显示基板及其制备方法、显示装置

摘要

提供了一种显示基板及其制备方法、显示装置，该显示基板包括基底、设置于所述基底上的栅极层、设置于所述栅极层上的第一源漏极层以及设置于所述第一源漏极层上的第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过搭桥与所述模组引脚连接，所述搭桥与所述第一源漏极层同层设置，且所述搭桥的材料与所述第一源漏极层的材料相同。

权利要求

1.一种显示基板，其特征在于，包括基底、设置于所述基底上的栅极层、设置于所述栅极层上的第一源漏极层以及设置于所述第一源漏极层上的第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过搭桥与所述模组引脚连接，所述搭桥与所述第一源漏极层同层设置，且所述搭桥的材料与所述第一源漏极层的材料相同；所述搭桥的材料为单层结构或多层结构的低电阻材料；所述模组引脚包括用于连接正向电压的第一引脚以及用于连接负向电压的第二引脚，所述检测引脚包括与所述第一引脚连接的第三引脚以及与所述第二引脚连接的第四引脚，所述第三引脚与所述第一引脚之间设置有所述第二引脚，所述第三引脚通过所述搭桥与所述第一引脚连接，所述搭桥位于所述第二引脚下方。

2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述模组引脚、所述检测引脚以及所述第二源漏极层同层设置。

3.根据权利要求2所述的显示基板，其特征在于，所述模组引脚的材料、所述检测引脚的材料以及所述第二源漏极层的材料相同。

4.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，还包括设置于所述第一源漏极层与所述第二源漏极层之间的钝化层和平坦化层，所述钝化层设置于所述第一源漏极层上，所述平坦化层设置于所述钝化层上。

5.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，还包括设置于所述基底上用于检测显示效果的检测单元，所述检测单元与所述检测引脚连接。

6.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述基底包括显示区域和围绕所述显示区域设置的外围区域，所述模组引脚以及检测引脚位于所述外围区域。

7.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1～6任一所述的显示基板。

8.一种显示基板的制备方法，其特征在于，包括：

在基底上形成栅极层；

在所述栅极层上形成第一源漏极层以及搭桥，所述第一源漏极层和所述搭桥同层设置；

在所述第一源漏极层和所述搭桥上形成第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过所述搭桥与所述模组引脚连接；

所述搭桥的材料为单层结构或多层结构的低电阻材料；所述模组引脚包括用于连接正向电压的第一引脚以及用于连接负向电压的第二引脚，所述检测引脚包括与所述第一引脚连接的第三引脚以及与所述第二引脚连接的第四引脚，所述第三引脚与所述第一引脚之间设置有所述第二引脚，所述第三引脚通过所述搭桥与所述第一引脚连接，所述搭桥位于所述第二引脚下方。

说明书

显示基板及其制备方法、显示装置

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。

背景技术

[0002] 随着显示技术的快速发展，大尺寸的显示装置越来流行。但是由于显示装置尺寸的增大，其引发的一些显示问题也逐渐引起了人们的重视。

[0003] 在一些大尺寸显示装置中，采用模组引脚和检测引脚(ET Pin)非共用的设计，即检测引脚与模组引脚采用搭桥的方式连接，搭桥与栅极层同层设置，即检测引脚与模组引脚之间的搭桥在栅极层进行跨线。这种设计方案由于跨线电阻较大，极易发生跨线处灼伤的现象。

发明内容

[0004] 提供一种显示基板及其制备方法、显示装置，有效降低搭桥的灼伤风险，提高产品的良率。

[0005] 本发明实施例提供了一种显示基板，包括基底、设置于所述基底上的栅极层、设置于所述栅极层上的第一源漏极层以及设置于所述第一源漏极层上的第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过搭桥与所述模组引脚连接，所述搭桥与所述第一源漏极层同层设置，且所述搭桥的材料与所述第一源漏极层的材料相同。

[0006] 在一些可能的实现方式中，所述搭桥的材料为单层结构或多层结构的低电阻材料。

[0007] 在一些可能的实现方式中，所述模组引脚包括用于连接正向电压的第一引脚以及用于连接负向电压的第二引脚，所述检测引脚包括与所述第一引脚连接的第三引脚以及与所述第二引脚连接的第四引脚，所述第三引脚与所述第一引脚之间设置有所述第二引脚，所述第三引脚通过所述搭桥与所述第一引脚连接，所述搭桥位于所述第二引脚下方。

[0008] 在一些可能的实现方式中，所述模组引脚、所述检测引脚以及所述第二源漏极层同层设置。

[0009] 在一些可能的实现方式中，所述模组引脚的材料、所述检测引脚的材料以及所述第二源漏极层的材料相同。

[0010] 在一些可能的实现方式中，还包括设置于所述第一源漏极层与所述第二源漏极层之间的钝化层和平坦化层，所述钝化层设置于所述第一源漏极层上，所述平坦化层设置于所述钝化层上。

