本发明公开了一种复合导引板结构和基于该结构的装针设备及装针方法。本发明中复合导引板结构在传统导引板结构基础上添加了中层导引板，利用中层导引板相对顶层、底层导引板结构的相对位移实现探针的限位，将探针装配过程和探针限位过程解耦，有利于探针装配过程中的插针难度和打孔难度，减少误插、错插对探针造成的损伤，提高装针良率，降低对操作人员技术水平的依赖，同时也避免了传统导引板导引孔过大，限位功能不足或导引孔过小，对探针运动产生阻碍等问题。基于该复合导引板的装针设备及装针方法，可通过控制中层导引板的相对运动，控制实现探针的装配和拆卸更换，提高了系统的可维护性。
1.一种复合导引板结构，包括顶层导引板（1）、中层导引板（2）、底层导引板（3）和间隔板（4），所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）和底层导引板（3）表面均具有容纳探针的装针孔，所述装针孔的孔径大小在X、Y方向上均大于探针X、Y方向截面尺寸；所述底层导引板（3）表面探针孔分布与被测试芯片的针脚或/和焊盘分布一致；所述顶层导引板（1）和底层导引板（3）大小及形状相同，四角分别分布多个对齐的顶层导引板固定孔（11）和底层导引板固定孔（31）；所述间隔板（4）为金属框结构，大小与顶层导引板（1）和底层导引板（3）相同，四角具有与顶层导引板固定孔（11）和底层导引板固定孔（31）对齐的间隔板固定孔（41）；
所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）、底层导引板（3）上均设置有装针固定孔一（5）和装针固定孔二（6），所述装针固定孔一（5）对齐时，所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）和底层导引板（3）的探针容纳孔一一对齐，装针固定孔二（6）错位，方便插针；所述装针固定孔二（6）对齐时，所述中层导引板（2）的探针容纳孔相对于顶层导引板（1）和底层导引板（3）的探针容纳孔产生错位，用于对探针进行限位；
位于所述顶层导引板（1）和中层导引板（2）中间，用于将顶层导引板（1）与中层导引板（2）分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量；此时，中层导引板（2）和底层导引板（3）之间没有容置空间；
位于所述中层导引板（2）和底层导引板（3）中间，用于将中层导引板（2）与底层导引板（3）分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量；此时，顶层导引板（1）和中层导引板（2）之间没有容置空间。
2.根据权利要求1所述的一种复合导引板结构，其特征在于，所述中层导引板（2）为四角分别切去一个区域的平板，大小在X、Y方向上分别有一边大于顶层导引板（1）和底层导引板（3），所述切去区域形状为方形、1/4圆或弧形。
3.根据权利要求1所述的一种复合导引板结构，其特征在于，所述底层导引板（3）表面探针容纳孔孔径大小大于待装载探针孔径4-10微米。
4.一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的装针设备，其特征在于，包括底座（7）、操作台（8）、支撑机构（9）、运动机构（10）和装针机构；
所述支撑机构（9）包括导引板支撑机构（91）和探针支撑机构（92），
所述导引板支撑机构（91）包括支架（911）、滑块（912）、导轨（913）及止动螺丝（914），所述支架（911）与滑块（912）固定连接，设置于所述导轨（913）上方，所述导轨（913）分别固定于操作台（8）中心区域四周，所述止动螺丝（914）用于对支架（911）及滑块（912）位置进行限位；
所述探针支撑机构（92）包括Z向高精度位移台（921）、探针支撑板（922）及薄膜缓冲层（923），所述Z向高精度位移台（921）用于调整探针底部到底层导引板（3）的距离，所述探针支撑板（922）用于保证探针装配后的平面度，所述薄膜缓冲层（923）用于防止探针针尖磨损碰撞；
所述运动机构（10）包括三自由度高精密位移台（101）、连接杆（102）及末端夹具（103），所述三自由度高精密位移台（101）固定于操作台上，所述连接杆（102）一端与末端夹具（103）固定连接，另一端与三自由度高精密位移台（101）末端固定连接；
