光扫描仪

摘要

本文所公开的是一种适合于光扫描的设备。该设备可包括光源、光学装置和检测器。光源可配置成生成扫描光束，其沿第一维发散，以照亮目标场景中沿第一维的一行，并且可配置成沿与第一维垂直的第二维来扫描该扫描光束。光学装置可配置成会聚从目标场景所反射的返回光波，以生成会聚返回光波。检测器可包括光接收组件。光接收组件可配置成接收会聚返回光波。检测器可配置成检测入射到光接收组件上的会聚返回光波。

权利要求

1.一种设备，包括：

光源，配置成生成扫描光束，其沿第一维发散，以照亮目标场景中沿所述第一维的一行，其中所述光源配置成沿与所述第一维垂直的第二维来扫描所述扫描光束；

光学装置，配置成会聚从目标场景所反射的返回光波，以生成会聚返回光波；以及检测器，包括光接收组件，所述光接收组件配置成接收所述会聚返回光波，以及所述检测器配置成检测入射到所述光接收组件上的所述会聚返回光波。

2.如权利要求第1项所述的设备，其中，所述光学装置包括第一圆柱透镜和第二圆柱透镜，其中所述第一圆柱透镜定位在所述目标场景与所述第二圆柱透镜之间。

3.如权利要求第2项所述的设备，其中，所述第一圆柱透镜配置成沿所述第二维来会聚所述返回光波，其中所述第二圆柱透镜配置成在所述返回光波沿所述第一维经过所述第一圆柱透镜之后会聚所述返回光波。

4.如权利要求第2项所述的设备，其中，所述第一和第二圆柱透镜的每个焦距为正，其中所述第一圆柱透镜的所述焦距比所述第二圆柱透镜的所述焦距要短。

5.如权利要求第1项所述的设备，其中，所述检测器配置成基于所述检测器所检测的所述所返回光波来生成电信号。

6.如权利要求第5项所述的设备，还包括信号处理单元，其配置成处理和分析所述电信号。

7.如权利要求第1项所述的设备，其中，所述光源包括光发射器和光扫描组件，其中所述光扫描组件配置成接收来自所述光发射器的输入光束，并且生成所述扫描光束，其中所述光扫描组件配置成控制所述扫描光束沿所述第二维进行扫描。

8.如权利要求第7项所述的设备，其中，所述光源还包括光学组件，其配置成沿所述第一维发散来自所述光扫描组件的所述扫描光束。

9.如权利要求第8项所述的设备，其中，所述光学组件包括一维衍射光栅。

10.如权利要求第8项所述的设备，其中，所述光学组件包括圆柱透镜。

11.如权利要求第7项所述的设备，其中，所述光扫描组件包括多个光学波导和电子控制系统；

其中所述多个光学波导各自包括输入端、光学核心和输出端，所述多个光学波导的所述输出端布置成沿所述第二维对直；

其中所述电子控制系统配置成通过调节所述多个光学波导的所述光学核心的温度，来调整所述多个光学波导的所述光学核心的维度；

其中通过调整所述多个光学波导的所述光学核心的所述维度，所述电子控制系统配置成控制来自所述多个光学波导的输出光波的相位从而所述输出光波形成所述扫描光束，并且控制所述扫描光束沿所述第二维进行扫描。

12.如权利要求第11项所述的设备，其中，至少一个光学核心包括导电和透明的光学介质。

13.如权利要求第12项所述的设备，其中，所述至少一个光学核心电连接到所述电子控制系统，其中所述电子控制系统配置成通过施加流经所述至少一个光学核心的电流来控制所述至少一个光学核心的温度。

14.如权利要求第11项所述的设备，其中，所述多个光学波导的至少一个还包括相应光学核心的侧壁周围的导电覆层。

15.如权利要求第14项所述的设备，其中，所述导电覆层电连接到所述电子控制系统，其中所述电子控制系统配置成通过施加流经所述导电覆层的电流来控制所述相应光学核心的温度。

16.如权利要求第11项所述的设备，其中，所述光扫描组件还包括电连接到所述电子控制系统的温度调制组件，其中所述电子控制系统配置成通过调整所述温度调制组件的温度来控制至少一个光学核心的温度。

