柔性显示面板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明提供了一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，柔性显示面板包括：热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；位于所述绝缘层上的驱动电路层；位于所述驱动电路层远离所述绝缘层一侧的阳极层，所述阳极层与所述驱动电路层中驱动薄膜晶体管的输出电极连接；位于所述阳极层远离所述绝缘层一侧的像素界定层；位于所述像素界定层远离所述绝缘层一侧的发光层；位于所述发光层远离所述绝缘层一侧的阴极层；位于所述阴极层远离所述绝缘层一侧的封装层。通过本发明的技术方案，能够提高柔性显示面板的良率。

权利要求

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；

位于所述绝缘层上的驱动电路层；

位于所述驱动电路层远离所述绝缘层一侧的阳极层，所述阳极层与所述驱动电路层中驱动薄膜晶体管的输出电极连接；

位于所述阳极层远离所述绝缘层一侧的像素界定层；

位于所述像素界定层远离所述绝缘层一侧的发光层；

位于所述发光层远离所述绝缘层一侧的阴极层；

位于所述阴极层远离所述绝缘层一侧的封装层；

其中，所述第一阈值为10，所述第二阈值为95％。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：位于所述绝缘层和所述驱动电路层之间的绝缘支撑层。

3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述绝缘支撑层的厚度大于2um。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：位于所述绝缘层和所述驱动电路层之间的遮光层，所述驱动电路层中薄膜晶体管的有源层在所述绝缘层上的正投影落入所述遮光层在所述绝缘层上的正投影内。

5.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述遮光层采用金属。

6.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：位于所述有源层朝向所述绝缘层一侧的缓冲层，所述缓冲层的厚度为0.6um～3um。

7.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：位于所述阴极层和所述封装层之间的辅助电极，所述辅助电极与所述阴极层并联，所述辅助电极在所述绝缘层上的正投影与所述像素界定层在所述绝缘层上的正投影存在重叠区域。

8.根据权利要求7所述的柔性显示面板，其特征在于，所述阴极层包括第一部分和除所述第一部分之外的第二部分，所述第一部分的厚度大于所述第二部分的厚度，所述第一部分在所述绝缘层上的正投影与所述辅助电极在所述绝缘层上的正投影重合。

9.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：位于所述封装层远离所述绝缘层一侧的彩膜层；

位于所述彩膜层远离所述绝缘层一侧的封装盖板。

10.根据权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述封装盖板采用透明聚酰亚胺。

11.根据权利要求1‑10中任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括透光区和发光区，所述阳极层仅设置在所述发光区。

12.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括透光区和发光区，所述遮光层仅设置在所述发光区。

13.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1‑12中任一项所述的柔性显示面板。

14.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：提供一刚性载板；

在所述刚性载板上形成过渡柔性基底；

在所述过渡柔性基底上形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；

在所述绝缘层上形成驱动电路层和发光器件，所述发光器件包括阳极层、像素界定层、发光层和阴极层；

形成覆盖所述发光器件的封装层；

将所述过渡柔性基底从所述牺牲层上剥离；

去除所述牺牲层；

其中，所述第一阈值为10，所述第二阈值为95％。

15.根据权利要求14所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述过渡柔性基底的厚度为5‑10um，所述牺牲层的厚度为300‑700埃。

说明书

柔性显示面板及其制作方法、显示装置

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域，特别是指一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置。

背景技术

[0002] 相关技术中，柔性可卷曲的显示器件采用透明聚酰亚胺(CPI)作为基底材料，但CPI材料透过率与热膨胀系数(CTE)成正比，如果CPI材料透过率较高，则CPI材料的热膨胀系数也会较高，这样会导致显示器件在表面沉积无机膜层剥离后卷曲严重，无法满足平整度要求；另外，由于CPI的厚度一般都比较大，会使得显示器件的封装层距中性层较远，弯曲应力较大，在显示器件弯曲时存在封装层失效的风险。

发明内容

[0003] 本发明要解决的技术问题是提供一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置，能够提高柔性显示面板的良率。