所述装针机构包括多轴运动手臂（111）及夹具末端（112）。
5.根据权利要求4所述的一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的装针设备，其特征在于，所述支架（911）结构表面带有卡槽，用作复合导引板结构限位。
6.一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的装针方法，其使用的装针设备为权利要求5所述的装针设备，所述复合导引板结构的装针方法具体步骤为：步骤a、将所述复合导引板结构装针固定孔一（5）对准，用销钉一固定，保证探针容纳孔一一对准；
步骤b、将所述复合导引板结构顶层导引板固定孔（11）、底层导引板固定孔（31）与间隔板固定孔（41）对准，用销钉固定，保证中层导引板（2）运动过程中，顶层导引板（1）、底层导引板（3）和间隔板（4）相对位置不变；
步骤c、调整所述装针设备的支撑机构滑块（912）位置，使得所述支架（911）的卡槽与待装配复合导引板大小一致相配合，用止动螺丝（914）进行固定和限位；
步骤d、置针：将复合导引板结构放入支架（911）的卡槽内，利用多轴手臂（111）配合夹具末端（112）夹取探针，放入所述复合导引板结构探针容纳孔中，针尖接触所述针尖支撑机构的缓冲层（923）；
步骤e、置针完成后，撤去销钉一，调整三自由度高精密位移台（101），利用末端夹具（103）夹持中层导引板（2），并推动中层导引板（2）在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动，直到所述复合导引板结构装针固定孔二（6）对准，用销钉二固定，完成装针。
7.一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的换针方法，其使用的装针设备为权利要求5所述的装针设备，所述复合导引板结构的换针方法具体步骤为：步骤a、调整所述装针设备的支撑机构滑块（912）位置，使得所述支架（911）的卡槽与待拆卸复合导引板大小一致相配合，并用止动螺丝（914）固定和限位；
步骤b、将待拆针或换针的探针头放入支架（911）的卡槽内，撤去固定销钉二，调整三自由度高精密位移台（101），利用末端夹具（103）夹持中层导引板（2），并拉动中层导引板（2）在X、Y方向，沿着探针孔增大的方向做精密运动，运动至复合导引板结构装针固定孔一（5）对准，用销钉一固定；
步骤c、利用多轴运动手臂（111）配合夹具末端（112）夹取坏针，进行拆针和换针操作；
步骤d、操作完毕后，撤去销钉一，再次控制三自由度高精密位移台（101），利用末端夹具（103）夹持中层导引板（2），并推动中层导引板（2）在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动至复合导引板结构装针固定孔二（6）对准，用销钉二固定，完成拆针和换针操作。
一种复合导引板结构和基于该结构的装针设备及装针方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种复合导引板结构和基于该结构的装针设备及装针方法，属于探针卡及探针装配技术领域。
背景技术
[0002] 探针卡是一种用于晶圆测试的测试结构，将测试机的测试信号通过自身传递给被测对象，并将被测对象的响应信号经由自身回传给测试机，实现芯片性能的测试，配合其他测试及分析仪器可以实现完整的芯片优劣、性能高低的测试，实现不良品的筛选，降低不必要的封装成本。
[0003] 随着半导体技术的不断发展，产品体积不断缩小，晶圆上衬垫分布密度越来越高，面积越来越小，对可用于并行化测试、支持高密度探针分布的垂直式探针需求逐渐增加。为保证探针的定位精度，减少X、Y方向的偏移量，同时对探针进行适宜的限位，探针卡结构中通常使用带有通孔的导引板对探针提供支撑、导引和限位功能。
