分析高功率微波气体击穿过程中相频特性的数值仿真方法

摘要

本发明公开了一种分析高功率微波气体击穿过程中相频特性的数值仿真方法。基于时域谱元法，该数值模型耦合了麦克斯韦方程组与流体方程组，通过计算击穿过程中不同时刻下的等离子体层厚度，结合其色散介电常数计算出微波穿透等离子体区域后的相位变化，在器件击穿过程中，可对信号的传输进行相位预测。本发明可以实现对复杂模型进行精确建模，同时保证计算结果的精确；采用谱元法对方程测试展开得到的质量矩阵为块对角矩阵，可以直接求逆从而大大降低计算时间。