17.如权利要求第16项所述的设备，其中，所述温度调制组件和所述多个光学波导在公共衬底上形成。

18.如权利要求第11项所述的设备，其中，所述多个光学波导在公共衬底的表面上形成。

19.如权利要求第11项所述的设备，其中，至少一个光学波导是曲面的。

20.如权利要求第11项所述的设备，其中，所述多个光学波导的至少一个处于一个衬底上，以及所述多个光学波导的至少另一个处于分离衬底上。

21.如权利要求第11项所述的设备，其中，所述多个光学波导的输入光束的光波是相干的。

22.如权利要求第7项所述的设备，其中，所述光扫描组件是包括多个面的反射镜，其中所述反射镜配置成在旋转的同时使来自所述光发射器的所述输入光束从所述多个面之一反射。

23.如权利要求第7项所述的设备，其中，所述光扫描组件是透镜，其配置成在所述透镜沿所述第二维来回移动的同时使来自所述光发射器的所述输入光束通过。

24.如权利要求第7项所述的设备，其中，所述光扫描组件是反射镜，其配置成在来回旋转或者沿第三维来回移动的同时使来自所述光发射器的所述输入光束反射。

25.如权利要求第1项所述的设备，其中，所述扫描光束是激光束。

26.一种适合于激光扫描的系统，所述系统包括：

如权利要求第1-25项中任意一项所述的设备，

其中，所述设备配置成生成扫描激光束，并且扫描所述目标场景，其中所述设备配置成在所述扫描激光束从所述目标场景弹回之后检测返回激光信号；

其中，所述系统是Lidar系统。

说明书

光扫描仪

【技术领域】

[0001] 本公开涉及光扫描仪，具体来说涉及具有扫描光的导向控制的光扫描仪。【背景技术】

[0002] Lidar是基于激光的检测、测距和映射方法，其使用与雷达相似的技术。存在lidar系统的若干主要组件：激光器、扫描仪和光学器件、光电检测器以及接收器电子器件。例如，执行扫描激光束的可控导向，并且通过处理从远处物体、大楼和景观所反射的所捕获返回信号，可得到这些物体、大楼和景观的距离及形状。

[0003] Lidar被广泛地使用。例如，自动驾驶车辆(例如无人驾驶汽车)将lidar(又称作车载lidar)用于障碍检测和碰撞避免，以安全地通过环境。车载lidar安装在无人驾驶汽车的车顶，并且它不断地旋转，以监测汽车周围的当前环境。lidar传感器提供必要数据以供软件确定潜在障碍物在环境中存在的位置，帮助识别障碍物的空间结构，基于大小来区分物体，并且估计行驶对它的影响。lidar系统与雷达系统相比的一个优点在于，lidar系统能够提供更好的范围和大视场，这帮助检测曲面上的障碍物。尽管近年来在开发lidar系统方面取得了巨大进步，但是目前仍然进行大量工作以设计用于各种应用需要的lidar系统，包括开发能够执行可控扫描、改进返回信号检测的新光源。【发明内容】

[0004] 本文所公开的是一种设备，包括：光源，配置成生成扫描光束，其沿第一维发散，以照亮目标场景中沿第一维的一行，其中光源配置成沿与第一维垂直的第二维来扫描该扫描光束；光学装置，配置成会聚从目标场景所反射的返回光波，以生成会聚返回光波；以及检测器，包括光接收组件，光接收组件配置成接收会聚返回光波，并且检测器配置成检测入射到光接收组件上的会聚返回光波。

[0005] 按照实施例，光学装置包括第一圆柱透镜和第二圆柱透镜，其中第一圆柱透镜定位在目标场景与第二圆柱透镜之间。

[0006] 按照实施例，第一圆柱透镜配置成沿第二维来会聚返回光波，其中第二圆柱透镜配置成在返回光波沿第一维经过第一圆柱透镜之后会聚返回光波。

[0007] 按照实施例，第一和第二圆柱透镜的每个焦距为正，其中第一圆柱透镜的焦距比第二圆柱透镜的焦距要短。

[0008] 按照实施例，检测器配置成基于检测器所检测的所返回光波来生成电信号。

[0009] 按照实施例，该设备还包括信号处理单元，其配置成处理和分析电信号。

[0010] 按照实施例，光源包括光发射器和光扫描组件，其中光扫描组件配置成接收来自光发射器的输入光束，并且生成扫描光束，其中光扫描组件配置成控制扫描光束沿第二维进行扫描。