[0004] 一般来说，导引板通孔的孔径仅比探针直径多5-10个微米，插针过程中，要求操作人员将数十微米级尺度的探针插入数十微米级尺度的探针孔内，且对装配过程中探针摩擦、弯曲、变形等进行有效控制，防止装配过程中探针受力过大，产生不可恢复的变形、甚至折断。目前探针的装配多采用人工逐针装配的方式，装针技术难度大，装针效率难以提高，对操作人员的技术水平要求高，需要丰富的操作经验。除此之外，一般来说导引板多为上下两层，由于视角问题，操作人员仅能观察到顶层导引板探针孔，需要操作人员凭借经验和手感进行探针的插入，会导致探针装配过程中的误插、错插造成的针损耗增大。上述问题随着探针密度的增加、间距的减小，探针直径的降低会更加严重。
发明内容
[0005] 本发明的目的在于提供一种复合导引板结构，将探针装配和探针限位过程解耦，降低装针及换针难度，减少误插及错查对探针造成的损伤，削弱装针过程对操作人员的技术水平依赖，提升插针良率和效率。
[0006] 本发明的另一目的在于通过复合导引板结构降低对导引板打孔能力和打孔精度的要求，降低打孔成本。
[0007] 本发明还具有一目的，在于提供一种基于复合导引板结构的装针设备及装针方法，提升插针效率和可维护程度。
[0008] 本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
[0009] 一种复合导引板结构，包括顶层导引板、中层导引板、底层导引板、间隔板、装针固定孔一、装针固定孔二；所述顶层导引板、中层导引板和底层导引板表面均具有容纳探针的装针孔，所述装针孔的孔径大小在X、Y方向上均大于探针X、Y方向截面尺寸；所述底层导引板表面探针孔分布与被测试芯片的针脚或/和焊盘分布一致；所述顶层导引板和底层导引板大小及形状相同，四角分别分布多个对齐的顶层导引板固定孔和底层导引板固定孔；所述间隔板为金属框结构，大小与顶层导引板和底层导引板相同，四角具有与顶层导引板固定孔和底层导引板固定孔对齐的间隔板固定孔；所述装针固定孔一对齐时，所述顶层导引板、中层导引板和底层导引板的探针容纳孔一一对齐，装针固定孔二错位，方便插针；所述装针固定孔二对齐时，所述中层导引板的探针容纳孔相对于顶层导引板和底层导引板的探针容纳孔产生错位，用于对探针进行限位。
[0010] 上述复合导引板结构，所述中层导引板为四角分别切去一个区域的平板，大小在X、Y方向上分别有一边大于顶层导引板和底层导引板，所述切去区域形状为方形、1/4圆或弧形。
[0011] 上述复合导引板结构，所述间隔板：
[0012] 位于所述顶层导引板和中层导引板中间，用于将顶层导引板与中层导引板分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量；
[0013] 或
[0014] 位于所述中层导引板和底层导引板中间，用于将中层导引板与底层导引板分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量。
[0015] 上述复合导引板结构，所述底层导引板表面探针容纳孔孔径大小大于待装载探针孔径4-10微米。
[0016] 一种基于复合导引板结构的装针设备，包括底座、操作台、支撑机构、运动机构和装针机构；
[0017] 所述支撑机构包括导引板支撑机构和探针支撑机构，
[0018] 所述导引板支撑机构包括支架、滑块、导轨及止动螺丝，所述支架与滑块固定连接，设置于所述导轨上方，所述导轨分别固定于操作台中心区域四周，所述止动螺丝用于对支架及滑块位置进行限位；
[0019] 所述探针支撑机构包括Z向高精度位移台、探针支撑板及薄膜缓冲层，所述Z向高精度位移台用于调整探针底部到底层导引板的距离，所述探针支撑板用于保证探针装配后的平面度，所述薄膜缓冲层用于防止探针针尖磨损碰撞；
[0020] 所述运动机构包括三自由度高精密位移台、连接杆及末端夹具，所述三自由度高精密位移台固定于操作台上，所述连接杆一端与末端夹具固定连接，另一端与三自由度高精密位移台末端固定连接；
[0021] 所述装针机构包括多轴运动手臂及夹具末端。
[0022] 上述基于复合导引板结构的装针设备，所述支架结构表面带有卡槽，用作复合导引板结构限位。
[0023] 一种基于复合导引板结构的装针方法，具体步骤为：
[0024] 步骤a、将所述复合导引板结构装针固定孔一对准，用销钉一固定，保证探针容纳孔一一对准；
[0025] 步骤b、将所述复合导引板结构顶层导引板固定孔、底层导引板固定孔与间隔板固定孔对准，用销钉固定，保证中层导引板运动过程中，顶层导引板、底层导引板和间隔板相对位置不变；
