)上，高压插针(10)通过螺纹固定安装在高压插针座(9)上。本发明易于装配维护，并且高压线路的布局更加合理，能够有效减少设备异常情况发生。
包括：旋转接头定子(1)、旋转接头转子(2)、高压线路(3)、密封体转子(4)、密封体定子(5)、静电卡盘支座(6)、高压插针座(9)、高压插针(10)、高压线引线槽(11)和密封槽(12)，所述旋转接头转子(2)安装于所述旋转接头定子(1)上，所述旋转接头转子(2)与所述密封体转子(4)相连接，所述密封体定子(5)安装于所述密封体转子(4)上，所述静电卡盘支座(6)安装于所述密封体转子(4)上，所述高压插针座(9)和所述高压线引线槽(11)设置在所述静电卡盘支座(6)上，所述高压插针(10)固定安装在所述高压插针座(9)上，其中，所述密封体转子(4)为中空结构，所述高压线路(3)通过所述旋转接头转子(2)，从密封体转子(4)和密封体定子(5)中穿过引入所述静电卡盘支座(6)后，经由高压线引线槽(11)连接固定在高压插针(10)上。
2.根据权利要求1所述的高压线路传输装置，其特征在于，还设置有水气路通道(8)，分布在所述高压线路(3)通道的周边，并与所述高压线路(3)通道分离。
3.根据权利要求1所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述高压线路(3)由外部固定输出转化为旋转输出，再穿过所述密封体转子(4)和密封体定子(5)连接到高压插针(10)上，整个所述高压线路(3)的传输通道均处在大气环境下。
4.根据权利要求1所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述高压线路(3)包覆有绝缘层和塑料套管。
5.根据权利要求4所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述塑料套管采用聚四氟乙烯材质。
6.根据权利要求1所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述高压插针座(9)采用绝缘塑料。
7.根据权利要求6所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述绝缘塑料为聚醚醚酮。
8.根据权利要求6所述的高压线路传输装置，其特征在于，装配时，将静电卡盘支座(6)上的高压插针(10)接入静电卡盘(7)的对插接头。
9.根据权利要求1所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述静电卡盘支座(6)上还设置有密封槽(12)，所述密封槽(12)环绕所述高压插针座(9)和所述高压线引线槽(11)。
10.根据权利要求9所述的高压线路传输装置，其特征在于，所述密封槽(12)中放置有密封圈，所述密封圈的表面同所述静电卡盘(7)的下表面密封，将所述高压线路(3)的传输通道隔离在真空外。
一种高压线路传输装置
技术领域
[0001] 本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种高压线路传输装置。
背景技术
[0002] 静电卡盘被广泛应用于半导体加工、微电子制造、LED生产等领域，是半导体设备中常用的一种吸附和解吸附晶圆的装置。上述加工生产过程都在腔室的真空环境中进行，需要两路高压线路为其提供电压，且接线插针最好处于大气环境中，不仅有利于后期维护还能有效降低高压线路的放电现象。
[0003] 在新型离子束刻蚀设备中，从大气环境同时传输至真空环境的除两路高压线路以外，还有三路气和两路水，因此在设计上述电、气、水路传输过程中，需要单独引出两路高压线路，并保证线路及其同静电卡盘相连接的插针都处在大气环境中，插针需要设计专门的绝缘座，方便插针固定和对地绝缘。另外，离子束刻蚀设备的电极(静电卡盘)在工艺过程中需要一直旋转着，这对高压线路传输及其装配操作性都有较高的要求。目前市场上离子束刻蚀使用的高压线路传输，多数处于半真空状态，直接用金属杆件连接，使用时可能会出线接触不良，且装配和后期维护相对比较麻烦。
发明内容
[0004] 为了解决上述问题，本发明公开一种高压线路传输装置，包括：旋转接头定子、旋转接头转子、高压线路、密封体定子、密封体转子、静电卡盘支座、高压插针座、高压插针、高压线引线槽和密封槽，所述旋转接头转子安装于所述旋转接头定子上，所述旋转接头转子与所述密封体转子相连接，所述密封体定子安装于所述密封体转子上，所述静电卡盘支座安装于所述密封体转子上，所述高压插针座和所述高压线引线槽设置在所述静电卡盘支座上，所述高压插针固定安装在所述高压插针座上，其中，所述密封体转子为中空结构，所述高压线路通过所述旋转接头的转子，从密封体转子和密封体定子中穿过引入所述静电卡盘支座后，经由高压引线槽连接固定在高压插针上。
[0005] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，还设置有水气路通道，分布在所述高压线路通道的周边，并与所述高压线路通道分离。