[0011] 按照实施例，光源还包括光学组件，其配置成沿第一维发散来自光扫描组件的扫描光束。

[0012] 按照实施例，光学组件包括一维衍射光栅。

[0013] 按照实施例，光学组件包括圆柱透镜。

[0014] 按照实施例，光扫描组件包括多个光学波导和电子控制系统；其中多个光学波导各自包括输入端、光学核心和输出端，多个光学波导的输出端布置成沿第二维对直；其中电子控制系统配置成通过调节多个光学波导的光学核心的温度来调整多个光学波导的光学核心的维度；其中通过调整多个光学波导的光学核心的维度，电子控制系统配置成控制来自多个光学波导的输出光波的相位从而所述输出光波形成扫描光束，并且控制扫描光束沿第二维进行扫描。

[0015] 按照实施例，至少一个光学核心包括导电和透明的光学介质。

[0016] 按照实施例，至少一个光学核心电连接到电子控制系统，其中电子控制系统配置成通过施加流经至少一个光学核心的电流来控制至少一个光学核心的温度。

[0017] 按照实施例，多个光学波导的至少一个还包括相应光学核心的侧壁周围的导电覆层。

[0018] 按照实施例，导电覆层电连接到电子控制系统，其中电子控制系统配置成通过施加流经导电覆层的电流来控制相应光学核心的温度。

[0019] 按照实施例，光扫描组件还包括电连接到电子控制系统的温度调制组件，其中电子控制系统配置成通过调整温度调制组件的温度来控制至少一个光学核心的温度。

[0020] 按照实施例，温度调制组件和多个光学波导在公共衬底上形成。

[0021] 按照实施例，多个光学波导在公共衬底的表面上形成。

[0022] 按照实施例，至少一个光学波导是曲面的。

[0023] 按照实施例，多个光学波导的至少一个处于一个衬底上，以及多个光学波导的至少另一个处于分离衬底上。

[0024] 按照实施例，对多个光学波导的输入光束的光波是相干的。

[0025] 按照实施例，光扫描组件是包括多个面的反射镜，其中反射镜配置成在旋转的同时使来自光发射器的输入光束从多个面之一反射。

[0026] 按照实施例，光扫描组件是透镜，其配置成在透镜沿第二维来回移动的同时使来自光发射器的输入光束通过。

[0027] 按照实施例，光扫描组件是反射镜，其配置成在来回旋转或者沿第三维来回移动的同时使来自光发射器的输入光束反射。

[0028] 按照实施例，扫描光束是激光束。

[0029] 本文所公开的是一种适合于激光扫描的系统，该系统包括：上述设备的任一种的设备，其中该设备配置成生成扫描激光束，并且扫描目标场景，其中该设备配置成在扫描激光束从目标场景弹回之后检测返回激光信号；其中系统是Lidar系统。【附图说明】

[0030] 图1示意示出按照实施例、适合于光扫描的设备的透视图。

[0031] 图2A示意示出按照一个实施例的光学装置的透视图。

[0032] 图2B示意示出按照另一个实施例的光学装置的透视图。

[0033] 图2C示意示出按照实施例、包括第一圆柱透镜和第二圆柱透镜的设备的顶视图。

[0034] 图3示意示出按照实施例的光源。

[0035] 图4A示意示出按照一个实施例的光导向组件的透视图。

[0036] 图4B示意示出按照一个实施例的光导向组件的截面图。

[0037] 图4C示意示出按照另一个实施例的光导向组件的截面图。

[0038] 图4D示意示出按照实施例的光导向组件的截面图。

[0039] 图5示意示出按照另一个实施例的光导向组件。

[0040] 图6示意示出按照实施例的光导向组件。

[0041] 图7示意示出按照实施例的光导向组件。

[0042] 图8示意示出按照实施例的lidar系统。【具体实施方式】

[0043] 图1示意示出按照实施例、适合于光扫描的设备100的透视图。设备100可包括光源102、检测器104和光学装置106。

[0044] 光源102可配置成生成扫描光束，其沿第一维发散，以照亮目标场景108中沿第一维的一行。光源102还可配置成沿与第一维垂直的第二维来扫描该扫描光束。在图1的示例中，光源102的扫描光束照亮目标场景108上沿Z维的一行，并且光源102配置成沿Y维引导扫描光束。

[0045] 光学装置106可配置成会聚从目标场景108所反射的返回光波，以生成会聚返回光波。光学装置106可定位在检测器104与目标场景108之间。

[0046] 检测器104可包括光接收组件。光接收组件可配置成接收会聚返回光波，以及检测器104可配置成检测入射到光接收组件上的会聚返回光波。在一个实施例中，检测器104可配置成基于所检测的会聚返回光波来生成电信号。设备100还可包括信号处理单元，其配置成处理和分析电信号。

