预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法

摘要

本发明揭示了一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，镜头模组用于曝光设备，镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于镜头安装底板上，曝光设备包括底座、平行设置于底座上的两个支架、连接两个支架的横梁以及镜头模组，镜头模组安装于横梁上。本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。

权利要求

1.一种预调整设备，其用于对镜头模组进行各个参数的调整，其特征在于，包括：载具，用于承载镜头模组，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

位于所述载具下方的基台，用于承载驱动模块及图像处理模块，所述驱动模块用于驱动所述图像处理模块运动以获取所述多个镜头的输出信号；

处理单元，用于根据所述输出信号获取调整数据，所述调整数据用于调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组；

其中，所述预调整设备独立于曝光设备，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整。

2.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述参数包括焦面、倍率及角度。

3.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述载具包括相邻设置的两个限位面，所述镜头安装底板包括相邻设置的两个基准面，两个限位面与两个基准面相互配合。

4.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述多个镜头可拆卸地安装于所述多个安装孔内，所述镜头安装底板包括相对设置的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

5.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述镜头安装底板包括安装面，所述多个镜头可拆卸地安装于所述安装面上，所述镜头安装底板包括位于所述安装面的相对两侧的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

6.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体及安装部，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述安装部与所述安装孔的周缘区域配合，所述安装部与所述镜头安装底板之间设置有支撑件，所述支撑件用于根据所述调整数据调整所述镜头的焦面。

7.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述镜头本体被配置为根据所述调整数据相对所述安装孔转动以调整所述镜头的角度。

8.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体及活动连接所述镜头本体的镜筒，所述镜筒用于根据所述调整数据调整所述镜头的倍率。

9.一种预调整方法，其特征在于，包括步骤：

提供独立于曝光设备的预调整设备，所述预调整设备用于对镜头模组进行各个参数的调整，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整，所述预调整设备包括载具；

将镜头模组安装至所述载具，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

获取所述多个镜头的输出信号；

根据所述多个镜头的输出信号获取调整数据，并根据所述调整数据调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组。

10.根据权利要求9所述的预调整方法，其特征在于，步骤“获取多个镜头的输出信号；

根据多个镜头的输出信号调整多个镜头的参数”具体包括：

根据预设焦面数值调节某一镜头输出的焦面，并将该焦面定义为标准焦面；

获取其他镜头输出的焦面与所述标准焦面之间的差值；

根据所述差值调整所述镜头与所述镜头安装底板的相对位置而使得所述多个镜头的焦面均位于所述标准焦面。

11.根据权利要求10所述的预调整方法，其特征在于，所述方法还包括步骤：判断所述多个镜头输出的标准图案是否位于所述标准焦面处；

当所述标准图案偏离所述标准焦面时，调节所述镜头的倍率直至所述标准图案位于所述标准焦面。

12.根据权利要求11所述的预调整方法，其特征在于，所述方法还包括步骤：获取所述标准图案中的参考线与目标线之间的夹角；

根据所述夹角与预设夹角之间的角度差值驱动所述多个镜头相对所述镜头安装底板转动第一角度。

13.一种曝光设备的组装方法，其特征在于，包括步骤：

将平行设置于底座上的两个支架以及连接两个支架的横梁组装至底座上；

将如权利要求9-12中任意一项所述的预调整方法获取的镜头模组安装至所述横梁上。

说明书

预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法

技术领域

[0001] 本发明涉及加工设备领域，尤其涉及一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法。

背景技术

[0002] 曝光设备一般包括底座、平行设置于底座上的两个支架以及连接两个支架的横梁，多个镜头安装在横梁处。

[0003] 现有技术中，横梁上具有多个安装孔，多个镜头安装在多个安装孔内，而后再进行各个镜头的焦面、倍率及角度等的调整，这种方式存在如下缺陷：（1）需要在设备整机装配的过程中进行镜头的调整，整机装配校验时间被延长，无法实现快速出货；（2）横梁处的安装孔调整区域狭小，不利于调整操作。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，其可降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。

[0005] 为实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种预调整设备，其用于对镜头模组进行各个参数的调整，包括：

[0006] 载具，用于承载镜头模组，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

[0007] 位于所述载具下方的基台，用于承载驱动模块及图像处理模块，所述驱动模块用于驱动所述图像处理模块运动以获取所述多个镜头的输出信号；

[0008] 处理单元，用于根据所述输出信号获取调整数据，所述调整数据用于调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组；