[0004] 为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

[0005] 一方面，提供一种柔性显示面板，包括：

[0006] 热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；

[0007] 位于所述绝缘层上的驱动电路层；

[0008] 位于所述驱动电路层远离所述绝缘层一侧的阳极层，所述阳极层与所述驱动电路层中驱动薄膜晶体管的输出电极连接；

[0009] 位于所述阳极层远离所述绝缘层一侧的像素界定层；

[0010] 位于所述像素界定层远离所述绝缘层一侧的发光层；

[0011] 位于所述发光层远离所述绝缘层一侧的阴极层；

[0012] 位于所述阴极层远离所述绝缘层一侧的封装层。

[0013] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0014] 位于所述绝缘层和所述驱动电路层之间的绝缘支撑层。

[0015] 一些实施例中，所述绝缘支撑层的厚度大于2um。

[0016] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0017] 位于所述绝缘层和所述驱动电路层之间的遮光层，所述驱动电路层中薄膜晶体管的有源层在所述绝缘层上的正投影落入所述遮光层在所述绝缘层上的正投影内。

[0018] 一些实施例中，所述遮光层采用金属。

[0019] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0020] 位于所述有源层朝向所述绝缘层一侧的缓冲层，所述缓冲层的厚度为0.6um～3um。

[0021] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0022] 位于所述阴极层和所述封装层之间的辅助电极，所述辅助电极与所述阴极层并联，所述辅助电极在所述绝缘层上的正投影与所述像素界定层在所述绝缘层上的正投影存在重叠区域。

[0023] 一些实施例中，所述阴极层包括第一部分和除所述第一部分之外的第二部分，所述第一部分的厚度大于所述第二部分的厚度，所述第一部分在所述无机绝缘层上的正投影与所述辅助电极在所述绝缘层上的正投影重合。

[0024] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0025] 位于所述封装层远离所述绝缘层一侧的彩膜层；

[0026] 位于所述彩膜层远离所述绝缘层一侧的封装盖板。

[0027] 一些实施例中，所述封装盖板采用透明聚酰亚胺。

[0028] 一些实施例中，所述柔性显示面板包括透光区和发光区，所述阳极层仅设置在所述发光区。

[0029] 一些实施例中，所述柔性显示面板包括透光区和发光区，所述遮光层仅设置在所述发光区。

[0030] 本发明的实施例还提供了一种显示装置，包括如上所述的柔性显示面板。

[0031] 本发明的实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：

[0032] 提供一刚性载板；

[0033] 在所述刚性载板上形成过渡柔性基底；

[0034] 在所述过渡柔性基底上形成牺牲层；

[0035] 在所述牺牲层上形成热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；

[0036] 在所述绝缘层上形成驱动电路层和发光器件，所述发光器件包括阳极层、像素界定层、发光层和阴极层；

[0037] 形成覆盖所述发光器件的封装层；

[0038] 将所述过渡柔性基底从所述牺牲层上剥离；

[0039] 去除所述牺牲层。

[0040] 一些实施例中，所述过渡柔性基底的厚度为5‑10um，所述牺牲层的厚度为300‑700埃。

[0041] 一些实施例中，具体包括：

[0042] 利用激光剥离方式将所述过渡柔性基底从所述牺牲层上剥离；

[0043] 采用灰化工艺去除所述牺牲层或采用机械剥离方式将所述牺牲层从所述绝缘层上剥离。

[0044] 本发明的实施例具有以下有益效果：

[0045] 上述方案中，柔性显示面板包括绝缘层和位于绝缘层上的显示器件，柔性显示面板不包括柔性衬底，仅利用绝缘层作为基底，绝缘层的热膨胀系数较低，这样之后在柔性显示面板的制备过程中不会出现卷曲的问题，能够满足柔性显示面板的平整度要求；另外，绝缘层的厚度一般都比较小，可以使得柔性显示面板的中性层上移，柔性显示面板的封装层距中性层较近，弯曲应力可以大大减小，在柔性显示面板弯曲时避免出现封装层失效的问题，保证柔性显示面板的良率。