[0047] 图2A示意示出按照一个实施例的光学装置106的透视图。光学装置106可包括第一圆柱透镜202和第一圆柱透镜204。第一和第二圆柱透镜202和204可相互分隔。

[0048] 图2B示意示出按照另一个实施例、包括第一和第二圆柱透镜202和204的光学装置106的透视图。第一和第二圆柱透镜202和204可相互附连。在图2B的示例中，第一圆柱透镜
202的矩形面附连到第二圆柱透镜204的矩形面。

[0049] 在实施例中，第一圆柱透镜202和第二圆柱透镜204可相互垂直地布置，即，第一圆柱透镜202的轴向轴(例如图2A和图2B中沿Z方向的虚线206)与第二圆柱透镜204的轴向轴(例如图2A和图2B中沿Y方向的虚线208)垂直。在实施例中，第一和第二圆柱透镜202和204的每个焦距可以为正。在图2A和图2B的示例中，第一和第二圆柱透镜202和204可具有平凸配置。第一圆柱透镜202的焦距可比第二圆柱透镜204的焦距要短。

[0050] 圆柱透镜可用来将入局光聚焦成一行或者改变图像的纵横比。在实施例中，第一圆柱透镜202可配置成当光源102沿第二维引导扫描光束时接收返回光波，并且沿第二维来会聚入射到其上的返回光波。第二圆柱透镜204可配置成在返回光波沿第一维经过第一圆柱透镜202之后进一步会聚返回光波。

[0051] 图2C示意示出按照实施例、包括第一圆柱透镜202和第二圆柱透镜204的设备100的顶视图。第一圆柱透镜202可定位在目标场景108与第二圆柱透镜204之间。在图2C的示例中，第一圆柱透镜202的轴向轴处于Z方向(例如从X-Y平面向外指向)，并且第一圆柱透镜202的弯曲面面向目标场景108。第二圆柱透镜204的轴向轴处于Y方向，并且第二圆柱透镜
204的弯曲面面向检测器104。

[0052] 当扫描光束照亮目标场景108上的第一位置(图2C中的位置1)的一行时，来自第一位置的被照亮行的返回光波可照射第一圆柱透镜202的弯曲面上的不同位置。第一圆柱透镜202可沿Y维来会聚入射到其上的返回光波。第二圆柱透镜204还可沿Z维来会聚所返回光波，使得会聚返回光波处于检测器104的检测范围之内，并且由检测器104的光检测组件来接收。

[0053] 当光源102沿Y维引导扫描光束并且目标场景108上的被照亮行从第一位置上移到第二位置(图2C中的位置2)时，来自第二位置的被照亮行的返回光波可在与来自第一位置的被照亮行的返回光波不同的位置来照射第一圆柱透镜202的弯曲面。第一圆柱透镜202还可沿Y维来会聚入射到其上、来自第二位置的被照亮行的返回光波。第二圆柱透镜204还可沿Z维来会聚所返回光波，使得来自第二位置的被照亮行的会聚返回光波也处于检测器104的检测范围之内，并且由检测器104的光检测组件来接收。

[0054] 图3示意示出按照实施例的光源102。光源102可包括光发射器302、光导向组件304和光学组件306。在实施例中，光发射器302可以是激光源。光导向组件304可配置成接收来自光发射器302的输入光束，生成扫描光束，并且沿第二维来引导扫描光束。光学组件306可配置成沿第一维来发散来自光导向组件304的扫描光束，使得扫描光束照亮目标场景108中沿第一维的一行。如图3所示，光学组件306可定位在光导向组件304与目标场景108之间。在另一个实施例中，光导向组件304可定位在光学组件306与目标场景108之间。在实施例中，光学组件306可包括一维衍射光栅或圆柱透镜。

[0055] 图4A示意示出按照一个实施例的光导向组件402的透视图。光导向组件402可以是光导向组件304的实施例，并且可包括多个光学波导410和电子控制系统420。在一个实施例中，多个光学波导410可位于衬底430的表面。多个光学波导410可由电子控制系统420来控制，以生成扫描光束，并且沿第二维来引导扫描光束。