[0009] 其中，所述预调整设备独立于曝光设备，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整。

[0010] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述参数包括焦面、倍率及角度。

[0011] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述载具包括相邻设置的两个限位面，所述镜头安装底板包括相邻设置的两个基准面，两个限位面与两个基准面相互配合。

[0012] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述多个镜头可拆卸地安装于所述多个安装孔内，所述镜头安装底板包括相对设置的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

[0013] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述镜头安装底板包括安装面，所述多个镜头可拆卸地安装于所述安装面上，所述镜头安装底板包括位于所述安装面的相对两侧的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

[0014] 作为本发明一实施方式的进一步改进，每一镜头包括镜头本体及安装部，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述安装部与所述安装孔的周缘区域配合，所述安装部与所述镜头安装底板之间设置有支撑件，所述支撑件用于根据所述调整数据调整所述镜头的焦面。

[0015] 作为本发明一实施方式的进一步改进，每一镜头包括镜头本体，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述镜头本体被配置为根据所述调整数据相对所述安装孔转动以调整所述镜头的角度。

[0016] 作为本发明一实施方式的进一步改进，每一镜头包括镜头本体及活动连接所述镜头本体的镜筒，所述镜筒用于根据所述调整数据调整所述镜头的倍率。

[0017] 为实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种预调整方法，包括步骤：

[0018] 提供独立于曝光设备的预调整设备，所述预调整设备用于对镜头模组进行各个参数的调整，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整，所述预调整设备包括载具；

[0019] 将镜头模组安装至所述载具，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

[0020] 获取所述多个镜头的输出信号；

[0021] 根据所述多个镜头的输出信号获取调整数据，并根据所述调整数据调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组。

[0022] 作为本发明一实施方式的进一步改进，步骤“获取多个镜头的输出信号；根据多个镜头的输出信号调整多个镜头的参数”具体包括：

[0023] 根据预设焦面数值调节某一镜头输出的焦面，并将该焦面定义为标准焦面；

[0024] 获取其他镜头输出的焦面与所述标准焦面之间的差值；

[0025] 根据所述差值调整所述镜头与所述镜头安装底板的相对位置而使得所述多个镜头的焦面均位于所述标准焦面。

[0026] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述方法还包括步骤：

[0027] 判断所述多个镜头输出的标准图案是否位于所述标准焦面处；

[0028] 当所述标准图案偏离所述标准焦面时，调节所述镜头的倍率直至所述标准图案位于所述标准焦面。

[0029] 作为本发明一实施方式的进一步改进，所述方法还包括步骤：

[0030] 获取所述标准图案中的参考线与目标线之间的夹角；

[0031] 根据所述夹角与预设夹角之间的角度差值驱动所述多个镜头相对所述镜头安装底板转动第一角度。

[0032] 为实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种曝光设备的组装方法，包括步骤：

[0033] 将平行设置于底座上的两个支架以及连接两个支架的横梁组装至底座上；

[0034] 将如上任意一项技术方案所述的预调整方法获取的镜头模组安装至所述横梁上。

[0035] 与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明一实施方式提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。

附图说明

[0036] 图1是本发明第一具体示例的镜头模组立体图；

[0037] 图2是本发明第一具体示例的镜头模组主视图；

[0038] 图3是本发明第二具体示例的镜头模组简化示意图；

[0039] 图4是本发明一实施方式的曝光设备立体图；

[0040] 图5是本发明一实施方式的曝光设备局部爆炸图；

[0041] 图6是本发明一实施方式的预调整设备立体图；

[0042] 图7是本发明一实施方式的预调整设备爆炸图；

[0043] 图8是本发明一实施方式的预调整方法步骤图；

[0044] 图9是本发明一实施方式的焦面未调整的示意图；

[0045] 图10是本发明一实施方式的焦面调整之后的示意图；

[0046] 图11是本发明一实施方式的倍率调整示意图；

[0047] 图12是本发明一实施方式的角度调整示意图（对应预调整设备的俯视图）。

具体实施方式

[0048] 以下将结合附图所示的具体实施方式对本发明进行详细描述。但这些实施方式并不限制本发明，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。

[0049] 在本发明的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大，因此，仅用于图示本发明的主题的基本结构。

