金属蒸镀设备

摘要

本申请公开了一种金属蒸镀设备，包括：蒸镀腔室；以及储料腔室，所述储料腔室通过隔离门与所述蒸镀腔室连接，并通过控制所述隔离门的开与闭实现所述蒸镀腔室与所述储料腔室的连通或隔绝，其中，在所述储料腔室内，设置有至少一个储料单元，用于至少一种金属蒸镀材料的储存，在所述蒸镀腔室内，设置有与所述至少一个储料单元一一对应的至少一个喂料单元以及与所述至少一个喂料单元一一对应的至少一个蒸镀坩埚，任意一所述的储料单元通过所述隔离门将所储存的金属蒸镀材料传输至对应的所述喂料单元，再由所述喂料单元传送至对应的蒸镀坩埚。通过将储料腔室与所述蒸镀腔室分离，避免了频繁开腔加料的情况，大大提高了蒸镀设备的产能。

权利要求

1.一种金属蒸镀设备，其特征在于，所述金属蒸镀设备包括：蒸镀腔室；以及

储料腔室，所述储料腔室通过隔离门与所述蒸镀腔室连接，并通过控制所述隔离门的开与闭实现所述蒸镀腔室与所述储料腔室的连通或隔绝，其中，在所述储料腔室内，设置有至少一个储料单元，用于至少一种金属蒸镀材料的储存，以及

其中，在所述蒸镀腔室内，设置有与所述至少一个储料单元一一对应的至少一个喂料单元以及与所述至少一个喂料单元一一对应的至少一个蒸镀坩埚，任意一所述的储料单元通过所述隔离门将所储存的金属蒸镀材料传输至对应的所述喂料单元，再由所述喂料单元传送至对应的蒸镀坩埚，

其中，所述储料单元包括：

主储料装置，用于储存球形金属蒸镀材料；

加料导管，与所述主储料装置连接，用于将所述主储料装置中的所述球形金属蒸镀材料传输至所述喂料单元中；以及第一阀门，设置于所述加料导管上，当需要加料时，所述第一阀门打开，加料完毕时，所述第一阀门关闭；

其中，所述喂料单元包括：

次储料装置，用于接收并储存所述储料单元传输而来的所述金属蒸镀材料；

喂料导管，与所述次储料装置连接，用于将所述次储料装置中的所述金属蒸镀材料传输至所述蒸镀坩埚中；以及

第二阀门，设置于所述喂料导管上，当需要喂料时，所述第一阀门打开，喂料完毕时，所述第一阀门关闭；

所述蒸镀腔室的内壁上还设置有沿水平方向并沿着所述内壁环绕所述蒸镀腔室的第二滑轨，所述喂料单元可滑动地连接于所述第二滑轨上，所述喂料单元通过旋转导滑块滑动连接于所述第二滑轨上，所述旋转导滑块可使得所述喂料单元沿竖直方向转动。

2.如权利要求1所述的金属蒸镀设备，其特征在于，所述储料腔室内还设置有第一滑轨，所述储料单元滑动地连接于所述第一滑轨上。

3.如权利要求2所述的金属蒸镀设备，其特征在于，所述第一滑轨上设置有限位块，以限定所述储料单元的滑动范围。

4.如权利要求1所述的金属蒸镀设备，其特征在于，所述储料单元包括：金属线圈，由所述金属蒸镀材料制得的金属线缠绕而成；以及导辊，用于传输所述金属线，

同时，所述蒸镀腔室内还设置有剪切装置，所述剪切装置接收所述导辊传输而来的金属线，并将所述金属线剪切成金属颗粒，再将所述金属颗粒传输至所述喂料单元。

5.如权利要求1所述的金属蒸镀设备，其特征在于，所述第二滑轨包括在竖直方向上彼此平行的一或多圈滑轨，沿所述蒸镀腔室的内侧壁环绕设置。

6.如权利要求1所述的金属蒸镀设备，其特征在于，在喂料时，所述喂料导管的喂料口与所述蒸镀坩埚的上平面齐平，且处于所述蒸镀坩埚的边缘。

说明书

金属蒸镀设备

技术领域

[0001] 本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种金属蒸镀设备。

背景技术

[0002] OLED(Organic Light‑Emitting Diode,有机发光二极管)显示器以其轻薄、能耗低、亮度高、发光率好、可实现柔性显示等优点，已成为广受追捧的新一代显示技术。