[0056] 光学波导410的每个可包括输入端412、光学核心414和输出端416。光学核心414可包括光学介质。在一个实施例中，光学介质可以是透明的。光学波导410的输入端412可接收输入光波，以及所接收光波可经过光学核心414，并且作为输出光波从光学波导410的输出端416离开。衍射可使来自光学核心414的每个的输出光波分布于宽角度，使得当输入光波为相干(例如，来自例如激光器等的相干光源)时，来自多个光学波导410的输出光波可相互干涉并且呈现干涉图案。在一个实施例中，多个光学波导410的输出端416可布置成沿第二维对直。例如，如图4A所示，多个光学波导410的输出端416可沿Y维对直。这样，输出接口可面向X方向。

[0057] 电子控制系统420可配置成控制来自多个光学波导410的输出光波的相位以获得干涉图案，以生成扫描光束，并且沿第二维来引导扫描光束。光学核心414的每个的维度可由电子控制系统420单独调整，以控制来自相应光学核心414的输出光波的相位。电子控制系统420可配置成通过分别调节光学核心414的每个的温度，来单独调整光学核心414的每个的维度。

[0058] 在实施例中，对多个光学波导410的输入光束的光波可处于相同相位。来自多个光学波导410的输出光波的干涉图案可包括一个或多个传播亮斑点(其中输出光波相长地干涉(例如增强))以及一个或多个传播弱斑点(其中输出光波相消地干涉(例如相互抵消))。在实施例中，一个或多个传播亮斑点可形成一个或多个扫描光束。如果光学核心414的输出光束的相位偏移并且相位差发生变化，则相长干涉可在不同方向发生，使得输出光波的干涉图案(例如所生成的一个或多个扫描光束的方向)也可变化。换言之，沿第二维导向的光束可通过调整来自多个光学波导410的输出光束的相位来实现。

[0059] 调整输出光波的相位的一种方式是改变经过光学核心414所传播的光波的有效光路。经过光学介质所传播的光波的有效光路取决于光在光学介质中传播的物理距离(例如，取决于光波的入射角、光学介质的维度)。因此，电子控制系统420可调整光学核心414的维度，以改变经过光学核心414所传播的入射光束的有效光路，使得输出光波的相位可在电子控制系统420的控制下偏移。例如，光学核心414的每个的长度可发生变化，因为相应光学核心414的至少一部分具有温度变化。此外，如果光学核心414的至少一段的至少部分具有温度变化，则光学核心414的该段的直径可发生变化。因此，在一个实施例中，调节光学核心414的每个的温度可用来控制光学核心414的维度(例如由于光学核心414的热膨胀或收缩)。

[0060] 应当注意，虽然图4A示出多个光学波导410平行地布置，但是这在全部实施例中不作要求。在一些实施例中，输出端416可沿某个维对直，但是多个光学波导410无需是笔直的或者平行地布置。例如，在一个实施例中，光学波导410的至少一个可以是曲面的(例如“U”形、“S”形等)。光学波导410的截面形状可以是矩形、圆形或者任何其他适当形状。在实施例中，多个光学波导410可形成一维阵列，其如图4A所示放置在衬底430的表面。光学波导410无需按照一维阵列均匀地分布。在其他实施例中，多个光学波导410无需处于一个衬底上。例如，一些光学波导410可处于一个衬底上，一些其他光学波导410可处于独立衬底上。

[0061] 衬底430可包括导电、非导电或半导体材料。在实施例中，衬底430可包括例如二氧化硅等的材料。在实施例中，电子控制系统420可嵌入衬底430中，但是也可放置在衬底430外部。

[0062] 在实施例中，光源102还可包括波束扩展器(例如一组透镜)。波束扩展器可在输入光束进入多个光学波导410之前扩展输入光束。所扩展的输入光束可经过准直。在实施例中，光源102还可包括一维衍射光栅(例如圆柱微透镜阵列)，其配置成将输入光束的光波会聚和耦合到多个光学波导410中。

[0063] 图4B示意示出按照一个实施例、图4A的光导向组件402的截面图。光学核心414的每个可包括光学介质，其是导电和透明的。光学核心414可电连接到电子控制系统420。在实施例中，电子控制系统420可配置成通过单独调节光学核心414的每个的温度，来单独调整光学核心414的每个的维度。电子控制系统420可将电流分别施加到光学核心414的每个。可通过控制流经光学核心414的每个的电流的幅值，来单独调节光学核心414的每个的温度。

[0064] 图4C示意示出按照另一个实施例、图4A的光导向组件402的截面图。光学波导410的每个可包括相应光学核心414的侧壁周围的导电覆层418。在实施例中，导电覆层418的每个可以电连接到电子控制系统420。电子控制系统420可配置成通过调节光学核心414的每个的温度，来单独调整光学核心414的每个的维度。电子控制系统420可将电流施加到导电覆层418的每个。由于光学核心414与相应导电覆层418之间的热传递，可通过控制流经相应导电覆层418的每个的电流的每个的幅值，来单独调节光学核心414的每个的温度。