[0011] 在一些可能的实现方式中，还包括设置于所述基底上用于检测显示效果的检测单元，所述检测单元与所述检测引脚连接。

[0012] 在一些可能的实现方式中，所述基底包括显示区域和围绕所述显示区域设置的外围区域，所述模组引脚以及检测引脚位于所述外围区域。

[0013] 本发明实施例还提供了一种显示装置，包括前面任一所述的显示基板。

[0014] 本发明实施例还提供了一种显示基板的制备方法，包括：

[0015] 在基底上形成栅极层；

[0016] 在所述栅极层上形成第一源漏极层以及搭桥，所述第一源漏极层和所述搭桥同层设置；

[0017] 在所述第一源漏极层和所述搭桥上形成第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过所述搭桥与所述模组引脚连接。

[0018] 本发明实施例显示基板通过将用于连接检测引脚与模组引脚的搭桥设置于第一源漏极层所在的膜层，即搭桥与第一源漏极层同层设置，以减小搭桥的电阻，降低搭桥的灼伤风险，从而提高产品的良率。

[0019] 当然，实施本发明的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。本发明的其它特征和优点将在随后的说明书实施例中阐述，并且，部分地从说明书实施例中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明实施例的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

[0020] 附图用来提供对本公开技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本公开的实施例一起用于解释本公开的技术方案，并不构成对本公开技术方案的限制。附图中各部件的形状和大小不反映真实比例，目的只是示意说明本公开内容。

[0021] 图1为一种显示基板中检测引脚与模组引脚的模组引脚连接的示意图；

[0022] 图2为一种显示基板的剖视图；

[0023] 图3本发明实施例显示基板的剖视图。

具体实施方式

[0024] 本文中的实施方式可以以多个不同形式来实施。所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实，就是实现方式和内容可以在不脱离本公开的宗旨及其范围的条件下被变换为各种各样的形式。因此，本公开不应该被解释为仅限定在下面的实施方式所记载的内容中。在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

[0025] 在附图中，有时为了明确起见，可能夸大表示了构成要素的大小、层的厚度或区域。因此，本公开的任意一个实现方式并不一定限定于图中所示尺寸，附图中部件的形状和大小不反映真实比例。此外，附图示意性地示出了理想的例子，本公开的任意一个实现方式不局限于附图所示的形状或数值等。

[0026] 本文中的“第一”、“第二”、“第三”等序数词是为了避免构成要素的混同而设置，而不是为了在数量方面上进行限定的。

[0027] 在本文中，为了方便起见，使用“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系的词句以参照附图说明构成要素的位置关系，仅是为了便于描述实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。构成要素的位置关系可根据描述的构成要素的方向进行适当地改变。因此，不局限于在文中说明的词句，根据情况可以适当地更换。

[0028] 在本文中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，或可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或通过中间件间接相连，或两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据情况理解上述术语在本公开中的含义。

[0029] 在本文中，晶体管是指至少包括栅电极、漏电极以及源电极这三个端子的元件。晶体管在漏电极(或称漏电极端子、漏区域或漏电极)与源电极(或称源电极端子、源区域或源电极)之间具有沟道区域，并且电流能够流过漏电极、沟道区域以及源电极。在本文中，沟道区域是指电流主要流过的区域。

[0030] 在本文中，“膜”和“层”可以相互调换。例如，有时可以将“导电层”换成为“导电膜”。与此同样，有时可以将“绝缘膜”换成为“绝缘层”。

[0031] 图1一种显示基板中检测引脚与模组引脚的模组引脚连接的示意图。如图1所示，一种OLED显示基板，在平行于该显示基板的平面上，该显示基板包括基底，基底包括显示区域和围绕显示区域四周设置的外围区域。显示区域上设置有呈阵列排布的多个像素单元，像素单元用于显示画面。外围区域上设置有模组引脚10以及检测引脚20。为了检测OLED显示基板的显示效果，需要将检测引脚20与模组引脚10连接，再将检测单元与检测引脚20连接，从而实现检测单元对OLED显示基板进行检测。

[0032] 如图1所示，模组引脚10包括用于连接正向电压(VDD)的第一引脚101以及用于连接负向电压(VSS)的第二引脚102，检测引脚20包括与第一引脚101连接的第三引脚201以及与第二引脚102连接的第四引脚202，第三引脚201与第一引脚101之间设置有第二引脚102，第三引脚201通过搭桥30与第一引脚101连接。

[0033] 图2为一种显示基板的剖视图。如图2所示，在垂直于该显示基板的平面上，显示基板包括基底1、设置于基底1上的栅极层2、设置于栅极层2上的栅绝缘层3、设置于栅绝缘层3上的层间电介质层4以及设置于层间电介质层4上的第一源漏极层5。第一引脚101、第二引脚102、第三引脚201以及第四引脚均与第一源漏极层5同层设置。将第三引脚201与第一引脚101连接的搭桥30与栅极层2同层设置。由于搭桥30与栅极层2同层设置，导致搭桥30跨线电阻较大，极易发生搭桥30处灼伤的现象。