[0003] OLED器件主要通过加热蒸发镀膜进行制作，即使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料，使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化，沉积在有TFT(Thin Film 
Transistor，薄膜晶体管)结构或者阳极结构的基板上。通常情况下，一个蒸镀腔体内含多
个金属源及坩埚实现多种材料一起蒸镀，蒸镀金属材料的温度较高(通常>1000℃)，当其中
一种材料蒸镀完后，需降温开腔加材料，金属腔体降温慢，更换坩埚重新加材料以及调试周
期较长，从而对生产产能造成了较大的影响。

发明内容

[0004] 为解决上述问题，第一方面，本发明提供一种金属蒸镀设备，所述金属蒸镀设备包括：

[0005] 蒸镀腔室；以及

[0006] 储料腔室，所述储料腔室通过隔离门与所述蒸镀腔室连接，并通过控制所述隔离门的开与闭实现所述蒸镀腔室与所述储料腔室的连通或隔绝，

[0007] 其中，在所述储料腔室内，设置有至少一个储料单元，用于至少一种金属蒸镀材料的储存，以及

[0008] 其中，在所述蒸镀腔室内，设置有与所述至少一个储料单元一一对应的至少一个喂料单元以及与所述至少一个喂料单元一一对应的至少一个蒸镀坩埚，任意一所述的储料
单元通过所述隔离门将所储存的金属蒸镀材料传输至对应的所述喂料单元，再由所述喂料
单元传送至对应的蒸镀坩埚。

[0009] 进一步地，所述储料单元包括：

[0010] 主储料装置，用于储存球形金属蒸镀材料；

[0011] 加料导管，与所述主储料装置连接，用于将所述主储料装置中的所述球形金属蒸镀材料传输至所述喂料单元中；以及

[0012] 第一阀门，设置于所述加料导管上，当需要加料时，所述第一阀门打开，加料完毕时，所述第一阀门关闭。

[0013] 进一步地，所述储料腔室内还设置有第一滑轨，所述储料单元可滑动地连接于所述第一滑轨上。

[0014] 进一步地，所述第一滑轨上设置有限位块，以限定所述储料单元的滑动范围。

[0015] 进一步地，所述储料单元包括：

[0016] 金属线圈，由所述金属蒸镀材料制得的金属线缠绕而成；以及

[0017] 导辊，用于传输所述金属线，

[0018] 同时，所述蒸镀腔室内还设置有剪切装置，所述剪切装置接收所述导辊传输而来的金属线，并将所述金属线剪切成金属颗粒，再将所述金属颗粒传输至所述喂料单元。

[0019] 进一步地，所述蒸镀腔室的内壁上还设置有沿水平方向并沿着所述内壁环绕所述蒸镀腔室的第二滑轨，所述喂料单元可滑动地连接于所述第二滑轨上。

[0020] 进一步地，所述喂料单元通过旋转导滑块滑动连接于所述第二滑轨上，所述旋转导滑块可使得所述喂料单元沿竖直方向转动。

[0021] 进一步地，所述第二滑轨包括在竖直方向上彼此平行的一或多圈滑轨，沿所述蒸镀腔室的内侧壁环绕设置。

[0022] 进一步地，所述喂料单元包括：

[0023] 次储料装置，用于接收并储存所述储料单元传输而来的所述金属蒸镀材料；

[0024] 喂料导管，与所述次储料装置连接，用于将所述次储料装置中的所述金属蒸镀材料传输至所述蒸镀坩埚中；以及

[0025] 第二阀门，设置于所述喂料导管上，当需要喂料时，所述第一阀门打开，喂料完毕时，所述第一阀门关闭。

[0026] 进一步地，在喂料时，所述喂料导管的喂料口与所述蒸镀坩埚的上平面齐平，且处于所述蒸镀坩埚的边缘。

[0027] 有益效果：本发明提供了一种金属蒸镀设备，通过将储料腔室与所述蒸镀腔室分离，在蒸镀腔室内部的蒸镀材料用尽时，可通过设于蒸镀腔室外部的储料腔室，向蒸镀腔室
内传输所需的蒸镀材料，无需对蒸镀腔室进行开腔加料，另一方面，在储料腔室内部件出现
异常时，可单独针对储料腔室进行异常解除，不会对蒸镀腔室的蒸镀制程产生影响，大大提
高了蒸镀设备的产能。