附图说明

[0046] 图1为本发明实施例柔性显示面板的结构示意图；

[0047] 图2‑图7为本发明实施例柔性显示面板的制作流程示意图。

[0048] 附图标记

[0049] 1 刚性载板

[0050] 2 过渡柔性基底

[0051] 3 牺牲层

[0052] 4 绝缘层

[0053] 5 绝缘支撑层

[0054] 6 遮光层

[0055] 7 缓冲层

[0056] 8 层间绝缘层

[0057] 9 平坦层

[0058] 10 有源层

[0059] 11 栅绝缘层

[0060] 12 栅极

[0061] 13 源极

[0062] 14 漏极

[0063] 15 阳极层

[0064] 16 像素界定层

[0065] 17 发光层

[0066] 18 阴极层

[0067] 19 第一无机封装层

[0068] 20 第二有机封装层

[0069] 21 第三无机封装层

[0070] 22 封装盖板

[0071] 23 辅助电极

[0072] 24 绝缘图形

[0073] 25 彩膜层

具体实施方式

[0074] 为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

[0075] 如果采用CPI作为柔性显示面板的基底，由于透过率>90％的CTE>20，这样在柔性显示面板的制程中会出现卷曲严重的情况，而且CPI的透过率也会对柔性显示面板的透明度造成一定影响；CPI的厚度一般在10um以上，会使得柔性显示面板的中性层的位置下移，封装层距中性层较远，弯曲应力较大，在显示器件弯曲时存在封装层失效的风险，影响柔性显示面板的良率。

[0076] 本发明的实施例针对提供一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置，能够提高柔性显示面板的良率。

[0077] 本发明实施例提供一种柔性显示面板，如图1所示，柔性显示面板包括：

[0078] 热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层4，绝缘层4可以采用SiN,SiO,SiON,Al2O3等无机绝缘材料，绝缘层4可以有效阻挡外部侵入气体和水分，绝缘层4还可以采用有机树脂，厚度可以为0.6um‑3um；在绝缘层4采用无机绝缘材料时，厚度可以为100‑800nm，在绝缘层4采用有机绝缘材料时，厚度可以为1‑3um，但需要保证绝缘层4的热膨胀系数比较小，上述第一阈值可以为10；绝缘层4的透光率需要比较高，不会对显示面板的显示造成影响，上述第二阈值可以为95％；

[0079] 位于所述绝缘层4上的驱动电路层，驱动电路层包括薄膜晶体管和栅线、数据线等膜层，薄膜晶体管包括有源层10、栅绝缘层11、栅极12、源极13、漏极14和层间绝缘层8；

[0080] 位于所述驱动电路层远离所述绝缘层4一侧的阳极层15，所述阳极层15与所述驱动电路层中驱动薄膜晶体管的输出电极连接；

[0081] 位于所述阳极层15远离所述绝缘层4一侧的像素界定层16，像素界定层16限定出多个像素区域；

[0082] 位于所述像素界定层16远离所述绝缘层4一侧的发光层17；

[0083] 位于所述发光层17远离所述绝缘层4一侧的阴极层18；

[0084] 位于所述阴极层18远离所述绝缘层4一侧的封装层，封装层具体可以包括层叠设置的第一无机封装层19、第二有机封装层20和第三无机封装层21。

[0085] 本实施例中，柔性显示面板包括绝缘层和位于绝缘层上的显示器件，柔性显示面板不包括柔性衬底，仅利用绝缘层作为基底，绝缘层的热膨胀系数较低，这样之后在柔性显示面板的制备过程中不会出现卷曲的问题，能够满足柔性显示面板的平整度要求；另外，绝缘层的厚度一般都比较小，可以使得柔性显示面板的中性层上移，柔性显示面板的封装层距中性层较近，弯曲应力可以大大减小，在柔性显示面板弯曲时避免出现封装层失效的问题，保证柔性显示面板的良率。

[0086] 一些实施例中，为了保证柔性显示面板的结构强度，如图1所示，柔性显示面板还包括：

[0087] 位于所述绝缘层4和所述驱动电路层之间的绝缘支撑层5，所述绝缘支撑层5可以采用硅‑玻璃键合结构(SOG)，厚度可以大于2um。

[0088] 一些实施例中，为了保证驱动电路层中薄膜晶体管的性能，避免外界光线照射到薄膜晶体管的有源层10上，所述柔性显示面板还包括：

[0089] 位于所述绝缘层4和所述驱动电路层之间的遮光层6，所述驱动电路层中薄膜晶体管的有源层10在所述绝缘层4上的正投影落入所述遮光层6在所述绝缘层4上的正投影内，这样利用遮光层6可以对外界光线进行遮挡，避免外界光线照射到薄膜晶体管的有源层10上，影响薄膜晶体管的性能，遮光层6可以采用吸光材料制作，也可以采用反光的金属制作。遮光层6具体可以位于绝缘支撑层5和绝缘层4之间。