[0006] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压线路由外部固定输出转化为旋转输出，再穿过所述密封体转子和密封体定子连接到高压插针上，整个所述高压线路的传输通道均处在大气环境下。
[0007] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压线路包覆有绝缘层和塑料套管。
[0008] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述塑料套管采用聚四氟乙烯材质。
[0009] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压插针座采用绝缘塑料。
[0010] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述绝缘塑料为聚醚醚酮。
[0011] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，装配时，将静电卡盘支座上的高压插针接入静电卡盘的对插接头。
[0012] 本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述密封槽中放置有密封圈，所述密封圈的表面同所述静电卡盘的下表面密封，将所述高压线路的传输通道隔离在真空外。
附图说明
[0013] 图1是一种高压线路传输装置的剖面结构示意图。
[0014] 图2是高压线路传输装置的立体结构示意图。
[0015] 图3是高压线路传输装置与静电卡盘装配后的剖面结构示意图。
[0016] 图中：
[0017] 1～旋转接头定子；2～旋转接头转子；3～高压线路；4～密封体转子；5～密封体定子；6～静电卡盘支座；7～静电卡盘；8～水气路通道；9～高压插针座；10～高压插针；11～高压线引线槽；12～密封槽。
具体实施方式
[0018] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0019] 在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“垂直”“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020] 此外，在下文中描述了本发明的许多特定的细节，例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本发明。除非在下文中特别指出，器件中的各个部分可以由本领域的技术人员公知的材料构成，或者可以采用将来开发的具有类似功能的材料。
[0021] 图1是一种高压线路传输装置的剖面结构示意图。图2是高压线路传输装置的立体结构示意图。如图1和图2所示，本发明的高压传输装置包括：旋转接头定子1、旋转接头转子2、高压线路3、密封体转子4、密封体定子5、静电卡盘支座6、高压插针座9、高压插针10、高压线引线槽11和密封槽12。旋转接头转子2安装于旋转接头定子1上，旋转接头转子2与密封体转子4相连接，密封体定子5安装于密封体转子4上，静电卡盘支座6安装于密封体转子4上，高压插针座9和高压线引线槽11设置在静电卡盘支座6上，高压插针10通过螺纹固定安装在高压插针座9上。密封体转子4为中空结构，高压线路3通过旋转接头转子2，从密封体转子4和密封体定子5中穿过引入静电卡盘支座6后，经由高压引线槽11连接固定在高压插针10上。高压线路3通过旋转接头定子1和旋转接头转子2由外部固定输出转化为旋转输出，这样一来，当驱动部件驱动密封体转子4旋转，间接带动旋转接头转子2、静电卡盘支座6和静电卡盘7旋转时，不会造成高压线路3扭转。
[0022] 此外，在高压线路传输装置内还设置有水气路通道8，分布在高压线路3通道的周边，并与高压线路3通道分离，如图1所示。高压线路3采用软线制作，有利于对其进行布置和固定。高压线路3在原有绝缘层上增加了塑料套管，提高绝缘性能。进一步优选地，塑料套管采用聚四氟乙烯材质。高压插针座9采用绝缘塑料，例如聚醚醚酮(PEEK)等。
[0023] 目前，现有的高压线路传输装置中，高压线路直接使用金属杆件连接，长期使用后可能会出线接触不良，并且高压线路处于真空或半真空环境中，如果插针位置附近有漏气发生就会引起高压放电现象，损坏静电卡盘。本发明的高压线路传输装置中，高压线路3由外部固定输出转化为旋转输出，再穿过密封体转子4和密封体定子5连接到高压插针10，整个高压线路传输过程都处在大气环境下。此外，为实现与真空隔离，方便后期拆装维护，在静电卡盘支座6上设计有环绕两个高压插针10和高压引线槽11的密封槽12，密封槽12中放置O型密封圈，在安装静电卡盘7后，O型密封圈的表面同静电卡盘7的下表面密封，将高压线路3的传输通道隔离在真空外，能够消除真空环境中漏气引起的高压放电现象，并且便于后期维护。
[0024] 装配时，将静电卡盘支座6上的高压插针10接入静电卡盘7的对插接头，如图3所示，螺钉固定后压紧密封槽12中O型密封圈完成真空环境和大气环境隔离。整个高压线路传输装置，结构设计简单，易装配维护，能够有效减少设备异常情况发生。
[0025] 以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