附图说明

[0028] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于
本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附
图。

[0029] 图1是本发明实施例提供一种金属蒸镀设备的结构示意图；

[0030] 图2是本发明实施例提供另一种金属蒸镀设备的结构示意图；

[0031] 图3是本发明实施例提供又一种金属蒸镀设备中蒸镀腔室的结构示意图。

具体实施方式

[0032] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本发明保护的范围。

[0033] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示
的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描
述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，
因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解
为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、
“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多
个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

[0034] 在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任
何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列
出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况
下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必
要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合
本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。

[0035] 本发明实施例提供一种金属蒸镀设备，其结构请参阅图1，具体地，所述金属蒸镀设备包括：

[0036] 蒸镀腔室1，用于进行蒸镀工艺的腔室；以及

[0037] 储料腔室2，所述储料腔室2通过隔离门3与所述蒸镀腔室1连接，并通过控制所述隔离门3的开与闭实现所述蒸镀腔室1与所述储料腔室2的连通或隔绝，

[0038] 其中，在所述储料腔室2内，设置有至少一个储料单元21，用于至少一种金属蒸镀材料的储存，每一所述的储料单元21用于一种材料的储存，不可混用；在所述蒸镀腔室1内，
设置有与所述至少一个储料单元21一一对应的至少一个喂料单元11，以及与所述至少一个
喂料单元11一一对应的至少一个蒸镀坩埚12，任意一所述的储料单元21通过所述隔离门3
将所储存的金属蒸镀材料传输至对应的所述喂料单元11，再由所述喂料单元11传送至对应
的蒸镀坩埚12。即，当需要加料时，所述隔离门3打开，储料单元21即可对喂料单元11加料，
加料完毕时，所述隔离门3立即关闭。

[0039] 同时，所述金属蒸镀设备还包括真空系统(图中未示出)，分别独立地控制蒸镀腔室1以及储料腔室2的真空度，当隔离门3打开前，需对储料腔室2抽真空直至与蒸镀腔室1真
空度相当。

[0040] 请继续参阅图1，在一种实施例中，所述储料单元21包括：

[0041] 主储料装置211，用于储存球形金属蒸镀材料，通常情况下，所述球形金属蒸镀材料的直径为1‑2mm；

[0042] 加料导管213，与所述主储料装置211连接，用于将所述主储料装置211中的所述球形金属蒸镀材料传输至所述喂料单元11中；以及

[0043] 第一阀门212，设置于所述加料导管213上，以控制加料导管213的开闭，当需要加料时，所述第一阀门212打开，加料完毕时，所述第一阀门212关闭。

[0044] 进一步地，所述储料腔室2内还设置有第一滑轨221，所述储料单元21可滑动地连接于所述第一滑轨221上，使得所述储料单元21通过滑动实现靠近或远离所述蒸镀腔室1。
所述第一滑轨221的数量与所述储料单元21数量对应设置。

[0045] 进一步地，所述第一滑轨上设置有限位块222，以限定所述储料单元21的滑动范围，通常情况下，对于每一所述的第一滑轨221，设置两个限位块222，分别设置于所述储料
单元21的两侧。

[0046] 即，当需对所述蒸镀腔室1内加料时，打开隔离门3，储料单元21通过第一滑轨滑动至最左侧，打开第一阀门212实现加料，根据材料需求量，控制所述第一阀门212的开度以及
打开时间。

[0047] 请参阅图2，本发明另一实施例还提供了一种金属蒸镀设备，其结构与前一实施例所提供的金属蒸镀设备大致相同，仅在于所述储料单元的结构不同，具体地，在本实施例
中，所述储料单元包括：