[0050] 结合图1及图2，为本发明一实施方式的镜头模组100的示意图。

[0051] 本实施方式的镜头模组100包括镜头安装底板10及多个镜头20，多个镜头20可拆卸地安装于镜头安装底板10上。

[0052] 这里，镜头模组100用于曝光设备，这里的“镜头模组100”是指独立于曝光设备的其他部件的独立组件，后续直接用于曝光设备的装配过程中。

[0053] 另外，多个镜头20可拆卸地安装于镜头安装底板10上，如此，可调整镜头20以及镜头20与镜头安装底板10之间的相对位置关系以调整多个镜头20的参数，例如，调整多个镜头20的焦面、倍率及角度等，且由于镜头模组100是独立组件，可以在装配至曝光设备之前进行预调整，大大降低整机装配校验时间，且便于镜头20的调整操作。

[0054] 需要说明的是，经过预调整之后的镜头模组100中的多个镜头20具有适合的参数，参数包括焦面、倍率及角度，当然，参数还可以包括其他方面，如此，多个镜头20在装配至曝光设备之前就已经进行了参数的调整，使得多个镜头20具有期望的参数，经过预调整之后的镜头模组100可以直接装配至曝光设备，降低在整机装配过程中镜头20的调整校验时间，加快装配进程。

[0055] 可以理解的是，在镜头模组100装配至曝光设备的过程中，也可能需要再进行一些微调整。

[0056] 在本实施方式中，镜头安装底板10呈平板状，这里，以镜头安装底板10大致呈扁平的长方体状为例，便于多个镜头20的安装、拆卸、调整等，且便于后续镜头模组100与曝光设备的装配。

[0057] 另外，每一镜头20包括镜头本体23及安装部24，安装部24与镜头安装底板10可拆卸连接，如此，便于多个镜头20的参数的调整。

[0058] 继续结合图1及图2，在镜头模组100的第一具体示例中，镜头安装底板10包括多个安装孔11，多个镜头20可拆卸地安装于多个安装孔11内。

[0059] 具体的，镜头安装底板10包括相对设置的第一表面12及第二表面13，每一镜头20包括相对设置的第一端面21及第二端面22，第一端面21凸伸出第一表面12，第二端面22凸伸出第二表面13，也就是说，镜头安装底板10为平板状结构，镜头安装底板10水平放置，镜头20贯穿镜头安装底板10而使得镜头20的两端均凸伸出镜头安装底板10。

[0060] 在本示例中，多个安装孔11呈阵列排布，这里以镜头安装底板10上设置有呈直线均匀排布的六个安装孔11为例，且安装孔11大致位于镜头安装底板10的中部区域，但不以此为限。

[0061] 本示例的镜头20可于安装孔11内相对镜头安装底板10运动，便于镜头20的安装调整，且安装孔11可有效控制镜头20的调整幅度。

[0062] 在本示例中，镜头20的安装部24环绕镜头本体23的周缘设置，镜头本体23穿过安装孔11，安装部24与安装孔11的周缘区域配合，安装部24与镜头安装底板10之间可以设置支撑件26，这里，支撑件26可用于在竖直方向上调整镜头20与镜头安装底板10的相对位置，从而调节镜头20的焦面，安装部24与镜头本体23可一体成型，但不以此为限。

[0063] 安装部24上设置有多个固定孔241，可通过螺丝穿过固定孔241而实现镜头20与镜头安装底板10的固定，这里，可在调整过程中松开螺丝而驱动镜头20相对镜头安装底板10转动，从而调整镜头20的角度，调整完成之后再通过螺丝固定镜头20。

[0064] 另外，镜头20还包括与镜头本体23活动连接的镜筒27，镜筒27位于第二表面13的下方，通过旋转镜筒27可调整镜头20的倍率。

[0065] 结合图3，以简化示意图示意了第二具体示例的镜头模组100’的示意图。

[0066] 在本示例中，镜头安装底板10’包括安装面11’，多个镜头20’可拆卸地安装于安装面11’上。

[0067] 具体的，镜头安装底板10’包括位于安装面11’的相对两侧的第一表面12’及第二表面13’，每一镜头20’包括相对设置的第一端面21’及第二端面22’，第一端面21’凸伸出第一表面12’，第二端面22’凸伸出第二表面13’，也就是说，镜头安装底板10’为平板状结构，镜头安装底板10’竖直放置，多个镜头20’均可拆卸得安装于镜头安装底板10’同一侧的安装面11’上。

