用于半导体芯片表面形貌计量的系统

摘要

公开了用于对干涉信号进行分类的系统的实施例。在一个示例中，用于对干涉信号进行分类的系统包括干涉仪和至少一个处理器，该干涉仪包括光源和检测器。干涉仪被配置为提供多个干涉信号，每个干涉信号对应于半导体芯片表面上的多个位置中的相应的一个位置。光源的光谱大于白光的光谱。至少一个处理器被配置为使用模型将干涉信号分类成多个类别。这些类别中的每个类别对应于半导体芯片的表面上具有相同材料的区域。