[0065] 图4D示意示出按照实施例、图4A的光导向组件402的截面图。光导向组件402可包括一个或多个温度调制组件。温度调制组件可将电压或电流输入转换为温度差，其可用于加热或冷却。例如，温度调制组件可以是珀耳帖装置。一个或多个温度调制组件可以能够向多个光学波导410传递热量。在实施例中，一个或多个温度调制组件可与多个光学波导410相接触。在实施例中，一个或多个温度调制组件电连接到电子控制系统420。电子控制系统420可配置成因多个光学波导410与一个或多个温度调制组件之间的热传递而通过调整一个或多个温度调制组件的温度，来控制至少一个光学核心414的温度。在一个实施例中，一个或多个温度调制组件可与多个光学波导410共享公共衬底。在图4D的示例中，光导向组件
402包括层422，其包括衬底430的表面上的一个或多个温度调制组件，并且层422与多个光学波导410相接触。

[0066] 图5示意示出光导向组件。光导向组件可以是光导向组件304的另一个实施例，并且可以是包括多个面的反射镜510。反射镜510可配置成改变来自光发射器302的光束的方向，以便沿第二维来扫描光束。在实施例中，反射镜510可以是六边形反射镜。反射镜510可由电或机械驱动单元来驱动，以进行旋转。来自光发射器302的光束照射多个面其中之一，并且从所入射的面反射。入射光束与所入射的面的法线之间的入射角在反射镜510旋转的同时发生变化，使得反射角相应地变化，以及所反射光束沿第二维进行扫描。在图5的示例中，旋转反射镜510允许所反射光束沿Y维进行扫描。在实施例中，电或机械驱动单元可以电连接到电子控制系统420并且由电子控制系统420来控制，使得能够调整反射镜510的旋转速度，以控制沿第二维的光束的扫描速度。

[0067] 图6示意示出光导向组件。光导向组件可以是光导向组件304的另一个实施例，并且可以是透镜610。透镜610可由电或机械驱动单元来控制，并且能够沿第二维来回(例如沿Y维上和下)移动。来自光发射器302的光束可经过透镜610，并且被衍射。经过透镜610之后的光束的方向在透镜沿第二维来回移动的同时发生变化。因此，经过透镜610之后的光束沿第二维进行扫描。在图6的示例中，沿Y维上下移动透镜610允许光束沿Y维进行扫描。在实施例中，电或机械驱动单元可以电连接到电子控制系统420并且由电子控制系统420来控制，使得能够调整透镜610的移动速度，以控制沿第二维的光束的扫描速度。

[0068] 图7示意示出光导向组件。光导向组件可以是光导向组件304的另一个实施例，并且可以是平面反射镜710或曲面反射镜710。反射镜710可由电或机械驱动单元来控制，并且能够沿某个维度(例如沿X或Y维)来回移动或者旋转。来自光发射器302的光束可照射反射镜710并且从反射镜710反射。如果反射镜710旋转，则入射光束与所入射的反射镜710的法线之间的入射角在反射镜710旋转的同时发生变化，使得反射角相应地变化，以及所反射光束沿第二维(例如沿Y维)进行扫描。如果反射镜710沿X或Y维来回移动，则光束的入射点沿Y维来回改变，使得所反射的扫描光束沿Y维进行扫描。在图7的示例中，沿X维来回移动反射镜710允许光束沿Y维进行扫描。在一个实施例中，电或机械驱动单元可以电连接到电子控制系统420并且由电子控制系统120来控制，使得能够调整反射镜710的旋转或移动速度，以控制沿第二维的扫描光束的扫描速度。

[0069] 图8示意示出按照实施例、包括本文所述设备100的系统800。系统800可以是Lidar系统。例如，系统800可安装在车辆上，并且用作车载Lidar。设备100可配置成生成扫描激光束，并且在扫描激光束从目标场景108中的物体、大楼或景观弹回之后检测返回激光信号。在一个实施例中，可得到物体、大楼或景观的距离和形状。

[0070] 虽然本文公开了各个方面和实施例，但是其他方面和实施例对于本领域的技术人员将是显而易见的。本文所公开的各个方面和实施例是为了便于说明而不是要进行限制，其真实范围和精神通过以下权利要求书来指示。