[0048] 金属线圈231，由对应的所述金属蒸镀材料制得的金属线2311缠绕而成；

[0049] 导辊232，可通过自身的转动将所述金属线2311传输至蒸镀腔室1中，

[0050] 同时，所述蒸镀腔室1内还设置有剪切装置13，所述剪切装置13接收所述导辊232传输而来的金属线2311，并将所述金属线2311剪切成金属颗粒，打开闸门131，再将所述金
属颗粒传输至所述喂料单元111，所述闸门设于所述剪切装置13与所述喂料单元111之间，
通过控制所述闸门131的开闭，实现所述剪切装置13与所述喂料单元111的连通或隔绝。通
常情况下所述剪切装置13将金属线2311剪切成类球形的金属颗粒，粒径通常为1‑2mm。

[0051] 即，当需对所述蒸镀腔室1内加料时，打开隔离门3，所述导辊232启动运转，将金属线2311传输至蒸镀腔室1中的剪切装置13，由剪切装置将金属线2311剪切成金属颗粒后，打
开闸门131将剪切好的金属颗粒转移至喂料单元11中。

[0052] 请继续参阅图1，在本发明提供的金属蒸镀设备中，所述喂料单元11包括：

[0053] 次储料装置111，用于接收并储存所述储料单元传输而来的所述金属蒸镀材料，所述次储料装置111有一定的容量，以防止储料腔室2发生异常时造成断料从而影响产能的情
况，根据实际生产需求，所述次储料装置111通常至少可储存用于2天生产的材料；

[0054] 喂料导管113，与所述次储料装置111连接，用于将所述次储料装置111中的所述金属蒸镀材料传输至所述蒸镀坩埚12中；以及

[0055] 第二阀门112，设置于所述喂料导管113上，以实现所述喂料导管113的开闭，当需要喂料时，所述第一阀门打开，喂料完毕时，所述第一阀门关闭。

[0056] 进一步地，所述在喂料导管113为弯折的“J“字形，包括相互连通的第一部分与第二部分，第一部分为直线型，直接与所述次储料装置111连接；第二部分的圆滑的曲线型，内
壁光滑，作为直接对所述蒸镀坩埚12喂料的喂料口。当喂料时，所述喂料导管的喂料口与所
述蒸镀坩埚的上平面齐平，且处于所述蒸镀坩埚的边缘，避免蒸镀的材料堵塞喂料口。

[0057] 同时，所述喂料导管113的内径通常为2‑3mm，只允许同时通过一颗蒸镀材料，以避免喂料导管113堵塞。

[0058] 由于一种蒸镀材料通常对应有多个蒸镀坩埚，设于蒸镀腔室内的不同位置，为了优化喂料程序，本发明的另一实施例中还提供了一种金属蒸镀设备，对所述蒸镀腔室的结
构就进行了优化，优化后的结构请参阅图3，在所述蒸镀腔室1内的内壁上还设置有沿水平
方向并沿着所述内壁环绕所述蒸镀腔室的第二滑轨14，所述喂料单元11可滑动地连接于所
述第二滑轨14上，使得所述喂料单元11实现沿蒸镀腔室1内壁360°滑动，即可实现用一个喂
料单元11对多个不同位置的同材料的蒸镀坩埚进行喂料，简化设备结构。

[0059] 进一步地，所述喂料单元11通过旋转导滑块15滑动连接于所述第二滑轨14上，一方面可实现喂料单元11沿所述第二滑轨14滑动，另一方面，所述旋转导滑块15可使得所述
喂料单元11沿竖直方向转动。即，在喂料时所述喂料导管113的喂料嘴对准所述蒸镀坩埚
12，当喂料完毕时，通过旋转导滑块15，使得所述喂料单元11沿竖直方向转动，使得喂料导
管113的喂料嘴远离所述蒸镀坩埚12，从而有效避免蒸镀材料堵塞喂料导管113的喂料嘴的
问题。

[0060] 进一步地，所述第二滑轨14沿所述蒸镀腔室1的内侧壁环绕一周设置，所述第二滑轨14包括在竖直方向上彼此平行的一或多圈滑轨(图中未示出)沿所述蒸镀腔室的内侧壁
环绕设置，不同材料的喂料单元连接于不同的滑轨上，以避免滑动范围相互制约。

[0061] 在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。

[0062] 具体实施时，以上各个单元或结构可以作为独立的实体来实现，也可以进行任意组合，作为同一或若干个实体来实现，以上各个单元或结构的具体实施可参见前面的方法
实施例，在此不再赘述。

[0063] 以上对本发明实施例所提供的一种金属蒸镀设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本
发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施
方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。