[0068] 在本示例中，多个镜头20’呈阵列排布，这里以镜头安装底板10’的安装面11’上设置有呈直线均匀排布的六个镜头20’为例，但不以此为限，在其他示例中，镜头安装底板10’上相对安装面11’设置的另一面上也可设置镜头。

[0069] 本示例的镜头20’直接安装于暴露在镜头安装底板10’外部的安装面11’上，便于镜头20’的安装调整，且便于镜头20’的拆卸更换等。

[0070] 本示例的镜头20’的参数调节及镜头20’的具体结构的说明可以参考第一具体示例的说明，可根据镜头20’与镜头安装底板10’的具体配合结构调整参数的调节结构及调节过程。

[0071] 结合图4及图5，为本发明一实施方式的曝光设备200的示意图。

[0072] 曝光设备200包括底座201、平行设置于底座201上的两个支架202、连接两个支架202的横梁203以及如上所述的镜头模组100，镜头模组100安装于横梁203上。

[0073] 这里，曝光设备200在装配过程中采用的是独立的镜头模组100，直接将已经经过预调整的镜头模组100组装至横梁203上，大大降低整机装配校验时间，且便于镜头20的调整操作。

[0074] 需要说明的是，在现有技术中，预先将采购的单个单个的镜头入库，在接到订单需要装配曝光设备时，先装配底座、支架、横梁等结构，而后再将镜头一个一个的安装至横梁上，并在横梁上对多个镜头进行焦面、倍率及角度等参数的调整，不仅因为空间小而导致镜头调整不方便，更重要的是，需要在装配过程中花大量的时间来调整镜头的参数，大大延长了整个装配时间，不利于出库时间的管控。

[0075] 而在本实施方式中，预先装配形成镜头模组100，并对镜头模组100中的多个镜头20的参数进行预调整，将调整完成的镜头模组100入库，在接到订单需要装配曝光设备200时，先装配底座201、支架202、横梁203等结构，而后直接将镜头模组100安装至横梁203处，仅需对多个镜头20进行微调便完成了镜头20的调整操作，大大降低了整个装配时间，有效控制出库时间。

[0076] 在本实施方式中，以第一具体示例的镜头模组100为例作说明。

[0077] 横梁203包括相邻设置的两个定位面203a、203b，镜头安装底板10包括相邻设置的两个基准面10a、10b，两个定位面203a、203b与两个基准面10a、10b相互配合，从而实现镜头模组100的定位安装。

[0078] 这里，横梁203具有凹口203c，两个定位面203a、203b位于凹口203c，两个定位面203a、203b相互垂直。

[0079] 凹口203c贯穿横梁203的前端及顶部，此时横梁203的上部区域大致呈“C”型。

[0080] 两个基准面10a、10b也相互垂直，这里，两个基准面10a、10b对应镜头安装底板10的第二表面13及邻接第二表面13的一个侧面。

[0081] 当镜头模组100安装至凹口203c中时，利用两个定位面203a、203b与两个基准面10a、10b之间的相互配合，可有效控制镜头模组100的安装位置，而且，镜头模组100至少部分位于凹口203c范围内，实现各个部件的合理布局。

[0082] 定义横梁203前端朝向后端的方向为X方向，多个镜头20的排布方向为Y方向，镜头20的延伸方向为Z方向，此时，两个定位面203a、203b限制镜头模组100在X方向移动。

[0083] 另外，镜头安装底板10还具有贯穿第一表面12及第二表面13的通孔14，当调整完成镜头模组100的位置之后，螺丝穿过通孔14并延伸至横梁203处，从而实现镜头模组100的完全限位，即镜头模组100在X方向、Y方向及Z方向均无法移动。

[0084] 横梁203具有贯穿孔203d，贯穿孔203d位于凹口203c的下方，多个镜头20穿过贯穿孔203d而使得镜头20的出光面28面向底座201，这里，出光面28出设的光束以虚线P表示。

[0085] 当然，曝光单元200还包括很多其他部件，在此不再一一说明。

[0086] 另外，可以理解的是，当将前述第二具体示例中的镜头模组100’安装至曝光设备200中时，可将与镜头安装底板10’的安装面11’相对的一侧安装至凹口203c的后端处，且镜头安装底板10’的第二表面13’匹配至凹口203c的定位面处。