[0090] 本实施例的柔性显示面板可以为柔性透明可卷曲显示面板，在柔性显示面板为柔性透明可卷曲显示面板时，如图1所示，柔性显示面板包括透光区B和发光区A，透光区B不需要进行显示，为了保证透光区B的高透过率，遮光层6仅设置在发光区A。如图1所示，柔性显示面板还包括位于绝缘支撑层5远离绝缘层4一侧的缓冲层7，薄膜晶体管的有源层10位于缓冲层7远离绝缘层4的一侧，缓冲层7可以避免杂质进入有源层10中；缓冲层7可以采用SiN,SiO,SiON,Al2O3等无机绝缘材料，缓冲层7还可以有效阻挡外部侵入气体和水分，缓冲层7还可以采用有机树脂，厚度可以为0.6um‑3um；在缓冲层7采用无机绝缘材料时，厚度可以为100‑800nm，在绝缘层4采用有机绝缘材料时，厚度可以为1‑3um。

[0091] 如图1所示，柔性显示面板还包括位于驱动电路层远离绝缘层4一侧的平坦层9，平坦层9可以为阳极层15提供平坦的表面，阳极层15通过贯穿平坦层9的过孔与驱动电路层中驱动薄膜晶体管的漏极14连接。

[0092] 一些实施例中，为了降低阴极层18上的压降，保证显示的均一性，所述柔性显示面板还包括：

[0093] 位于所述阴极层18和所述封装层之间的辅助电极23，所述辅助电极23与所述阴极层18并联，可以降低阴极层18的电阻，从而降低阴极层18上的压降。辅助电极可以采用金属制作，为了避免辅助电极23对显示造成影响，辅助电极23可以设置在像素区域之间的非发光区域，所述辅助电极23在所述绝缘层4上的正投影与所述像素界定层16在所述绝缘层4上的正投影存在重叠区域。优选地，辅助电极23在绝缘层4上的正投影位于像素界定层16在绝缘层4上的正投影内。

[0094] 由于辅助电极23可以有效降低阴极层18的电阻，因此在像素区域可以适当减薄阴极层18的厚度，所述阴极层18包括第一部分和除所述第一部分之外的第二部分，所述第一部分的厚度大于所述第二部分的厚度，所述第一部分在所述绝缘层4上的正投影与所述辅助电极23在所述绝缘层4上的正投影重合，即与辅助电极23对应的阴极层18的厚度比较大，其他区域的阴极层18的厚度比较小，这样可以最大限度提高柔性显示面板的透明度。

[0095] 一些实施例中，所述柔性显示面板还包括：

[0096] 位于所述封装层远离所述绝缘层一侧的彩膜层25，彩膜层25可以包括多个不同颜色的彩色滤光单元，从而实现柔性显示面板的彩色显示；

[0097] 位于所述彩膜层25远离所述绝缘层一侧的封装盖板22，封装盖板22可以采用透明聚酰亚胺，透明聚酰亚胺的透过率可以大于99％，可以最大限度提高柔性显示面板的出光效率。

[0098] 本实施例的柔性显示面板可以为柔性透明可卷曲显示面板，在柔性显示面板为柔性透明可卷曲显示面板时，如图1所示，柔性显示面板包括透光区B和发光区A，透光区B不需要进行显示，为了保证透光区B的高透过率，所述阳极层18可以仅设置在所述发光区A，进一步地，阴极层18也可以仅设置在发光区A。

[0099] 本发明的实施例还提供了一种显示装置，包括如上所述的柔性显示面板。该显示装置包括但不限于：射频单元、网络模块、音频输出单元、输入单元、传感器、显示单元、用户输入单元、接口单元、存储器、处理器、以及电源等部件。本领域技术人员可以理解，上述显示装置的结构并不构成对显示装置的限定，显示装置可以包括上述更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。在本发明实施例中，显示装置包括但不限于显示器、手机、平板电脑、电视机、可穿戴电子设备、导航显示设备等。