[0026] 步骤c、调整所述装针设备的支撑机构滑块位置，使得所述支架的卡槽与待装配复合导引板大小一致相配合，用止动螺丝进行固定和限位；
[0027] 步骤d、置针：将复合导引板结构放入支架的卡槽内，利用多轴手臂配合夹具末端夹取探针，放入所述复合导引板结构探针容纳孔中，针尖接触所述针尖支撑机构的缓冲层；
[0028] 步骤e、置针完成后，撤去销钉一，调整三自由度高精密位移台，利用末端夹具夹持中层导引板，并推动中层导引板在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动，直到所述复合导引板结构装针固定孔二对准，用销钉二固定，完成装针。
[0029] 基于复合导引板结构的拆针及换针方法，具体步骤为：
[0030] 步骤a、调整所述装针设备的支撑机构滑块位置，使得所述支架的卡槽与待拆卸复合导引板大小一致相配合，并用止动螺丝固定和限位；
[0031] 步骤b、将待拆针或换针的探针头放入支架的卡槽内，撤去固定销钉二，调整三自由度高精密位移台，利用末端夹具夹持中层导引板，并拉动中层导引板在X、Y方向，沿着探针孔增大的方向做精密运动，运动至复合导引板结构装针固定孔一对准，用销钉一固定；
[0032] 步骤c、利用多轴运动手臂配合夹具末端夹取坏针，进行拆针或换针操作；
[0033] 步骤d、操作完毕后，撤去销钉一，再次控制三自由度高精密位移台，利用末端夹具夹持中层导引板，并推动中层导引板在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动至复合导引板结构装针固定孔二对准，用销钉二固定，完成拆针或换针操作。
[0034] 本发明的有益效果是：
[0035] 在传统导引板结构基础上添加了中层导引板，通过控制中层导引板结构相对顶层、底层导引板结构的相对运动将探针的装配过程和限位过程解耦开来。
[0036] 第一、装配过程中，复合导引板结构的探针容纳孔一一对齐，在X、Y方向上孔径均远大于待装探针直径，降低了装针难度和对操作精度的要求，避免了传统双层导引板结构中底层导引板盲区的问题，削弱了装针过程对操作人员的技术水平要求，减少了误插率及由此带来的对探针造成的损伤，提升了探针装配过程中的良率和效率。
[0037] 第二、复合导引板结构不依赖于探针容纳孔本身对探针进行限位，因此探针容纳孔孔径较大，一定程度上降低了导引板打孔的技术要求及难度，有利于降低打孔成本，提高打孔效率。
[0038] 第三、复合导引板结构中利用中层导引板相对于顶层、底层导引板的运动，使得探针容纳孔产生错位对探针进行限位，运动具有可逆性，因此可进行探针头的装针、拆针和换针操作，系统可维护性强，一定程度上降低了维护成本。
附图说明
[0039] 为了更清楚地说明本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及效果，下面将结合附图，对依据本方面提出的一种基于复合导引板结构的装针设备及装针方法的具体实施方式、结构、特征及功效进行说明。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0040] 图1为本发明复合导引板结构立体示意图；
[0041] 图2为本发明复合导引板结构一装针前侧视图；
[0042] 图3为本发明复合导引板结构一装针后侧视图；
[0043] 图4为本发明复合导引板结构二装针前侧视图；
[0044] 图5为本发明复合导引板结构二装针后侧视图；
[0045] 图6为本发明复合导引板结构中层导引板立体示意图；
[0046] 图7为本发明基于复合导引板结构的装针设备俯视图；
[0047] 图8为本发明基于复合导引板结构的装针设备沿图5中A-A线截面图；
[0048] 图9为本发明基于复合导引板结构的装针设备中支架示意图；
[0049] 图中：1顶层导引板，11顶层导引板固定孔，2中层导引板，3底层导引板，31底层导引板固定孔，4间隔板，41间隔板固定孔，5装针固定孔一，6装针固定孔二，7底座，8操作台，9支撑机构，91导引板支撑机构，911支架，912滑块，913导轨，914止动螺丝，92探针支撑机构，921Z向高精度位移台，922探针支撑板，923薄膜缓冲层，10运动机构，101三自由度高精密位移台，102连接杆，103末端夹具，11装针机构，111多轴运动手臂，112夹具末端。