[0087] 结合图6及图7，为本发明一实施方式的预调整设备300的示意图。

[0088] 预调整设备300是独立于曝光设备200的预处理设备，预调整设备300用于对镜头模组100进行各个参数的调整。

[0089] 具体的，预调整设备300包括载具301、位于载具301下方的基台302以及处理单元。

[0090] 这里，载具301与基台302是相互独立的结构，但不以此为限。

[0091] 载具301用于承载镜头模组100，镜头模组100包括镜头安装底板10及多个镜头20，多个镜头20可拆卸地安装于镜头安装底板10上。

[0092] 这里，载具301包括相邻设置的两个限位面301a、301b，镜头安装底板10包括相邻设置的两个基准面10a、10b，两个限位面301a、301b与两个基准面10a、10b相互配合，载具301的具体结构可以参考前述横梁203的结构，载具301用于模拟实际曝光设备200中的横梁
203。

[0093] 基台302用于承载驱动模块303及图像处理模块304，驱动模块303用于驱动图像处理模块304运动以获取多个镜头20的输出信号。

[0094] 这里，驱动模块303包括驱动电机，图像处理模块304包括CCD相机，驱动模块303至少可驱动图像处理模块304在上下方向（图示Z方向）及左右方向（图示Y方向）移动，从而实现对多个镜头20的输出信号的获取，基台302用于模拟实际曝光设备200中的底座201，或者是模拟实际曝光设备200中的底座201及支架202。

[0095] 处理单元用于根据输出信号获取调整数据，调整数据用于调整多个镜头20的参数。

[0096] 这里，处理单元可以是微处理器，其可具备用于显示调整数据的显示区域，下面将对具体的调整过程做说明。

[0097] 镜头20的参数包括焦面、倍率及角度，但不以此为限。

[0098] 每一镜头20包括镜头本体23及安装部24，安装部24与镜头安装底板10可拆卸连接。

[0099] 这里，以前述第一具体示例的镜头模组100为例作说明。

[0100] 镜头安装底板10包括多个安装孔11，镜头本体23穿过安装孔11，安装部24与安装孔11的周缘区域配合，安装部24与镜头安装底板10之间设置有支撑件26，支撑件26用于根据调整数据调整镜头20的焦面。

[0101] 这里，由于每个镜头20内部光学元件的配合结构会存在差异，导致多个镜头20实际的焦面可能不在同一平面内，且多个镜头20的焦面可能不是期望的焦面，如此，可以在安装部24与镜头安装底板10之间填充支撑件26来调节镜头20的焦面，支撑件26可为垫片，采用厚度不同的支撑件26，可将多个镜头20的焦面调整至同一平面内，最终的目的是配合不同厚度的支撑件26使得多个镜头20的焦面位于同一平面。

[0102] 镜头本体23穿过安装孔11，镜头本体23被配置为根据调整数据相对安装孔11转动以调整镜头20的角度。

[0103] 这里，由于镜头20的安装角度以及镜头20内部光学元件的配合结构不同等因素，多个镜头20与镜头安装底板10之间的角度不一致，或者多个镜头20与镜头安装底板10之间的角度不是期望的角度，本实施方式的安装部24上设置有多个固定孔241，可通过螺丝穿过固定孔241而实现镜头20与镜头安装底板10的固定，这里，可在调整过程中松开螺丝而驱动镜头20相对镜头安装底板10顺时针或逆时针转动，从而调整镜头20的角度，调整完成之后再通过螺丝固定镜头20，最终的目的是通过转动多个镜头20使得多个镜头20与镜头安装底板10之间的角度相同。