[0100] 所述显示装置可以为：电视、显示器、数码相框、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或部件，其中，所述显示装置还包括柔性电路板、印刷电路板和背板。

[0101] 本发明的实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：

[0102] 提供一刚性载板；

[0103] 在所述刚性载板上形成过渡柔性基底；

[0104] 在所述过渡柔性基底上形成牺牲层；

[0105] 在所述牺牲层上形成热膨胀系数小于第一阈值且透光率大于第二阈值的绝缘层；

[0106] 在所述绝缘层上形成驱动电路层和发光器件，所述发光器件包括阳极层、像素界定层、发光层和阴极层；

[0107] 形成覆盖所述发光器件的封装层；

[0108] 将所述过渡柔性基底从所述牺牲层上剥离；

[0109] 去除所述牺牲层。

[0110] 本实施例中，柔性显示面板包括绝缘层和位于绝缘层上的显示器件，柔性显示面板不包括柔性衬底，在过渡柔性基底上形成发光器件后，剥离过渡柔性基底，仅利用绝缘层作为基底，绝缘层的热膨胀系数较低，这样之后在柔性显示面板的制备过程中不会出现卷曲的问题，能够满足柔性显示面板的平整度要求；另外，绝缘层的厚度一般都比较小，可以使得柔性显示面板的中性层上移，柔性显示面板的封装层距中性层较近，弯曲应力可以大大减小，在柔性显示面板弯曲时避免出现封装层失效的问题，保证柔性显示面板的良率。

[0111] 一具体实施例中，如图2‑图7所示，本实施例的柔性显示面板的制作方法包括以下步骤：

[0112] 步骤1、如图2所示，提供一刚性载板1，在刚性载板1上形成过渡柔性基底2；

[0113] 刚性载板1可以采用玻璃基板或石英基板，过渡柔性基底2可以采用聚酰亚胺，厚度为5‑10um。具体地，可以采用涂覆工艺在刚性载板1上形成过渡柔性基底2。

[0114] 步骤2、如图3所示，在过渡柔性基底2上形成牺牲层3、绝缘层4、遮光层6和绝缘支撑层5；

[0115] 其中，牺牲层3可以采用粘附力低的材料，这样后续可以方便过渡柔性基底2的去除；所述牺牲层3的厚度可以为300‑700埃，由于牺牲层3的厚度比较小，因此后续也可以不去除牺牲层3，如果不去除牺牲层3，就需要牺牲层3采用透过率比较高的材料，比如透过率大于95％的材料。

[0116] 绝缘层4可以采用SiN,SiO,SiON,Al2O3等无机绝缘材料，可以采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法形成绝缘层4，绝缘层4可以有效阻挡外部侵入气体和水分；绝缘层4还可以采用有机树脂，在绝缘层4采用有机树脂时，可以采用涂覆工艺制备绝缘层4；绝缘层4的厚度可以为0.6um‑3um；在绝缘层4采用无机绝缘材料时，厚度可以为100‑800nm，在绝缘层4采用有机绝缘材料时，厚度可以为1‑3um，但需要保证绝缘层4的热膨胀系数比较小，上述第一阈值可以为10；绝缘层4的透光率需要比较高，不会对显示面板的显示造成影响，上述第二阈值可以为95％；

[0117] 遮光层6可以对外界光线进行遮挡，避免外界光线照射到薄膜晶体管的有源层10上，影响薄膜晶体管的性能，遮光层6可以采用吸光材料制作，也可以采用反光金属制作，比如采用Ti/Al/Ti的叠层结构。为了避免遮光层6对柔性显示面板的显示造成影响，遮光层6仅设置在柔性显示面板的发光区，进一步，遮光层6在绝缘层4上的正投影与有源层10在绝缘层4上的正投影可以重合。在采用金属制作遮光层6时，可以采用溅射或热蒸发的方法沉积一层金属层，在金属层上涂覆一层光刻胶，采用掩膜板对光刻胶进行曝光，使光刻胶形成光刻胶未保留区域和光刻胶保留区域，其中，光刻胶保留区域对应于遮光层6的图形所在区域，光刻胶未保留区域对应于上述图形以外的区域；进行显影处理，光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除，光刻胶保留区域的光刻胶厚度保持不变；通过刻蚀工艺完全刻蚀掉光刻胶未保留区域的金属层，剥离剩余的光刻胶，形成遮光层6的图形。