具体实施方式
[0050] 为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0051] 下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
[0052] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0053] 具体实施例一
[0054] 以下是一种复合导引板结构的具体实施方式。
[0055] 一种复合导引板结构，如图1、图2、图3、图4或/和图5所示，包括顶层导引板1、中层导引板2、底层导引板3、间隔板4、装针固定孔一5、装针固定孔二6；所述顶层导引板1、中层导引板2和底层导引板3表面均具有容纳探针的装针孔，所述装针孔的孔径大小在X、Y方向上均大于探针X、Y方向截面尺寸；所述底层导引板3表面探针孔分布与被测试芯片的针脚或/和焊盘分布一致；所述顶层导引板1和底层导引板3大小及形状相同，四角分别分布多个对齐的顶层导引板固定孔11和底层导引板固定孔31；所述间隔板4为金属框结构，大小与顶层导引板1和底层导引板3相同，四角具有与顶层导引板固定孔11和底层导引板固定孔31对齐的间隔板固定孔41；所述装针固定孔一5对齐时，所述顶层导引板1、中层导引板2和底层导引板3的探针容纳孔一一对齐，装针固定孔二6错位，方便插针；所述装针固定孔二6对齐时，所述中层导引板2的探针容纳孔相对于顶层导引板1和底层导引板3的探针容纳孔产生错位，用于对探针进行限位。
[0056] 具体实施例二
[0057] 以下是一种复合导引板结构的具体实施方式。
[0058] 本实施方式下的复合导引板结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定所述中层导引板2为四角分别切去一个区域的平板，大小在X、Y方向上分别有一边大于顶层导引板1和底层导引板3，所述切去区域形状为方形、1/4圆或弧形，在本实施方式下，切去区域形状为方形，如图6所示。
[0059] 具体实施例三
[0060] 以下是一种复合导引板结构的具体实施方式。
[0061] 本实施方式下的复合导引板结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定所述间隔板4：
[0062] 位于所述顶层导引板1和中层导引板2中间，用于将顶层导引板1与中层导引板2分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量，如图1和图2所示；
[0063] 或
[0064] 位于所述中层导引板2和底层导引板3中间，用于将中层导引板2与底层导引板3分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量，如图3和图4所示。
[0065] 具体实施例四
[0066] 以下是一种复合导引板结构的具体实施方式。
[0067] 本实施方式下的复合导引板结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定所述底层导引板3表面探针容纳孔孔径大小大于待装载探针孔径4-10微米。
[0068] 具体实施例五
[0069] 以下是一种基于复合导引板结构的装针设备的具体实施方式。
[0070] 本实施方式下的基于复合导引板结构的装针设备，如图7和图8所示，包括底座7、操作台8、支撑机构9、运动机构10和装针机构11；
[0071] 所述支撑机构9包括导引板支撑机构91和探针支撑机构92，
[0072] 所述导引板支撑机构91包括支架911、滑块912、导轨913及止动螺丝914，所述支架911与滑块912固定连接，设置于所述导轨913上方，所述导轨913分别固定于操作台8中心区域四周，所述止动螺丝914用于对支架911及滑块912位置进行限位；
[0073] 所述探针支撑机构92包括Z向高精度位移台921、探针支撑板922及薄膜缓冲层923，所述Z向高精度位移台921用于调整探针底部到底层导引板3的距离，所述探针支撑板