[0034] 本实施例提供一种显示基板，在平行于该显示基板的平面上，该显示基板包括显示区域和围绕显示区域四周设置的外围区域。显示区域上设置有呈阵列排布的多个像素单元，像素单元用于显示画面。外围区域上设置有模组引脚以及检测引脚。检测引脚通过搭桥与模组引脚连接。检测引脚用于与检测单元连接，以使检测单元检测显示基板的各种数据，比如，检测单元检测显示基板的显示效果数据。

[0035] 图3本发明实施例显示基板的剖视图。如图3所示，在垂直于该显示基板的平面上，该显示基板包括包括基底1、设置于基底1上的栅极层2、设置于栅极层2上的栅绝缘层3、设置于栅绝缘层3上的层间电介质层4、设置于层间电介质层4上的第一源漏极层5、设置于第一源漏极层5上的钝化层6、设置于钝化层6的平坦化层7以及设置于平坦化层7上的第二源漏极层8、模组引脚10、检测引脚20。检测引脚20通过搭桥30与模组引脚10连接，搭桥30与第一源漏极层5同层设置。

[0036] 本发明实施例显示基板通过将用于连接检测引脚20与模组引脚10的搭桥30设置于第一源漏极层5所在的膜层，即搭桥30与第一源漏极层5同层设置，以减小搭桥30的电阻，降低搭桥30的灼伤风险，从而提高产品的良率。

[0037] 如图3所示，模组引脚10包括用于连接正向电压(VDD)的第一引脚101以及用于连接负向电压(VSS)的第二引脚102，检测引脚20包括与第一引脚101连接的第三引脚201以及与第二引脚102连接的第四引脚202，第三引脚201与第一引脚101之间设置有第二引脚102，第三引脚201通过搭桥30与第一引脚101连接，搭桥30与第一源漏极层5同层设置，并位于第二引脚102的下方。

[0038] 在一些可能的实现方式中，搭桥与第一源漏极层的材料相同。搭桥的材料为单层结构或多层结构的低电阻材料。比如，搭桥的材料可以为铝、铂、钯、银、镁、金、捏、钕、铱、铬、钙、钼、钛、钨、铜等金属的单层结构，或者搭桥的材料可以为钛‑铝‑钛的叠层金属等多层结构。

[0039] 在一些可能的实现方式中，模组引脚、检测引脚以及第二源漏极层同层设置。且模组引脚的材料、检测引脚的材料以及第二源漏极层的材料相同。比如，模组引脚的材料、检测引脚的材料以及第二源漏极层的材料均为钛‑铝‑钛的叠层金属。

[0040] 在一些可能的实现方式中，显示基板还包括设置于基底上用于检测显示效果的检测单元，检测单元与检测引脚连接，以使检测单元与模组引脚实现电连接，进而使检测单元能够检测显示基板的显示效果数据。

[0041] 本实施例中搭桥与第一源漏极层的材料相同，相对于搭桥与栅极层的材料相同，本实施例中搭桥可以明显降低电阻，降低灼伤风险。

[0042] 根据公式：

[0043] R＝R□(L/W)

[0044] R□＝ρ/d

[0045] 其中L为搭桥长度，W为搭桥宽度，R□为搭桥材料方阻，ρ为搭桥材料电阻率，d为搭桥材料厚度。

[0046] 以栅极层的材料为金属Mo，第一源漏极层材料为钛‑铝‑钛的叠层金属为例。栅极层的材料和第一源漏极层材料的方阻及电阻如表1所示。

[0047] 表1：栅极层的材料和第一源漏极层材料的方阻及电阻

[0048]

[0049] 从表1中可以看出，相同长度宽比的搭桥，采用第一源漏极层材料的搭桥电阻要比采用栅极层材料的搭桥电阻小一个数量级，因此在相同时间下的产热量也要小一个数量级，说明采用第一源漏极层材料的搭桥可以有效地降低搭桥灼伤的风险。

[0050] 本发明实施例还提供了一种显示基板的制备方法，包括：

[0051] 在基底上形成栅极层；

[0052] 在所述栅极层上形成第一源漏极层以及搭桥，所述第一源漏极层和所述搭桥同层设置；

[0053] 在所述第一源漏极层和所述搭桥上形成第二源漏极层、模组引脚以及检测引脚，所述检测引脚通过所述搭桥与所述模组引脚连接。

[0054] 本发明实施例还提供了一种显示装置，包括前面任一所述的显示基板。显示装置可以为手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件，也可以为具有VR、AR和3D显示功能的产品或部件。

[0055] 在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0056] 在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0057] 虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但在本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。