[0118] 绝缘支撑层5可以保证柔性显示面板的结构强，具体可以采用硅‑玻璃键合结构，厚度可以大于2um。

[0119] 步骤3、如图4所示，形成缓冲层7、驱动电路层、阳极层15和像素界定层16；

[0120] 缓冲层7可以采用SiN,SiO,SiON,Al2O3等无机绝缘材料，可以采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法形成缓冲层7，缓冲层7可以有效阻挡外部侵入气体和水分；缓冲层7还可以采用有机树脂，在缓冲层7采用有机树脂时，可以采用涂覆工艺制备缓冲层7；缓冲层7的厚度可以为0.6um‑3um；在缓冲层7采用无机绝缘材料时，厚度可以为100‑800nm，在缓冲层7采用有机绝缘材料时，厚度可以为1‑3um；

[0121] 其中，驱动电路层包括薄膜晶体管和栅线、数据线等膜层，薄膜晶体管包括有源层10、栅绝缘层11、栅极12、源极13、漏极14和层间绝缘层8，阳极层15通过贯穿平坦层9的过孔与驱动电路层中驱动薄膜晶体管的漏极14连接，像素界定层16限定出多个像素区域。

[0122] 本实施例的柔性显示面板可以为柔性透明可卷曲显示面板，如图5所示，柔性显示面板包括透光区B和发光区A，透光区B不进行显示，为了保证透光区的高透过率，所述阳极层18可以仅形成在所述发光区A。

[0123] 步骤4、如图5所示，形成发光层17、阴极层18、辅助电极23、绝缘图形24、封装层、彩膜层25和封装盖板22；

[0124] 具体地，可以采用蒸镀方式依次形成发光层17和阴极层18。

[0125] 为了降低阴极层18的电压，需要形成与阴极层18并联的辅助电极23，可以先形成一层辅助电极材料层，再形成绝缘图形24，以绝缘图形24为掩膜对辅助电极材料层进行刻蚀，形成辅助电极23，为了避免辅助电极23对开口率造成影响，辅助电极23可以设置在像素区域之间的非发光区域，所述辅助电极23在所述绝缘层4上的正投影与所述像素界定层16在所述绝缘层4上的正投影存在重叠区域。优选地，辅助电极23在绝缘层4上的正投影位于像素界定层16在绝缘层4上的正投影内。

[0126] 可以依次形成第一无机封装层19、第二有机封装层20和第三无机封装层21组成封装层。

[0127] 彩膜层25可以包括多个不同颜色的彩色滤光单元，从而实现柔性显示面板的彩色显示；

[0128] 封装盖板22可以采用透明聚酰亚胺，透明聚酰亚胺的透过率可以大于99％，能够最大限度提高柔性显示面板的出光效率。

[0129] 本实施例的柔性显示面板可以为柔性透明可卷曲显示面板，如图5所示，柔性显示面板包括透光区B和发光区A，透光区B不进行显示，为了保证透光区的高透过率，阴极层18可以仅形成在发光区A。

[0130] 步骤5、如图6所示，进行过渡柔性基底2的剥离；

[0131] 具体地，可以利用激光剥离方式将所述过渡柔性基底2从所述牺牲层3上剥离。

[0132] 步骤6、如图7所示，去除牺牲层3。

[0133] 具体地，可以采用灰化工艺去除所述牺牲层3，或采用机械剥离方式将所述牺牲层3从所述绝缘层4上剥离。

[0134] 经过上述步骤即可得到如图1所示的柔性显示面板。

[0135] 在本发明各方法实施例中，所述各步骤的序号并不能用于限定各步骤的先后顺序，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，对各步骤的先后变化也在本发明的保护范围之内。

[0136] 需要说明，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于实施例而言，由于其基本相似于产品实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见产品实施例的部分说明即可。

[0137] 除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

[0138] 可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。

[0139] 在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

[0140] 以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。