922用于保证探针装配后的平面度，所述薄膜缓冲层923用于防止探针针尖磨损碰撞；
[0074] 所述运动机构10包括三自由度高精密位移台101、连接杆102及末端夹具103，所述三自由度高精密位移台101固定于操作台上，所述连接杆102一端与末端夹具103固定连接，另一端与三自由度高精密位移台101末端固定连接；
[0075] 所述装针机构11包括多轴运动手臂111及夹具末端112，其中，多轴运动手臂111选择为三轴类型；夹具末端112为MEMS加工方式获得的微钳、微镊等微型夹具。
[0076] 具体实施例六
[0077] 以下是一种基于复合导引板结构的装针设备的具体实施方式。
[0078] 本实施方式下的基于复合导引板结构的装针设备，在具体实施例五的基础上，进一步限定所述支架911结构表面带有卡槽，如图9所示，用作复合导引板结构限位。
[0079] 具体实施例七
[0080] 以下是一种基于复合导引板结构的装针方法的具体实施方式。
[0081] 本实施方式下的基于复合导引板结构的装针方法，具体步骤为：
[0082] 步骤a、将所述复合导引板结构装针固定孔一5对准，用销钉一固定，保证探针容纳孔一一对准；
[0083] 步骤b、将所述复合导引板结构顶层导引板固定孔11、底层导引板固定孔31与间隔板固定孔41对准，用销钉固定，保证中层导引板2运动过程中，顶层导引板1、底层导引板3和间隔板4相对位置不变；
[0084] 步骤c、调整所述装针设备的支撑机构滑块912位置，使得所述支架911的卡槽与待装配复合导引板大小一致相配合，用止动螺丝914进行固定和限位；
[0085] 步骤d、置针：将复合导引板结构放入支架911的卡槽内，利用多轴手臂111配合夹具末端112夹取探针，放入所述复合导引板结构探针容纳孔中，针尖接触所述针尖支撑机构的缓冲层923，如图2和图4所示；
[0086] 步骤e、置针完成后，撤去销钉一，调整三自由度高精密位移台101，利用末端夹具103夹持中层导引板2，并推动中层导引板2在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动，直到所述复合导引板结构装针固定孔二6对准，用销钉二固定，完成装针，如图3和图5所示。
[0087] 其中，装针固定孔二6的对准采用光电检测器检测，实现对高精度位移台运动的控制。
[0088] 具体实施例八
[0089] 以下是一种基于复合导引板结构的拆针及换针方法的具体实施方式。
[0090] 本实施方式下的基于复合导引板结构的拆针及换针方法，具体步骤为：
[0091] 步骤a、调整所述装针设备的支撑机构滑块912位置，使得所述支架911的卡槽与待拆卸复合导引板大小一致相配合，并用止动螺丝914固定和限位；
[0092] 步骤b、将待拆针或换针的探针头放入支架911的卡槽内，撤去固定销钉二，调整三自由度高精密位移台101，利用末端夹具103夹持中层导引板2，并拉动中层导引板2在X、Y方向，沿着探针孔增大的方向做精密运动，运动至复合导引板结构装针固定孔一5对准，用销钉一固定；
[0093] 步骤c、利用多轴运动手臂111配合夹具末端112夹取坏针，进行拆针或换针操作；
[0094] 步骤d、操作完毕后，撤去销钉一，再次控制三自由度高精密位移台101，利用末端夹具103夹持中层导引板2，并推动中层导引板2在X、Y方向，沿着探针孔收缩的方向运动至复合导引板结构装针固定孔二6对准，用销钉二固定，完成拆针或换针操作。
[0095] 其中，装针固定孔一5和装针固定孔二6的对准采用光电检测器检测，实现对高精度位移台运动的控制。
[0096] 需要说明的是，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0097] 还需要说明的是，在以上实施例中，只要不矛盾的技术方案，都能够进行排列组合，由于本领域的技术人员能够根据高中阶段所学习的排列组合数学知识，穷尽所有排列组合后的结果，因此这些结果在本申请中不再一一罗列，但应理解为每一种排列组合结果都被本申请所记载。
[0098] 最后需要说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