[0104] 每一镜头20包括活动连接镜头本体23的镜筒27，镜筒27用于根据调整数据调整镜头20的倍率。

[0105] 这里，镜筒27可相对镜头本体23转动以调节镜头20的倍率，最终的目的是通过调节多个镜头20的镜筒27使得多个镜头20的倍率与焦面相互适应。

[0106] 下面，结合预调整设备300的结构说明本发明一实施方式的预调整方法。

[0107] 结合图8，预调整方法包括步骤：

[0108] 将镜头模组100安装至载具301，镜头模组100包括镜头安装底板10及多个镜头20，多个镜头20可拆卸地安装于镜头安装底板10上；

[0109] 获取多个镜头20的输出信号；

[0110] 根据多个镜头20的输出信号获取调整数据，并根据调整数据调整多个镜头20的参数。

[0111] 接着，对各个参数的具体预调整方法作说明。

[0112] 结合图9及图10，当调整各个镜头20的焦面时，步骤“获取多个镜头20的输出信号；根据多个镜头20的输出信号调整多个镜头20的参数”具体包括：

[0113] 根据预设焦面数值调节某一镜头20输出的焦面，并将该焦面定义为标准焦面S；

[0114] 这里，针对每一镜头模组100，具有预设焦面数值，假设为L，此时，驱动模块303驱动图像处理模块304运动至某一镜头20的下方，例如运动至位于最左侧的第一个镜头20的下方，通过上下调节图像处理模块304或者镜头20而使得镜头20在图像处理模块304处聚焦，且镜头20的出光面28至图像处理模块304的聚焦面之间的距离为预设焦面数值L，并将聚焦面定义为标准焦面S。

[0115] 获取其他镜头20输出的焦面与标准焦面之间的差值D；

[0116] 这里，驱动模块303驱动图像处理模块304沿Y方向朝右运动至第二个镜头20的下方，获取第二个镜头20输出的焦面与标准焦面S之间的差值D，这里，差值D为第二个镜头20输出的焦面与标准焦面S之间沿Z方向的距离差。

[0117] 根据差值D调整镜头20与镜头安装底板10的相对位置而使得多个镜头20的焦面均位于标准焦面S。

[0118] 这里，根据该差值D选择合适厚度的支撑件26填充在安装部24及镜头安装底板10之间，以此类推，直至所有的镜头20输出的焦面均位于该标准焦面S处，如图10所示。

[0119] 结合图11，当调整各个镜头20的倍率时，预调整方法还包括步骤：

[0120] 判断多个镜头20输出的标准图案A是否位于标准焦面S处；

[0121] 这里，标准图案A是指镜头20输出的最清晰的图案，该标准图案A与镜头20的倍率相关。

[0122] 当标准图案A偏离标准焦面S时，调节镜头20的倍率直至标准图案A位于标准焦面S。

[0123] 这里，可相对镜头本体23转动位于镜头20下方的镜筒27而调节多个镜头20的倍率，使得多个镜头20输出的标准图案A位于标准焦面S。

[0124] 可以理解的，由于镜头20的焦面及倍率的调整过程是相互影响的，故在实际调整过程中，焦面调整过程及倍率调整过程可交替进行，直至多个镜头20实际输出的焦面及标准图案A均位于标准焦面S。

[0125] 结合图12，当调整各个镜头20的角度时，预调整方法还包括步骤：

[0126] 获取标准图案A中的参考线A1与目标线R之间的夹角α1、α2、α3、α4、α5、α6；

[0127] 这里，以标准图案A大致为平行四边形为例，以标准图案A的一条边作为参考线A1，以平行于方向Y的直线作为目标线R，参考线A1与目标线R之间具有夹角，夹角α1、α2、α3、α4、α5、α6对应不同的镜头20。

[0128] 根据夹角α1、α2、α3、α4、α5、α6与预设夹角α之间的角度差值驱动多个镜头20相对镜头安装底板10转动第一角度。

[0129] 这里，“预设夹角α”是指镜头模组100所期望的夹角，可在调整过程中松开螺丝而驱动镜头20相对镜头安装底板10转动，从而使得夹角α1、α2、α3、α4、α5、α6均等于预设夹角α，调整完成之后再通过螺丝固定镜头20。

[0130] 需要说明的是，角度调整过程较佳在焦面调整过程及倍率调整过程之后进行，若先进行角度调整过程，再进行焦面调整过程及倍率调整过程，那么，在焦面调整过程中需要再次松开螺丝来填充支撑件26，这将影响角度调整的结果。

[0131] 另外，上述调整过程中也可存在一定的误差，仅需确保误差在可接受范围内即可。

[0132] 本发明一实施方式还提供一种曝光设备的组装方法，结合前述曝光设备200的说明，组装方法包括步骤：

[0133] 将平行设置于底座201上的两个支架202以及连接两个支架202的横梁203组装至底座201上；

[0134] 将前述预调整方法获取的镜头模组100安装至横梁203上。

[0135] 这里，曝光设备200在装配过程中采用的是独立的镜头模组100，直接将已经经过预调整的镜头模组100组装至横梁203上，大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。

[0136] 曝光设备200的组装方法的其他说明可以参考前述曝光设备200的说明，在此不再赘述。

[0137] 综上所述，本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组100，后续再将预调整之后的镜头模组100组装至曝光设备200中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。

[0138] 应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

[0139] 上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。